JP2018004923A - 半導体装置、電子部品、および電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】環境変化に即時に対応できる半導体装置を提供すること。【解決手段】アプリケーションプロセッサは、照度に応じて表示の変更を行うための演算パラメータを生成する機能、およびコンテキスト切り替え信号を生成する。コンフィギュレーションコントローラは、演算パラメータに応じた第1のコンフィギュレーションデータを生成する機能、および仮のパラメータに応じた複数の第2のコンフィギュレーションデータを生成する機能を有する。コンフィギュレーションメモリアレイは、コンテキスト切り替え信号の制御によって、複数の第2のコンフィギュレーションデータのいずれか一に応じた出力信号に設定変更を行い、その後、コンフィギュレーションコントローラの制御によって更新された第1のコンフィギュレーションデータに応じた出力信号に設定変更を行う。【選択図】図1

Description

本発明の一態様は、半導体装置、電子部品、および電子機器に関する。
プログラマブルロジックデバイス(PLD:Programmable Logic Device)は、複数のプログラマブルロジックエレメント(PLE:Programmable Logic Element)を有する。PLEでは、コンフィギュレーションデータをコンフィギュレーションメモリ内に格納している。
マルチコンテキスト方式のPLDが提案されている(例えば、非特許文献1)。マルチコンテキスト方式とは、PLDに、複数の機能に対応するコンフィギュレーションデータを複数格納し、使用するコンフィギュレーションデータを切り替えることでPLDの機能を切り替える方式である。
H. M. Waidyasooriya et al., "Implementation of a partially Reconfigurable Multi−Context FPGA Based on Asynchronous Architecture", IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E92−C, pp.539−549, 2009
環境の変化に即時に対応してディスプレイに画像処理された画像データを供給できる半導体装置が求められている。この場合、環境の変化に即時に対応して画像データを画像処理するためのパラメータを変化させる必要がある。
画像データを画像処理するためのパラメータを変更させる場合、環境の変化に応じたパラメータを演算する必要がある。このパラメータの演算は時間を要そまた、演算して得られたパラメータを更新するにも時間を要するため、環境の変化に対して即時的にパラメータを変更することが困難である。
本発明の一態様は、環境の変化に即時に対応して画像データを画像処理するためのパラメータを変化させることができる、半導体装置の提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、低消費電力化を実現できる半導体装置の提供することを課題の一とする。
本発明の一態様は、センサと、アプリケーションプロセッサと、コンフィギュレーションコントローラと、コンフィギュレーションメモリアレイと、画像プロセッサと、を有し、センサは、照度を検出する機能を有し、アプリケーションプロセッサは、照度に応じて表示の変更を行うための演算パラメータを生成する機能、およびコンテキスト切り替え信号を生成する機能を有し、コンフィギュレーションコントローラは、演算パラメータに応じた第1のコンフィギュレーションデータを生成する機能、および仮のパラメータに応じた複数の第2のコンフィギュレーションデータを生成する機能を有し、コンフィギュレーションメモリアレイは、コンテキスト切り替え信号の制御によって、複数の第2のコンフィギュレーションデータのいずれか一に応じた第1の出力信号を画像プロセッサに出力する機能と、コンフィギュレーションコントローラの制御によって更新された第1のコンフィギュレーションデータに応じた第2の出力信号を画像プロセッサに出力する機能と、を有する半導体装置である。
本発明の一態様において、コンフィギュレーションメモリアレイは、複数のコンフィギュレーションメモリを有し、コンフィギュレーションメモリは、第1の電荷保持回路と、第2の電荷保持回路と、第1のスイッチと、第2のスイッチと、バッファ回路と、を有し、第1の電荷保持回路および第2の電荷保持回路は、それぞれ第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、を有し、第1のトランジスタおよび第2のトランジスタは、それぞれチャネル形成領域となる半導体層に酸化物半導体を有し、第1のトランジスタのソースまたはドレインの一方は、第2のトランジスタのゲートに電気的に接続され、第2のトランジスタのソースまたはドレインの一方は、第1のスイッチの一方の端子または第2のスイッチの一方の端子に電気的に接続され、第1のスイッチの他方の端子は、第2のスイッチの他方の端子に電気的に接続され、第1のスイッチの他方の端子および第2のスイッチの他方の端子は、バッファ回路の入力端子に電気的に接続され、第1のスイッチの一方の端子の静電容量は、バッファ回路の入力端子の静電容量より大きく、第2のスイッチの一方の端子の静電容量は、バッファ回路の入力端子の静電容量より大きい半導体装置が好ましい。
本発明の一態様において、第1のスイッチおよび第2のスイッチのオンまたはオフは、コンテキスト切り替え信号によって制御される半導体装置が好ましい。
本発明の一態様において、第1のスイッチおよび第2のスイッチは、それぞれ第3のトランジスタを有し、第3のトランジスタは、チャネル形成領域となる半導体層にシリコンを有する半導体装置が好ましい。
本発明の一態様において、第1のトランジスタおよび第2のトランジスタは、第3のトランジスタの上層に設けられる半導体装置が好ましい。
本発明の一態様において、半導体装置は、第1の容量素子および第2の容量素子を有し、第1の容量素子の静電容量は、第1のスイッチの一方の端子の静電容量であり、第2の容量素子の静電容量は、第2のスイッチの一方の端子の静電容量であり、第1の容量素子および第2の容量素子は、第1のトランジスタおよび第2のトランジスタの上層に設けられると好ましい。
なおその他の本発明の一態様については、以下で述べる実施の形態における説明、および図面に記載されている。
本発明の一態様は、環境の変化に即時に対応して画像データを画像処理するためのパラメータを変化させることができる、半導体装置の提供することができる。本発明の一態様は、低消費電力化を実現できる半導体装置の提供することができる。
本発明の一態様を説明するブロック図。 本発明の一態様を説明するブロック図。 本発明の一態様を説明する回路図。 トランジスタの特性を説明するグラフ。 トランジスタの特性を説明するグラフ。 トランジスタの特性を説明するグラフ。 本発明の一態様を説明する回路図。 本発明の一態様を説明するタイミングチャート。 本発明の一態様を説明するフローチャート。 本発明の一態様を説明するタイミングチャート。 本発明の一態様を説明する模式図。 本発明の一態様を説明する断面模式図。 本発明の一態様を説明する断面模式図。 本発明の一態様を説明するブロック図。 本発明の一態様を説明する断面模式図、回路図、模式図。 本発明の一態様を説明する模式図および状態遷移図。 電子部品の作製方法例を説明するフローチャートおよび電子部品の構成例を説明する斜視模式図。 電子機器を説明する図。
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明の一態様は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
<半導体装置の構成例>
本発明の一態様の半導体装置の構成について説明する。なお本発明の一態様の半導体装置は、センサの出力の変化に応じてコンフィギュレーションデータとして記憶された画像処理に用いるパラメータを切り替える機能を有する。
図1には、半導体装置のブロック図を示す。図1のブロック図には、センサ101、アプリケーションプロセッサ102、コンフィギュレーションコントローラ103、コンフィギュレーションメモリアレイ104、および画像プロセッサ105を図示している。
センサ101は、アプリケーションプロセッサ(Application Processor)と接続されている。
図1において1個のセンサを図示しているが、複数のセンサを有していてもよい。センサ101は、使用する環境の変化を検出可能なセンサ、照度センサなどがあげられる。他にも温度センサ、圧力センサ、加速度センサ、歪センサ等の各種センサを用いることができる。
センサ101は、使用する環境の変化に関するデータDsensorをアプリケーションプロセッサ102に出力する機能を有する。センサ101からアプリケーションプロセッサ102へのデータ転送は、例えばI2C(Inter Integrated Circuit)の通信規格を用いることができる。
アプリケーションプロセッサ102は、センサ101の他、コンフィギュレーションコントローラ103、及びコンフィギュレーションメモリアレイ104に接続されている。
アプリケーションプロセッサ102は、センサ101からのデータDsensorを用いて使用する環境の変化を判定する機能を有する。
アプリケーションプロセッサ102は、使用する環境の変化があったと判定した時、変化後の使用環境に合わせた調光または調色等の画像処理に用いるパラメータ(P)を演算する機能を有する。この適切なパラメータ(P)は、演算によって高精度で求められるパラメータであり、演算パラメータあるいはパラメータPともいう。
アプリケーションプロセッサ102は、パラメータPをコンフィギュレーションコントローラ103との間で用いる通信規格に則ったデータ形式(データDComp)に変換し、そのデータDCompをコンフィギュレーションのタイミングの情報と共にコンフィギュレーションコントローラ103に出力する機能を有する。
ここではアプリケーションプロセッサ102からコンフィギュレーションコントローラ103へのデータDCompの出力にI2Cの通信規格を用いるものとする。
アプリケーションプロセッサ102は、パラメータPの演算と並行して、コンフィギュレーションメモリアレイ104に予め書き込まれたパラメータ(P)からパラメータPに最も近いものを選択する機能を有する。アプリケーションプロセッサ102は、選択したパラメータ(P)に対応したコンテキスト切り替え信号ctx、ctxbをコンフィギュレーションメモリアレイ104に出力する機能を有する。このパラメータ(P)は、後述するように単純な大小比較演算のみで求められるパラメータであり、仮のパラメータあるいはパラメータPともいう。
パラメータPは、単純な大小比較演算のみで求められる。そのため、パラメータPの選択に要する時間は、演算によって求めるパラメータPの演算時間と比較して非常に短い。
コンフィギュレーションコントローラ103は、アプリケーションプロセッサ102及びコンフィギュレーションメモリアレイ104と接続されている。
コンフィギュレーションコントローラ103は、アプリケーションプロセッサ102から出力されるパラメータPのデータとタイミングの情報に応じてコンフィギュレーションデータ信号線data、コンフィギュレーションデータ信号線dataの相補信号線datab、及び書き込み制御信号線wlに信号を与える機能を有する。そしてコンフィギュレーションコントローラ103は、コンフィギュレーションメモリアレイ104をアプリケーションプロセッサ102によって指定されたタイミングでコンフィギュレーション動作を実行する機能を有する。
コンフィギュレーションデータ信号線data、コンフィギュレーションデータ信号線dataの相補信号線datab、及び書き込み制御信号線wlのビット幅は、コンフィギュレーションメモリアレイ104のコンフィギュレーションメモリの数、またはコンテキスト数に応じて適宜変更することができる。
コンフィギュレーションメモリアレイ104は、コンフィギュレーションコントローラ103及び画像プロセッサ105と接続されている。
コンフィギュレーションメモリアレイ104は、コンフィギュレーションメモリアレイ104が有するコンフィギュレーションメモリに書き込まれたコンフィギュレーションデータをもとに画像プロセッサ105に画像処理で用いるパラメータP[N:0]を出力する機能を有する。
パラメータPのビット幅は、0からNまでのN+1としている。なおNは自然数である。
コンフィギュレーションメモリアレイ104は、アプリケーションプロセッサ102からのコンテキスト切り替え信号ctx、ctxbをもとにコンテキストが切り替えられる機能を有する。
画像プロセッサ105は、コンフィギュレーションメモリと接続されている。
画像プロセッサ105は、コンフィギュレーションメモリアレイ104から出力されるパラメータPをもとに調光・調色などの画像処理を実行する機能を有する。
図1の半導体装置は、使用する環境の変化を検出してパラメータPをアプリケーションプロセッサ102で演算している間、パラメータPに最も近いパラメータPをパラメータPとして画像処理を実行することができる。そのため環境の変化に即時に対応して画像データを画像処理するためのパラメータを変化させることができる。
<コンフィギュレーションメモリアレイの構成>
図2は図1で示したコンフィギュレーションメモリアレイ104を説明するためのブロック図である。コンフィギュレーションメモリアレイは、一例として、コンフィギュレーションメモリMEM_0乃至MEM_3を有する。
なお図2では、一次元的にメモリセルを並べて図示しているが、他の配置でもよい。例えば、マトリクス状に配置して2次元的にメモリセルを配置する構成、あるいはマトリクス状に配置したメモリセルを多層に配置することで3次元的にメモリセルを配置する構成等とすることもできる。
コンフィギュレーションメモリMEM_0乃至MEM_3は、図2に示すように、コンフィギュレーションデータ信号線data[0]乃至[3]、コンフィギュレーションデータ信号線dataの相補信号線datab[0]乃至[3]、書込み制御信号線wl[0]乃至[3]、コンテキスト選択信号線ctx[0]乃至[3]、コンテキスト選択信号線ctx[0]乃至[3]の相補信号線ctxb[0]乃至[3]及びパラメータ用データ信号線P[0]乃至[3]に接続されている。
例えば、コンフィギュレーションメモリMEM_0は、コンフィギュレーションデータ信号線data[0]、data[0]の相補信号線datab[0]及び書込み制御信号線wl[0]を用いて転送される信号によってコンフィギュレーションされる。コンフィギュレーションメモリMEM_1乃至MEM_3についても、コンフィギュレーションメモリMEM_0と同様の説明である。
コンフィギュレーションメモリMEM_0乃至MEM_3は、例えば4つのコンテキストを書き込むことができる。
例えば、コンフィギュレーションメモリMEM_0は、コンテキスト選択信号線ctx[0]乃至[3]、コンテキスト選択信号線ctx[0]乃至[3]の相補信号線ctxb[0]乃至[3]を用いて転送される信号によってコンテキストを切り替えることができる。コンフィギュレーションメモリMEM_1乃至MEM_3についても、コンフィギュレーションメモリMEM_0と同様の説明である。
例えば、コンフィギュレーションメモリMEM_0のコンテキスト1には、比較的明るい状況で用いるパラメータPt3[0]が保持されている。またコンフィギュレーションメモリMEM_0のコンテキスト3には、比較的暗い状況で用いるパラメータPt1[0]が保持されている。またコンフィギュレーションメモリMEM_0のコンテキスト2には、例えば比較的明るい状況と比較的暗い状況の中間の明るさの状況で用いるパラメータPt2[0]が保持されている。またコンフィギュレーションメモリMEM_0のコンテキスト4には、明るさの情報を取得して演算処理をすることで得られるパラメータP[0]が随時更新される。コンフィギュレーションメモリMEM_1乃至MEM_3についても、コンフィギュレーションメモリMEM_0と同様の説明である。
コンフィギュレーションメモリMEM_0は、パラメータ用データ信号線P[0]を用いて内部に保持されているパラメータPt3[0]、パラメータPt1[0]、パラメータPt2[0]およびパラメータP[0]のうち1つのパラメータを、コンテキスト選択信号線ctx[0]乃至[3]、ctxb[0]乃至[3]で選択し、パラメータ用データとして出力する。コンフィギュレーションメモリMEM_1乃至MEM_3についても、コンフィギュレーションメモリMEM_0と同様の説明である。
図3は、図2のコンフィギュレーションメモリMEM_0乃至MEM_3に適用可能なコンフィギュレーションメモリMEM_Aの構成について説明する。なお図3では、例えば2つのコンテキストに対応する電荷保持回路M、Mを保持する構成を図示している。例えば電荷保持回路MにはパラメータPに対応するデータを保持することができる。例えば電荷保持回路MにはパラメータPt1に対応するデータを保持することができる。なおコンフィギュレーションメモリMEM_Aにおいて、さらにパラメータPt2、パラメータPt3といった複数のパラメータを保持する場合には、電荷保持回路Mを追加で複数設ければよい。
コンフィギュレーションメモリMEM_Aは、電荷保持回路M、電荷保持回路M、スイッチCS0、スイッチCS1、キャパシタ207、キャパシタ214、および、インバータ回路216で構成される。なおコンフィギュレーションメモリMEM_Aにおいて、さらにパラメータPt2、パラメータPt3といった複数のパラメータを保持するために、電荷保持回路Mを追加で複数設ける場合、スイッチCS0、キャパシタ207に対応する構成を追加で設ければよい。
電荷保持回路Mは、トランジスタ201、トランジスタ202、トランジスタ203およびトランジスタ204を有する。
トランジスタ201のゲートは、書き込み制御信号線wl0に接続される。トランジスタ201のソースまたはドレインの一方は、データ線dataに接続される。トランジスタ201のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ202のゲートに接続される。トランジスタ201のバックゲートは、閾値制御線MGに接続される。なおトランジスタ201のソースまたはドレインの他方と、トランジスタ202のゲートと、が接続されるノードを、ノードm0と呼ぶ。
トランジスタ202のソースまたはドレインの一方は、高電位電源線VDDに接続される。トランジスタ202のソースまたはドレインの他方は、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]に接続される。トランジスタ202のバックゲートは、閾値制御線PGに接続される。コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]は、スイッチCS0の一方の端子に接続される。
トランジスタ203のゲートは、書き込み制御信号線wl0に接続される。トランジスタ203のソースまたはドレインの一方は、データ線databに接続される。トランジスタ203のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ204のゲートに接続される。トランジスタ203のバックゲートは、閾値制御線MGに接続される。なおトランジスタ203のソースまたはドレインの他方と、トランジスタ204のゲートと、が接続されるノードを、ノードmb0と呼ぶ。
トランジスタ204のソースまたはドレインの一方は、低電位電源線VSSに接続される。トランジスタ204のソースまたはドレインの他方は、コンテキストスイッチ入力信号線swin[1]に接続される。トランジスタ204のバックゲートは、閾値制御線PGに接続される。
トランジスタ201は、書き込み制御信号線wl0の電位がハイレベルでノードm0にデータ線dataの電位が書き込まれる。またトランジスタ201は、書き込み制御信号線wl0の電位がローレベルでノードm0の電位に応じた電荷を保持する機能を有する。なおトランジスタ201は、バックゲートに接続される閾値制御信号線MGの電位によって、閾値電圧が制御され、非導通状態におけるリーク電流(オフ電流)が極めて小さい状態に制御される。
トランジスタ202は、ノードm0の電位に依存して高電位電源線VDDをコンテキストスイッチ入力信号線swin[0]に与えるか否かを制御する機能を有する。なお、トランジスタ202は、バックゲートに接続される閾値制御信号線PGの電位によって、導通状態におけるドレイン電流(オン電流)が大きい状態に制御される。
トランジスタ203は、書き込み制御信号線wl0の電位がハイレベルでノードmb0にデータ線databの電位が書き込まれる。またトランジスタ203は、書き込み制御信号線wl0の電位がローレベルでノードmb0の電位に応じた電荷を保持する機能を有する。なおトランジスタ203は、バックゲートに接続される閾値制御信号線MGの電位によって、閾値電圧が制御され、オフ電流が極めて小さい状態に制御される。
トランジスタ204は、ノードmb0の電位に依存して低電位電源線VSSをコンテキストスイッチ入力信号線swin[0]に与えるか否かを制御する機能を有する。なお、トランジスタ204は、バックゲートに接続される閾値制御信号線PGの電位によって、オン電流が大きい状態に制御される。
トランジスタ201およびトランジスタ203は、例えば、OSトランジスタのようにオフ電流が極めて小さいトランジスタを用いる構成とする。該構成とすることで、トランジスタ201およびトランジスタ203を非導通状態とした際、ノードm0、ノードmb0に保持した電位に応じたデータを保持し続けることができる。
なおOSトランジスタは、Siトランジスタよりも高い温度で使用することができる。またOSトランジスタの電圧に対する耐圧は、Siトランジスタの電圧に対する耐圧よりも高い。そのため環境の変化に対して信頼性に優れた回路とすることができる。OSトランジスタの電気特性については、後述する。
トランジスタ202およびトランジスタ204は、例えばSiトランジスタと比べてゲート絶縁膜の厚いOSトランジスタを用いる構成とする。該構成とすることで、トランジスタ202およびトランジスタ204のゲート絶縁膜も薄いことによるトンネル電流の発生に起因するゲートと半導体層との間に流れるリーク電流を抑制することができる。そのため、ノードm0、ノードmb0に保持した電位に応じたデータを保持し続けることができる。
なお、ノードm0およびノードmb0は、電荷を保持する機能を高めるため、キャパシタを有していてもよい。
電荷保持回路Mは、トランジスタ208、トランジスタ209、トランジスタ210およびトランジスタ211を有する。
トランジスタ208のゲートは、書き込み制御信号線wl1に接続される。トランジスタ208のソースまたはドレインの一方は、データ線dataに接続される。トランジスタ208のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ209のゲートに接続される。トランジスタ208のバックゲートは、閾値制御線MGに接続される。なおトランジスタ208のソースまたはドレインの他方と、トランジスタ209のゲートと、が接続されるノードを、ノードm1と呼ぶ。
トランジスタ209のソースまたはドレインの一方は、高電位電源線VDDに接続される。トランジスタ209のソースまたはドレインの他方は、コンテキストスイッチ入力信号線swin[1]に接続される。トランジスタ209のバックゲートは、閾値制御線PGに接続される。コンテキストスイッチ入力信号線swin[1]は、スイッチCS1の一方の端子に接続される。
トランジスタ210のゲートは、書き込み制御信号線wl1に接続される。トランジスタ210のソースまたはドレインの一方は、データ線databに接続される。トランジスタ210のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ211のゲートに接続される。トランジスタ210のバックゲートは、閾値制御線MGに接続される。なおトランジスタ210のソースまたはドレインの他方と、トランジスタ211のゲートと、が接続されるノードを、ノードmb1と呼ぶ。
トランジスタ211のソースまたはドレインの一方は、低電位電源線VSSに接続される。トランジスタ211のソースまたはドレインの他方は、コンテキストスイッチ入力信号線swin[1]に接続される。トランジスタ211のバックゲートは、閾値制御線PGに接続される。
トランジスタ208は、書き込み制御信号線wl1の電位がハイレベルでノードm1にデータ線dataの電位が書き込まれる。またトランジスタ208は、書き込み制御信号線wl1の電位がローレベルでノードm1の電位に応じた電荷を保持する機能を有する。なおトランジスタ208は、バックゲートに接続される閾値制御信号線MGの電位によって、閾値電圧が制御され、オフ電流が極めて小さい状態に制御される。
トランジスタ209は、ノードm1の電位に依存して高電位電源線VDDをコンテキストスイッチ入力信号線swin[1]に与えるか否かを制御する機能を有する。なお、トランジスタ209は、バックゲートに接続される閾値制御信号線PGの電位によって、オン電流が大きい状態に制御される。
トランジスタ210は、書き込み制御信号線wl1の電位がハイレベルでノードmb1にデータ線databの電位が書き込まれる。またトランジスタ210は、書き込み制御信号線wl1の電位がローレベルでノードmb1の電位に応じた電荷を保持する機能を有する。なおトランジスタ210は、バックゲートに接続される閾値制御信号線MGの電位によって、閾値電圧が制御され、オフ電流が極めて小さい状態に制御される。
トランジスタ211は、ノードmb0の電位に依存して低電位電源線VSSをコンテキストスイッチ入力信号線swin[1]に与えるか否かを制御する機能を有する。なお、トランジスタ211は、バックゲートに接続される閾値制御信号線PGの電位によって、オン電流が大きい状態に制御される。
トランジスタ208およびトランジスタ210は、例えば、OSトランジスタのようにオフ電流が極めて小さいトランジスタを用いる構成とする。該構成とすることで、トランジスタ208およびトランジスタ210を非導通状態とした際、ノードm1、ノードmb1に保持した電位に応じたデータを保持し続けることができる。
トランジスタ209およびトランジスタ211は、例えばSiトランジスタと比べてゲート絶縁膜の厚いOSトランジスタを用いる構成とする。該構成とすることで、トランジスタ209およびトランジスタ211のゲート絶縁膜も薄いことによるトンネル電流の発生に起因するゲートと半導体層との間に流れるリーク電流を抑制することができる。そのため、ノードm1、ノードmb1に保持した電位に応じたデータを保持し続けることができる。
なお、ノードm1およびノードmb1は、電荷を保持する機能を高めるため、キャパシタを有していてもよい。
スイッチCS0は、コンテキスト選択信号ctx[0]の電位がハイレベルで、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]とコンテキストスイッチ出力信号線swoutとの間を導通状態とする機能を有する。またスイッチCS0は、コンテキスト選択信号ctx[0]の電位がローレベルで、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]とコンテキストスイッチ出力信号線swoutとの間を非導通状態とする機能を有する。
スイッチCS1は、コンテキスト選択信号ctx[1]の電位がハイレベルで、コンテキストスイッチ入力信号線swin[1]とコンテキストスイッチ出力信号線swoutとの間を導通状態とする機能を有する。またスイッチCS1は、コンテキスト選択信号ctx[1]の電位がローレベルで、コンテキストスイッチ入力信号線swin[1]とコンテキストスイッチ出力信号線swoutとの間を非導通状態とする機能を有する。
また図3では、キャパシタ207を図示している。キャパシタ207の一方の電極はコンテキストスイッチ入力信号線swin[0]に接続され、他方の電極は低電位電源線VSSに接続される。キャパシタ207は、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]の寄生容量を大きくすることで省略することも可能である。
また図3では、キャパシタ214を図示している。キャパシタ214の一方の電極はコンテキストスイッチ入力信号線swin[1]に接続され、他方の電極は低電位電源線VSSに接続される。キャパシタ214は、コンテキストスイッチ入力信号線swin[1]の寄生容量を大きくすることで省略することも可能である。
バッファ回路216は、相補型のSiトランジスタで構成される。バッファ回路216の入力端子は、コンテキストスイッチ出力信号線swoutに接続される。バッファ回路216の出力端子は、コンフィギュレーションメモリMEM_Aのパラメータ用データ信号線Poutに接続される。
スイッチCS0は、一例として図7に示すコンフィギュレーションメモリMEM_Bのようにトランジスタ205およびトランジスタ206で構成される。トランジスタ205はnチャネル型、トランジスタ206はpチャネル型である。トランジスタ205のゲートにはコンテキスト選択信号ctx[0]が与えられ、トランジスタ206のゲートにはコンテキスト選択信号ctx[0]の反転信号であるコンテキスト選択信号ctxb[0]が与えられ、導通状態または非導通状態を制御することができる。
またスイッチCS1は、一例として図7に示すコンフィギュレーションメモリMEM_Bのようにトランジスタ212およびトランジスタ213で構成される。トランジスタ212はnチャネル型、トランジスタ213はpチャネル型である。トランジスタ212のゲートにはコンテキスト選択信号ctx[1]が与えられ、トランジスタ213のゲートにはコンテキスト選択信号ctx[1]の反転信号であるコンテキスト選択信号ctxb[1]が与えられ、導通状態または非導通状態を制御することができる。
トランジスタ205およびトランジスタ206、ならびにトランジスタ212およびトランジスタ213は、例えば、Siトランジスタのようにオン電流が大きいトランジスタを用いる構成とする。該構成とすることで、スイッチCS0またはスイッチCS1を導通状態(オン)とした際、電荷の分配を高速に行うことができる。
なおOSトランジスタは、Siトランジスタよりも高い温度で使用することができる。またOSトランジスタの電圧に対する耐圧は、Siトランジスタの電圧に対する耐圧よりも高い。そのため環境の変化に対して信頼性に優れた回路とすることができる。OSトランジスタの電気特性については、後述する。
またコンテキストスイッチ出力信号線swoutには、一例として図7に示すコンフィギュレーションメモリMEM_Bのように、コンテキストスイッチ出力信号線swoutをプルダウンするためのトランジスタ217を有していてもよい。トランジスタ217は例えばnチャネル型である。トランジスタ217のゲートは、プルダウンイネーブル信号cfgを与える配線に接続される。トランジスタ217のソースまたはドレインの一方は、コンテキストスイッチ出力信号線swoutに接続される。トランジスタ217のソースまたはドレインの他方は、低電位電源線VSSに接続される。トランジスタ217を有し、プルダウンイネーブル信号cfgの電位をハイレベルとすることでコンフィギュレーションメモリMEM_Bのパラメータ用データ信号線Poutの電位をハイレベルに固定することが可能である。
以上説明した図3および図7に示すコンフィギュレーションメモリMEM_AおよびコンフィギュレーションメモリMEM_Bは、コンテキスト選択信号ctx[0](およびコンテキスト選択信号ctxb[0])、コンテキスト選択信号ctx[1](およびコンテキスト選択信号ctxb[1])によって、電荷保持回路Mまたは電荷保持回路Mに保持されているデータに依存した論理(電位)を出力する機能を有する。
電荷保持回路Mおよび電荷保持回路Mが有する各ノードm0、mb0、m1、mb1に付加する静電容量は電荷が保持できる程度の値で十分であり、静電容量の値が小さいほど電荷保持回路Mおよび電荷保持回路Mへのコンフィギュレーションデータの書き込みに要する時間を削減することができる。
以上説明した図3および図7に示すコンフィギュレーションメモリMEM_AおよびコンフィギュレーションメモリMEM_Bでは、コンテキストスイッチ出力信号線swoutのノードに付加する静電容量に対し、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]およびコンテキストスイッチ入力信号線swin[1]のノードに付加する静電容量を大きくするため、キャパシタ207およびキャパシタ214を設ける構成とする。当該構成とすることで、コンテキスト切り替え時にコンテキストスイッチ入力信号線swin[0]乃至swin[1]のノードに保持していた電荷が、スイッチCS0またはスイッチCS1を介してコンテキストスイッチ出力信号線swoutのノードに分配することができる。
コンテキストスイッチ出力信号線swoutへの電荷の分配によってコンテキストスイッチ出力信号線swoutのノードの電位が低電位から高電位に遷移するとき、バッファ回路216であるインバータ回路の閾値より高くするようにキャパシタ207およびキャパシタ214の静電容量を調整する。加えて、コンテキストスイッチ出力信号線swoutへの電荷の分配によってコンテキストスイッチ出力信号線swoutのノードの電位が高電位から低電位に遷移するとき、バッファ回路216であるインバータ回路の閾値より低くなるようにキャパシタ207およびキャパシタ214の静電容量を調整する。つまり、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]およびコンテキストスイッチ入力信号線swin[1]のノードに付加する静電容量を、コンテキストスイッチ出力信号線swoutのノードに付加する静電容量より大きくする。
以上説明した図3および図7に示すトランジスタ202およびトランジスタ204、ならびにトランジスタ209およびトランジスタ211は、Siトランジスタと比べてゲート絶縁膜の厚いOSトランジスタを用いる。OSトランジスタは、半導体層に単結晶を用いるSiトランジスタに比べて電界効果移動度が小さいため、Siトランジスタに比べてオン電流が小さい。
そこで図3および図7に示す構成では上述の電荷を分配する構成によりトランジスタ202,204,209および211のオン電流が小さくてもバッファ回路216であるインバータ回路の論理遷移を実現できる。そのため、トランジスタ202、204、209および211をSiトランジスタで構成した場合と同等の速度でコンテキスト切り替えが可能になる。
なお図3および図7に示す構成とする場合、キャパシタ207およびキャパシタ214として、静電容量の大きいキャパシタであることが好ましい。当該構成とする場合、Siトランジスタを設ける層の上層にOSトランジスタを設ける層を形成し、OSトランジスタを設ける層の上層にキャパシタ207およびキャパシタ214を設ける構成が好ましい。当該構成とすることで、デバイスの最上層において静電容量の大きいキャパシタを形成でき、且つトランジスタ202、204、209および211との接続も容易に実現できる。
<OSトランジスタの電気特性>
OSトランジスタは、Siトランジスタよりも高い温度で使用することができる。具体例を挙げて説明するため、図4(A)にOSトランジスタのドレイン電流I−ゲート電圧V特性、およびゲート電圧V−電界効果移動度μFE特性の温度依存性を、図4(B)にSiトランジスタのゲート電圧V−ドレイン電流I特性、およびゲート電圧V−電界効果移動度μFE特性の温度依存性を、示す。なお図4(A)、(B)においては、−25℃、50℃、150℃の温度での各電気的特性の測定結果を示している。なおドレイン電圧Vは1Vとしている。
なお図4(A)に示すOSトランジスタの電気的特性は、チャネル長L=0.45μm、チャネル幅W=10μm、ゲート絶縁層の酸化膜の膜厚Tox=20nmでのグラフである。また図4(B)に示すSiトランジスタの電気的特性は、L=0.35μm、W=10μm、Tox=20nmでのグラフである。
なおOSトランジスタの酸化物半導体層は、In−Ga−Zn系酸化物で作製し、Siトランジスタは、シリコンウエハから作製したものである。
図4(A)および(B)からは、OSトランジスタ及びSiトランジスタの立ち上がりゲート電圧の温度依存性は小さいことがわかる。また、OSトランジスタのオフ電流が温度によらず測定下限(I)以下であるが、Siトランジスタのオフ電流は、温度依存性が大きい。図4(B)の測定結果は、150℃では、Siトランジスタはオフ電流が上昇し、電流オン/オフ比が十分に大きくならないことを示している。
図4(A)のグラフから、OSトランジスタをスイッチとして用いる場合、150℃以上の温度下においても、動作させることができる。そのため、半導体装置の耐熱性を優れたものとすることができる。
次いで電圧に対するOSトランジスタの耐圧について、Siトランジスタの耐圧の比較し、説明する。
図5では、OSトランジスタのドレイン耐圧について説明するため、SiトランジスタとOSトランジスタとのVD−ID特性図について示す。図5(A)、(B)では、SiトランジスタとOSトランジスタとについて同じ条件での耐圧を比較するために、共にチャネル長を0.9μmとし、チャネル幅を10μmとし、酸化シリコンを用いたゲート絶縁膜の膜厚を20nmとしている。なおゲート電圧は、2Vとしている。
図5に示すようにSiトランジスタでは、ドレイン電圧の増加に対して4V程度でアバランシェブレークダウンが起こるのに対して、OSトランジスタでは、ドレイン電圧の増加に対して26V程度までアバランシェブレークダウンが起きずに定電流を流すことができるのがわかる。
図6(A)では、ゲート電圧を変化させた際の、OSトランジスタのVD−ID特性図について示す。また図6(B)では、ゲート電圧を変化させた際の、SiトランジスタのVD−ID特性図について示す。図6(A)では、SiトランジスタとOSトランジスタとについて同じ条件での耐圧を比較するために、共にチャネル長を0.9μmとし、チャネル幅を10μmとし、酸化シリコンを用いたゲート絶縁膜の膜厚を20nmとしている。なおゲート電圧は、図6(A)のOSトランジスタでは0.1V、2.06V、4.02V、5.98V、7.94Vと変化させ、図6(B)のSiトランジスタでは0.1V、1.28V、2.46V、3.64V、4.82Vと変化させている。
図6(A)、(B)に示すようにSiトランジスタでは、ドレイン電圧の増加に対して4乃至5V程度でアバランシェブレークダウンが起こるのに対して、OSトランジスタでは、ドレイン電圧の増加に対して9V程度ではアバランシェブレークダウンが起きずに定電流を流すことができるのがわかる。
図5、図6(A)、(B)からもわかるようにOSトランジスタはSiトランジスタと比べて耐圧が高い。そのため高い電圧が印加される箇所にOSトランジスタを適用しても、絶縁破壊を引き起こすことなく安定して使用することができる。
<コンフィギュレーションメモリの動作>
図8は、コンフィギュレーションメモリの動作を説明するためタイミングチャートの一例である。図8では、図7に示すコンフィギュレーションメモリMEM_Bのコンフィギュレーションおよびコンテキスト切り替え動作の一例を示す。
なお図8の説明では、データ線dataおよびdatabの電位を、dataおよびdatabとして説明する。図8では、書き込み制御信号線wl0およびwl1の電位を、wl0およびwl1として説明する。図8では、ノードm0およびm1の電位を、m0およびm1として説明する。図8では、ノードmb0およびmb1の電位を、mb0およびmb1として説明する。図8では、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]およびswin[1]の電位を、swin[0]およびswin[1]として説明する。図8では、コンテキスト選択信号線ctx[0]およびctx[1]の電位を、ctx[0]およびctx[1]として説明する。図8では、コンテキスト選択信号線ctxb[0]およびctxb[1]の電位を、ctxb[0]およびctxb[1]として説明する。図8では、コンテキストスイッチ出力信号線swoutの電位を、swoutとして説明する。図8では、コンフィギュレーションメモリMEM_Bのパラメータ用データ信号線Poutの電位を、Poutとして説明する。
なお図8の説明では、OSトランジスタを駆動するためのハイレベルの電位をHVDD、Siトランジスタを駆動するためのハイレベルの電位をVDDとする。なお、HVDDの電位は、VDDの電位より高い。
なお図8の説明では、HVDDで表現される論理をH−ハイレベル、VDDで表現される論理をハイレベル、低電源電位である電位VSSで表現される論理をローレベルとする。
なお図8の説明では、プルダウンイネーブル信号線cfgは、ローレベルの電位であるとする。
なお図8の説明では、バッファ回路216が有するインバータ回路の論理が遷移する電圧の閾値をVthとする。
なお図8の説明では、データ信号dataとdatab、コンテキスト選択信号ctx[0]とctxb[0]、コンテキスト選択信号ctx[1]とctxb[1]は、それぞれ論理が反転した信号である。
ここでは例として、ノードm0にローレベルを、ノードmb0にH−ハイレベルを、ノードm1にH−ハイレベルを、ノードmb1にローレベルを書き込むコンフィギュレーション動作とする。
初期状態は、ノードm0がローレベル、mb0がH−ハイレベルであるため、swin[0]がローレベルとなる。ノードm1がローレベル、ノードmb1がH−ハイレベルであるため、swin[1]にローレベルとなる。
時刻T0において、コンフィギュレーション動作としてまず電荷保持回路Mの書き込み動作が実行される。wl0はH−ハイレベルとなる。このときdataはローレベル、databはH−ハイレベルであるため、ノードm0、ノードmb0の電位は初期状態のまま遷移せず、swin[0]もローレベルのまま遷移しない。
時刻T1において、電荷保持回路Mの書き込み完了動作が実行される。wl0はローレベルとなるため、m0はローレベル、mbはH−ハイレベルを維持する。したがって、swin[0]はローレベルを維持する。
時刻T2において、dataおよびdatabがノードm1およびノードmb1に書き込むデータの電位に遷移する。すなわち、dataがH−ハイレベル、databがローレベルに遷移する。
時刻T3において、電荷保持回路Mの書き込み動作が実行される。wl1はH−ハイレベルとなる。このときdataはH−ハイレベル、databはローレベルであるため、m1にH−ハイレベル、mb1にローレベルが与えられる。
時刻T4において、ノードm1、ノードmb1の書き込みが完了する。ノードm1がH−ハイレベル、ノードmb1がローレベルであるため、swin[1]はローレベルからハイレベルに遷移を開始する。
時刻T5において、swin[1]の電位遷移が完了する。swin[1]はハイレベルになる。
時刻T6において、電荷保持回路Mの書き込みおよびコンフィギュレーション完了動作が実行される。wl1はローレベルとなるため、m1はH−ハイレベル、mbはローレベルを維持する。したがって、swin[1]はハイレベルを維持する。
電荷保持回路Mおよび電荷保持回路Mにおいて、ノードm0、mb0、m1、mb1に付加する静電容量を小さくするほど、より高速なコンフィギュレーションが可能となる。
時刻T7において、コンテキスト切り替え動作が実行される。swin[0]およびswin[1]が選択されるコンテキストをコンテキスト0およびコンテキスト1とする。ここでは最初にコンテキスト1の選択が開始されるものとする。ctx[1]がハイレベル、ctxb[1]がローレベルになる。
スイッチCS1がオンになるため、swin[1]とswoutが導通状態となる。コンフィギュレーションの結果、swin[1]はハイレベルを維持しているため、swoutにハイレベルが与えられる。時刻T7からT8において、swin[1]のノードに保持していた電荷がSiトランジスタを介してswoutのノードに分配されるため、swoutはSiトランジスタのスイッチング速度で電位Ve1に変化する。
ここでは、時刻T7からT8におけるトランジスタ209を介したVDDの供給は無視しているが、それも含めて考えた場合、スイッチング速度はさらに向上する。
静電容量の比を調整し、電位Ve1の値がバッファ回路216が有するインバータ回路の閾値Vthより高くなるようにすれば、高速にPoutをローレベルに遷移させることが可能である。
時刻T8において、電荷分配が完了する。その後、トランジスタ209を介して、VDDが供給されるため、swin[1]とswoutはトランジスタのスイッチング速度で時刻T9までの間にハイレベルに遷移する。
時刻T10において、コンテキスト切り替え動作が完了する。
時刻T11において、再びコンテキスト切り替え動作が実行される。コンテキスト0の選択が開始されるものとする。ctx[1]がローレベル、ctxb[1]がハイレベルになり、スイッチCS1がオフになったため、swin[1]とswoutが非導通状態となる。
時刻T12において、ctx[0]がハイレベル、ctxb[0]がローレベルになる。
スイッチCS0がオンになったため、swin[0]とswoutが導通状態となる。コンフィギュレーションの結果、swin[0]はローレベルを維持しているため、swoutにローレベルが与えられる。時刻T12からT13において、swoutのノードに保持されていた電荷がSiトランジスタを介してswin[0]のノードに分配されるため、swoutはSiトランジスタのスイッチング速度で電位Ve0に変化する。
ここでは、時刻T12からT13におけるトランジスタ204を介したVSSの供給は無視しているが、それも含めて考えた場合、スイッチング速度はさらに向上する。
静電容量の比を調整し、電位Ve0の値がバッファ回路216が有するインバータ回路の閾値Vthより低くなるようにすれば、高速にPoutをハイレベルに遷移させることが可能である。
時刻T13において、電荷分配が完了する。その後、トランジスタ204を介して、VSSが供給されるため、swin[0]とswoutはトランジスタのスイッチング速度で時刻T14までの間にローレベルに遷移する。
時刻T15において、コンテキスト切り替え動作が完了する。
ノードm0、mb0、m1、mb1に付加する静電容量を小さくすることで、時刻T3からT4での電荷保持回路Mおよび電荷保持回路Mへの書込み時間を削減できる。
時刻T1から時刻T3までの書き込み制御信号どうしの間隔、および時刻T6からT7までのコンフィギュレーション完了からコンテキスト選択開始までの時間は、swin[0]およびswin[1]の論理遷移までの時間に対して十分にある。また、コンテキスト切り替え動作には高速性が求められるが、通常コンテキスト切り替えは数クロック程度の間隔で頻繁に行われるものではないので、時刻T8からT9までのswin[1]およびswoutがハイレベルに遷移するまでの時間、および時刻T13からT14までのswin[0]およびswoutがローレベルに遷移するまでの時間は十分にある。したがって、swin[0]およびswin[1]への電荷供給にトランジスタを用いても、半導体装置の動作速度にはほとんど影響を与えない。
このように、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]、swin[1]に、ノードm0、mb0、m1、mb1、コンテキストスイッチ出力信号線swoutの静電容量に対して、大きい静電容量を備えることでOSトランジスタを用いたコンフィギュレーションメモリにおいて高速なコンテキスト切り替え動作が可能となる。
<半導体装置の動作例>
図9には、図1の半導体装置で実行する処理のフローを示す。
初期状態ではパラメータPs0が画像プロセッサ105にパラメータPとして出力されるコンテキストとして選択されている。パラメータPs0に応じて画像処理された画像データが表示装置に入力され、画像を表示することができる(ステップS101)。パラメータPs0は、前の期間に演算で得られたパラメータPである。次いで、アプリケーションプロセッサ102はセンサ101からの入力を待つ待機状態(ステップS102)となる。
センサ101から外光の明るさなどのデータ入力がある(ステップS103)と、アプリケーションプロセッサ102はセンサ101からのデータをもとに使用環境に変化があったかどうかの判定(ステップS104)を行う。
ステップS104で使用環境に変化がなかった場合、パラメータPs0に応じた表示を行う状態に戻る。
ステップS104で使用環境に変化があった場合、アプリケーションプロセッサ102はパラメータPs1の計算(ステップS107)とパラメータPの選択(ステップS105)を同時に開始する。パラメータPs1は、新たな使用環境の変化に対応する、演算によって更新されるパラメータPである。
ステップS105でパラメータPの選択が完了した時点でアプリケーションプロセッサ102はコンテキスト切り替え信号ctxによってコンフィギュレーションメモリアレイ104のコンテキストを切り替える。具体的には、パラメータPs1の最も近いパラメータPt1が画像プロセッサ105にパラメータPとして出力される。パラメータPt1に応じて画像処理された画像データが表示装置に入力され、画像を表示することができる。パラメータPt1は、予めコンフィギュレーションメモリアレイ104に保持されたパラメータPのひとつある。
パラメータPs1の演算が完了した時点から、アプリケーションプロセッサ102はパラメータPs1のデータをもとにI2Cの通信規格に則ったデータの生成(ステップS108)を開始する。
I2Cデータの生成が完了した時点から、アプリケーションプロセッサ102はコンフィギュレーションコントローラ103にパラメータPs1をI2Cで出力する(ステップS109)。
パラメータPs1の出力が完了した時点でパラメータPs1がパラメータPとして画像プロセッサ105に入力されるよう、アプリケーションプロセッサ102はコンテキスト切り替え信号ctxによってコンフィギュレーションメモリアレイ104のコンテキストを切り替える。パラメータPs1に応じて画像処理された画像データが表示装置に入力され、画像を表示することができる(ステップS110)。
上述したように、パラメータPs1がアプリケーションプロセッサ102で演算されている間、パラメータPt1を用いて画像処理を実行することができる。そのため環境の変化に即時に対応して画像データを画像処理するためのパラメータを変化させることができる。
図10(A)には図1の半導体装置で実行するパラメータPとパラメータPを演算によって出力する処理のタイミングチャートを示す。
図10(B)には、パラメータPであるPt1、Pt2及びPt3の数直線上の位置と、パラメータPとして出力されるパラメータPの変化を示す。
初期状態において、アプリケーションプロセッサ102はセンサ101からの入力を待つ待機状態である。
時刻T0において、センサ101から使用環境の変化の情報を含むデータがアプリケーションプロセッサ102に入力される。
時刻T0から時刻T1において、アプリケーションプロセッサ102は使用環境に変化があったかどうかの判定を行う。
時刻T1において、使用環境に変化があったとアプリケーションプロセッサ102が判定すると、パラメータPの演算及びパラメータPの選択を開始する。
時刻T1から時刻T2において、パラメータPは図10(B)に示すように選択される。
図10(B)において、コンフィギュレーションメモリアレイ104から画像プロセッサ105に出力されるパラメータをパラメータPとする。
パラメータPは一例として8ビットとすると、パラメータPは0から255の値をとりえる。ここで図10(B)に例示するように、パラメータPの0から255までの領域をそれぞれ任意の大きさで3分割する。
パラメータPの領域を3分割し、境界となる値の小さい方のパラメータPをd0、大きい方のパラメータPをd1とする。d0より小さいパラメータをPt1とする。d0以上でd1より小さいパラメータをPt2とする。d1以上のパラメータをPt3とする。
初期状態でコンフィギュレーションメモリから画像プロセッサ105に転送されるパラメータPをパラメータPs0とし、演算によって更新されるパラメータPをパラメータPs1とする。
センサ101で得られるデータを照度とし、当該照度に対応して適切な表示を行うためのパラメータPをbrとする。アプリケーションプロセッサ102は、brよりd0が大きいとき、パラメータPとしてパラメータPt1を選択する。brがd0以上d1未満のとき、パラメータPとしてパラメータPt2を選択する。brがd1以上のとき、パラメータPとしてパラメータPt3を選択する。
このようにパラメータPの選択には、単純な大小比較演算しか行わない為、パラメータPの演算が完了するよりも非常に早く求めることができる。
例えばパラメータPとしてパラメータPt1が選択されたとする。
図10(A)の時刻T2において、パラメータPの選択が完了する。
パラメータPとしてパラメータPt1が選択されたため時刻T2から時刻T3において、アプリケーションプロセッサ102はコンフィギュレーションメモリアレイ104のパラメータPt1をパラメータPとして選択するようコンテキストを切り替える。
時刻T3において、パラメータPとして出力するパラメータPs0をパラメータPt1に切り替えるようコンテキスト切り替え信号を制御してコンテキストを切り替える。当該制御を行うことで、以降切り替えるパラメータPs1に近いパラメータPt1に短い期間で切り替え、画像プロセッサ105による画像処理を行わせることができる。
時刻T4において、パラメータPの演算が完了しパラメータPs1を得る。得られたパラメータPs1をもとに、時刻T4から時刻T5において、I2Cデータが生成される。時刻T5において、I2Cデータの生成が完了する。
時刻T5から時刻T6において、アプリケーションプロセッサ102からコンフィギュレーションコントローラ103にパラメータPs1をもとにしたI2Cデータが出力される。
時刻T6において、パラメータPs1をもとにしたI2Cデータの出力が完了する。
時刻T6から時刻T7において、コンフィギュレーションメモリアレイ104のコンフィギュレーションメモリに対してパラメータPs1のコンフィギュレーションを実行される。
時刻T6から時刻T7において、選択されていないパラメータPt1、Pt2及びPt3のコンフィギュレーションをしても良い。
時刻T7から時刻T8において、アプリケーションプロセッサ102はコンフィギュレーションメモリアレイ104のコンテキストを切り替える動作を実行する。
時刻T8において、パラメータPがパラメータPs1に切り替わる。
上述したように、使用環境に変化があった際、パラメータPs1がアプリケーションプロセッサ102で演算されている間、コンフィギュレーションメモリにあらかじめ書き込んでおいたパラメータPt1、Pt2及びPt3の中から一番パラメータPs1に近いパラメータPt1を用いて画像処理を実行することができる。そのため環境の変化に即時に対応して画像データを画像処理するためのパラメータを変化させることができる。
<半導体装置の断面構造例>
次いで半導体装置の断面構造の一例について、図11から図13までを参照して説明する。
上述した半導体装置は、Siトランジスタを有する層、OSトランジスタを有する層、および配線層を積層して設けることで形成することができる。
図11には、半導体装置の層構造の模式図を示す。トランジスタ層10、配線層20、トランジスタ層30、および配線層40が順に重なって設けられる。一例として示す配線層20は、配線層20A、配線層20Bを有する。また配線層40は、複数の配線層40A、配線層40Bを有する。配線層20および/または配線層40は、絶縁体を挟んで導電体を配置することでキャパシタを形成することができる。
トランジスタ層10は、複数のトランジスタ12を有する。トランジスタ12は、半導体層14およびゲート電極16を有する。半導体層14は、島状に加工されたものを図示しているが、半導体基板を素子分離して得られる半導体層であってもよい。またゲート電極16は、トップゲート型を図示したが、ボトムゲート型またはダブルゲート型、デュアルゲート型等としてもよい。
配線層20Aおよび配線層20Bは、絶縁層24に設けられた開口に埋め込んだ配線22を有する。配線22は、トランジスタ等の素子間を接続するための配線としての機能を有する。
トランジスタ層30は、複数のトランジスタ32を有する。トランジスタ32は、半導体層34およびゲート電極36を有する。半導体層34は、島状に加工されたものを図示しているが、半導体基板を素子分離して得られる半導体層であってもよい。またゲート電極36は、トップゲート型を図示したが、ボトムゲート型またはダブルゲート型、デュアルゲート型等としてもよい。
配線層40Aおよび配線層40Bは、絶縁層44に設けられた開口に埋め込んだ配線42を有する。配線42は、トランジスタ等の素子間を接続するための配線としての機能を有する。
半導体層14は、半導体層34とは異なる半導体材料である。一例としては、トランジスタ12はSiトランジスタであり、トランジスタ32はOSトランジスタであるとすると、半導体層14の半導体材料はシリコンであり、半導体層34の半導体材料は、酸化物半導体である。
半導体装置の断面図の一例を図12(A)に示す。図12(B)は、図12(A)を構成の一部を拡大したものである。
図12(A)に示す半導体装置は、キャパシタ300と、トランジスタ400と、トランジスタ500と、を有している。
キャパシタ300は、絶縁体602上に設けられ、導電体604と、絶縁体612と、導電体616とを有する。
導電体604は、金属材料、合金材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を用いることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが好ましい。また、プラグや配線などの他の構造と同時に形成する場合は、低抵抗金属材料であるCu(銅)やAl(アルミニウム)等を用いればよい。
絶縁体612は、導電体604の側面および上面を覆うように設けられる。絶縁体612には例えば酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化窒化ハフニウム、窒化酸化ハフニウム、窒化ハフニウムなどを用いればよく、積層または単層で設ける。
導電体616は、絶縁体612を介して、導電体604の側面および上面を覆うように設けられる。
なお、導電体616は、金属材料、合金材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を用いることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが好ましい。また、導電体などの他の構造と同時に形成する場合は、低抵抗金属材料であるCu(銅)やAl(アルミニウム)等を用いればよい。
キャパシタ300が有する導電体616は、絶縁体612を介して、導電体604の側面および上面を覆う構成とすることで、キャパシタの投影面積当たりの容量を増加させることができる。従って、半導体装置の小面積化、高集積化、微細化が可能となる。
トランジスタ500は、基板301上に設けられ、導電体306、絶縁体304、基板301の一部からなる半導体領域302、およびソース領域またはドレイン領域として機能する低抵抗領域308aおよび低抵抗領域308bを有する。
トランジスタ500は、pチャネル型、あるいはnチャネル型のいずれでもよい。
半導体領域302のチャネルが形成される領域、その近傍の領域、ソース領域、またはドレイン領域となる低抵抗領域308a、および低抵抗領域308bなどにおいて、シリコン系半導体などの半導体を含むことが好ましく、単結晶シリコンを含むことが好ましい。または、Ge(ゲルマニウム)、SiGe(シリコンゲルマニウム)、GaAs(ガリウムヒ素)、GaAlAs(ガリウムアルミニウムヒ素)などを有する材料で形成してもよい。結晶格子に応力を与え、格子間隔を変化させることで有効質量を制御したシリコンを用いた構成としてもよい。またはGaAsとGaAlAs等を用いることで、トランジスタ500をHEMT(High Electron Mobility Transistor)としてもよい。
低抵抗領域308a、および低抵抗領域308bは、半導体領域302に適用される半導体材料に加え、ヒ素、リンなどのn型の導電性を付与する元素、またはホウ素などのp型の導電性を付与する元素を含む。
ゲート電極として機能する導電体306は、ヒ素、リンなどのn型の導電性を付与する元素、もしくはホウ素などのp型の導電性を付与する元素を含むシリコンなどの半導体材料、金属材料、合金材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を用いることができる。
なお、導電体の材料により、仕事関数を定めることで、しきい値電圧を調整することができる。具体的には、導電体に窒化チタンや窒化タンタルなどの材料を用いることが好ましい。さらに導電性と埋め込み性を両立するために導電体にタングステンやアルミニウムなどの金属材料を積層として用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが耐熱性の点で好ましい。
また、図12(A)に示すトランジスタ500はチャネルが形成される半導体領域302(基板301の一部)が凸形状を有する。また、半導体領域302の側面および上面を、絶縁体304を介して、導電体306が覆うように設けられている。なお、導電体306は仕事関数を調整する材料を用いてもよい。このようなトランジスタ500は半導体基板の凸部を利用していることからFIN型トランジスタとも呼ばれる。なお、凸部の上部に接して、凸部を形成するためのマスクとして機能する絶縁体を有していてもよい。また、ここでは半導体基板の一部を加工して凸部を形成する場合を示したが、SOI基板を加工して凸形状を有する半導体膜を形成してもよい。
なお、図12(A)に示すトランジスタ500は一例であり、その構造に限定されず、回路構成や駆動方法に応じて適切なトランジスタを用いればよい。例えば、図13(A)に示すようにトランジスタ500Aの構成を、プレーナ型として設けてもよい。
トランジスタ500を覆って、絶縁体320、絶縁体322、絶縁体324、および絶縁体326が、順に積層して設けられている。
絶縁体322はその下方に設けられるトランジスタ500などによって生じる段差を平坦化する平坦化膜として機能する。絶縁体322の上面は、平坦性を高めるために化学機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)法等を用いた平坦化処理により平坦化されていてもよい。
絶縁体324は、基板301、またはトランジスタ500などから、トランジスタ400が設けられる領域に、水素や不純物が拡散しないように、バリア膜として機能する。例えば、絶縁体324には、窒化シリコンなどの窒化物を用いればよい。
また、絶縁体320、絶縁体322、絶縁体324、および絶縁体326にはキャパシタ300、またはトランジスタ400と電気的に接続する導電体328、導電体330等が埋め込まれている。なお、導電体328、および導電体330はプラグ、または配線として機能を有する。なお、後述するが、プラグまたは配線として機能を有する導電体は、複数の構造をまとめて同一の符号を付与する場合がある。また、本明細書等において、配線と、配線と電気的に接続するプラグとが一体物であってもよい。すなわち、導電体の一部が配線として機能する場合、および導電体の一部がプラグとして機能する場合もある。
各プラグ、および配線(導電体328、および導電体330等)の材料としては、金属材料、合金材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を、単層または積層して用いることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが好ましい。特に、アルミニウムや銅などの低抵抗導電性材料で形成することが好ましい。上記のような材料を用いることで配線抵抗を低くすることができる。
絶縁体326、および導電体330上に、配線層を設けてもよい。例えば、図12(A)において、絶縁体350、絶縁体352、および絶縁体354が順に積層して設けられている。また、絶縁体350、絶縁体352、および絶縁体354には、導電体356、および導電体358が埋め込まれている。導電体356、および導電体358はプラグ、または配線として機能を有する。
なお、例えば、絶縁体350は、絶縁体324と同様に、水素に対するバリア性を有する絶縁体を用いることが好ましい。また、導電体356および導電体358は、水素に対するバリア性を有する導電体を用いることが好ましい。水素に対するバリア性を有する絶縁体350が有する開口部には、水素に対するバリア性を有する導電体が形成される。当該構成により、トランジスタ500とトランジスタ400とは、バリア層により分離することができ、トランジスタ500からトランジスタ400への水素の拡散を抑制することができる。
なお、水素に対するバリア性を有する導電体としては、例えば、窒化タンタル等を用いるとよい。また、窒化タンタルと導電性が高いタングステンを積層することで、配線としての導電性を保持したまま、トランジスタ500からの水素の拡散を抑制することができる。
絶縁体354の上方には、トランジスタ400が設けられている。なお、トランジスタ400の拡大図を12(B)に示す。なお、図12(B)に示すトランジスタ400は一例であり、その構造に限定されず、回路構成や駆動方法に応じて適切なトランジスタを用いればよい。
トランジスタ400は、酸化物半導体を有する半導体層にチャネルが形成されるトランジスタである。トランジスタ400は、オフ電流が小さいため、これを半導体装置のフレームメモリに用いることにより長期にわたり記憶内容を保持することが可能である。
絶縁体354上には、絶縁体410、絶縁体412、絶縁体414、および絶縁体416が、順に積層して設けられている。また、絶縁体410、絶縁体412、絶縁体414、および絶縁体416には、導電体218、および導電体405等が埋め込まれている。なお、導電体218は、キャパシタ300、またはトランジスタ500と電気的に接続するプラグ、または配線としての機能を有する。導電体405は、トランジスタ400のゲート電極としての機能を有する。
絶縁体410、絶縁体412、絶縁体414、および絶縁体416のいずれかを、酸素や水素に対してバリア性のある物質を用いることが好ましい。特に、トランジスタ400に酸化物半導体を用いる場合、トランジスタ400近傍の層間膜などに、酸素過剰領域を有する絶縁体を設けることで、トランジスタ400の信頼性を向上させることができる。従って、トランジスタ400近傍の層間膜から、効率的にトランジスタ400へ拡散させるために、トランジスタ400と層間膜の上下を、水素および酸素に対するバリア性を有する層で挟む構造とするとよい。
例えば、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタルなどを用いるとよい。なお、バリア性を有する膜を積層することで、当該機能をより確実にすることができる。
絶縁体416上には、絶縁体220、絶縁体222、および絶縁体224が順に積層して設けられている。また、絶縁体220、絶縁体222、および絶縁体224には導電体244の一部が埋め込まれている。なお、導電体218は、キャパシタ300、またはトランジスタ500と電気的に接続するプラグ、または配線として機能を有する。
絶縁体220、および絶縁体224は、酸化シリコン膜や酸化窒化シリコン膜などの、酸素を含む絶縁体であることが好ましい。特に、絶縁体224として過剰酸素を含む(化学量論的組成よりも過剰に酸素を含む)絶縁体を用いることが好ましい。このような過剰酸素を含む絶縁体を、トランジスタ400のチャネル領域が形成される酸化物230に接して設けることにより、酸化物中の酸素欠損を補償することができる。なお、絶縁体222と絶縁体224とは、必ずしも同じ材料を用いて形成しなくともよい。
絶縁体222は、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)または(Ba,Sr)TiO(BST)などのいわゆるhigh−k材料を含む絶縁体を単層または積層で用いることが好ましい。またはこれらの絶縁体に例えば酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ゲルマニウム、酸化ニオブ、酸化シリコン、酸化チタン、酸化タングステン、酸化イットリウム、酸化ジルコニウムを添加してもよい。またはこれらの絶縁体を窒化処理しても良い。上記の絶縁体に酸化シリコン、酸化窒化シリコンまたは窒化シリコンを積層して用いてもよい。
なお、絶縁体222が、2層以上の積層構造を有していてもよい。その場合、同じ材料からなる積層構造に限定されず、異なる材料からなる積層構造でもよい。
絶縁体220および絶縁体224の間に、high−k材料を含む絶縁体222を有することで、特定の条件で絶縁体222が電子を捕獲し、しきい値電圧を増大させることができる。つまり、絶縁体222が負に帯電する場合がある。
例えば、絶縁体220、および絶縁体224に、酸化シリコンを用い、絶縁体222に、酸化ハフニウム、酸化アルミニウム、酸化タンタルのような電子捕獲準位の多い材料を用いた場合、半導体装置の使用温度、あるいは保管温度よりも高い温度(例えば、125℃以上450℃以下、代表的には150℃以上300℃以下)の下で、導電体405の電位をソース電極やドレイン電極の電位より高い状態を、10ミリ秒以上、代表的には1分以上維持することで、酸化物230から導電体405に向かって、電子が移動する。この時、移動する電子の一部が、絶縁体222の電子捕獲準位に捕獲される。
絶縁体222の電子捕獲準位に必要な量の電子を捕獲させたトランジスタは、しきい値電圧がプラス側にシフトする。なお、導電体405の電圧の制御によって電子の捕獲する量を制御することができ、それに伴ってしきい値電圧を制御することができる。当該構成を有することで、トランジスタ400は、ゲート電圧が0Vであっても非導通状態(オフ状態ともいう)であるノーマリーオフ型のトランジスタとなる。
また、電子を捕獲する処理は、トランジスタの作製過程におこなえばよい。例えば、トランジスタのソース導電体あるいはドレイン導電体に接続する導電体の形成後、あるいは、前工程(ウェハー処理)の終了後、あるいは、ウェハーダイシング工程後、パッケージ後等、工場出荷前のいずれかの段階で行うとよい。
また、絶縁体222には、酸素や水素に対してバリア性のある物質を用いることが好ましい。このような材料を用いて形成した場合、酸化物230からの酸素の放出や、外部からの水素等の不純物の混入を防ぐことができる。
酸化物230a、酸化物230b、および酸化物230cは、In−M−Zn酸化物(MはAl、Ga、Y、またはSn)等の金属酸化物で形成される。また、酸化物230として、In−Ga酸化物、In−Zn酸化物を用いてもよい。
酸化物230に用いる酸化物としては、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウムまたはスズなどが含まれていることが好ましい。また、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
ここで、酸化物が、インジウム、元素Mおよび亜鉛を有する場合を考える。なお、元素Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウムまたはスズなどとする。そのほかの元素Mに適用可能な元素としては、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウムなどがある。ただし、元素Mとして、前述の元素を複数組み合わせても構わない場合がある。
導電体240a、および導電体240bは、一方がソース電極として機能し、他方がドレイン電極として機能する。
導電体240a、および導電体240bは、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、またはタングステンなどの金属、またはこれを主成分とする合金を単層構造または積層構造として用いる。例えば、シリコンを含むアルミニウム膜の単層構造、タンタル膜または窒化タンタル膜を積層する二層構造、チタン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、タングステン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、銅−マグネシウム−アルミニウム合金膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜上に銅膜を積層する二層構造、タングステン膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜または窒化チタン膜と、そのチタン膜または窒化チタン膜上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にチタン膜または窒化チタン膜を形成する三層構造、モリブデン膜または窒化モリブデン膜と、そのモリブデン膜または窒化モリブデン膜上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にモリブデン膜または窒化モリブデン膜を形成する三層構造等がある。なお、酸化インジウム、酸化錫または酸化亜鉛を含む透明導電材料を用いてもよい。
絶縁体250は、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)または(Ba,Sr)TiO(BST)などのいわゆるhigh−k材料を含む絶縁体を単層または積層で用いることができる。またはこれらの絶縁体に例えば酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ゲルマニウム、酸化ニオブ、酸化シリコン、酸化チタン、酸化タングステン、酸化イットリウム、酸化ジルコニウムを添加してもよい。またはこれらの絶縁体を窒化処理しても良い。上記の絶縁体に酸化シリコン、酸化窒化シリコンまたは窒化シリコンを積層して用いてもよい。
また、絶縁体250して、絶縁体224と同様に、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化物絶縁体を用いることが好ましい。
なお、絶縁体250は、絶縁体220、絶縁体222、および絶縁体224と同様の積層構造を有していてもよい。絶縁体250が、電子捕獲準位に必要な量の電子を捕獲させた絶縁体を有することで、トランジスタ400は、しきい値電圧をプラス側にシフトすることができる。当該構成を有することで、トランジスタ400は、ゲート電圧が0Vであっても非導通状態(オフ状態ともいう)であるノーマリーオフ型のトランジスタとなる。
ゲート電極として機能を有する導電体260は、例えばアルミニウム、クロム、銅、タンタル、チタン、モリブデン、タングステンから選ばれた金属、または上述した金属を成分とする合金か、上述した金属を組み合わせた合金等を用いて形成することができる。また、マンガン、ジルコニウムのいずれか一または複数から選択された金属を用いてもよい。また、リン等の不純物元素をドーピングした多結晶シリコンに代表される半導体、ニッケルシリサイド等のシリサイドを用いてもよい。例えば、アルミニウム膜上にチタン膜を積層する二層構造、窒化チタン膜上にチタン膜を積層する二層構造、窒化チタン膜上にタングステン膜を積層する二層構造、窒化タンタル膜または窒化タングステン膜上にタングステン膜を積層する二層構造、チタン膜と、そのチタン膜上にアルミニウム膜を積層し、さらにその上にチタン膜を形成する三層構造等がある。また、アルミニウムに、チタン、タンタル、タングステン、モリブデン、クロム、ネオジム、スカンジウムから選ばれた一または複数の金属を組み合わせた合金膜、もしくは窒化膜を用いてもよい。
また、導電体260は、インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化シリコンを添加したインジウム錫酸化物等の透光性を有する導電性材料を適用することもできる。また、上記透光性を有する導電性材料と、上記金属の積層構造とすることもできる。
絶縁体280は、加熱により一部の酸素が脱離する酸化物材料を用いることが好ましい。
加熱により酸素を脱離する酸化物材料として、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化物を用いることが好ましい。化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化物膜は、加熱により一部の酸素が脱離する。化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化物膜は、昇温脱離ガス分光法(TDS:Thermal Desorption Spectroscopy)分析にて、酸素原子に換算しての酸素の脱離量が1.0×1018atoms/cm以上、好ましくは3.0×1020atoms/cm以上である酸化物膜である。なお、上記TDS分析時における膜の表面温度としては100℃以上700℃以下、または100℃以上500℃以下の範囲が好ましい。
例えばこのような材料として、酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンを含む材料を用いることが好ましい。または、金属酸化物を用いることもできる。なお、本明細書中において、酸化窒化シリコンとは、その組成として窒素よりも酸素の含有量が多い材料を指し、窒化酸化シリコンとは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多い材料を示す。
また、トランジスタ400を覆う絶縁体280は、その下方の凹凸形状を被覆する平坦化膜として機能してもよい。
また、導電体260を覆うように、絶縁体270を設けてもよい。絶縁体280に酸素が脱離する酸化物材料を用いる場合、導電体260が、脱離した酸素により酸化することを防止するため、絶縁体270は、酸素に対してバリア性を有する物質を用いる。当該構成とすることで、導電体260の酸化を抑制し、絶縁体280から、脱離した酸素を効率的に酸化物230へと供給することができる。
絶縁体280上には、絶縁体282、および絶縁体284が順に積層して設けられている。また、絶縁体280、絶縁体282、および絶縁体284には、導電体244、導電体246a、および導電体246b等が埋め込まれている。なお、導電体244は、キャパシタ300、またはトランジスタ500と電気的に接続するプラグ、または配線として機能を有する。導電体246a、および導電体246bは、キャパシタ300、またはトランジスタ400と電気的に接続するプラグ、または配線として機能を有する。
絶縁体282、および絶縁体284のいずれか、または両方に、酸素や水素に対してバリア性のある物質を用いることが好ましい。当該構成とすることで、トランジスタ400近傍の層間膜から脱離する酸素を、効率的にトランジスタ400へ、拡散させることができる。
絶縁体284の上方には、キャパシタ300が設けられている。
絶縁体602上には、導電体604、および導電体624が設けられている。なお、導電体624は、トランジスタ400、またはトランジスタ500と電気的に接続するプラグ、または配線として機能を有する。
導電体604上に絶縁体612、絶縁体612上に導電体616が設けられている。また、導電体616は、絶縁体612を介して、導電体604の側面を覆っている。つまり、導電体604の側面においても、容量として機能するため、キャパシタの投影面積当たりの容量を増加させることができる。従って、半導体装置の小面積化、高集積化、微細化が可能となる。
なお、絶縁体602は、少なくとも導電体604、と重畳する領域に設けられていればよい。例えば、図13(B)に示すキャパシタ300Aのように、絶縁体602を、導電体604、および導電体624と重畳する領域にのみ設け、絶縁体602と、絶縁体612とが接する構造としてもよい。
導電体616上には、絶縁体620、および絶縁体622が順に積層して設けられている。また、絶縁体620、絶縁体622、および絶縁体602には導電体626、および導電体628が埋め込まれている。なお、導電体626、および導電体628は、トランジスタ400、またはトランジスタ500と電気的に接続するプラグ、または配線として機能を有する。
また、キャパシタ300を覆う絶縁体620は、その下方の凹凸形状を被覆する平坦化膜として機能してもよい。
以上が半導体装置におけるトランジスタの積層構造の一例である。
<表示システム>
図14は、上記半導体装置を適用した表示システムの構成例を説明するブロック図である。
表示システムは、図1で説明したセンサ101、アプリケーションプロセッサ102、コンフィギュレーションコントローラ103、コンフィギュレーションメモリアレイ104、および画像プロセッサ105の他、ホストコントローラ106、インターフェイス107、ドライバIC110(IC(Integrated Circuit))、ドライバIC111、および表示装置130を有する。
表示装置130は、表示部112および表示部113を有する。表示部112は、各画素に液晶素子114を有する。表示部113は、各画素に発光素子115を有する。画素は、液晶素子114と発光素子の2つの表示素子を有し、それぞれの表示素子を重ねて表示を切り替えて行う機能を有する。画素の構成例については後で詳細に説明する。
液晶素子114は、IPS(In−Plane−Switching)モード、TN(Twisted Nematic)モード、FFS(Fringe Field Switching)モード、ASM(Axially Symmetric aligned Micro−cell)モード、OCB(Optically Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モードなどの駆動方法を用いて駆動することができる。または、垂直配向(VA)モード、具体的には、MVA(Multi−Domain Vertical Alignment)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)モード、ECB(Electrically Controlled Birefringence)モード、CPA(Continuous Pinwheel Alignment)モード、ASV(Advanced Super−View)モードなどの駆動方法を用いて駆動することができる。
液晶素子114が有する液晶材料には、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。または、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す液晶材料を用いることができる。または、ブルー相を示す液晶材料を用いることができる。
なお発光素子115としては、有機エレクトロルミネッセンス素子、無機エレクトロルミネッセンス素子等のEL素子の他、または発光ダイオードなどを用いることができる。
EL素子は、白色の光を射出するように積層された積層体を用いることができる。具体的には、青色の光を射出する蛍光材料を含む発光性の有機化合物を含む層と、緑色および赤色の光を射出する蛍光材料以外の材料を含む層または黄色の光を射出する蛍光材料以外の材料を含む層と、を積層した積層体を、用いることができる。
画像プロセッサ105は、画像処理を行う具体的な回路の一例として、補正パラメータ保持回路108および補正選択回路109を有する。画像プロセッサ105は、画像データVDを画像処理した画像データLCCompおよび画像データLCCompをドライバIC110およびドライバIC111に出力する。
補正パラメータ保持回路108は、一例としてガンマ補正回路116、調光補正回路117、曲面補正回路118、閾値補正回路119、および調色補正回路120を有する。ガンマ補正回路116、調光補正回路117、曲面補正回路118、閾値補正回路119、および調色補正回路120は、パラメータPxに応じて画像データVDを補正する。補正選択回路109は、補正パラメータ保持回路108が有する各補正回路のいずれか一以上を選択して補正された画像データLCCompおよび画像データLCCompタを出力する機能を有する。
ガンマ補正回路116は、使用環境に応じて入力される画像データVDに対して適切なガンマ補正を行う機能を有する回路である。調光補正回路117は、使用環境に応じて入力される画像データVDに対して適切な調光補正を行う機能を有する回路である。曲面補正回路118は、表示装置130の表示面の形状に応じて入力される画像データVDに対して適切な補正を行う機能を有する回路である。閾値補正回路119は、表示装置130の各画素が有するトランジスタの閾値電圧の補正を考慮して補正する機能を有する回路である。調色補正回路120は、使用環境に応じて入力される画像データVDに対して適切な調色補正を行う機能を有する回路である。色の補正は、R(赤)G(緑)B(青)の三原色に限らず、白(W)を加えた4色に対応させることもできる。または、黄(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)の三原色に対応した色の補正を行うこともできる。
ホストコントローラ106は、画像データVDを所定の形式の信号に変換してインターフェイス107に出力する機能を有する。
インターフェイス107は、LVDS(Low Voltage Differential Signaling)、DVI、HDMI(登録商標)Lなどに即した信号に変換する回路が挙げられる。
ドライバIC110は、画像プロセッサ105で画像処理された画像データLCCompをもとに、表示装置130の表示部112で表示するための各種信号を生成する機能を有する。画像データLCCompは、表示部112が有する液晶素子114で表示を行うための信号である。
ドライバIC111は、画像プロセッサ105で画像処理された画像データELCompをもとに、表示装置130の表示部113で表示するための各種信号を生成する機能を有する。画像データELCompは、表示部112が有する発光素子115で表示を行うための信号である。
表示装置130では、表示部112と表示部113のうち、表示部112においてのみ画像を表示することができる。表示部112に反射型の液晶素子114を用いることで、画像を表示する際に光源として外光を利用することができる。外光を利用する場合、表示部112においてのみ画像の表示を行うことで、表示装置130の消費電力を抑えることができる。また、表示部113では発光素子115を用いているため、別途光源を用意する、或いは外光を利用することなく、画像の表示を行うことができる。よって、表示部113において画像を表示することで、表示装置130の使用環境に左右されずに高い表示品質を確保することができる。
また、表示装置130では、表示部112と表示部113の両方を用いて画像を表示することも可能である。上記構成により、表示装置130において表示できる画像の階調数を高めることができる。或いは、表示装置130において表示できる画像の色域の範囲を広げることができる。
また、表示装置130は、ドライバIC110に供給する画像データLCCompと、ドライバIC111に供給する画像データELCompとを、画像データVDから画像処理を施して生成する機能を有する画像プロセッサ105を有する。具体的に、画像プロセッサ105は、信号処理により、入力された画像データVDに各種の補正を施す機能も有する。画像データVDに各種の補正を施す機能とは、言い換えると、画像データLCCompと画像データELCompとに各種の補正を施す機能とも言える。
なお、上記補正として、液晶素子114の特性に合わせたガンマ補正、発光素子115の劣化特性に合わせた調光補正などを行うことができる。表示装置130では、上記補正の他に、外光の強度、外光の入射角、色の調整、階調数の調整等を行うこともできる。
<画素の構成例および動作例>
図15(A)は、図14で説明した液晶素子と発光素子を有する画素の構成例を説明するための断面図の一例である。
図15(A)は、画素回路51、画素回路52、液晶素子LCおよび発光素子ELの積層構造を説明するための断面図である。
図15(A)では、発光素子ELを有する層61、画素回路を有する層62、および液晶素子LCを有する層63を図示している。層61乃至63は、基板70と基板80との間に設けられる。なお図示していないが、その他に偏光板、円偏光板、反射防止膜等の光学部材を有していてもよい。
層61は発光素子ELを有する。発光素子ELは、電極71、発光層72、および電極73を有する。電極71と電極73との間に挟まれた発光層72に電流が流れることで光92(点線矢印で図示)を射出する。光92の強度は、層62にある画素回路52によって制御される。
層62は、画素回路51、画素回路52およびカラーフィルター74を有する。また層622は、画素回路51と反射電極81とを接続するための電極87、画素回路52と電極71とを接続するための電極75を有する。カラーフィルター74は、発光素子ELが射出する光が白色の場合に設けられ、特定の波長の光92を視認側に射出することができる。カラーフィルター74は、開口83に重なる位置に設ける。画素回路51および画素回路52は、反射電極81に重なる位置に設ける。なお図15(A)では、液晶素子LCが設けられる層と発光素子ELが設けられる層の間に画素回路51および画素回路52を設ける構成を図示したが、画素回路51および画素回路52は液晶素子LCおよび発光素子ELの上層または下層に設ける構成としてもよい。
層63は、開口83、反射電極81および導電層82、液晶84、導電層85、およびカラーフィルター86を有する。導電層82は、対となる導電層85との間に設けられる液晶84の配向状態を制御する。反射電極81は、外光を反射して反射光91(点線矢印で図示)を射出する。反射光91の強度は、画素回路51による液晶84の配向状態の調整によって制御される。開口83は、層61の発光素子ELが射出する光92が透過する位置に設ける。
反射電極81は、例えば、可視光を反射する材料を用いることができる。具体的には、銀を含む材料を反射膜に用いることができる。例えば、銀およびパラジウム等を含む材料または銀および銅等を含む材料を反射膜に用いることができる。また、例えば、表面に凹凸を備える材料を、反射膜に用いることができる。これにより、入射する光をさまざまな方向に反射して、白色の表示をすることができる。
導電層82および導電層85は、例えば、可視光を透過する材料を用いることができる。具体的には、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができる。
基板70および基板80には、例えば、ガラス、セラミックス等の透光性を有する無機材料を用いることができる。あるいは基板631、632には、可撓性を有する材料、例えば樹脂フィルムまたはプラスチック等の有機材料を用いることができる。なお基板70および基板80には、偏光板、位相差板、プリズムシートなどの部材を適宜積層して用いることもできる。
絶縁層は、例えば、絶縁性の無機材料、絶縁性の有機材料または無機材料と有機材料を含む絶縁性の複合材料を用いることができる。例えば絶縁層には、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜等またはこれらから選ばれた複数を積層した積層材料、あるいはポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリシロキサン若しくはアクリル樹脂等またはこれらから選択された複数の樹脂の積層材料もしくは複合材料、を含む膜を用いることができる。
電極75および電極87等の導電層は、導電性を備える材料を配線等に用いることができる。例えば電極75および電極87は、アルミニウム、金、白金、銀、銅、クロム、タンタル、チタン、モリブデン、タングステン、ニッケル、鉄、コバルト、パラジウムまたはマンガンから選ばれた金属元素などを用いることができる。または、上述した金属元素を含む合金などを、配線等に用いることができる。
発光層72は、発光層、電荷輸送層または電荷注入層を自由に組み合わせて形成すれば良い。例えば、低分子系有機EL材料や高分子系有機EL材料を用いればよい。また、EL層として一重項励起により発光(蛍光)する発光材料(シングレット化合物)からなる薄膜、または三重項励起により発光(リン光)する発光材料(トリプレット化合物)からなる薄膜を用いることができる。また、電荷輸送層や電荷注入層として炭化珪素等の無機材料を用いることも可能である。これらの有機EL材料や無機材料は公知の材料を用いることができる。
電極71は、発光素子ELの陽極として機能する。陽極を形成する材料としては、陰極を形成する材料よりも仕事関数の大きい材料を用い、ITO(酸化インジウム酸化スズ)、酸化インジウム酸化亜鉛(In―ZnO)、酸化亜鉛(ZnO)等、さらにITOよりもシート抵抗の低い材料、具体的には白金(Pt)、クロム(Cr)、タングステン(W)、もしくはニッケル(Ni)といった材料を用いることができる。
電極73は、仕事関数の小さい金属(代表的には周期表の1族もしくは2族に属する金属元素)や、これらを含む合金を用いることができる。仕事関数が小さければ小さいほど発光効率が向上するため、中でも、陰極に用いる材料としては、アルカリ金属の一つであるLi(リチウム)を含む合金材料が望ましい。
図15(A)に示すように、液晶素子LCおよび発光素子ELを重ねて設ける。そして、開口83は、発光素子ELが射出する光92が透過する位置に設ける。このような構成とすることで、周辺環境に応じた表示素子の切り替えを画素が占める面積を大きくすることなく実現できる。その結果、視認性が向上した表示装置とすることができる。
図15(B)は、図15(A)に示す画素の断面図の画素回路51、画素回路52、液晶素子LCおよび発光素子ELに対応する回路図である。図15(B)に示す画素90において、画素回路51は、トランジスタM1および容量素子CsLCを有する。画素回路52は、トランジスタM2、M3および容量素子CsELを有する。画素90が有する各素子は、図15(B)に示すように、ゲート線GLLC、ゲート線GLEL、信号線SLLC、信号線SLEL、容量線LCS、電流供給線Lano、および共通電位線Lcasに接続される。
なお容量素子CsELは、発光素子ELを駆動するための階調電圧をトランジスタM3のゲートに保持するために設けている。このような構成とすることで、発光素子ELを駆動するための階調電圧の保持をより確実に行うことができる。
トランジスタM1は、導通状態を制御することで、液晶素子LCを駆動するための階調電圧を容量素子CsLCに与える。トランジスタM2は、導通状態を制御することで、発光素子ELを駆動するための階調電圧をトランジスタM3のゲートに与える。トランジスタM3は、ゲートの電圧に応じて電流供給線Lanoと共通電位線Lcasとの間に電流を流して発光素子ELを駆動する。
トランジスタM1乃至M3は、nチャネル型トランジスタを用いることができる。nチャネル型トランジスタは、各配線の電圧の大小関係を変えることで、pチャネル型トランジスタに置き換えることもできる。トランジスタM1乃至M3の半導体材料は、シリコンを用いることができる。シリコンは、単結晶シリコン、ポリシリコン、微結晶シリコンまたはアモルファスシリコンなどを適宜選択して用いることができる。
あるいはトランジスタM1乃至M3の半導体材料は、酸化物半導体を用いることができる。
なお、酸化物半導体は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
また画素30が有するトランジスタM1乃至M3は、ボトムゲート型のトランジスタや、トップゲート型トランジスタなどの様々な形態のトランジスタを用いて作製することができる。また画素30が有するトランジスタM1乃至M3を、バックゲートを有するトランジスタとしてもよい。バックゲートに与える電圧は、ゲート線GLLCやゲート線GLELとは異なる、別の配線から与える構成としてもよい。このような構成とすることで、トランジスタの閾値電圧のコントロール、あるいはトランジスタを流れる電流量を大きくすることができる。
図15(C)では、画素90の模式図を図示している。画素90は、図15(A)、(B)で説明した画素回路51、画素回路52、開口83、液晶素子LCおよび発光素子ELを有する。また図15(C)では、反射光91および光92を図示している。
図15(C)に示す画素回路51および画素回路52は、液晶素子LCが設けられる層と発光素子ELが設けられる層の間に設けられる。液晶素子LCを駆動するための画素回路51と発光素子ELを駆動するための画素回路52とのトランジスタを有する素子層を同じ工程で設けることで、画素回路51と画素回路52とを同層に配置する構成とする。当該構成とすることで、液晶素子LCに階調電圧を与える駆動回路と、発光素子ELに階調電圧を与える駆動回路とを一体化した駆動回路とすることができる。
図15(C)に示す構成とすることで画素90は、液晶素子LCによる反射光91の強度の制御と、開口83を透過する発光素子ELの発する光92の強度の制御と、によって階調表示を行うことができる。なお反射光91が射出される方向および発光素子ELが発する光35が射出される方向は、表示装置の表示面となる。
図15(C)に示す画素90の構成では、液晶素子LCが有する反射電極によって外光を利用した反射光91の強度を液晶層で調節して階調表示を行う。そのため画素90を有する表示装置は、屋外での視認性を向上することができる。
また図15(C)に示す画素90の構成では、発光素子ELの発する光92の強度を調節して階調表示を行う。そのため画素90を有する表示装置は、外光の強度が小さい屋内での視認性を向上することができる。
なお屋外にて液晶素子LCを制御して表示を行う構成、または屋内にて発光素子ELを制御して表示を行う構成は、表示装置に照度を測定可能なセンサを設ける構成とすればよい。
また図15(C)に示す構成では、画素ごとに液晶素子LCを制御することができる画素回路51、及び発光素子ELを制御することができる画素回路52を有する。つまり、画素90ごとに液晶素子LCおよび発光素子ELの階調表示を別々に制御することができる。このような構成では、複数の画素で一様に点灯するバックライトの制御とは異なり、表示する画像に応じた発光素子ELの発光を画素レベルといった最小単位で制御することができるため、余分な発光を抑えることができる。そのため図15(C)の画素90を有する表示装置は、低消費電力化を図ることができる。
図15(B)で示した画素90を有する表示装置の動作モードについて、図16(A)から図16(D)までを参照して説明する。
表示装置は、周辺の照度に応じて、動作モードを切り替えることができる。図16(A)から図16(C)までは、照度に応じて表示装置が取り得る表示モードを説明するための画素の模式図である。なお図16(A)から図16(C)までにおいては、図15(C)と同様に、画素回路51、画素回路52、液晶素子LC、発光素子EL、開口83、液晶素子LCが有する反射電極が反射する反射光91、および開口83より射出される発光素子ELが発する光92を図示している。
表示装置が取り得る表示モードとしては、図16(A)から図16(C)までに示す、反射液晶表示モード(R−LC mode)と、反射液晶+EL表示モード(R−LC+EL mode)と、EL表示モード(EL mode)と、を挙げて説明する。
反射液晶表示モードは、画素が有する液晶素子を駆動して反射光の強度を調節して階調表示を行う表示モードである。具体的には図16(A)に示す画素の模式図のように液晶素子LCが有する反射電極で反射光91の強度を液晶層で調節して階調表示を行う。
反射液晶+EL表示モード(R−LC+EL mode)は、液晶素子の駆動と発光素子の駆動とによって反射光の強度と発光素子の光の強度の双方を調節して階調表示を行う表示モードである。具体的には図16(B)に示す画素の模式図のように液晶素子LCが有する反射電極で反射光91の強度と、発光素子ELが開口83より射出する光92の強度と、を調節して階調表示を行う。
EL表示モード(EL mode)は、発光素子を駆動して光の強度を調節して階調表示を行う表示モードである。具体的には図16(C)に示す画素の模式図のように、発光素子ELが開口83より射出する光92の強度を調節して階調表示を行う。
図16(D)には、上述した3つのモード(反射液晶表示モード、反射液晶+EL表示モード、EL表示モード)の状態遷移図を示す。状態C1は反射液晶表示モードを表し、状態C2は反射液晶+EL表示モードを表し、状態C3はEL表示モードを表している。
図16(D)に図示するように、状態C1から状態C3までは照度に応じていずれかの状態の表示モードを取り得る。例えば屋外のように照度が大きい場合、状態C1を取り得る。また屋外から屋内に移動するような照度が小さくなる場合、状態C1から状態C3に遷移する。また屋内であっても照度が大きく、反射光による階調表示が可能な場合、状態C3から状態C2に遷移する。
以上のように照度に応じて表示モードを切り替える構成とすることで、消費電力が比較的大きい発光素子の光の強度による階調表示の頻度を減らすことができる。そのため、表示装置の消費電力を低減することができる。
また表示装置は、バッテリーの残容量、表示するコンテンツ、あるいは周辺環境の照度に応じて、さらに動作モードを切り替えることができる。例えば、通常のフレーム周波数で動作する通常動作モード(Normal mode)と、低速のフレーム周波数で操作するアイドリング・ストップ(IDS)駆動モードと、を挙げられる。
なお、アイドリング・ストップ(IDS)駆動とは、画像データの書き込み処理を実行した後、画像データの書き換えを停止する駆動方法のことをいう。一旦画像データの書き込みをして、その後次の画像データの書き込みまでの間隔を延ばすことで、その間の画像データの書き込みに要する分の消費電力を削減することができる。
アイドリング・ストップ(IDS)駆動モードは、上述した反射液晶表示モードまたは反射液晶+EL表示モードといった表示モードと組み合わせることで、さらなる低消費電力化を図ることができるため有効である。
<電子部品>
上述した半導体装置を適用した電子部品について説明する。
図17(A)は、電子部品の作製方法例を示すフローチャートである。電子部品は、半導体パッケージ、またはIC用パッケージともいう。この電子部品は、端子取り出し方向や、端子の形状に応じて、複数の規格や名称が存在する。そこで、その一例について説明する。
トランジスタで構成される半導体装置は、組み立て工程(後工程)を経て、プリント基板に脱着可能な部品が複数合わさることで完成する。後工程については、図17(A)に示す各工程を経ることで完成させることができる。具体的には、前工程で得られる素子基板が完成(ステップST71)した後、基板の裏面を研削する。この段階で基板を薄膜化して、前工程での基板の反り等を低減し、部品の小型化を図る。次に、基板を複数のチップに分離するダイシング工程を行う(ステップST72)。
図17(B)は、ダイシング工程が行われる前の半導体ウエハ7100の上面図である。図17(C)は、図17(B)の部分拡大図である。半導体ウエハ7100には、複数の回路領域7102が設けられている。回路領域7102には、本発明の形態に係る半導体装置が設けられている。
複数の回路領域7102は、それぞれが分離領域7104に囲まれている。分離領域7104と重なる位置に分離線(「ダイシングライン」ともいう。)7106が設定される。ダイシング工程ST72では、分離線7106に沿って半導体ウエハ7100切断することで、回路領域7102を含むチップ7110を半導体ウエハ7100から切り出す。図17(D)にチップ7110の拡大図を示す。
分離領域7104に導電層や半導体層を設けてもよい。分離領域7104に導電層や半導体層を設けることで、ダイシング工程時に生じうるESDを緩和し、ダイシング工程に起因する歩留まりの低下を防ぐことができる。また、一般にダイシング工程は、基板の冷却、削りくずの除去、帯電防止などを目的として、炭酸ガスなどを溶解させて比抵抗を下げた純水を切削部に供給しながら行なう。分離領域7104に導電層や半導体層を設けることで、当該純水の使用量を削減することができる。よって、半導体装置の生産コストを低減することができる。また、半導体装置の生産性を高めることができる。
ステップST72を行った後、分離したチップを個々にピックアップしてリードフレーム上に搭載し接合する、ダイボンディング工程を行う(ステップST73)。ダイボンディング工程におけるチップとリードフレームとの接着方法は製品に適した方法を選択すればよい。例えば、接着は樹脂やテープによって行えばよい。ダイボンディング工程は、インターポーザ基板上にチップを搭載し接合してもよい。ワイヤーボンディング工程で、リードフレームのリードとチップ上の電極とを金属の細線(ワイヤー)で電気的に接続する(ステップST74)。金属の細線には、銀線や金線を用いることができる。ワイヤーボンディングは、ボールボンディングとウェッジボンディングの何れでもよい。
ワイヤーボンディングされたチップは、エポキシ樹脂等で封止される、モールド工程が施される(ステップST75)。モールド工程を行うことで電子部品の内部が樹脂で充填され、機械的な外力による内蔵される回路部やワイヤーに対するダメージを低減することができ、また水分や埃による特性の劣化を低減することができる。リードフレームのリードをメッキ処理する。そしてリードを切断および成形加工する「成型工程」を行う(ステップST76)。めっき処理によりリードの錆を防止し、後にプリント基板に実装する際のはんだ付けをより確実に行うことができる。パッケージの表面に印字処理(マーキング)を施す(ステップST77)。検査工程(ステップST78)を経て、電子部品が完成する(ステップST79)。上掲した実施の形態の半導体装置を組み込むことで、低消費電力で、小型な電子部品を提供することができる。
完成した電子部品の斜視模式図を図17(E)に示す。図17(E)では、電子部品の一例として、QFP(Quad Flat Package)の斜視模式図を示している。図17(E)に示すように、電子部品7000は、リード7001およびチップ7110を有する。
電子部品7000は、例えばプリント基板7002に実装される。このような電子部品7000が複数組み合わされて、それぞれがプリント基板7002上で電気的に接続されることで電子機器に搭載することができる。完成した回路基板7004は、電子機器等の内部に設けられる。電子部品7000を搭載することで、電子機器の消費電力を削減することができる。または、電子機器を小型化することが容易になる。
電子部品7000は、デジタル信号処理、ソフトウェア無線、アビオニクス(通信機器、航法システム、自動操縦装置、飛行管理システム等の航空に関する電子機器)、ASICのプロトタイピング、医療用画像処理、音声認識、暗号、バイオインフォマティクス(生物情報科学)、機械装置のエミュレータ、および電波天文学における電波望遠鏡等、幅広い分野の電子機器の電子部品(ICチップ)に適用することが可能である。このような電子機器としては、カメラ(ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ等)、表示装置、パーソナルコンピュータ(PC)、携帯電話、携帯型を含むゲーム機、携帯型情報端末(スマートフォン、タブレット型情報端末など)、電子書籍端末、ウエアラブル型情報端末(時計型、ヘッドマウント型、ゴーグル型、眼鏡型、腕章型、ブレスレット型、ネックレス型等)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、デジタルオーディオプレイヤー等)、複写機、ファクシミリ、プリンタ、プリンタ複合機、現金自動預け入れ払い機(ATM)、自動販売機、家庭用電化製品などに適用可能である。
<電子機器>
次いで、コンピュータ、携帯情報端末(携帯電話、携帯型ゲーム機、音響再生装置なども含む)、電子ペーパー、テレビジョン装置(テレビ、又はテレビジョン受信機ともいう)、デジタルビデオカメラなどの電子機器に、上述の電子部品を適用する場合について説明する。
図18(A)は、携帯型の情報端末であり、筐体801、筐体802、第1の表示部803a、第2の表示部803bなどによって構成されている。筐体801と筐体802の少なくとも一部には、上述した半導体装置を有する電子部品が設けられている。そのため、動作の切り替えを高速で行うことが可能な携帯型の情報端末が実現される。
なお、第1の表示部803aはタッチ入力機能を有するパネルとなっており、例えば図18(A)の左図のように、第1の表示部803aに表示される選択ボタン804により「タッチ入力」を行うか、「キーボード入力」を行うかを選択できる。選択ボタンは様々な大きさで表示できるため、幅広い世代の人が使いやすさを実感できる。ここで、例えば「キーボード入力」を選択した場合、図18(A)の右図のように第1の表示部803aにはキーボード805が表示される。これにより、従来の情報端末と同様に、キー入力による素早い文字入力などが可能となる。
また、図18(A)に示す携帯型の情報端末は、図18(A)の右図のように、第1の表示部803aおよび第2の表示部803bのうち、一方を取り外すことができる。第2の表示部803bもタッチ入力機能を有するパネルとし、持ち運びの際、さらなる軽量化を図ることができ、一方の手で筐体802を持ち、他方の手で操作することができるため便利である。
図18(A)に示す携帯型の情報端末は、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示する機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示部に表示する機能、表示部に表示した情報を操作又は編集する機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、等を有することができる。また、筐体の裏面や側面に、外部接続用端子(イヤホン端子、USB端子など)、記録媒体挿入部などを備える構成としてもよい。
また、図18(A)に示す携帯型の情報端末は、無線で情報を送受信できる構成としてもよい。無線により、電子書籍サーバから、所望の書籍データなどを購入し、ダウンロードする構成とすることも可能である。
更に、図18(A)に示す筐体802にアンテナやマイク機能や無線機能を持たせ、携帯電話として用いてもよい。
図18(B)は、電子ペーパーを実装した電子書籍端末810であり、筐体811と筐体812の2つの筐体で構成されている。筐体811および筐体812には、それぞれ表示部813および表示部814が設けられている。筐体811と筐体812は、軸部815により接続されており、該軸部815を軸として開閉動作を行うことができる。また、筐体811は、電源816、操作キー817、スピーカー818などを備えている。筐体811、筐体812の少なくとも一には、上述した半導体装置を有する電子部品が設けられている。そのため、動作の切り替えを高速で行うことが可能な電子書籍端末が実現される。
図18(C)は、テレビジョン装置であり、筐体821、表示部822、スタンド823などで構成されている。テレビジョン装置820の操作は、筐体821が備えるスイッチや、リモコン操作機824により行うことができる。筐体821およびリモコン操作機824には上述した半導体装置を有する電子部品が設けられている。そのため、動作の切り替えを高速で行うことが可能なテレビジョン装置が実現される。
図18(D)は、スマートフォンであり、本体830には、表示部831と、スピーカー832と、マイク833と、操作ボタン834等が設けられている。本体830内には、上述した半導体装置を有する電子部品が設けられている。そのため動作の切り替えを高速で行うことが可能なスマートフォンが実現される。
図18(E)は、デジタルカメラであり、本体841、表示部842、操作スイッチ843などによって構成されている。本体841内には、先の実施の形態に示す半導体装置が設けられている。そのため、低消費電力化が図られたデジタルカメラが実現される。
<本明細書等の記載に関する付記>
本明細書等において、「第1」、「第2」、「第3」という序数詞は、構成要素の混同を避けるために付したものである。従って、構成要素の数を限定するものではない。また、構成要素の順序を限定するものではない。
本明細書等において、ブロック図では、構成要素を機能毎に分類し、互いに独立したブロックとして示している。しかしながら実際の回路等においては、構成要素を機能毎に切り分けることが難しく、一つの回路に複数の機能が係わる場合や、複数の回路にわたって一つの機能が関わる場合があり得る。そのため、ブロック図のブロックは、明細書で説明した構成要素に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
なお図面において、同一の要素または同様な機能を有する要素、同一の材質の要素、あるいは同時に形成される要素等には同一の符号を付す場合があり、その繰り返しの説明は省略する場合がある。
本明細書等において、トランジスタの接続関係を説明する際、ソースとドレインとの一方を、「ソース又はドレインの一方」(又は第1電極、又は第1端子)と表記し、ソースとドレインとの他方を「ソース又はドレインの他方」(又は第2電極、又は第2端子)と表記している。これは、トランジスタのソースとドレインは、トランジスタの構造又は動作条件等によって変わるためである。なおトランジスタのソースとドレインの呼称については、ソース(ドレイン)端子や、ソース(ドレイン)電極等、状況に応じて適切に言い換えることができる。
また、本明細書等において、電圧と電位は、適宜言い換えることができる。電圧は、基準となる電位からの電位差のことであり、例えば基準となる電位をグラウンド電位(接地電位)とすると、電圧を電位に言い換えることができる。グラウンド電位は必ずしも0Vを意味するとは限らない。なお電位は相対的なものであり、基準となる電位によっては、配線等に与える電位を変化させる場合がある。
本明細書等において、スイッチとは、導通状態(オン状態)、または、非導通状態(オフ状態)になり、電流を流すか流さないかを制御する機能を有するものをいう。または、スイッチとは、電流を流す経路を選択して切り替える機能を有するものをいう。
一例としては、電気的スイッチ又は機械的なスイッチなどを用いることができる。つまり、スイッチは、電流を制御できるものであればよく、特定のものに限定されない。
なお、スイッチとしてトランジスタを用いる場合、トランジスタの「導通状態」とは、トランジスタのソースとドレインが電気的に短絡されているとみなせる状態をいう。また、トランジスタの「非導通状態」とは、トランジスタのソースとドレインが電気的に遮断されているとみなせる状態をいう。なおトランジスタを単なるスイッチとして動作させる場合には、トランジスタの極性(導電型)は特に限定されない。
本明細書等において、AとBとが接続されている、とは、AとBとが直接接続されているものの他、接続されているものを含むものとする。ここで、AとBとが接続されているとは、AとBとの間で、何らかの電気的作用を有する対象物が存在するとき、AとBとの電気信号の授受を可能とするものをいう。
C1 状態
C2 状態
C3 状態
CS0 スイッチ
CS1 スイッチ
m0 ノード
m1 ノード
M1 トランジスタ
M2 トランジスタ
M3 トランジスタ
mb0 ノード
mb1 ノード
MEM_0 コンフィギュレーションメモリ
MEM_1 コンフィギュレーションメモリ
MEM_3 コンフィギュレーションメモリ
ST72 ダイシング工程
T0 時刻
T1 時刻
T2 時刻
T3 時刻
T4 時刻
T5 時刻
T6 時刻
T7 時刻
T8 時刻
T9 時刻
T10 時刻
T11 時刻
T12 時刻
T13 時刻
T14 時刻
T15 時刻
Ve0 電位
Ve1 電位
wl0 制御信号線
wl1 制御信号線
10 トランジスタ層
12 トランジスタ
14 半導体層
16 ゲート電極
20 配線層
20A 配線層
20B 配線層
22 配線
24 絶縁層
30 トランジスタ層
32 トランジスタ
34 半導体層
35 光
36 ゲート電極
40 配線層
40A 配線層
40B 配線層
42 配線
44 絶縁層
51 画素回路
52 画素回路
61 層
62 層
63 層
70 基板
71 電極
72 発光層
73 電極
74 カラーフィルター
75 電極
80 基板
81 反射電極
82 導電層
83 開口
84 液晶
85 導電層
86 カラーフィルター
87 電極
90 画素
91 反射光
92 光
101 センサ
102 アプリケーションプロセッサ
103 コンフィギュレーションコントローラ
104 コンフィギュレーションメモリアレイ
105 画像プロセッサ
106 ホストコントローラ
107 インターフェイス
108 補正パラメータ保持回路
109 補正選択回路
110 ドライバIC
111 ドライバIC
112 表示部
113 表示部
114 液晶素子
115 発光素子
116 ガンマ補正回路
117 調光補正回路
118 曲面補正回路
119 閾値補正回路
120 調色補正回路
130 表示装置
201 トランジスタ
202 トランジスタ
203 トランジスタ
204 トランジスタ
205 トランジスタ
206 トランジスタ
207 キャパシタ
208 トランジスタ
209 トランジスタ
210 トランジスタ
211 トランジスタ
212 トランジスタ
213 トランジスタ
214 キャパシタ
216 バッファ回路
217 トランジスタ
218 導電体
220 絶縁体
222 絶縁体
224 絶縁体
230 酸化物
230a 酸化物
230b 酸化物
230c 酸化物
240a 導電体
240b 導電体
244 導電体
246a 導電体
246b 導電体
250 絶縁体
260 導電体
270 絶縁体
280 絶縁体
282 絶縁体
284 絶縁体
300 キャパシタ
300A キャパシタ
301 基板
302 半導体領域
304 絶縁体
306 導電体
308a 低抵抗領域
308b 低抵抗領域
320 絶縁体
322 絶縁体
324 絶縁体
326 絶縁体
328 導電体
330 導電体
350 絶縁体
352 絶縁体
354 絶縁体
356 導電体
358 導電体
400 トランジスタ
405 導電体
410 絶縁体
412 絶縁体
414 絶縁体
416 絶縁体
500 トランジスタ
500A トランジスタ
602 絶縁体
604 導電体
612 絶縁体
616 導電体
620 絶縁体
622 絶縁体
624 導電体
626 導電体
628 導電体
631 基板
632 基板
801 筐体
802 筐体
803a 表示部
803b 表示部
804 選択ボタン
805 キーボード
810 電子書籍端末
811 筐体
812 筐体
813 表示部
814 表示部
815 軸部
816 電源
817 操作キー
818 スピーカー
820 テレビジョン装置
821 筐体
822 表示部
823 スタンド
824 リモコン操作機
830 本体
831 表示部
832 スピーカー
833 マイク
834 操作ボタン
841 本体
842 表示部
843 操作スイッチ
7000 電子部品
7001 リード
7002 プリント基板
7004 回路基板
7100 半導体ウエハ
7102 回路領域
7104 分離領域
7106 分離線
7110 チップ

Claims (8)

  1. センサと、
    アプリケーションプロセッサと、
    コンフィギュレーションコントローラと、
    コンフィギュレーションメモリアレイと、
    画像プロセッサと、を有し、
    前記センサは、照度を検出する機能を有し、
    前記アプリケーションプロセッサは、前記照度に応じて表示の変更を行うための演算パラメータを生成する機能、およびコンテキスト切り替え信号を生成する機能を有し、
    前記コンフィギュレーションコントローラは、前記演算パラメータに応じた第1のコンフィギュレーションデータを生成する機能、および仮のパラメータに応じた複数の第2のコンフィギュレーションデータを生成する機能を有し、
    前記コンフィギュレーションメモリアレイは、前記コンテキスト切り替え信号の制御によって、複数の前記第2のコンフィギュレーションデータのいずれか一に応じた第1の出力信号を前記画像プロセッサに出力する機能と、前記コンフィギュレーションコントローラの制御によって更新された前記第1のコンフィギュレーションデータに応じた第2の出力信号を前記画像プロセッサに出力する機能と、を有することを特徴とする半導体装置。
  2. 請求項1において、
    前記コンフィギュレーションメモリアレイは、複数のコンフィギュレーションメモリを有し、
    前記コンフィギュレーションメモリは、
    第1の電荷保持回路と、第2の電荷保持回路と、第1のスイッチと、第2のスイッチと、バッファ回路と、を有し、
    前記第1の電荷保持回路および第2の電荷保持回路は、それぞれ第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、を有し、
    前記第1のトランジスタおよび前記第2のトランジスタは、それぞれチャネル形成領域となる半導体層に酸化物半導体を有し、
    前記第1のトランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートに電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第1のスイッチの一方の端子または前記第2のスイッチの一方の端子に電気的に接続され、
    前記第1のスイッチの他方の端子は、前記第2のスイッチの他方の端子に電気的に接続され、
    前記第1のスイッチの他方の端子および前記第2のスイッチの他方の端子は、前記バッファ回路の入力端子に電気的に接続され、
    前記第1のスイッチの一方の端子の静電容量は、前記バッファ回路の入力端子の静電容量より大きく、
    前記第2のスイッチの一方の端子の静電容量は、前記バッファ回路の入力端子の静電容量より大きいことを特徴とする半導体装置。
  3. 請求項2において、
    前記第1のスイッチおよび前記第2のスイッチのオンまたはオフは、前記コンテキスト切り替え信号によって制御されることを特徴とする半導体装置。
  4. 請求項2または請求項3において、
    前記第1のスイッチおよび前記第2のスイッチは、それぞれ第3のトランジスタを有し、
    前記第3のトランジスタは、チャネル形成領域となる半導体層にシリコンを有することを特徴とする半導体装置。
  5. 請求項4において、
    前記第1のトランジスタおよび前記第2のトランジスタは、前記第3のトランジスタの上層に設けられることを特徴とする半導体装置。
  6. 請求項4において、
    第1の容量素子および第2の容量素子を有し、
    前記第1の容量素子の静電容量は、前記第1のスイッチの一方の端子の静電容量であり、
    前記第2の容量素子の静電容量は、前記第2のスイッチの一方の端子の静電容量であり、
    前記第1の容量素子および前記第2の容量素子は、前記第1のトランジスタおよび前記第2のトランジスタの上層に設けられることを特徴とする半導体装置。
  7. 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体装置と、
    前記半導体装置と電気的に接続されたリードと、
    を有することを特徴とする電子部品。
  8. 請求項7に記載の電子部品と、
    表示装置、タッチパネル、マイクロホン、スピーカ、操作キー、および筐体の少なくとも1つと、
    を有する電子機器。
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