JP2018008307A - 光加工装置及び光加工物の生産方法 - Google Patents

光加工装置及び光加工物の生産方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2018008307A
JP2018008307A JP2016140651A JP2016140651A JP2018008307A JP 2018008307 A JP2018008307 A JP 2018008307A JP 2016140651 A JP2016140651 A JP 2016140651A JP 2016140651 A JP2016140651 A JP 2016140651A JP 2018008307 A JP2018008307 A JP 2018008307A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
processing
processed
mark
detection
workpiece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2016140651A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2018008307A5 (enExample
Inventor
中島 智宏
Tomohiro Nakajima
智宏 中島
古賀 昇
Noboru Koga
昇 古賀
杉浦 康一
Koichi Sugiura
康一 杉浦
涼真 中村
Ryoma Nakamura
涼真 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP2016140651A priority Critical patent/JP2018008307A/ja
Publication of JP2018008307A publication Critical patent/JP2018008307A/ja
Publication of JP2018008307A5 publication Critical patent/JP2018008307A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)
JP2016140651A 2016-07-15 2016-07-15 光加工装置及び光加工物の生産方法 Pending JP2018008307A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016140651A JP2018008307A (ja) 2016-07-15 2016-07-15 光加工装置及び光加工物の生産方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016140651A JP2018008307A (ja) 2016-07-15 2016-07-15 光加工装置及び光加工物の生産方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018008307A true JP2018008307A (ja) 2018-01-18
JP2018008307A5 JP2018008307A5 (enExample) 2019-03-28

Family

ID=60994775

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016140651A Pending JP2018008307A (ja) 2016-07-15 2016-07-15 光加工装置及び光加工物の生産方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2018008307A (enExample)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109604839A (zh) * 2018-12-28 2019-04-12 湖北山色新材料科技有限公司 一种具有调节功能的软瓷切割装置
WO2019151239A1 (ja) * 2018-01-31 2019-08-08 株式会社ニコン 加工システム、加工方法、コンピュータプログラム、記録媒体及び制御装置
CN110560925A (zh) * 2019-08-27 2019-12-13 江苏华风电子有限公司 一种通过光照自动定位并割膜装置及工艺
WO2021161422A1 (ja) * 2020-02-12 2021-08-19 株式会社ニコン 加工システム及び載置装置
JP2021158303A (ja) * 2020-03-30 2021-10-07 株式会社ディスコ レーザー加工装置
WO2021220456A1 (ja) * 2020-04-30 2021-11-04 株式会社ニコン 加工システム

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002361464A (ja) * 2001-05-31 2002-12-18 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工方法および装置
JP2004216436A (ja) * 2003-01-16 2004-08-05 Canon Sales Co Inc レーザ加工方法、レーザ加工位置の補正方法及びレーザ加工装置
JP2005088045A (ja) * 2003-09-17 2005-04-07 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ穴あけ方法及び装置
JP2014121727A (ja) * 2012-12-21 2014-07-03 Mitsubishi Materials Corp レーザ加工装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002361464A (ja) * 2001-05-31 2002-12-18 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工方法および装置
JP2004216436A (ja) * 2003-01-16 2004-08-05 Canon Sales Co Inc レーザ加工方法、レーザ加工位置の補正方法及びレーザ加工装置
JP2005088045A (ja) * 2003-09-17 2005-04-07 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ穴あけ方法及び装置
JP2014121727A (ja) * 2012-12-21 2014-07-03 Mitsubishi Materials Corp レーザ加工装置

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7251484B2 (ja) 2018-01-31 2023-04-04 株式会社ニコン 加工システム、加工方法、コンピュータプログラム、記録媒体及び制御装置
WO2019151239A1 (ja) * 2018-01-31 2019-08-08 株式会社ニコン 加工システム、加工方法、コンピュータプログラム、記録媒体及び制御装置
JPWO2019151239A1 (ja) * 2018-01-31 2021-02-12 株式会社ニコン 加工システム、加工方法、コンピュータプログラム、記録媒体及び制御装置
EP3747635A4 (en) * 2018-01-31 2021-10-06 Nikon Corporation PROCESSING SYSTEM, PROCESSING METHOD, COMPUTER PROGRAM, RECORDING MEDIA AND CONTROL DEVICE
US12162070B2 (en) 2018-01-31 2024-12-10 Nikon Corporation Processing system, processing method, computer program, recording medium, and control apparatus
CN109604839A (zh) * 2018-12-28 2019-04-12 湖北山色新材料科技有限公司 一种具有调节功能的软瓷切割装置
CN110560925A (zh) * 2019-08-27 2019-12-13 江苏华风电子有限公司 一种通过光照自动定位并割膜装置及工艺
CN110560925B (zh) * 2019-08-27 2022-01-21 江苏华风电子有限公司 一种通过光照自动定位并割膜装置及工艺
WO2021161422A1 (ja) * 2020-02-12 2021-08-19 株式会社ニコン 加工システム及び載置装置
JP2021158303A (ja) * 2020-03-30 2021-10-07 株式会社ディスコ レーザー加工装置
JP7523932B2 (ja) 2020-03-30 2024-07-29 株式会社ディスコ レーザー加工装置
US12151312B2 (en) 2020-03-30 2024-11-26 Disco Corporation Laser processing apparatus
TWI887381B (zh) * 2020-03-30 2025-06-21 日商迪思科股份有限公司 雷射加工裝置
WO2021220456A1 (ja) * 2020-04-30 2021-11-04 株式会社ニコン 加工システム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2018008307A (ja) 光加工装置及び光加工物の生産方法
JP6278451B2 (ja) マーキング装置およびパターン生成装置
US9791411B2 (en) Processing apparatus including a three-dimensional interferometric imager
TWI682823B (zh) 光學加工裝置
JP2002361463A (ja) 加工装置および加工方法
JP5201311B2 (ja) レーザ加工方法および装置
TWI622446B (zh) 光學加工裝置及光學加工物的製造方法
TW201315554A (zh) 雷射加工裝置及雷射加工方法
JP5224343B2 (ja) レーザ加工装置
CN106475681B (zh) 光加工装置和光加工物的生产方法
JP6761590B2 (ja) 光加工装置
TWI601591B (zh) 光學加工裝置
CN206230183U (zh) 光加工装置
JP5349352B2 (ja) レーザ光状態検査方法及び装置、レーザ加工方法及び装置並びにソーラパネル製造方法
JP2018140419A (ja) 光加工装置及び光加工物の生産方法
JP2004170455A (ja) レーザ加工装置、レーザ加工システム及び太陽電池
WO2016147977A1 (ja) 描画装置
WO2014148333A1 (ja) 検出装置、レーザー光照射装置、及び光学部材貼合体の製造装置
JP5274404B2 (ja) レーザ加工装置及びレーザ加工方法
JPWO2014024803A1 (ja) 光学表示デバイスの生産システム及び光学表示デバイスの生産方法
JP6013708B2 (ja) 姿勢修正装置
JP2017109221A (ja) レーザ加工装置
JP5253217B2 (ja) 基板アライメント方法、基板アライメント装置、レーザ加工裝置及びソーラパネル製造方法
JP2008126237A (ja) レーザ加工装置
JP2017056468A (ja) 処理装置及び処理システム

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190213

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190522

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200713

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200717

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20210212