JP2018024928A - 隔膜部材 - Google Patents
隔膜部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018024928A JP2018024928A JP2016158780A JP2016158780A JP2018024928A JP 2018024928 A JP2018024928 A JP 2018024928A JP 2016158780 A JP2016158780 A JP 2016158780A JP 2016158780 A JP2016158780 A JP 2016158780A JP 2018024928 A JP2018024928 A JP 2018024928A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- case body
- electrode
- diaphragm member
- electrode holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/002—Cell separation, e.g. membranes, diaphragms
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
Description
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、隔膜に水圧が発生しても隔膜がケース体から剥がれるのを抑制することができる隔膜部材を提供することを目的とする。
(1)電極保持部を有するケース体と、前記電極保持部に電極を導入する導入口を有して、前記ケース体に取り付けられた隔膜と、を備え、前記電極保持部は、前記ケース体の平面壁部と前記平面壁部の周縁部が折り返された折返部とで構成され、前記隔膜は、前記電極保持部に保持される電極及び前記電極保持部を覆うと共に、前記平面壁部で前記ケース体に取り付けられている隔膜部材。
(2)前記折返部には前記電極と接触する突起部を更に備える(1)の隔膜部材。
(3)前記ケース体及び前記隔膜で袋状体を構成している(1)又は(2)の隔膜部材。
図1は、本発明の実施形態に関わる隔膜部材を説明するための概念斜視図である。図2は、図1に示す隔膜部材1の隔膜20をケース本体10から取り外した時の構造を示す概念斜視図である。図3は、図1のA方向から見た本発明の実施形態に関わる隔膜部材1の上面図である。図4は、図1のB、C及びD方向から見たケース体10の折返部10A2近傍の側面図である。
本発明の実施形態に関わる隔膜部材1は、図1から図4に示すように、電極保持部10Aを有するケース体10と、前記電極保持部10Aに電極30を導入する導入口10Bを有して、前記ケース体10に取り付けられた隔膜20と、を備え、前記電極保持部10Aは、前記ケース体10の平面壁部10A1と前記平面壁部10A1の周縁部が折り返された折返部10A2とで構成され、前記隔膜20は、前記電極保持部10Aに保持される電極30及び前記電極保持部10Aを覆うと共に、前記平面壁部10A1で前記ケース体10に取り付けられていることを特徴とする。
このように、本発明の実施形態に関わる隔膜部材1は、隔膜20が平面壁部10A1で前記ケース体10に取り付けられているため、めっき液から隔膜部材を取り出す際に、隔膜部材内側に残存するめっき液によって、隔膜部材内側から外側に向かって隔膜に水圧が発生した場合でも隔膜がケース体から剥がれるのを抑制することができる。
図5(a)に示すように、隔膜20が平面壁部10A1ではなく折返部10A2に取り付けられている場合は、めっき液から隔膜部材1を取り出す際に、隔膜部材内側に残存するめっき液によって、隔膜部材1内側から外側に向かって水圧P1が隔膜20に生じ、また、この水圧P1に伴って折返部10A2の取り付け端部O1部分に当該取り付けが剥がれる方向に応力P2が生じる。この応力P2によって隔膜20が折返部10A2から剥がれる又は剥がれないで取り付け端部O1を起点として隔膜20側が破れる等により、隔膜20に穴が開きやすくなると考えられる。なお、隔膜20に穴が開いた隔膜部材を再度めっきに使用する場合、めっき中に隔膜部材内側の電極周辺で発生するスラッジやガス(例えば、銅めっきである場合は酸素)が当該穴から基板側に流入しやすくなるため、基板のめっき不良等が発生しやすくなり好ましくない。
したがって、本発明は、隔膜に水圧が発生しても隔膜がケース体から剥がれるのを抑制することができる。
電極保持部10Aは、具体的には、ケース体10の電極を導入する導入口10Bとなる一辺(図1中、ケース体10のA方向の一辺)以外の三辺(図1中、ケース体10のB、C、D方向の三辺)の周縁部が隔膜20が設けられる方に向けて折り返された折返部10A2を有しており、折返部10A2の先端10A2aのケース本体10方向への垂直線H1と折返部10A2を有するケース本体10としての最周縁端部10A2bを通る前記垂直線H1と平行なケース本体10の平面壁部10A1方向への垂直線H2との間の領域のことをいう(図6参考)。
なお、電極保持部10Aにおいて「平面壁部10A1」は、隔膜20を取り付ける少なくとも外表面が平面(その外表面の任意の二点を通る直線がその外表面上にある面)である部位である。また、電極保持部10Aにおいて「折返部10A2」は、隔膜20を取り付ける平面壁部10A1の少なくとも外表面が平面でなくなった部分(図6中:境界線O3)から折返部10A2の先端10A2aまでの間の部位である。
また、本発明でいう「取り付ける」とは、接着剤や両面テープ等で接合することや、ヒートシールによって接合することを含む。なお、隔膜部材からの溶出やめっき液による接着剤の劣化等を考慮すると、ケース本体10と隔膜20との取り付けは、接着剤を使用しないヒートシールによる接合が好適である。
隔膜20の材質はめっき液に耐えられるものであり、隔膜部材内のめっき液中のガスやスラッジを通過させないものであれば特に限定されない。本実施形態では、ポリエチレンテレフタレート樹脂にポリフッ化ビニリデン樹脂をコーティングしたものが好適に用いられる。また、隔膜20の幅や高さはケース部材10の幅や高さに応じて適時設定される。また、隔膜20の厚さは、例えば、100μm〜400μmである。
電極30は、不溶性電極が好適に用いられる。
本発明に関わる隔膜部材1を用いて、めっき装置100に設置する場合は、電極30を陽極にし、かつ電極支持部材50に固定して、隔膜部材1の導入口10Bから電極30の両端部(図1でいうと方向B、方向Cの両端部)が電極保持部10Aに入るように、電極30及び電極支持部材50を隔膜部材1の導入口10Bから隔膜部材1内に導入し、図7に示すように、めっき液M中に、陰極である被めっき基板Wと対向するように浸漬して設置する。
なお、当該めっき液M中に浸漬した隔膜部材1を図示しない引上装置により引き上げる際、隔膜部材1の内部にはめっき液Mが残った状態になるが、この場合でも上述したように本実施形態に関わる隔膜部材1は、隔膜20が電極保持部10Aの平面壁部10A1に取り付けられているため、隔膜20がケース体10から剥がれるのを抑制することができる。
このような袋状体とすることで、めっき中、隔膜部材1内のガスやスラッジを含むめっき液の基板側への流入をより抑制することができる。
本実施形態に関わる隔膜部材は、図8に示すように、電極保持部10Aの折返部10A2の形状が一部異なる。その他は、上述した実施形態と同様であるため説明を省略する。
図8に示すように、前記折返部10A2には電極保持部10Aに導入された電極30に接触可能な突起部10ACを更に備えることが好ましい。
このような突起部10ACを備えることで電極保持部10Aに導入された電極30を折返部10A2で簡易的に固定することができる。更に、突起部10ACが存在することにより、必然的に、折返部10A2の先端10A2aが電極30方向(図8中α)に傾きやすくなるため、当該先端10A2aと隔膜20の接触が抑制され、当該先端10A2aによる隔膜20の破れ等を防止することができる。
図2に示すような形状に加工したポリ塩化ビニル樹脂製のケース体10(幅40cm、高さ100cm)と、ポリエチレンテレフタレート樹脂にポリフッ化ビニリデン樹脂をコーティングさせた厚さ200μmの隔膜20(横65cm、縦115cm)を準備し、ケース体10の導入口10B以外の3辺の電極保持部10Aの平面壁部10A1の外面にヒートシールにより隔膜20を接合し、袋状体である図1に示すような隔膜部材1を作成した。
その後、不溶性の電極30を電極支持部材50に固定して、隔膜部材1の導入口10Bから電極30の両端部(図1でいうと方向B、方向Cの両端部)が電極保持部10Aに入るように、電極30及び電極支持部材50を隔膜部材1の導入口10Bから隔膜部材1内に導入し、図7に示すように、めっき液M中に、被めっき基板Wと対向するように浸漬して設置し、被めっき基板Wに対して、所定時間、銅めっきを実施した。
その後、隔膜部材1に電極30及び電極支持部材50が導入された状態で隔膜部材1をめっき液Mから引き上げた。その際、隔膜部材1内部に残っていた体積(約48000cm3)のめっき液Mを隔膜部材1内部から排出し、かつ、隔膜部材1内から電極30及び電極支持部材50を取り出し、最後に、隔膜部材1を純水洗浄した。
純水洗浄した隔膜部材1に対して、ケース体10の導入口10B以外の3辺における隔膜20の剥がれ状況を目視で確認した。
図8に示すような突起部10ACを備える形状に加工したポリ塩化ビニル樹脂製のケース体10(幅40cm、高さ100cm)を用いて、その他は実施例1と同様な方法で袋状体である図1に示すような隔膜部材1を作成した。その後、実施例1と同様な方法で、銅めっき実施後、ケース体10の導入口10B以外の3辺における隔膜20の剥がれ状況を目視で確認した。
図2に示すような形状に加工したポリ塩化ビニル樹脂製のケース体10(幅40cm、高さ100cm)と、ポリエチレンテレフタレート樹脂にポリフッ化ビニリデン樹脂をコーティングさせた厚さ200μmの隔膜20(横65cm、縦115cm)を準備し、ケース体10の導入口10B以外の3辺の電極保持部10Aの折返部10A1の外面にヒートシールにより隔膜20を接合し、袋状体である図1に示すような隔膜部材1を作成した。
その後、実施例1と同様な方法で、銅めっき実施後、ケース体10の導入口10B以外の3辺における隔膜20の剥がれ状況を目視で確認した。
10 ケース本体
20 隔膜
30 電極(陽極)
10A 電極保持部
10B 導入口
10A1 平面壁部
10A2 折返部
10A2a 先端
10A2b 最周縁端部
10AC 突起部
100 めっき装置
50 電極支持部材
M めっき液
W 被めっき基板(陰極)
Claims (3)
- 電極保持部を有するケース体と、
前記電極保持部に電極を導入する導入口を有して、前記ケース体に取り付けられた隔膜と、を備え、
前記電極保持部は、前記ケース体の平面壁部と前記平面壁部の周縁部が折り返された折返部とで構成され、
前記隔膜は、前記電極保持部に保持される電極及び前記電極保持部を覆うと共に、前記平面壁部で前記ケース体に取り付けられている隔膜部材。 - 前記折返部には前記電極と接触する突起部を更に備える請求項1に記載の隔膜部材。
- 前記ケース体及び前記隔膜で袋状体を構成している請求項1又は2に記載の隔膜部材。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016158780A JP6754636B2 (ja) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | 隔膜部材 |
CN201710683109.3A CN107723783B (zh) | 2016-08-12 | 2017-08-10 | 隔膜构件 |
TW106127193A TWI732022B (zh) | 2016-08-12 | 2017-08-11 | 隔膜構件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016158780A JP6754636B2 (ja) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | 隔膜部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018024928A true JP2018024928A (ja) | 2018-02-15 |
JP6754636B2 JP6754636B2 (ja) | 2020-09-16 |
Family
ID=61195055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016158780A Active JP6754636B2 (ja) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | 隔膜部材 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6754636B2 (ja) |
CN (1) | CN107723783B (ja) |
TW (1) | TWI732022B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020152960A (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | 株式会社ユアサメンブレンシステム | 隔膜部材 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5184308B2 (ja) * | 2007-12-04 | 2013-04-17 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置及びめっき方法 |
US8575028B2 (en) * | 2011-04-15 | 2013-11-05 | Novellus Systems, Inc. | Method and apparatus for filling interconnect structures |
TWI534302B (zh) * | 2013-09-30 | 2016-05-21 | 欣興電子股份有限公司 | 隔膜裝置 |
CN104562162B (zh) * | 2013-10-21 | 2018-03-23 | 欣兴电子股份有限公司 | 隔膜装置 |
-
2016
- 2016-08-12 JP JP2016158780A patent/JP6754636B2/ja active Active
-
2017
- 2017-08-10 CN CN201710683109.3A patent/CN107723783B/zh active Active
- 2017-08-11 TW TW106127193A patent/TWI732022B/zh active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020152960A (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | 株式会社ユアサメンブレンシステム | 隔膜部材 |
CN111719175A (zh) * | 2019-03-20 | 2020-09-29 | 汤浅薄膜系统株式会社 | 隔膜构件 |
JP7256042B2 (ja) | 2019-03-20 | 2023-04-11 | 株式会社ユアサメンブレンシステム | 隔膜部材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201805488A (zh) | 2018-02-16 |
JP6754636B2 (ja) | 2020-09-16 |
TWI732022B (zh) | 2021-07-01 |
CN107723783B (zh) | 2021-08-24 |
CN107723783A (zh) | 2018-02-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4822858B2 (ja) | めっき装置 | |
TWI702311B (zh) | 半導體電鍍設備用唇形密封及接觸元件 | |
MY155100A (en) | Electrolytic cell and method of use thereof | |
JP2018145524A (ja) | 電気メッキのための幅広リップシール | |
JP6754636B2 (ja) | 隔膜部材 | |
TWI678436B (zh) | 電鍍設備 | |
TW201333272A (zh) | 用於電化學處理器的接觸環 | |
US20170077472A1 (en) | Gas permeable member and gas permeable container | |
JP2016042464A (ja) | 二次電池 | |
CN107419320B (zh) | 具有几何电解液流动路径的电镀处理器 | |
US9598788B2 (en) | Electroplating apparatus with contact ring deplating | |
JP6309243B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP6596187B1 (ja) | 隔膜−ガスケット−保護部材複合体、電解エレメント、及び電解槽 | |
JPWO2015182678A1 (ja) | 配線基板 | |
TW201129275A (en) | Fabrication method of multi-layer printed-wiring board, substrate holder, and shielding plate | |
US20180087170A1 (en) | Wet Surface Treatment Apparatus | |
TW201928121A (zh) | 電鍍裝置及其壓力艙 | |
JP6369544B2 (ja) | めっき装置 | |
JP6607001B2 (ja) | めっき装置およびめっき方法 | |
TWI741320B (zh) | 電漿處理裝置用構件 | |
JP6411093B2 (ja) | 電気化学式ガスセンサおよびガス検知器 | |
JP2007019238A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5992793B2 (ja) | ガルバニ電池式ガスセンサおよびガルバニ電池式ガスセンサの陽極の作製方法並びにガス検知器 | |
JP5488384B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2012082447A (ja) | 基板処理装置および方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160905 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190423 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200410 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200803 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200824 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6754636 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |