JP6750870B2 - Surface modification device - Google Patents

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Description

この発明は、コロナ放電処理によって、絶縁性のフィルムの表面を改質する表面改質装置に関する。 The present invention relates to a surface modification device that modifies the surface of an insulating film by corona discharge treatment.

この種のものとして、図3に示した表面改質装置が従来から知られている。
この装置は、処理ローラ1と、上記処理ローラ1に対向配置した電極チャンバ2と、この電極チャンバ2内に設けられた放電電極4とを備えている。
上記電極チャンバ2は、上記処理ローラ1の所定の範囲を覆う大きさを有する。すなわち、電極チャンバ2の開口部2aは、処理ローラ1の軸方向長さにほぼ等しくするとともに、上記軸方向両端の開口部2aの曲率を、処理ローラ1の曲率とほぼ等しくしている。
As this type, the surface modification device shown in FIG. 3 is conventionally known.
This apparatus includes a processing roller 1, an electrode chamber 2 arranged to face the processing roller 1, and a discharge electrode 4 provided in the electrode chamber 2.
The electrode chamber 2 has a size that covers a predetermined range of the processing roller 1. That is, the opening 2a of the electrode chamber 2 is made substantially equal to the axial length of the processing roller 1, and the curvature of the openings 2a at both ends in the axial direction is made substantially equal to the curvature of the processing roller 1.

さらに、電極チャンバ2には、上記軸方向に長さを持った3本の放電電極4を、処理ローラ1の曲率に沿って設けている。
なお、上記放電電極4のそれぞれは、絶縁体からなる電極ホルダ3及び支持棒5を介して電極チャンバ2の天井部2bに固定している。
Further, the electrode chamber 2 is provided with three discharge electrodes 4 having a length in the axial direction along the curvature of the processing roller 1.
Each of the discharge electrodes 4 is fixed to the ceiling portion 2b of the electrode chamber 2 via an electrode holder 3 and a support rod 5 made of an insulator.

上記天井部2bには、複数の排気口2cを形成するとともに、この排気口2cを、図示していない吸引機に接続している。
したがって、処理ローラ1に沿ってフィルムFを搬送しながら、放電電極4に高周波高電圧を印加してコロナ放電させると、その放電エネルギーによって、フィルム1の表面が改質される。
また、コロナ放電させる過程で有害なオゾンが発生するが、このオゾンは、吸引機の吸引力にひかれて上記排気口2cから排気される。
A plurality of exhaust ports 2c are formed in the ceiling portion 2b, and the exhaust ports 2c are connected to a suction device (not shown).
Therefore, when the high frequency high voltage is applied to the discharge electrode 4 to carry out corona discharge while the film F is conveyed along the processing roller 1, the surface of the film 1 is modified by the discharge energy.
Further, harmful ozone is generated in the process of corona discharge, and this ozone is exhausted from the exhaust port 2c by the suction force of the suction device.

特開2010−043215号公報JP, 2010-043215, A

上記のようにコロナ放電の処理過程ではオゾンが生成されるが、このオゾンと反応して放電チャンバ内に結晶状異物が生成されることも知られている。
しかし、従来の表面改質装置の吸引機は、比較的軽いオゾン等のガスを吸引する目的のもとで、その吸引力が設定されている。したがって、相対的に重い結晶状異物を吸引できないという問題があった。
As described above, ozone is generated in the corona discharge treatment process, but it is also known that crystalline foreign matter is generated in the discharge chamber by reacting with ozone.
However, the suction force of the conventional surface reforming apparatus has a suction force set for the purpose of sucking a relatively light gas such as ozone. Therefore, there is a problem that the relatively heavy crystalline foreign matter cannot be sucked.

この問題を解決するために、吸引機の吸引力を強くすることも考えられる。
しかし、その吸引力が強すぎると、開口部2aに対応した部分で、フィルムFがバタついてしまう。例えば、吸引力が強すぎると、フィルムFが処理ローラ1からはがされるようにして持ち上げられるが、ある程度持ち上げられると、今度は、フィルムF側の張力によって処理ローラ1側に再び引き戻される。このようにフィルムFが引き上げられたり、引き戻されたりが繰り返されるので、フィルムFが上記のようにバタついてしまう。
In order to solve this problem, it is possible to increase the suction force of the suction device.
However, if the suction force is too strong, the film F will flap at the portion corresponding to the opening 2a. For example, when the suction force is too strong, the film F is lifted so as to be peeled off from the processing roller 1, but when it is lifted to some extent, the tension on the film F side pulls it back to the processing roller 1 side again. Since the film F is repeatedly pulled up and pulled back in this manner, the film F flutters as described above.

そして、フィルムFが上記のように引き上げられると、フィルムFと放電電極4との間隔が一定でなくなり、放電エネルギーの安定性も損なわれてしまう。もし、放電エネルギーが安定でなければ、表面改質処理も不均一になり、フィルムFの品質を低下させてしまう。
また、フィルムFが引き上げられたときに、フィルムFが放電電極4に接触すると、フィルムFを損傷してしまう。
When the film F is pulled up as described above, the distance between the film F and the discharge electrode 4 is not constant, and the stability of discharge energy is also impaired. If the discharge energy is not stable, the surface modification treatment also becomes non-uniform and the quality of the film F is degraded.
Further, when the film F is pulled up, if the film F contacts the discharge electrode 4, the film F will be damaged.

このような理由から、吸引機の吸引力を大きくするにも限界があった。
そのために、従来の表面改質装置では、放電チャンバ内の結晶状異物を十分に取り切れなかった。
このように取り切れなかった結晶状異物は、高速搬送されるフィルムの表面に発生する同伴流に乗って、電極チャンバ2から流出してしまう。
また、電極チャンバ2内で除去しきれなかったオゾンも、同伴流に乗って電極チャンバ2から流出することもあった。
For this reason, there is a limit to increasing the suction force of the suction device.
Therefore, the conventional surface reforming device cannot sufficiently remove the crystalline foreign matter in the discharge chamber.
The crystalline foreign matter that cannot be removed in this manner flows out from the electrode chamber 2 along with the accompanying flow generated on the surface of the film that is conveyed at high speed.
In addition, ozone that could not be completely removed in the electrode chamber 2 may flow along with the accompanying flow out of the electrode chamber 2.

このように、同伴流とともに流出した結晶状異物は、そのままフィルムFに付着したり、あるいはフィルムFの搬送過程で周囲に飛散したりする。
フィルムFに付着した結晶状異物は、フィルムFを汚して品質を低下させ、飛散した結晶状異物は、例えば外部装置に付着してそれを酸化させるという問題を発生していた。
In this way, the crystalline foreign matter that has flowed out together with the entrained flow adheres to the film F as it is, or scatters around in the course of transporting the film F.
The crystalline foreign matter attached to the film F stains the film F and deteriorates the quality, and the scattered crystalline foreign matter attaches to an external device and oxidizes it.

さらに、放電処理されたフィルムFの搬送方向の下流側には、フィルムFの搬送方向を転換させるガイドローラや、フィルムFのバタつきを押えるニップローラなどが備わっているが、上記のようにフィルムFに結晶状異物が付着していると、この結晶状異物が上記ローラの表面に付着したり、あるいはその表面に堆積したりする。 Further, a guide roller for changing the transport direction of the film F, a nip roller for pressing the flapping of the film F, and the like are provided on the downstream side of the transport direction of the discharged film F. When the crystalline foreign matter adheres to the roller, the crystalline foreign matter adheres to the surface of the roller or accumulates on the surface.

ガイドローラやニップローラに付着もしくは堆積した結晶状異物は、それを放置しておくと、接触するフィルム表面を汚したり、あるいはその表面を傷つけたりするので、積極的に取り除かなくてはならない。
しかし、ガイドローラやニップローラに付着もしくは堆積した結晶状異物を取り除くためには、フィルムFの搬送ラインを止めなければならないので、結晶状異物を取り除く度に、作業を停止しなければならない。
The crystalline foreign matter adhering to or accumulated on the guide roller or the nip roller may stain the contacting film surface or damage the surface if left unattended, and therefore must be actively removed.
However, in order to remove the crystalline foreign matter adhering to or accumulated on the guide roller or the nip roller, the transport line of the film F must be stopped, so the operation must be stopped every time the crystalline foreign matter is removed.

また、上記同伴流に乗って電極チャンバ2から流出したオゾンは、人体に悪影響を及ぼす危険もあった。
このように、従来の表面改質装置では、電極チャンバ2内で生成されるオゾンや結晶状異物を除去できないために、種々の問題を発生していた。
この発明の目的は、オゾン及びNx等のガスの排気はもちろん、電極チャンバ内に生成する結晶状異物も除去できる表面改質装置を提供することである。
Further, the ozone flowing out from the electrode chamber 2 along with the accompanying flow may have a harmful effect on the human body.
As described above, in the conventional surface reforming apparatus, various problems occur because the ozone and the crystalline foreign matter generated in the electrode chamber 2 cannot be removed.
The purpose of this invention, the exhaust of ozone and N O x or the like of the gas, of course, is to provide a surface modification apparatus also crystalline foreign matter generated in the electrode chamber can be removed.

この発明は、処理ローラと、この処理ローラに対向する放電電極と、この放電電極を囲う電極チャンバとを設け、上記処理ローラと上記放電電極との間で放電させて、上記処理ローラに沿って搬送されるフィルム表面を改質する表面改質装置を前提としている。
そして、第1の発明は、上記放電電極よりも上記フィルムの搬送方向の下流側に、上記フィルムに同伴する同伴流とともにオゾン等のガス及び結晶状異物を吸引する吸引手段を備え、この吸引手段が吸引ボックスと吸引機とからなる。そして、上記吸引ボックスが、上記処理ローラの曲率に沿って処理ローラと対向する曲面からなる対向面を備えるとともに、上記対向面には、その全面に亘って複数の小孔が形成されたことを特徴としている。
The present invention provides a processing roller, a discharge electrode facing the processing roller, and an electrode chamber surrounding the discharge electrode, and discharges between the processing roller and the discharge electrode. It is premised on a surface reforming device that reforms the surface of a film being conveyed.
The first invention, on the downstream side in the transport direction of the film than the discharge electrodes, a suction means for sucking the gases and crystalline foreign substances such as ozone with entrained flow entrained in the film, the suction means Consists of a suction box and a suction machine. The suction box has a facing surface formed of a curved surface that faces the processing roller along the curvature of the processing roller, and a plurality of small holes are formed on the entire facing surface. It has a feature.

第2の発明は、上記吸引手段が、処理ローラで搬送されるフィルムと対向するセット位置と、処理ローラで搬送されるフィルム位置から退避するオフセット位置との間で移動可能にした点に特徴を有する。 A second invention is characterized in that the suction means is movable between a set position facing the film conveyed by the processing roller and an offset position retracted from the film position conveyed by the processing roller. Have.

第1の発明によれば、電極チャンバよりもフィルムの搬送方向下流側に、フィルムに沿って発生する同伴流に含まれるガスや結晶状異物を吸引する吸引手段を設けたので、電極チャンバの吸引力は、相対的に軽いオゾン等のガスのみを排気できる能力を備えればよい。言い換えると、電極チャンバ内の吸引力を必要以上に強くしなくてもよいので、吸引力が強すぎてフィルムをバタつかせることがない。フィルムのバタつきを押えられるので、バタつきが要因になっていた問題は発生しない。 According to the first aspect of the present invention, the suction means for sucking gas or crystalline foreign matter contained in the entrained flow generated along the film is provided on the downstream side of the electrode chamber in the transport direction of the film. The force has only to have the ability to exhaust only relatively light gas such as ozone. In other words, since the suction force in the electrode chamber does not need to be increased more than necessary, the suction force is not too strong and the film does not flap. Since the flapping of the film can be suppressed, the problem caused by the flapping does not occur.

また、電極チャンバとは別に設けた上記吸引手段によって、上記同伴流に含まれるガスや結晶状異物を除去できるので、吸引手段の吸引力は、結晶状異物を吸引するために必要な大きさに自由に設定できる。このように吸引手段の吸引力を必要な大きさに設定できるので、上記同伴流に含まれるガスとともに結晶状異物を確実に除去できる。
したがって、電極チャンバからのオゾンの流出や、フィルムに対する結晶状異物による弊害という問題をことごとく解決できる。
Further, since the gas and the crystalline foreign matter contained in the entrained flow can be removed by the suction means provided separately from the electrode chamber, the suction force of the suction means has a magnitude necessary for sucking the crystalline foreign matter. It can be set freely. In this way, the suction force of the suction means can be set to a required magnitude, so that the crystalline foreign matter can be reliably removed together with the gas contained in the entrained flow.
Therefore, it is possible to solve all the problems such as the outflow of ozone from the electrode chamber and the harmful effects of the crystalline foreign matter on the film.

第2の発明によれば、搬送ラインにフィルムをセットするとき、当該吸引手段をオフセット位置に退避させておけば、フィルムを搬送ラインにセットするときの作業がやりやすくなる。そして、フィルムを搬送ラインにセットした後は、吸引手段をセット位置に復帰させれば、オゾン等のガスとともに結晶状異物を除去することができる。 According to the second aspect, when the film is set on the transport line, if the suction means is retracted to the offset position, the work for setting the film on the transport line becomes easy. After setting the film on the transport line, the crystalline foreign matter can be removed together with the gas such as ozone by returning the suction means to the setting position.

第1実施形態における処理ローラ、電極チャンバ及び吸引手段である吸引ボックスとの位置関係を示した概略図である。It is the schematic which showed the positional relationship with the processing box in 1st Embodiment, the electrode chamber, and the suction box which is a suction means. 第1実施形態における吸引ボックスを示した斜視図である。It is the perspective view which showed the suction box in 1st Embodiment. 従来の表面改質装置の処理ローラと電極チャンバとの位置関係を示した概略図である。It is the schematic which showed the positional relationship of the processing roller and electrode chamber of the conventional surface modification apparatus.

図1,2を用いてこの表面改質装置の実施形態を説明する。
なお、本発明は従来の構成に、電極チャンバ2とは別な位置で結晶状異物等を除去するための吸引手段を加えたことが異なっており、従来と同様の構成要素には図3と同じ符号を用いている。
An embodiment of this surface modification device will be described with reference to FIGS.
The present invention is different from the conventional configuration in that a suction means for removing crystalline foreign matter or the like is added at a position different from that of the electrode chamber 2. The same reference numerals are used.

図1に示すように、この表面改質装置は、その前提として、処理ローラ1と、上記処理ローラ1に対向配置した電極チャンバ2と、この電極チャンバ2内に設けられた放電電極4とを備えている。
上記電極チャンバ2は、上記処理ローラ1の所定の範囲を覆う大きさを有する。すなわち、電極チャンバ2の開口部2aは、処理ローラ1の軸方向長さにほぼ等しくするとともに、上記軸方向両端の開口部2aの曲率を、処理ローラ1の曲率とほぼ等しくしている。
As shown in FIG. 1, this surface reforming apparatus is premised on a treatment roller 1, an electrode chamber 2 arranged to face the treatment roller 1, and a discharge electrode 4 provided in the electrode chamber 2. I have it.
The electrode chamber 2 has a size that covers a predetermined range of the processing roller 1. That is, the opening 2a of the electrode chamber 2 is made substantially equal to the axial length of the processing roller 1, and the curvature of the openings 2a at both ends in the axial direction is made substantially equal to the curvature of the processing roller 1.

さらに、電極チャンバ2には、上記軸方向に長さを持った3本の放電電極4が、処理ローラ1の曲率に沿って設けられている。そして、この放電電極4には、図示していない高電圧源が接続されている。
そして、上記放電電極4のそれぞれは、絶縁体からなる電極ホルダ3及び支持棒5を介して電極チャンバ2の天井部2bに固定している。
なお、上記放電電極4には、いろいろあるがその種類は問わない。例えば、ワイヤー、針、誘電体あるいはバー等のいずれであってもよい。
Further, the electrode chamber 2 is provided with three discharge electrodes 4 having a length in the axial direction along the curvature of the processing roller 1. A high voltage source (not shown) is connected to the discharge electrode 4.
Then, each of the discharge electrodes 4 is fixed to the ceiling portion 2b of the electrode chamber 2 via the electrode holder 3 and the support rod 5 made of an insulator.
There are various types of the discharge electrode 4, but the type is not limited. For example, it may be a wire, a needle, a dielectric or a bar.

上記天井部2bには、複数の排気口2cが形成されるとともに、この排気口2cには、図示していない吸引機が接続されている。
上記のように構成された電極チャンバ2と処理ローラ1の間には、処理ローラ1に沿ってフィルムFを搬送させている。そして、放電電極4に高周波高電圧を印加してコロナ放電させると、その放電エネルギーによって、イオンが生成されるとともに、このイオンによってフィルムFの表面が改質される。
なお、上記電極チャンバ2は、上記処理ローラ1の最上部に対向するように設けているが、上記処理ローラ1に対向する位置であれば、上記電極チャンバ2をどの位置に配置してもかまわない。
A plurality of exhaust ports 2c are formed in the ceiling portion 2b, and a suction device (not shown) is connected to the exhaust ports 2c.
The film F is conveyed along the processing roller 1 between the electrode chamber 2 and the processing roller 1 configured as described above. Then, when a high frequency high voltage is applied to the discharge electrode 4 to cause corona discharge, the discharge energy generates ions, and the ions modify the surface of the film F.
The electrode chamber 2 is provided so as to face the uppermost portion of the processing roller 1. However, the electrode chamber 2 may be arranged at any position as long as it faces the processing roller 1. Absent.

また、コロナ放電の処理過程では、有害なオゾンが発生することが知られている。このように発生したオゾンは、吸引機の吸引力にひかれて上記排気口2cから排気される。
さらに、オゾンは、コロナ放電の処理過程で生成され続けるので、このオゾンと反応して放電チャンバ2内に結晶状異物が生成されることも知られている。
Further, it is known that harmful ozone is generated in the process of corona discharge treatment. The ozone thus generated is attracted by the suction force of the suction device and is exhausted from the exhaust port 2c.
Further, it is known that ozone continues to be generated during the corona discharge treatment process, and thus reacts with this ozone to generate crystalline foreign matter in the discharge chamber 2.

電極チャンバ2に接続された吸引機は、比較的軽いオゾン等のガスを吸引する目的のもとで、その吸引力が設定されている。そのため、相対的に重い結晶状異物を吸引できず、フィルムFの搬送によって発生する同伴流とともに、電極チャンバ2から流出する。
なお、同伴流には、結晶状異物だけでなく、吸引しきれなかったオゾンなどのガスも含まれている。
The suction force of the suction device connected to the electrode chamber 2 is set for the purpose of suctioning a relatively light gas such as ozone. Therefore, the relatively heavy crystalline foreign matter cannot be sucked, and flows out from the electrode chamber 2 together with the accompanying flow generated by the transport of the film F.
The entrained flow contains not only the crystalline foreign matter but also a gas such as ozone that could not be completely sucked.

この実施形態では、上記放電電極4よりも上記フィルムFの搬送方向の下流側に、同伴流に含まれるガスや結晶状異物を吸引する吸引手段Vが備えられている。
この吸引手段Vは、上記処理ローラ1に対向配置した吸引ボックス6と、この吸引ボックス6に接続される図示しない吸引機からなる。
In this embodiment, a suction means V for sucking gas or crystalline foreign matter contained in the entrained flow is provided downstream of the discharge electrode 4 in the transport direction of the film F.
The suction means V is composed of a suction box 6 arranged to face the processing roller 1 and a suction device (not shown) connected to the suction box 6.

この吸引ボックス6は、上記処理ローラ1の軸方向長さにほぼ等しくするとともに、上記処理ローラ1に対向する対向面6aを備え、この対向面6aの曲率を処理ローラ1の曲率とほぼ等しくしている。そして、この対向面6aには、複数の小孔7を形成している。また、この吸引ボックス6は、配管8及び10を介して吸引機に連続する排気口6bとを備えている。 The suction box 6 has a length substantially equal to the axial length of the processing roller 1 and includes a facing surface 6a facing the processing roller 1. The facing surface 6a has a curvature substantially equal to that of the processing roller 1. ing. A plurality of small holes 7 are formed on the facing surface 6a. Further, the suction box 6 is provided with an exhaust port 6b which is continuous with the suction machine via the pipes 8 and 10.

上記吸引ボックス6に接続した吸引機を作動させて、吸引ボックス6内を負圧にするとともに、高速で移動するフィルムFの表面に同伴する同伴流に含まれるガスや結晶状異物を、上記吸引ボックス6の内部に吸い込む。
このように、吸引手段Vを電極チャンバ2とは別にしたので、吸引手段Vの吸引力を上げて、同伴流に含まれるガスや結晶状異物を除去できる。
The suction machine connected to the suction box 6 is operated to make the inside of the suction box 6 a negative pressure, and the gas and the crystalline foreign matter contained in the entrained flow accompanying the surface of the film F moving at high speed are sucked into Inhale inside Box 6.
Since the suction means V is separated from the electrode chamber 2 in this way, the suction force of the suction means V can be increased to remove the gas and crystalline foreign matter contained in the entrained flow.

さらに、この吸引ボックス6は、図2に示す移動レール9,9上を移動可能に設けられ、吸引ボックス6を、処理ローラ1で搬送されるフィルムFと対向するセット位置と、処理フィルムFから退避するオフセット位置との間で移動可能にしている。
したがって、搬送ラインにフィルムFをセットするとき、当該吸引手段Vをオフセット位置に退避させておけば、作業がやりやすくなる。そして、フィルムFを搬送ラインにセットした後は、吸引手段Vをセット位置に復帰させれば、オゾン等のガスとともに結晶状異物を除去することができる。
Further, the suction box 6 is movably provided on the moving rails 9 shown in FIG. 2, and the suction box 6 is set at a set position facing the film F conveyed by the processing roller 1 and from the processing film F. It is movable between the retracted offset position.
Therefore, when the film F is set on the transport line, the work can be facilitated if the suction means V is retracted to the offset position. Then, after the film F is set on the transport line, the crystalline foreign matter can be removed together with a gas such as ozone by returning the suction means V to the set position.

なお、図中符号11は、上記吸引ボックス6よりも、フィルムFの搬送方向下流側に設けたニップローラで、フィルムFを処理ローラ1に押し付けるものである。このニップローラ11でフィルムFを処理ローラ1に押し付けておけば、吸引手段Vの吸引力を上げても、フィルムFが処理ローラ1と上記対向面6aとの間でバタついたりしない。
また、符号12は、フィルムFの搬送過程でのたるみを押えたり、搬送方向を転換したりするガイドローラである。
Reference numeral 11 in the drawing denotes a nip roller provided on the downstream side of the suction box 6 in the transport direction of the film F, and presses the film F against the processing roller 1. If the film F is pressed against the processing roller 1 by the nip roller 11, the film F will not flutter between the processing roller 1 and the facing surface 6a even if the suction force of the suction means V is increased.
Further, reference numeral 12 is a guide roller that holds slack in the process of transporting the film F and changes the transport direction.

そして、この実施形態では、吸引手段Vで結晶状異物を取り除くことができるので、ニップローラ11やガイドローラ12に、上記結晶状異物が付着したりしない。
ニップローラ11やガイドローラ12に結晶状異物が付着しないので、例えば、その付着物を取り除くために、ニップローラ11やガイドローラ12を短期間で清掃しなくてもよくなる。言い換えると、それらローラ11,12を清掃するために、搬送ラインを止めなくてもよくなる。
In this embodiment, since the crystalline foreign matter can be removed by the suction means V, the crystalline foreign matter does not adhere to the nip roller 11 or the guide roller 12.
Since the crystalline foreign matter does not adhere to the nip roller 11 and the guide roller 12, for example, it is not necessary to clean the nip roller 11 and the guide roller 12 in a short period of time in order to remove the adhered matter. In other words, the transport line does not have to be stopped in order to clean the rollers 11 and 12.

放電処理過程において生成されるガスや結晶などの結晶状異物を除去する場合に有用である。 This is useful when removing crystalline foreign substances such as gas and crystals generated in the discharge treatment process.

F…フィルム、1…処理ローラ、2…電極チャンバ、2a…開口部、2c…排気口、4…放電電極、6…吸引ボックス、6a…対向面、6b…排気口、7…吸引口、11…ニップローラ、12…ガイドローラ F... Film, 1... Processing roller, 2... Electrode chamber, 2a... Opening part, 2c... Exhaust port, 4... Discharge electrode, 6... Suction box, 6a... Opposing surface, 6b... Exhaust port, 7... Suction port, 11 … Nip rollers, 12… Guide rollers

Claims (2)

処理ローラと、この処理ローラに対向する放電電極と、この放電電極を囲う電極チャンバとを設け、上記処理ローラと上記放電電極との間で放電させて、上記処理ローラに沿って搬送されるフィルムの表面を改質する表面改質装置であって、
上記放電電極よりも上記フィルムの搬送方向の下流側に、同伴流に含まれるガスや結晶状異物を吸引する吸引手段が備えられ
上記吸引手段は、
上記処理ローラに対向配置された吸引ボックスと、この吸引ボックスに接続された吸引機とからなり、
上記吸引ボックスは、
上記処理ローラの曲率に沿って処理ローラと対向する曲面からなる対向面を備えるとともに、上記対向面には、その全面に亘って複数の小孔が形成された表面改質装置。
A processing roller, a discharge electrode facing the processing roller, and an electrode chamber surrounding the discharge electrode are provided, a film is discharged along the processing roller by causing discharge between the processing roller and the discharge electrode. A surface modification device for modifying the surface of
Downstream of the discharge electrode in the transport direction of the film, a suction means for sucking gas or crystalline foreign matter contained in the entrained flow is provided ,
The suction means is
Consisting of a suction box arranged to face the processing roller, and a suction machine connected to this suction box,
The suction box is
A surface reforming apparatus having a facing surface formed of a curved surface facing the processing roller along the curvature of the processing roller, and having a plurality of small holes formed on the entire facing surface .
上記吸引手段は、処理ローラで搬送されるフィルムと対向するセット位置と、処理ローラで搬送されるフィルムから退避するオフセット位置との間で移動可能にされた請求項1に記載の表面改質装置。 The surface reforming apparatus according to claim 1, wherein the suction means is movable between a set position facing the film conveyed by the processing roller and an offset position retracted from the film conveyed by the processing roller. ..
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