JP2018021836A5 - - Google Patents

Description

また、従来の角度走査型Ｘ線回折装置では、ゴニオメータ１７が故障した場合、試料ホルダ１３を回転駆動するゴニオメータ１７の内周部等、試料Ｓに近い機構部分の修理が必要になる場合がある。試料Ｓが放射性物質である場合、試料Ｓに近い機構部分の修理は必然的にホットセル内での作業になり、非常に面倒で手間が掛かる。また、試料Ｓに近い位置から取り外された機構部品には放射線物質の粉末などが付着しているおそれがあるため、こうした部品等の処置も非常に面倒である。

また上記課題を解決するために成された本発明の第２の態様は、試料にＸ線を照射し該試料で回折された回折Ｘ線を検出するＸ線回折装置であって、
a)連続Ｘ線を試料に照射するＸ線照射部と、
b)前記Ｘ線照射部からのＸ線の照射に対して前記試料で回折されたＸ線を通過させる開口を有するスリットと、
c)前記スリットを通過したあと拡がる回折Ｘ線を反射しつつ波長分散する湾曲分光結晶と、
d)前記湾曲分光結晶により波長分散された回折Ｘ線のうち該湾曲分光結晶において特定の方向に回折されたＸ線の強度を検出するＸ線検出部と、
e)前記湾曲分光結晶へ入射する回折Ｘ線と該結晶面との成す角度と該結晶で回折して前記Ｘ線検出部へと向かうＸ線と該結晶面との成す角度とを一定の関係に保ちつつ、前記湾曲分光結晶及び前記Ｘ線検出器をそれぞれ回動させる波長走査部と、
を備えることを特徴としている。

Ｘ線入射窓２２ａの外側には、連続Ｘ線を出射するＸ線管２０が配置され、一方、Ｘ線出射窓２２ｂの外側には平板分光結晶２６が配置されている。また、平板分光結晶２６の結晶面に対向する位置に、多数の微小Ｘ線検出素子が一次元的に配列されてなるＸ線検出部２７が配置されている。Ｘ線検出部２７で得られた検出信号はアンプ２８を通してデータ処理部２９に送られる。

Claims (6)

1. 試料にＸ線を照射し該試料で回折された回折Ｘ線を検出するＸ線回折装置であって、
   a)連続Ｘ線を試料に照射するＸ線照射部と、
   b)前記Ｘ線照射部からのＸ線の照射に対して前記試料で回折されたＸ線を通過させる開口を有するスリットと、
   c)前記スリットを通過したあと拡がる回折Ｘ線を反射しつつ波長分散する平板分光結晶と、
   d)前記平板分光結晶による波長分散方向に配列された複数の微小Ｘ線検出素子からなり、該平板分光結晶により波長分散された回折Ｘ線の波長毎のＸ線強度をそれぞれ検出するＸ線検出部と、
   を備えることを特徴とするＸ線回折装置。
2. 試料にＸ線を照射し該試料で回折された回折Ｘ線を検出するＸ線回折装置であって、
   a)連続Ｘ線を試料に照射するＸ線照射部と、
   b)前記Ｘ線照射部からのＸ線の照射に対して前記試料で回折されたＸ線を通過させる開口を有するスリットと、
   c)前記スリットを通過したあと拡がる回折Ｘ線を反射しつつ波長分散する湾曲分光結晶と、
   d)前記湾曲分光結晶により波長分散された回折Ｘ線のうち該湾曲分光結晶において特定の方向に回折されたＸ線の強度を検出するＸ線検出部と、
   e)前記湾曲分光結晶へ入射する回折Ｘ線と該結晶面との成す角度と該結晶で回折して前記Ｘ線検出部へと向かうＸ線と該結晶面との成す角度とを一定の関係に保ちつつ、前記湾曲分光結晶及び前記Ｘ線検出器をそれぞれ回動させる波長走査部と、
   を備えることを特徴とするＸ線回折装置。
3. 試料にＸ線を照射し該試料で回折された回折Ｘ線を検出するＸ線回折装置であって、
   a)連続Ｘ線を試料に照射するＸ線照射部と、
   b)前記Ｘ線照射部からのＸ線の照射に対して前記試料で回折されたＸ線を通過させる開口を有するスリットと、
   c)前記スリットを通過したあと拡がる回折Ｘ線を平行化させるマルチキャピラリＸ線レンズと、
   d)前記マルチキャピラリＸ線レンズで平行化された回折Ｘ線を反射しつつ波長分散する平板分光結晶と、
   e)前記平板分光結晶により波長分散された回折Ｘ線のうち該平板分光結晶において特定の方向に回折されたＸ線の強度を検出するＸ線検出部と、
   f)前記平板分光結晶へ入射する回折Ｘ線と該結晶面との成す角度と該結晶で回折して前記Ｘ線検出部へと向かうＸ線と該結晶面との成す角度とを一定の関係に保ちつつ、前記平板分光結晶及び前記Ｘ線検出器をそれぞれ回動させる波長走査部と、
   を備えることを特徴とするＸ線回折装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載のＸ線回折装置であって、
   前記Ｘ線照射部から前記試料に向かう入射Ｘ線が通過する入射側開口と、該試料で回折し前記平板分光結晶又は湾曲分光結晶に向かうＸ線が通過する出射側開口とが設けられ、前記試料が収納される試料室をさらに備えることを特徴とするＸ線回折装置。
5. 請求項４に記載のＸ線回折装置であって、
   前記試料室は放射線遮蔽作用を有する材料から成り、前記入射側開口及び前記出射側開口には、放射線透過性を有し気体の流通を阻止する材料から成る窓が取り付けられていることを特徴とするＸ線回折装置。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載のＸ線回折装置であって、
   前記平板分光結晶又は前記湾曲分光結晶として結晶面間隔の相違する複数のものが切り替え可能であることを特徴とするＸ線回折装置。