JP6884915B2 - 半導体装置 - Google Patents

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Description

本発明の一態様は、半導体装置、電子部品、および電子機器に関する。
プログラマブルロジックデバイス(PLD:Programmable Logic
Device)は、複数のプログラマブルロジックエレメント(PLE:Program
mable Logic Element)を有する。PLEでは、コンフィギュレーシ
ョンデータをコンフィギュレーションメモリ内に格納している。
マルチコンテキスト方式のPLDが提案されている(例えば、非特許文献1)。マルチ
コンテキスト方式とは、PLDに、複数の機能に対応するコンフィギュレーションデータ
を複数格納し、使用するコンフィギュレーションデータを切り替えることでPLDの機能
を切り替える方式である。
H. M. Waidyasooriya et al., "Implementation of a partially Reconfigurable Multi−Context FPGA Based on Asynchronous Architecture", IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E92−C, pp.539−549, 2009
環境の変化に即時に対応してディスプレイに画像処理された画像データを供給できる半
導体装置が求められている。この場合、環境の変化に即時に対応して画像データを画像処
理するためのパラメータを変化させる必要がある。
画像データを画像処理するためのパラメータを変更させる場合、環境の変化に応じたパ
ラメータを演算する必要がある。このパラメータの演算は時間を要そまた、演算して得ら
れたパラメータを更新するにも時間を要するため、環境の変化に対して即時的にパラメー
タを変更することが困難である。
本発明の一態様は、環境の変化に即時に対応して画像データを画像処理するためのパラ
メータを変化させることができる、半導体装置の提供することを課題の一とする。本発明
の一態様は、低消費電力化を実現できる半導体装置の提供することを課題の一とする。
本発明の一態様は、センサと、アプリケーションプロセッサと、コンフィギュレーショ
ンコントローラと、コンフィギュレーションメモリアレイと、画像プロセッサと、を有し
、センサは、照度を検出する機能を有し、アプリケーションプロセッサは、照度に応じて
表示の変更を行うための演算パラメータを生成する機能、およびコンテキスト切り替え信
号を生成する機能を有し、コンフィギュレーションコントローラは、演算パラメータに応
じた第1のコンフィギュレーションデータを生成する機能、および仮のパラメータに応じ
た複数の第2のコンフィギュレーションデータを生成する機能を有し、コンフィギュレー
ションメモリアレイは、コンテキスト切り替え信号の制御によって、複数の第2のコンフ
ィギュレーションデータのいずれか一に応じた第1の出力信号を画像プロセッサに出力す
る機能と、コンフィギュレーションコントローラの制御によって更新された第1のコンフ
ィギュレーションデータに応じた第2の出力信号を画像プロセッサに出力する機能と、を
有する半導体装置である。
本発明の一態様において、コンフィギュレーションメモリアレイは、複数のコンフィギ
ュレーションメモリを有し、コンフィギュレーションメモリは、第1の電荷保持回路と、
第2の電荷保持回路と、第1のスイッチと、第2のスイッチと、バッファ回路と、を有し
、第1の電荷保持回路および第2の電荷保持回路は、それぞれ第1のトランジスタと、第
2のトランジスタと、を有し、第1のトランジスタおよび第2のトランジスタは、それぞ
れチャネル形成領域となる半導体層に酸化物半導体を有し、第1のトランジスタのソース
またはドレインの一方は、第2のトランジスタのゲートに電気的に接続され、第2のトラ
ンジスタのソースまたはドレインの一方は、第1のスイッチの一方の端子または第2のス
イッチの一方の端子に電気的に接続され、第1のスイッチの他方の端子は、第2のスイッ
チの他方の端子に電気的に接続され、第1のスイッチの他方の端子および第2のスイッチ
の他方の端子は、バッファ回路の入力端子に電気的に接続され、第1のスイッチの一方の
端子の静電容量は、バッファ回路の入力端子の静電容量より大きく、第2のスイッチの一
方の端子の静電容量は、バッファ回路の入力端子の静電容量より大きい半導体装置が好ま
しい。
本発明の一態様において、第1のスイッチおよび第2のスイッチのオンまたはオフは、
コンテキスト切り替え信号によって制御される半導体装置が好ましい。
本発明の一態様において、第1のスイッチおよび第2のスイッチは、それぞれ第3のト
ランジスタを有し、第3のトランジスタは、チャネル形成領域となる半導体層にシリコン
を有する半導体装置が好ましい。
本発明の一態様において、第1のトランジスタおよび第2のトランジスタは、第3のト
ランジスタの上層に設けられる半導体装置が好ましい。
本発明の一態様において、半導体装置は、第1の容量素子および第2の容量素子を有し
、第1の容量素子の静電容量は、第1のスイッチの一方の端子の静電容量であり、第2の
容量素子の静電容量は、第2のスイッチの一方の端子の静電容量であり、第1の容量素子
および第2の容量素子は、第1のトランジスタおよび第2のトランジスタの上層に設けら
れると好ましい。
なおその他の本発明の一態様については、以下で述べる実施の形態における説明、およ
び図面に記載されている。
本発明の一態様は、環境の変化に即時に対応して画像データを画像処理するためのパラ
メータを変化させることができる、半導体装置の提供することができる。本発明の一態様
は、低消費電力化を実現できる半導体装置の提供することができる。
本発明の一態様を説明するブロック図。 本発明の一態様を説明するブロック図。 本発明の一態様を説明する回路図。 トランジスタの特性を説明するグラフ。 トランジスタの特性を説明するグラフ。 トランジスタの特性を説明するグラフ。 本発明の一態様を説明する回路図。 本発明の一態様を説明するタイミングチャート。 本発明の一態様を説明するフローチャート。 本発明の一態様を説明するタイミングチャート。 本発明の一態様を説明する模式図。 本発明の一態様を説明する断面模式図。 本発明の一態様を説明する断面模式図。 本発明の一態様を説明するブロック図。 本発明の一態様を説明する断面模式図、回路図、模式図。 本発明の一態様を説明する模式図および状態遷移図。 電子部品の作製方法例を説明するフローチャートおよび電子部品の構成例を説明する斜視模式図。 電子機器を説明する図。
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、実施の形態は多くの異
なる態様で実施することが可能であり、趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形
態および詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発
明の一態様は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
<半導体装置の構成例>
本発明の一態様の半導体装置の構成について説明する。なお本発明の一態様の半導体装
置は、センサの出力の変化に応じてコンフィギュレーションデータとして記憶された画像
処理に用いるパラメータを切り替える機能を有する。
図1には、半導体装置のブロック図を示す。図1のブロック図には、センサ101、ア
プリケーションプロセッサ102、コンフィギュレーションコントローラ103、コンフ
ィギュレーションメモリアレイ104、および画像プロセッサ105を図示している。
センサ101は、アプリケーションプロセッサ(Application Proce
ssor)と接続されている。
図1において1個のセンサを図示しているが、複数のセンサを有していてもよい。セン
サ101は、使用する環境の変化を検出可能なセンサ、照度センサなどがあげられる。他
にも温度センサ、圧力センサ、加速度センサ、歪センサ等の各種センサを用いることがで
きる。
センサ101は、使用する環境の変化に関するデータDsensorをアプリケーショ
ンプロセッサ102に出力する機能を有する。センサ101からアプリケーションプロセ
ッサ102へのデータ転送は、例えばI2C(Inter Integrated Ci
rcuit)の通信規格を用いることができる。
アプリケーションプロセッサ102は、センサ101の他、コンフィギュレーションコ
ントローラ103、及びコンフィギュレーションメモリアレイ104に接続されている。
アプリケーションプロセッサ102は、センサ101からのデータDsensorを用
いて使用する環境の変化を判定する機能を有する。
アプリケーションプロセッサ102は、使用する環境の変化があったと判定した時、変
化後の使用環境に合わせた調光または調色等の画像処理に用いるパラメータ(P)を演
算する機能を有する。この適切なパラメータ(P)は、演算によって高精度で求められ
るパラメータであり、演算パラメータあるいはパラメータPともいう。
アプリケーションプロセッサ102は、パラメータPをコンフィギュレーションコン
トローラ103との間で用いる通信規格に則ったデータ形式(データDComp)に変換
し、そのデータDCompをコンフィギュレーションのタイミングの情報と共にコンフィ
ギュレーションコントローラ103に出力する機能を有する。
ここではアプリケーションプロセッサ102からコンフィギュレーションコントローラ
103へのデータDCompの出力にI2Cの通信規格を用いるものとする。
アプリケーションプロセッサ102は、パラメータPの演算と並行して、コンフィギ
ュレーションメモリアレイ104に予め書き込まれたパラメータ(P)からパラメータ
に最も近いものを選択する機能を有する。アプリケーションプロセッサ102は、選
択したパラメータ(P)に対応したコンテキスト切り替え信号ctx、ctxbをコン
フィギュレーションメモリアレイ104に出力する機能を有する。このパラメータ(P
)は、後述するように単純な大小比較演算のみで求められるパラメータであり、仮のパラ
メータあるいはパラメータPともいう。
パラメータPは、単純な大小比較演算のみで求められる。そのため、パラメータP
の選択に要する時間は、演算によって求めるパラメータPの演算時間と比較して非常に
短い。
コンフィギュレーションコントローラ103は、アプリケーションプロセッサ102及
びコンフィギュレーションメモリアレイ104と接続されている。
コンフィギュレーションコントローラ103は、アプリケーションプロセッサ102か
ら出力されるパラメータPのデータとタイミングの情報に応じてコンフィギュレーショ
ンデータ信号線data、コンフィギュレーションデータ信号線dataの相補信号線d
atab、及び書き込み制御信号線wlに信号を与える機能を有する。そしてコンフィギ
ュレーションコントローラ103は、コンフィギュレーションメモリアレイ104をアプ
リケーションプロセッサ102によって指定されたタイミングでコンフィギュレーション
動作を実行する機能を有する。
コンフィギュレーションデータ信号線data、コンフィギュレーションデータ信号線
dataの相補信号線datab、及び書き込み制御信号線wlのビット幅は、コンフィ
ギュレーションメモリアレイ104のコンフィギュレーションメモリの数、またはコンテ
キスト数に応じて適宜変更することができる。
コンフィギュレーションメモリアレイ104は、コンフィギュレーションコントローラ
103及び画像プロセッサ105と接続されている。
コンフィギュレーションメモリアレイ104は、コンフィギュレーションメモリアレイ
104が有するコンフィギュレーションメモリに書き込まれたコンフィギュレーションデ
ータをもとに画像プロセッサ105に画像処理で用いるパラメータP[N:0]を出力
する機能を有する。
パラメータPのビット幅は、0からNまでのN+1としている。なおNは自然数であ
る。
コンフィギュレーションメモリアレイ104は、アプリケーションプロセッサ102か
らのコンテキスト切り替え信号ctx、ctxbをもとにコンテキストが切り替えられる
機能を有する。
画像プロセッサ105は、コンフィギュレーションメモリと接続されている。
画像プロセッサ105は、コンフィギュレーションメモリアレイ104から出力される
パラメータPをもとに調光・調色などの画像処理を実行する機能を有する。
図1の半導体装置は、使用する環境の変化を検出してパラメータPをアプリケーショ
ンプロセッサ102で演算している間、パラメータPに最も近いパラメータPをパラ
メータPとして画像処理を実行することができる。そのため環境の変化に即時に対応し
て画像データを画像処理するためのパラメータを変化させることができる。
<コンフィギュレーションメモリアレイの構成>
図2は図1で示したコンフィギュレーションメモリアレイ104を説明するためのブロ
ック図である。コンフィギュレーションメモリアレイは、一例として、コンフィギュレー
ションメモリMEM_0乃至MEM_3を有する。
なお図2では、一次元的にメモリセルを並べて図示しているが、他の配置でもよい。例
えば、マトリクス状に配置して2次元的にメモリセルを配置する構成、あるいはマトリク
ス状に配置したメモリセルを多層に配置することで3次元的にメモリセルを配置する構成
等とすることもできる。
コンフィギュレーションメモリMEM_0乃至MEM_3は、図2に示すように、コン
フィギュレーションデータ信号線data[0]乃至[3]、コンフィギュレーションデ
ータ信号線dataの相補信号線datab[0]乃至[3]、書込み制御信号線wl[
0]乃至[3]、コンテキスト選択信号線ctx[0]乃至[3]、コンテキスト選択信
号線ctx[0]乃至[3]の相補信号線ctxb[0]乃至[3]及びパラメータ用デ
ータ信号線P[0]乃至[3]に接続されている。
例えば、コンフィギュレーションメモリMEM_0は、コンフィギュレーションデータ
信号線data[0]、data[0]の相補信号線datab[0]及び書込み制御信
号線wl[0]を用いて転送される信号によってコンフィギュレーションされる。コンフ
ィギュレーションメモリMEM_1乃至MEM_3についても、コンフィギュレーション
メモリMEM_0と同様の説明である。
コンフィギュレーションメモリMEM_0乃至MEM_3は、例えば4つのコンテキス
トを書き込むことができる。
例えば、コンフィギュレーションメモリMEM_0は、コンテキスト選択信号線ctx
[0]乃至[3]、コンテキスト選択信号線ctx[0]乃至[3]の相補信号線ctx
b[0]乃至[3]を用いて転送される信号によってコンテキストを切り替えることがで
きる。コンフィギュレーションメモリMEM_1乃至MEM_3についても、コンフィギ
ュレーションメモリMEM_0と同様の説明である。
例えば、コンフィギュレーションメモリMEM_0のコンテキスト1には、比較的明る
い状況で用いるパラメータPt3[0]が保持されている。またコンフィギュレーション
メモリMEM_0のコンテキスト3には、比較的暗い状況で用いるパラメータPt1[0
]が保持されている。またコンフィギュレーションメモリMEM_0のコンテキスト2に
は、例えば比較的明るい状況と比較的暗い状況の中間の明るさの状況で用いるパラメータ
t2[0]が保持されている。またコンフィギュレーションメモリMEM_0のコンテ
キスト4には、明るさの情報を取得して演算処理をすることで得られるパラメータP
0]が随時更新される。コンフィギュレーションメモリMEM_1乃至MEM_3につい
ても、コンフィギュレーションメモリMEM_0と同様の説明である。
コンフィギュレーションメモリMEM_0は、パラメータ用データ信号線P[0]を
用いて内部に保持されているパラメータPt3[0]、パラメータPt1[0]、パラメ
ータPt2[0]およびパラメータP[0]のうち1つのパラメータを、コンテキスト
選択信号線ctx[0]乃至[3]、ctxb[0]乃至[3]で選択し、パラメータ用
データとして出力する。コンフィギュレーションメモリMEM_1乃至MEM_3につい
ても、コンフィギュレーションメモリMEM_0と同様の説明である。
図3は、図2のコンフィギュレーションメモリMEM_0乃至MEM_3に適用可能な
コンフィギュレーションメモリMEM_Aの構成について説明する。なお図3では、例え
ば2つのコンテキストに対応する電荷保持回路M、Mを保持する構成を図示している
。例えば電荷保持回路MにはパラメータPに対応するデータを保持することができる
。例えば電荷保持回路MにはパラメータPt1に対応するデータを保持することができ
る。なおコンフィギュレーションメモリMEM_Aにおいて、さらにパラメータPt2
パラメータPt3といった複数のパラメータを保持する場合には、電荷保持回路Mを追
加で複数設ければよい。
コンフィギュレーションメモリMEM_Aは、電荷保持回路M、電荷保持回路M
スイッチCS0、スイッチCS1、キャパシタ207、キャパシタ214、および、イン
バータ回路216で構成される。なおコンフィギュレーションメモリMEM_Aにおいて
、さらにパラメータPt2、パラメータPt3といった複数のパラメータを保持するため
に、電荷保持回路Mを追加で複数設ける場合、スイッチCS0、キャパシタ207に対
応する構成を追加で設ければよい。
電荷保持回路Mは、トランジスタ201、トランジスタ202、トランジスタ203
およびトランジスタ204を有する。
トランジスタ201のゲートは、書き込み制御信号線wl0に接続される。トランジス
タ201のソースまたはドレインの一方は、データ線dataに接続される。トランジス
タ201のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ202のゲートに接続される。
トランジスタ201のバックゲートは、閾値制御線MGに接続される。なおトランジスタ
201のソースまたはドレインの他方と、トランジスタ202のゲートと、が接続される
ノードを、ノードm0と呼ぶ。
トランジスタ202のソースまたはドレインの一方は、高電位電源線VDDに接続され
る。トランジスタ202のソースまたはドレインの他方は、コンテキストスイッチ入力信
号線swin[0]に接続される。トランジスタ202のバックゲートは、閾値制御線P
Gに接続される。コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]は、スイッチCS0の
一方の端子に接続される。
トランジスタ203のゲートは、書き込み制御信号線wl0に接続される。トランジス
タ203のソースまたはドレインの一方は、データ線databに接続される。トランジ
スタ203のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ204のゲートに接続される
。トランジスタ203のバックゲートは、閾値制御線MGに接続される。なおトランジス
タ203のソースまたはドレインの他方と、トランジスタ204のゲートと、が接続され
るノードを、ノードmb0と呼ぶ。
トランジスタ204のソースまたはドレインの一方は、低電位電源線VSSに接続され
る。トランジスタ204のソースまたはドレインの他方は、コンテキストスイッチ入力信
号線swin[1]に接続される。トランジスタ204のバックゲートは、閾値制御線P
Gに接続される。
トランジスタ201は、書き込み制御信号線wl0の電位がハイレベルでノードm0に
データ線dataの電位が書き込まれる。またトランジスタ201は、書き込み制御信号
線wl0の電位がローレベルでノードm0の電位に応じた電荷を保持する機能を有する。
なおトランジスタ201は、バックゲートに接続される閾値制御信号線MGの電位によっ
て、閾値電圧が制御され、非導通状態におけるリーク電流(オフ電流)が極めて小さい状
態に制御される。
トランジスタ202は、ノードm0の電位に依存して高電位電源線VDDをコンテキス
トスイッチ入力信号線swin[0]に与えるか否かを制御する機能を有する。なお、ト
ランジスタ202は、バックゲートに接続される閾値制御信号線PGの電位によって、導
通状態におけるドレイン電流(オン電流)が大きい状態に制御される。
トランジスタ203は、書き込み制御信号線wl0の電位がハイレベルでノードmb0
にデータ線databの電位が書き込まれる。またトランジスタ203は、書き込み制御
信号線wl0の電位がローレベルでノードmb0の電位に応じた電荷を保持する機能を有
する。なおトランジスタ203は、バックゲートに接続される閾値制御信号線MGの電位
によって、閾値電圧が制御され、オフ電流が極めて小さい状態に制御される。
トランジスタ204は、ノードmb0の電位に依存して低電位電源線VSSをコンテキ
ストスイッチ入力信号線swin[0]に与えるか否かを制御する機能を有する。なお、
トランジスタ204は、バックゲートに接続される閾値制御信号線PGの電位によって、
オン電流が大きい状態に制御される。
トランジスタ201およびトランジスタ203は、例えば、OSトランジスタのように
オフ電流が極めて小さいトランジスタを用いる構成とする。該構成とすることで、トラン
ジスタ201およびトランジスタ203を非導通状態とした際、ノードm0、ノードmb
0に保持した電位に応じたデータを保持し続けることができる。
なおOSトランジスタは、Siトランジスタよりも高い温度で使用することができる。
またOSトランジスタの電圧に対する耐圧は、Siトランジスタの電圧に対する耐圧より
も高い。そのため環境の変化に対して信頼性に優れた回路とすることができる。OSトラ
ンジスタの電気特性については、後述する。
トランジスタ202およびトランジスタ204は、例えばSiトランジスタと比べてゲ
ート絶縁膜の厚いOSトランジスタを用いる構成とする。該構成とすることで、トランジ
スタ202およびトランジスタ204のゲート絶縁膜も薄いことによるトンネル電流の発
生に起因するゲートと半導体層との間に流れるリーク電流を抑制することができる。その
ため、ノードm0、ノードmb0に保持した電位に応じたデータを保持し続けることがで
きる。
なお、ノードm0およびノードmb0は、電荷を保持する機能を高めるため、キャパシ
タを有していてもよい。
電荷保持回路Mは、トランジスタ208、トランジスタ209、トランジスタ210
およびトランジスタ211を有する。
トランジスタ208のゲートは、書き込み制御信号線wl1に接続される。トランジス
タ208のソースまたはドレインの一方は、データ線dataに接続される。トランジス
タ208のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ209のゲートに接続される。
トランジスタ208のバックゲートは、閾値制御線MGに接続される。なおトランジスタ
208のソースまたはドレインの他方と、トランジスタ209のゲートと、が接続される
ノードを、ノードm1と呼ぶ。
トランジスタ209のソースまたはドレインの一方は、高電位電源線VDDに接続され
る。トランジスタ209のソースまたはドレインの他方は、コンテキストスイッチ入力信
号線swin[1]に接続される。トランジスタ209のバックゲートは、閾値制御線P
Gに接続される。コンテキストスイッチ入力信号線swin[1]は、スイッチCS1の
一方の端子に接続される。
トランジスタ210のゲートは、書き込み制御信号線wl1に接続される。トランジス
タ210のソースまたはドレインの一方は、データ線databに接続される。トランジ
スタ210のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ211のゲートに接続される
。トランジスタ210のバックゲートは、閾値制御線MGに接続される。なおトランジス
タ210のソースまたはドレインの他方と、トランジスタ211のゲートと、が接続され
るノードを、ノードmb1と呼ぶ。
トランジスタ211のソースまたはドレインの一方は、低電位電源線VSSに接続され
る。トランジスタ211のソースまたはドレインの他方は、コンテキストスイッチ入力信
号線swin[1]に接続される。トランジスタ211のバックゲートは、閾値制御線P
Gに接続される。
トランジスタ208は、書き込み制御信号線wl1の電位がハイレベルでノードm1に
データ線dataの電位が書き込まれる。またトランジスタ208は、書き込み制御信号
線wl1の電位がローレベルでノードm1の電位に応じた電荷を保持する機能を有する。
なおトランジスタ208は、バックゲートに接続される閾値制御信号線MGの電位によっ
て、閾値電圧が制御され、オフ電流が極めて小さい状態に制御される。
トランジスタ209は、ノードm1の電位に依存して高電位電源線VDDをコンテキス
トスイッチ入力信号線swin[1]に与えるか否かを制御する機能を有する。なお、ト
ランジスタ209は、バックゲートに接続される閾値制御信号線PGの電位によって、オ
ン電流が大きい状態に制御される。
トランジスタ210は、書き込み制御信号線wl1の電位がハイレベルでノードmb1
にデータ線databの電位が書き込まれる。またトランジスタ210は、書き込み制御
信号線wl1の電位がローレベルでノードmb1の電位に応じた電荷を保持する機能を有
する。なおトランジスタ210は、バックゲートに接続される閾値制御信号線MGの電位
によって、閾値電圧が制御され、オフ電流が極めて小さい状態に制御される。
トランジスタ211は、ノードmb0の電位に依存して低電位電源線VSSをコンテキ
ストスイッチ入力信号線swin[1]に与えるか否かを制御する機能を有する。なお、
トランジスタ211は、バックゲートに接続される閾値制御信号線PGの電位によって、
オン電流が大きい状態に制御される。
トランジスタ208およびトランジスタ210は、例えば、OSトランジスタのように
オフ電流が極めて小さいトランジスタを用いる構成とする。該構成とすることで、トラン
ジスタ208およびトランジスタ210を非導通状態とした際、ノードm1、ノードmb
1に保持した電位に応じたデータを保持し続けることができる。
トランジスタ209およびトランジスタ211は、例えばSiトランジスタと比べてゲ
ート絶縁膜の厚いOSトランジスタを用いる構成とする。該構成とすることで、トランジ
スタ209およびトランジスタ211のゲート絶縁膜も薄いことによるトンネル電流の発
生に起因するゲートと半導体層との間に流れるリーク電流を抑制することができる。その
ため、ノードm1、ノードmb1に保持した電位に応じたデータを保持し続けることがで
きる。
なお、ノードm1およびノードmb1は、電荷を保持する機能を高めるため、キャパシ
タを有していてもよい。
スイッチCS0は、コンテキスト選択信号ctx[0]の電位がハイレベルで、コンテ
キストスイッチ入力信号線swin[0]とコンテキストスイッチ出力信号線swout
との間を導通状態とする機能を有する。またスイッチCS0は、コンテキスト選択信号c
tx[0]の電位がローレベルで、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]とコ
ンテキストスイッチ出力信号線swoutとの間を非導通状態とする機能を有する。
スイッチCS1は、コンテキスト選択信号ctx[1]の電位がハイレベルで、コンテ
キストスイッチ入力信号線swin[1]とコンテキストスイッチ出力信号線swout
との間を導通状態とする機能を有する。またスイッチCS1は、コンテキスト選択信号c
tx[1]の電位がローレベルで、コンテキストスイッチ入力信号線swin[1]とコ
ンテキストスイッチ出力信号線swoutとの間を非導通状態とする機能を有する。
また図3では、キャパシタ207を図示している。キャパシタ207の一方の電極はコ
ンテキストスイッチ入力信号線swin[0]に接続され、他方の電極は低電位電源線V
SSに接続される。キャパシタ207は、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0
]の寄生容量を大きくすることで省略することも可能である。
また図3では、キャパシタ214を図示している。キャパシタ214の一方の電極はコ
ンテキストスイッチ入力信号線swin[1]に接続され、他方の電極は低電位電源線V
SSに接続される。キャパシタ214は、コンテキストスイッチ入力信号線swin[1
]の寄生容量を大きくすることで省略することも可能である。
バッファ回路216は、相補型のSiトランジスタで構成される。バッファ回路216
の入力端子は、コンテキストスイッチ出力信号線swoutに接続される。バッファ回路
216の出力端子は、コンフィギュレーションメモリMEM_Aのパラメータ用データ信
号線Poutに接続される。
スイッチCS0は、一例として図7に示すコンフィギュレーションメモリMEM_Bの
ようにトランジスタ205およびトランジスタ206で構成される。トランジスタ205
はnチャネル型、トランジスタ206はpチャネル型である。トランジスタ205のゲー
トにはコンテキスト選択信号ctx[0]が与えられ、トランジスタ206のゲートには
コンテキスト選択信号ctx[0]の反転信号であるコンテキスト選択信号ctxb[0
]が与えられ、導通状態または非導通状態を制御することができる。
またスイッチCS1は、一例として図7に示すコンフィギュレーションメモリMEM_
Bのようにトランジスタ212およびトランジスタ213で構成される。トランジスタ2
12はnチャネル型、トランジスタ213はpチャネル型である。トランジスタ212の
ゲートにはコンテキスト選択信号ctx[1]が与えられ、トランジスタ213のゲート
にはコンテキスト選択信号ctx[1]の反転信号であるコンテキスト選択信号ctxb
[1]が与えられ、導通状態または非導通状態を制御することができる。
トランジスタ205およびトランジスタ206、ならびにトランジスタ212およびト
ランジスタ213は、例えば、Siトランジスタのようにオン電流が大きいトランジスタ
を用いる構成とする。該構成とすることで、スイッチCS0またはスイッチCS1を導通
状態(オン)とした際、電荷の分配を高速に行うことができる。
なおOSトランジスタは、Siトランジスタよりも高い温度で使用することができる。
またOSトランジスタの電圧に対する耐圧は、Siトランジスタの電圧に対する耐圧より
も高い。そのため環境の変化に対して信頼性に優れた回路とすることができる。OSトラ
ンジスタの電気特性については、後述する。
またコンテキストスイッチ出力信号線swoutには、一例として図7に示すコンフィ
ギュレーションメモリMEM_Bのように、コンテキストスイッチ出力信号線swout
をプルダウンするためのトランジスタ217を有していてもよい。トランジスタ217は
例えばnチャネル型である。トランジスタ217のゲートは、プルダウンイネーブル信号
cfgを与える配線に接続される。トランジスタ217のソースまたはドレインの一方は
、コンテキストスイッチ出力信号線swoutに接続される。トランジスタ217のソー
スまたはドレインの他方は、低電位電源線VSSに接続される。トランジスタ217を有
し、プルダウンイネーブル信号cfgの電位をハイレベルとすることでコンフィギュレー
ションメモリMEM_Bのパラメータ用データ信号線Poutの電位をハイレベルに固
定することが可能である。
以上説明した図3および図7に示すコンフィギュレーションメモリMEM_Aおよびコ
ンフィギュレーションメモリMEM_Bは、コンテキスト選択信号ctx[0](および
コンテキスト選択信号ctxb[0])、コンテキスト選択信号ctx[1](およびコ
ンテキスト選択信号ctxb[1])によって、電荷保持回路Mまたは電荷保持回路M
に保持されているデータに依存した論理(電位)を出力する機能を有する。
電荷保持回路Mおよび電荷保持回路Mが有する各ノードm0、mb0、m1、mb
1に付加する静電容量は電荷が保持できる程度の値で十分であり、静電容量の値が小さい
ほど電荷保持回路Mおよび電荷保持回路Mへのコンフィギュレーションデータの書き
込みに要する時間を削減することができる。
以上説明した図3および図7に示すコンフィギュレーションメモリMEM_Aおよびコ
ンフィギュレーションメモリMEM_Bでは、コンテキストスイッチ出力信号線swou
tのノードに付加する静電容量に対し、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]
およびコンテキストスイッチ入力信号線swin[1]のノードに付加する静電容量を大
きくするため、キャパシタ207およびキャパシタ214を設ける構成とする。当該構成
とすることで、コンテキスト切り替え時にコンテキストスイッチ入力信号線swin[0
]乃至swin[1]のノードに保持していた電荷が、スイッチCS0またはスイッチC
S1を介してコンテキストスイッチ出力信号線swoutのノードに分配することができ
る。
コンテキストスイッチ出力信号線swoutへの電荷の分配によってコンテキストスイ
ッチ出力信号線swoutのノードの電位が低電位から高電位に遷移するとき、バッファ
回路216であるインバータ回路の閾値より高くするようにキャパシタ207およびキャ
パシタ214の静電容量を調整する。加えて、コンテキストスイッチ出力信号線swou
tへの電荷の分配によってコンテキストスイッチ出力信号線swoutのノードの電位が
高電位から低電位に遷移するとき、バッファ回路216であるインバータ回路の閾値より
低くなるようにキャパシタ207およびキャパシタ214の静電容量を調整する。つまり
、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]およびコンテキストスイッチ入力信号
線swin[1]のノードに付加する静電容量を、コンテキストスイッチ出力信号線sw
outのノードに付加する静電容量より大きくする。
以上説明した図3および図7に示すトランジスタ202およびトランジスタ204、な
らびにトランジスタ209およびトランジスタ211は、Siトランジスタと比べてゲー
ト絶縁膜の厚いOSトランジスタを用いる。OSトランジスタは、半導体層に単結晶を用
いるSiトランジスタに比べて電界効果移動度が小さいため、Siトランジスタに比べて
オン電流が小さい。
そこで図3および図7に示す構成では上述の電荷を分配する構成によりトランジスタ2
02,204,209および211のオン電流が小さくてもバッファ回路216であるイ
ンバータ回路の論理遷移を実現できる。そのため、トランジスタ202、204、209
および211をSiトランジスタで構成した場合と同等の速度でコンテキスト切り替えが
可能になる。
なお図3および図7に示す構成とする場合、キャパシタ207およびキャパシタ214
として、静電容量の大きいキャパシタであることが好ましい。当該構成とする場合、Si
トランジスタを設ける層の上層にOSトランジスタを設ける層を形成し、OSトランジス
タを設ける層の上層にキャパシタ207およびキャパシタ214を設ける構成が好ましい
。当該構成とすることで、デバイスの最上層において静電容量の大きいキャパシタを形成
でき、且つトランジスタ202、204、209および211との接続も容易に実現でき
る。
<OSトランジスタの電気特性>
OSトランジスタは、Siトランジスタよりも高い温度で使用することができる。具体
例を挙げて説明するため、図4(A)にOSトランジスタのドレイン電流I−ゲート電
圧V特性、およびゲート電圧V−電界効果移動度μFE特性の温度依存性を、図4(
B)にSiトランジスタのゲート電圧V−ドレイン電流I特性、およびゲート電圧V
−電界効果移動度μFE特性の温度依存性を、示す。なお図4(A)、(B)において
は、−25℃、50℃、150℃の温度での各電気的特性の測定結果を示している。なお
ドレイン電圧Vは1Vとしている。
なお図4(A)に示すOSトランジスタの電気的特性は、チャネル長L=0.45μm
、チャネル幅W=10μm、ゲート絶縁層の酸化膜の膜厚Tox=20nmでのグラフで
ある。また図4(B)に示すSiトランジスタの電気的特性は、L=0.35μm、W=
10μm、Tox=20nmでのグラフである。
なおOSトランジスタの酸化物半導体層は、In−Ga−Zn系酸化物で作製し、Si
トランジスタは、シリコンウエハから作製したものである。
図4(A)および(B)からは、OSトランジスタ及びSiトランジスタの立ち上がり
ゲート電圧の温度依存性は小さいことがわかる。また、OSトランジスタのオフ電流が温
度によらず測定下限(I)以下であるが、Siトランジスタのオフ電流は、温度依存性
が大きい。図4(B)の測定結果は、150℃では、Siトランジスタはオフ電流が上昇
し、電流オン/オフ比が十分に大きくならないことを示している。
図4(A)のグラフから、OSトランジスタをスイッチとして用いる場合、150℃以
上の温度下においても、動作させることができる。そのため、半導体装置の耐熱性を優れ
たものとすることができる。
次いで電圧に対するOSトランジスタの耐圧について、Siトランジスタの耐圧の比較
し、説明する。
図5では、OSトランジスタのドレイン耐圧について説明するため、Siトランジスタ
とOSトランジスタとのVD−ID特性図について示す。図5(A)、(B)では、Si
トランジスタとOSトランジスタとについて同じ条件での耐圧を比較するために、共にチ
ャネル長を0.9μmとし、チャネル幅を10μmとし、酸化シリコンを用いたゲート絶
縁膜の膜厚を20nmとしている。なおゲート電圧は、2Vとしている。
図5に示すようにSiトランジスタでは、ドレイン電圧の増加に対して4V程度でアバ
ランシェブレークダウンが起こるのに対して、OSトランジスタでは、ドレイン電圧の増
加に対して26V程度までアバランシェブレークダウンが起きずに定電流を流すことがで
きるのがわかる。
図6(A)では、ゲート電圧を変化させた際の、OSトランジスタのVD−ID特性図
について示す。また図6(B)では、ゲート電圧を変化させた際の、Siトランジスタの
VD−ID特性図について示す。図6(A)では、SiトランジスタとOSトランジスタ
とについて同じ条件での耐圧を比較するために、共にチャネル長を0.9μmとし、チャ
ネル幅を10μmとし、酸化シリコンを用いたゲート絶縁膜の膜厚を20nmとしている
。なおゲート電圧は、図6(A)のOSトランジスタでは0.1V、2.06V、4.0
2V、5.98V、7.94Vと変化させ、図6(B)のSiトランジスタでは0.1V
、1.28V、2.46V、3.64V、4.82Vと変化させている。
図6(A)、(B)に示すようにSiトランジスタでは、ドレイン電圧の増加に対して
4乃至5V程度でアバランシェブレークダウンが起こるのに対して、OSトランジスタで
は、ドレイン電圧の増加に対して9V程度ではアバランシェブレークダウンが起きずに定
電流を流すことができるのがわかる。
図5、図6(A)、(B)からもわかるようにOSトランジスタはSiトランジスタと
比べて耐圧が高い。そのため高い電圧が印加される箇所にOSトランジスタを適用しても
、絶縁破壊を引き起こすことなく安定して使用することができる。
<コンフィギュレーションメモリの動作>
図8は、コンフィギュレーションメモリの動作を説明するためタイミングチャートの一
例である。図8では、図7に示すコンフィギュレーションメモリMEM_Bのコンフィギ
ュレーションおよびコンテキスト切り替え動作の一例を示す。
なお図8の説明では、データ線dataおよびdatabの電位を、dataおよびd
atabとして説明する。図8では、書き込み制御信号線wl0およびwl1の電位を、
wl0およびwl1として説明する。図8では、ノードm0およびm1の電位を、m0お
よびm1として説明する。図8では、ノードmb0およびmb1の電位を、mb0および
mb1として説明する。図8では、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]およ
びswin[1]の電位を、swin[0]およびswin[1]として説明する。図8
では、コンテキスト選択信号線ctx[0]およびctx[1]の電位を、ctx[0]
およびctx[1]として説明する。図8では、コンテキスト選択信号線ctxb[0]
およびctxb[1]の電位を、ctxb[0]およびctxb[1]として説明する。
図8では、コンテキストスイッチ出力信号線swoutの電位を、swoutとして説明
する。図8では、コンフィギュレーションメモリMEM_Bのパラメータ用データ信号線
outの電位を、Poutとして説明する。
なお図8の説明では、OSトランジスタを駆動するためのハイレベルの電位をHVDD
、Siトランジスタを駆動するためのハイレベルの電位をVDDとする。なお、HVDD
の電位は、VDDの電位より高い。
なお図8の説明では、HVDDで表現される論理をH−ハイレベル、VDDで表現され
る論理をハイレベル、低電源電位である電位VSSで表現される論理をローレベルとする
なお図8の説明では、プルダウンイネーブル信号線cfgは、ローレベルの電位である
とする。
なお図8の説明では、バッファ回路216が有するインバータ回路の論理が遷移する電
圧の閾値をVthとする。
なお図8の説明では、データ信号dataとdatab、コンテキスト選択信号ctx
[0]とctxb[0]、コンテキスト選択信号ctx[1]とctxb[1]は、それ
ぞれ論理が反転した信号である。
ここでは例として、ノードm0にローレベルを、ノードmb0にH−ハイレベルを、ノ
ードm1にH−ハイレベルを、ノードmb1にローレベルを書き込むコンフィギュレーシ
ョン動作とする。
初期状態は、ノードm0がローレベル、mb0がH−ハイレベルであるため、swin
[0]がローレベルとなる。ノードm1がローレベル、ノードmb1がH−ハイレベルで
あるため、swin[1]にローレベルとなる。
時刻T0において、コンフィギュレーション動作としてまず電荷保持回路Mの書き込
み動作が実行される。wl0はH−ハイレベルとなる。このときdataはローレベル、
databはH−ハイレベルであるため、ノードm0、ノードmb0の電位は初期状態の
まま遷移せず、swin[0]もローレベルのまま遷移しない。
時刻T1において、電荷保持回路Mの書き込み完了動作が実行される。wl0はロー
レベルとなるため、m0はローレベル、mbはH−ハイレベルを維持する。したがって、
swin[0]はローレベルを維持する。
時刻T2において、dataおよびdatabがノードm1およびノードmb1に書き
込むデータの電位に遷移する。すなわち、dataがH−ハイレベル、databがロー
レベルに遷移する。
時刻T3において、電荷保持回路Mの書き込み動作が実行される。wl1はH−ハイ
レベルとなる。このときdataはH−ハイレベル、databはローレベルであるため
、m1にH−ハイレベル、mb1にローレベルが与えられる。
時刻T4において、ノードm1、ノードmb1の書き込みが完了する。ノードm1がH
−ハイレベル、ノードmb1がローレベルであるため、swin[1]はローレベルから
ハイレベルに遷移を開始する。
時刻T5において、swin[1]の電位遷移が完了する。swin[1]はハイレベ
ルになる。
時刻T6において、電荷保持回路Mの書き込みおよびコンフィギュレーション完了動
作が実行される。wl1はローレベルとなるため、m1はH−ハイレベル、mbはローレ
ベルを維持する。したがって、swin[1]はハイレベルを維持する。
電荷保持回路Mおよび電荷保持回路Mにおいて、ノードm0、mb0、m1、mb
1に付加する静電容量を小さくするほど、より高速なコンフィギュレーションが可能とな
る。
時刻T7において、コンテキスト切り替え動作が実行される。swin[0]およびs
win[1]が選択されるコンテキストをコンテキスト0およびコンテキスト1とする。
ここでは最初にコンテキスト1の選択が開始されるものとする。ctx[1]がハイレベ
ル、ctxb[1]がローレベルになる。
スイッチCS1がオンになるため、swin[1]とswoutが導通状態となる。コ
ンフィギュレーションの結果、swin[1]はハイレベルを維持しているため、swo
utにハイレベルが与えられる。時刻T7からT8において、swin[1]のノードに
保持していた電荷がSiトランジスタを介してswoutのノードに分配されるため、s
woutはSiトランジスタのスイッチング速度で電位Ve1に変化する。
ここでは、時刻T7からT8におけるトランジスタ209を介したVDDの供給は無視
しているが、それも含めて考えた場合、スイッチング速度はさらに向上する。
静電容量の比を調整し、電位Ve1の値がバッファ回路216が有するインバータ回路
の閾値Vthより高くなるようにすれば、高速にPoutをローレベルに遷移させるこ
とが可能である。
時刻T8において、電荷分配が完了する。その後、トランジスタ209を介して、VD
Dが供給されるため、swin[1]とswoutはトランジスタのスイッチング速度で
時刻T9までの間にハイレベルに遷移する。
時刻T10において、コンテキスト切り替え動作が完了する。
時刻T11において、再びコンテキスト切り替え動作が実行される。コンテキスト0の
選択が開始されるものとする。ctx[1]がローレベル、ctxb[1]がハイレベル
になり、スイッチCS1がオフになったため、swin[1]とswoutが非導通状態
となる。
時刻T12において、ctx[0]がハイレベル、ctxb[0]がローレベルになる
スイッチCS0がオンになったため、swin[0]とswoutが導通状態となる。
コンフィギュレーションの結果、swin[0]はローレベルを維持しているため、sw
outにローレベルが与えられる。時刻T12からT13において、swoutのノード
に保持されていた電荷がSiトランジスタを介してswin[0]のノードに分配される
ため、swoutはSiトランジスタのスイッチング速度で電位Ve0に変化する。
ここでは、時刻T12からT13におけるトランジスタ204を介したVSSの供給は
無視しているが、それも含めて考えた場合、スイッチング速度はさらに向上する。
静電容量の比を調整し、電位Ve0の値がバッファ回路216が有するインバータ回路
の閾値Vthより低くなるようにすれば、高速にPoutをハイレベルに遷移させるこ
とが可能である。
時刻T13において、電荷分配が完了する。その後、トランジスタ204を介して、V
SSが供給されるため、swin[0]とswoutはトランジスタのスイッチング速度
で時刻T14までの間にローレベルに遷移する。
時刻T15において、コンテキスト切り替え動作が完了する。
ノードm0、mb0、m1、mb1に付加する静電容量を小さくすることで、時刻T3
からT4での電荷保持回路Mおよび電荷保持回路Mへの書込み時間を削減できる。
時刻T1から時刻T3までの書き込み制御信号どうしの間隔、および時刻T6からT7
までのコンフィギュレーション完了からコンテキスト選択開始までの時間は、swin[
0]およびswin[1]の論理遷移までの時間に対して十分にある。また、コンテキス
ト切り替え動作には高速性が求められるが、通常コンテキスト切り替えは数クロック程度
の間隔で頻繁に行われるものではないので、時刻T8からT9までのswin[1]およ
びswoutがハイレベルに遷移するまでの時間、および時刻T13からT14までのs
win[0]およびswoutがローレベルに遷移するまでの時間は十分にある。したが
って、swin[0]およびswin[1]への電荷供給にトランジスタを用いても、半
導体装置の動作速度にはほとんど影響を与えない。
このように、コンテキストスイッチ入力信号線swin[0]、swin[1]に、ノ
ードm0、mb0、m1、mb1、コンテキストスイッチ出力信号線swoutの静電容
量に対して、大きい静電容量を備えることでOSトランジスタを用いたコンフィギュレー
ションメモリにおいて高速なコンテキスト切り替え動作が可能となる。
<半導体装置の動作例>
図9には、図1の半導体装置で実行する処理のフローを示す。
初期状態ではパラメータPs0が画像プロセッサ105にパラメータPとして出力さ
れるコンテキストとして選択されている。パラメータPs0に応じて画像処理された画像
データが表示装置に入力され、画像を表示することができる(ステップS101)。パラ
メータPs0は、前の期間に演算で得られたパラメータPである。次いで、アプリケー
ションプロセッサ102はセンサ101からの入力を待つ待機状態(ステップS102)
となる。
センサ101から外光の明るさなどのデータ入力がある(ステップS103)と、アプ
リケーションプロセッサ102はセンサ101からのデータをもとに使用環境に変化があ
ったかどうかの判定(ステップS104)を行う。
ステップS104で使用環境に変化がなかった場合、パラメータPs0に応じた表示を
行う状態に戻る。
ステップS104で使用環境に変化があった場合、アプリケーションプロセッサ102
はパラメータPs1の計算(ステップS107)とパラメータPの選択(ステップS1
05)を同時に開始する。パラメータPs1は、新たな使用環境の変化に対応する、演算
によって更新されるパラメータPである。
ステップS105でパラメータPの選択が完了した時点でアプリケーションプロセッ
サ102はコンテキスト切り替え信号ctxによってコンフィギュレーションメモリアレ
イ104のコンテキストを切り替える。具体的には、パラメータPs1の最も近いパラメ
ータPt1が画像プロセッサ105にパラメータPとして出力される。パラメータP
に応じて画像処理された画像データが表示装置に入力され、画像を表示することができ
る。パラメータPt1は、予めコンフィギュレーションメモリアレイ104に保持された
パラメータPのひとつある。
パラメータPs1の演算が完了した時点から、アプリケーションプロセッサ102はパ
ラメータPs1のデータをもとにI2Cの通信規格に則ったデータの生成(ステップS1
08)を開始する。
I2Cデータの生成が完了した時点から、アプリケーションプロセッサ102はコンフ
ィギュレーションコントローラ103にパラメータPs1をI2Cで出力する(ステップ
S109)。
パラメータPs1の出力が完了した時点でパラメータPs1がパラメータPとして画
像プロセッサ105に入力されるよう、アプリケーションプロセッサ102はコンテキス
ト切り替え信号ctxによってコンフィギュレーションメモリアレイ104のコンテキス
トを切り替える。パラメータPs1に応じて画像処理された画像データが表示装置に入力
され、画像を表示することができる(ステップS110)。
上述したように、パラメータPs1がアプリケーションプロセッサ102で演算されて
いる間、パラメータPt1を用いて画像処理を実行することができる。そのため環境の変
化に即時に対応して画像データを画像処理するためのパラメータを変化させることができ
る。
図10(A)には図1の半導体装置で実行するパラメータPとパラメータPを演算
によって出力する処理のタイミングチャートを示す。
図10(B)には、パラメータPであるPt1、Pt2及びPt3の数直線上の位置
と、パラメータPとして出力されるパラメータPの変化を示す。
初期状態において、アプリケーションプロセッサ102はセンサ101からの入力を待
つ待機状態である。
時刻T0において、センサ101から使用環境の変化の情報を含むデータがアプリケー
ションプロセッサ102に入力される。
時刻T0から時刻T1において、アプリケーションプロセッサ102は使用環境に変化
があったかどうかの判定を行う。
時刻T1において、使用環境に変化があったとアプリケーションプロセッサ102が判
定すると、パラメータPの演算及びパラメータPの選択を開始する。
時刻T1から時刻T2において、パラメータPは図10(B)に示すように選択され
る。
図10(B)において、コンフィギュレーションメモリアレイ104から画像プロセッ
サ105に出力されるパラメータをパラメータPとする。
パラメータPは一例として8ビットとすると、パラメータPは0から255の値を
とりえる。ここで図10(B)に例示するように、パラメータPの0から255までの
領域をそれぞれ任意の大きさで3分割する。
パラメータPの領域を3分割し、境界となる値の小さい方のパラメータPをd0、
大きい方のパラメータPをd1とする。d0より小さいパラメータをPt1とする。d
0以上でd1より小さいパラメータをPt2とする。d1以上のパラメータをPt3とす
る。
初期状態でコンフィギュレーションメモリから画像プロセッサ105に転送されるパラ
メータPをパラメータPs0とし、演算によって更新されるパラメータPをパラメー
タPs1とする。
センサ101で得られるデータを照度とし、当該照度に対応して適切な表示を行うため
のパラメータPをbrとする。アプリケーションプロセッサ102は、brよりd0が
大きいとき、パラメータPとしてパラメータPt1を選択する。brがd0以上d1未
満のとき、パラメータPとしてパラメータPt2を選択する。brがd1以上のとき、
パラメータPとしてパラメータPt3を選択する。
このようにパラメータPの選択には、単純な大小比較演算しか行わない為、パラメー
タPの演算が完了するよりも非常に早く求めることができる。
例えばパラメータPとしてパラメータPt1が選択されたとする。
図10(A)の時刻T2において、パラメータPの選択が完了する。
パラメータPとしてパラメータPt1が選択されたため時刻T2から時刻T3におい
て、アプリケーションプロセッサ102はコンフィギュレーションメモリアレイ104の
パラメータPt1をパラメータPとして選択するようコンテキストを切り替える。
時刻T3において、パラメータPとして出力するパラメータPs0をパラメータP
に切り替えるようコンテキスト切り替え信号を制御してコンテキストを切り替える。当
該制御を行うことで、以降切り替えるパラメータPs1に近いパラメータPt1に短い期
間で切り替え、画像プロセッサ105による画像処理を行わせることができる。
時刻T4において、パラメータPの演算が完了しパラメータPs1を得る。得られた
パラメータPs1をもとに、時刻T4から時刻T5において、I2Cデータが生成される
。時刻T5において、I2Cデータの生成が完了する。
時刻T5から時刻T6において、アプリケーションプロセッサ102からコンフィギュ
レーションコントローラ103にパラメータPs1をもとにしたI2Cデータが出力され
る。
時刻T6において、パラメータPs1をもとにしたI2Cデータの出力が完了する。
時刻T6から時刻T7において、コンフィギュレーションメモリアレイ104のコンフ
ィギュレーションメモリに対してパラメータPs1のコンフィギュレーションを実行され
る。
時刻T6から時刻T7において、選択されていないパラメータPt1、Pt2及びP
のコンフィギュレーションをしても良い。
時刻T7から時刻T8において、アプリケーションプロセッサ102はコンフィギュレ
ーションメモリアレイ104のコンテキストを切り替える動作を実行する。
時刻T8において、パラメータPがパラメータPs1に切り替わる。
上述したように、使用環境に変化があった際、パラメータPs1がアプリケーションプ
ロセッサ102で演算されている間、コンフィギュレーションメモリにあらかじめ書き込
んでおいたパラメータPt1、Pt2及びPt3の中から一番パラメータPs1に近いパ
ラメータPt1を用いて画像処理を実行することができる。そのため環境の変化に即時に
対応して画像データを画像処理するためのパラメータを変化させることができる。
<半導体装置の断面構造例>
次いで半導体装置の断面構造の一例について、図11から図13までを参照して説明す
る。
上述した半導体装置は、Siトランジスタを有する層、OSトランジスタを有する層、
および配線層を積層して設けることで形成することができる。
図11には、半導体装置の層構造の模式図を示す。トランジスタ層10、配線層20、
トランジスタ層30、および配線層40が順に重なって設けられる。一例として示す配線
層20は、配線層20A、配線層20Bを有する。また配線層40は、複数の配線層40
A、配線層40Bを有する。配線層20および/または配線層40は、絶縁体を挟んで導
電体を配置することでキャパシタを形成することができる。
トランジスタ層10は、複数のトランジスタ12を有する。トランジスタ12は、半導
体層14およびゲート電極16を有する。半導体層14は、島状に加工されたものを図示
しているが、半導体基板を素子分離して得られる半導体層であってもよい。またゲート電
極16は、トップゲート型を図示したが、ボトムゲート型またはダブルゲート型、デュア
ルゲート型等としてもよい。
配線層20Aおよび配線層20Bは、絶縁層24に設けられた開口に埋め込んだ配線2
2を有する。配線22は、トランジスタ等の素子間を接続するための配線としての機能を
有する。
トランジスタ層30は、複数のトランジスタ32を有する。トランジスタ32は、半導
体層34およびゲート電極36を有する。半導体層34は、島状に加工されたものを図示
しているが、半導体基板を素子分離して得られる半導体層であってもよい。またゲート電
極36は、トップゲート型を図示したが、ボトムゲート型またはダブルゲート型、デュア
ルゲート型等としてもよい。
配線層40Aおよび配線層40Bは、絶縁層44に設けられた開口に埋め込んだ配線4
2を有する。配線42は、トランジスタ等の素子間を接続するための配線としての機能を
有する。
半導体層14は、半導体層34とは異なる半導体材料である。一例としては、トランジ
スタ12はSiトランジスタであり、トランジスタ32はOSトランジスタであるとする
と、半導体層14の半導体材料はシリコンであり、半導体層34の半導体材料は、酸化物
半導体である。
半導体装置の断面図の一例を図12(A)に示す。図12(B)は、図12(A)を構
成の一部を拡大したものである。
図12(A)に示す半導体装置は、キャパシタ300と、トランジスタ400と、トラ
ンジスタ500と、を有している。
キャパシタ300は、絶縁体602上に設けられ、導電体604と、絶縁体612と、
導電体616とを有する。
導電体604は、金属材料、合金材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を用い
ることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料
を用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが好ましい。また、プラグや配
線などの他の構造と同時に形成する場合は、低抵抗金属材料であるCu(銅)やAl(ア
ルミニウム)等を用いればよい。
絶縁体612は、導電体604の側面および上面を覆うように設けられる。絶縁体61
2には例えば酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化
アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化
ハフニウム、酸化窒化ハフニウム、窒化酸化ハフニウム、窒化ハフニウムなどを用いれば
よく、積層または単層で設ける。
導電体616は、絶縁体612を介して、導電体604の側面および上面を覆うように
設けられる。
なお、導電体616は、金属材料、合金材料、または金属酸化物材料などの導電性材料
を用いることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融
点材料を用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが好ましい。また、導電
体などの他の構造と同時に形成する場合は、低抵抗金属材料であるCu(銅)やAl(ア
ルミニウム)等を用いればよい。
キャパシタ300が有する導電体616は、絶縁体612を介して、導電体604の側
面および上面を覆う構成とすることで、キャパシタの投影面積当たりの容量を増加させる
ことができる。従って、半導体装置の小面積化、高集積化、微細化が可能となる。
トランジスタ500は、基板301上に設けられ、導電体306、絶縁体304、基板
301の一部からなる半導体領域302、およびソース領域またはドレイン領域として機
能する低抵抗領域308aおよび低抵抗領域308bを有する。
トランジスタ500は、pチャネル型、あるいはnチャネル型のいずれでもよい。
半導体領域302のチャネルが形成される領域、その近傍の領域、ソース領域、または
ドレイン領域となる低抵抗領域308a、および低抵抗領域308bなどにおいて、シリ
コン系半導体などの半導体を含むことが好ましく、単結晶シリコンを含むことが好ましい
。または、Ge(ゲルマニウム)、SiGe(シリコンゲルマニウム)、GaAs(ガリ
ウムヒ素)、GaAlAs(ガリウムアルミニウムヒ素)などを有する材料で形成しても
よい。結晶格子に応力を与え、格子間隔を変化させることで有効質量を制御したシリコン
を用いた構成としてもよい。またはGaAsとGaAlAs等を用いることで、トランジ
スタ500をHEMT(High Electron Mobility Transi
stor)としてもよい。
低抵抗領域308a、および低抵抗領域308bは、半導体領域302に適用される半
導体材料に加え、ヒ素、リンなどのn型の導電性を付与する元素、またはホウ素などのp
型の導電性を付与する元素を含む。
ゲート電極として機能する導電体306は、ヒ素、リンなどのn型の導電性を付与する
元素、もしくはホウ素などのp型の導電性を付与する元素を含むシリコンなどの半導体材
料、金属材料、合金材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を用いることができる
なお、導電体の材料により、仕事関数を定めることで、しきい値電圧を調整することが
できる。具体的には、導電体に窒化チタンや窒化タンタルなどの材料を用いることが好ま
しい。さらに導電性と埋め込み性を両立するために導電体にタングステンやアルミニウム
などの金属材料を積層として用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが耐
熱性の点で好ましい。
また、図12(A)に示すトランジスタ500はチャネルが形成される半導体領域30
2(基板301の一部)が凸形状を有する。また、半導体領域302の側面および上面を
、絶縁体304を介して、導電体306が覆うように設けられている。なお、導電体30
6は仕事関数を調整する材料を用いてもよい。このようなトランジスタ500は半導体基
板の凸部を利用していることからFIN型トランジスタとも呼ばれる。なお、凸部の上部
に接して、凸部を形成するためのマスクとして機能する絶縁体を有していてもよい。また
、ここでは半導体基板の一部を加工して凸部を形成する場合を示したが、SOI基板を加
工して凸形状を有する半導体膜を形成してもよい。
なお、図12(A)に示すトランジスタ500は一例であり、その構造に限定されず、
回路構成や駆動方法に応じて適切なトランジスタを用いればよい。例えば、図13(A)
に示すようにトランジスタ500Aの構成を、プレーナ型として設けてもよい。
トランジスタ500を覆って、絶縁体320、絶縁体322、絶縁体324、および絶
縁体326が、順に積層して設けられている。
絶縁体322はその下方に設けられるトランジスタ500などによって生じる段差を平
坦化する平坦化膜として機能する。絶縁体322の上面は、平坦性を高めるために化学機
械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)法等
を用いた平坦化処理により平坦化されていてもよい。
絶縁体324は、基板301、またはトランジスタ500などから、トランジスタ40
0が設けられる領域に、水素や不純物が拡散しないように、バリア膜として機能する。例
えば、絶縁体324には、窒化シリコンなどの窒化物を用いればよい。
また、絶縁体320、絶縁体322、絶縁体324、および絶縁体326にはキャパシ
タ300、またはトランジスタ400と電気的に接続する導電体328、導電体330等
が埋め込まれている。なお、導電体328、および導電体330はプラグ、または配線と
して機能を有する。なお、後述するが、プラグまたは配線として機能を有する導電体は、
複数の構造をまとめて同一の符号を付与する場合がある。また、本明細書等において、配
線と、配線と電気的に接続するプラグとが一体物であってもよい。すなわち、導電体の一
部が配線として機能する場合、および導電体の一部がプラグとして機能する場合もある。
各プラグ、および配線(導電体328、および導電体330等)の材料としては、金属
材料、合金材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を、単層または積層して用いる
ことができる。耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を
用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが好ましい。特に、アルミニウム
や銅などの低抵抗導電性材料で形成することが好ましい。上記のような材料を用いること
で配線抵抗を低くすることができる。
絶縁体326、および導電体330上に、配線層を設けてもよい。例えば、図12(A
)において、絶縁体350、絶縁体352、および絶縁体354が順に積層して設けられ
ている。また、絶縁体350、絶縁体352、および絶縁体354には、導電体356、
および導電体358が埋め込まれている。導電体356、および導電体358はプラグ、
または配線として機能を有する。
なお、例えば、絶縁体350は、絶縁体324と同様に、水素に対するバリア性を有す
る絶縁体を用いることが好ましい。また、導電体356および導電体358は、水素に対
するバリア性を有する導電体を用いることが好ましい。水素に対するバリア性を有する絶
縁体350が有する開口部には、水素に対するバリア性を有する導電体が形成される。当
該構成により、トランジスタ500とトランジスタ400とは、バリア層により分離する
ことができ、トランジスタ500からトランジスタ400への水素の拡散を抑制すること
ができる。
なお、水素に対するバリア性を有する導電体としては、例えば、窒化タンタル等を用い
るとよい。また、窒化タンタルと導電性が高いタングステンを積層することで、配線とし
ての導電性を保持したまま、トランジスタ500からの水素の拡散を抑制することができ
る。
絶縁体354の上方には、トランジスタ400が設けられている。なお、トランジスタ
400の拡大図を12(B)に示す。なお、図12(B)に示すトランジスタ400は一
例であり、その構造に限定されず、回路構成や駆動方法に応じて適切なトランジスタを用
いればよい。
トランジスタ400は、酸化物半導体を有する半導体層にチャネルが形成されるトラン
ジスタである。トランジスタ400は、オフ電流が小さいため、これを半導体装置のフレ
ームメモリに用いることにより長期にわたり記憶内容を保持することが可能である。
絶縁体354上には、絶縁体410、絶縁体412、絶縁体414、および絶縁体41
6が、順に積層して設けられている。また、絶縁体410、絶縁体412、絶縁体414
、および絶縁体416には、導電体218、および導電体405等が埋め込まれている。
なお、導電体218は、キャパシタ300、またはトランジスタ500と電気的に接続す
るプラグ、または配線としての機能を有する。導電体405は、トランジスタ400のゲ
ート電極としての機能を有する。
絶縁体410、絶縁体412、絶縁体414、および絶縁体416のいずれかを、酸素
や水素に対してバリア性のある物質を用いることが好ましい。特に、トランジスタ400
に酸化物半導体を用いる場合、トランジスタ400近傍の層間膜などに、酸素過剰領域を
有する絶縁体を設けることで、トランジスタ400の信頼性を向上させることができる。
従って、トランジスタ400近傍の層間膜から、効率的にトランジスタ400へ拡散させ
るために、トランジスタ400と層間膜の上下を、水素および酸素に対するバリア性を有
する層で挟む構造とするとよい。
例えば、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタルなどを用いるとよい。なお
、バリア性を有する膜を積層することで、当該機能をより確実にすることができる。
絶縁体416上には、絶縁体220、絶縁体222、および絶縁体224が順に積層し
て設けられている。また、絶縁体220、絶縁体222、および絶縁体224には導電体
244の一部が埋め込まれている。なお、導電体218は、キャパシタ300、またはト
ランジスタ500と電気的に接続するプラグ、または配線として機能を有する。
絶縁体220、および絶縁体224は、酸化シリコン膜や酸化窒化シリコン膜などの、
酸素を含む絶縁体であることが好ましい。特に、絶縁体224として過剰酸素を含む(化
学量論的組成よりも過剰に酸素を含む)絶縁体を用いることが好ましい。このような過剰
酸素を含む絶縁体を、トランジスタ400のチャネル領域が形成される酸化物230に接
して設けることにより、酸化物中の酸素欠損を補償することができる。なお、絶縁体22
2と絶縁体224とは、必ずしも同じ材料を用いて形成しなくともよい。
絶縁体222は、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化
アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸ジルコン酸
鉛(PZT)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)または(Ba,Sr)TiO
(BST)などのいわゆるhigh−k材料を含む絶縁体を単層または積層で用いること
が好ましい。またはこれらの絶縁体に例えば酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ゲル
マニウム、酸化ニオブ、酸化シリコン、酸化チタン、酸化タングステン、酸化イットリウ
ム、酸化ジルコニウムを添加してもよい。またはこれらの絶縁体を窒化処理しても良い。
上記の絶縁体に酸化シリコン、酸化窒化シリコンまたは窒化シリコンを積層して用いても
よい。
なお、絶縁体222が、2層以上の積層構造を有していてもよい。その場合、同じ材料
からなる積層構造に限定されず、異なる材料からなる積層構造でもよい。
絶縁体220および絶縁体224の間に、high−k材料を含む絶縁体222を有す
ることで、特定の条件で絶縁体222が電子を捕獲し、しきい値電圧を増大させることが
できる。つまり、絶縁体222が負に帯電する場合がある。
例えば、絶縁体220、および絶縁体224に、酸化シリコンを用い、絶縁体222に
、酸化ハフニウム、酸化アルミニウム、酸化タンタルのような電子捕獲準位の多い材料を
用いた場合、半導体装置の使用温度、あるいは保管温度よりも高い温度(例えば、125
℃以上450℃以下、代表的には150℃以上300℃以下)の下で、導電体405の電
位をソース電極やドレイン電極の電位より高い状態を、10ミリ秒以上、代表的には1分
以上維持することで、酸化物230から導電体405に向かって、電子が移動する。この
時、移動する電子の一部が、絶縁体222の電子捕獲準位に捕獲される。
絶縁体222の電子捕獲準位に必要な量の電子を捕獲させたトランジスタは、しきい値
電圧がプラス側にシフトする。なお、導電体405の電圧の制御によって電子の捕獲する
量を制御することができ、それに伴ってしきい値電圧を制御することができる。当該構成
を有することで、トランジスタ400は、ゲート電圧が0Vであっても非導通状態(オフ
状態ともいう)であるノーマリーオフ型のトランジスタとなる。
また、電子を捕獲する処理は、トランジスタの作製過程におこなえばよい。例えば、ト
ランジスタのソース導電体あるいはドレイン導電体に接続する導電体の形成後、あるいは
、前工程(ウェハー処理)の終了後、あるいは、ウェハーダイシング工程後、パッケージ
後等、工場出荷前のいずれかの段階で行うとよい。
また、絶縁体222には、酸素や水素に対してバリア性のある物質を用いることが好ま
しい。このような材料を用いて形成した場合、酸化物230からの酸素の放出や、外部か
らの水素等の不純物の混入を防ぐことができる。
酸化物230a、酸化物230b、および酸化物230cは、In−M−Zn酸化物(
MはAl、Ga、Y、またはSn)等の金属酸化物で形成される。また、酸化物230と
して、In−Ga酸化物、In−Zn酸化物を用いてもよい。
酸化物230に用いる酸化物としては、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが
好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、ア
ルミニウム、ガリウム、イットリウムまたはスズなどが含まれていることが好ましい。ま
た、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデ
ン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグ
ネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
ここで、酸化物が、インジウム、元素Mおよび亜鉛を有する場合を考える。なお、元素
Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウムまたはスズなどとする。そのほかの元素M
に適用可能な元素としては、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、
ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タ
ングステン、マグネシウムなどがある。ただし、元素Mとして、前述の元素を複数組み合
わせても構わない場合がある。
導電体240a、および導電体240bは、一方がソース電極として機能し、他方がド
レイン電極として機能する。
導電体240a、および導電体240bは、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル
、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、またはタングステンな
どの金属、またはこれを主成分とする合金を単層構造または積層構造として用いる。例え
ば、シリコンを含むアルミニウム膜の単層構造、タンタル膜または窒化タンタル膜を積層
する二層構造、チタン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、タングステン膜上にア
ルミニウム膜を積層する二層構造、銅−マグネシウム−アルミニウム合金膜上に銅膜を積
層する二層構造、チタン膜上に銅膜を積層する二層構造、タングステン膜上に銅膜を積層
する二層構造、チタン膜または窒化チタン膜と、そのチタン膜または窒化チタン膜上に重
ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にチタン膜または窒化チタン膜を
形成する三層構造、モリブデン膜または窒化モリブデン膜と、そのモリブデン膜または窒
化モリブデン膜上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にモリブデ
ン膜または窒化モリブデン膜を形成する三層構造等がある。なお、酸化インジウム、酸化
錫または酸化亜鉛を含む透明導電材料を用いてもよい。
絶縁体250は、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化
アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸ジルコン酸
鉛(PZT)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)または(Ba,Sr)TiO
(BST)などのいわゆるhigh−k材料を含む絶縁体を単層または積層で用いること
ができる。またはこれらの絶縁体に例えば酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ゲルマ
ニウム、酸化ニオブ、酸化シリコン、酸化チタン、酸化タングステン、酸化イットリウム
、酸化ジルコニウムを添加してもよい。またはこれらの絶縁体を窒化処理しても良い。上
記の絶縁体に酸化シリコン、酸化窒化シリコンまたは窒化シリコンを積層して用いてもよ
い。
また、絶縁体250して、絶縁体224と同様に、化学量論的組成を満たす酸素よりも
多くの酸素を含む酸化物絶縁体を用いることが好ましい。
なお、絶縁体250は、絶縁体220、絶縁体222、および絶縁体224と同様の積
層構造を有していてもよい。絶縁体250が、電子捕獲準位に必要な量の電子を捕獲させ
た絶縁体を有することで、トランジスタ400は、しきい値電圧をプラス側にシフトする
ことができる。当該構成を有することで、トランジスタ400は、ゲート電圧が0Vであ
っても非導通状態(オフ状態ともいう)であるノーマリーオフ型のトランジスタとなる。
ゲート電極として機能を有する導電体260は、例えばアルミニウム、クロム、銅、タ
ンタル、チタン、モリブデン、タングステンから選ばれた金属、または上述した金属を成
分とする合金か、上述した金属を組み合わせた合金等を用いて形成することができる。ま
た、マンガン、ジルコニウムのいずれか一または複数から選択された金属を用いてもよい
。また、リン等の不純物元素をドーピングした多結晶シリコンに代表される半導体、ニッ
ケルシリサイド等のシリサイドを用いてもよい。例えば、アルミニウム膜上にチタン膜を
積層する二層構造、窒化チタン膜上にチタン膜を積層する二層構造、窒化チタン膜上にタ
ングステン膜を積層する二層構造、窒化タンタル膜または窒化タングステン膜上にタング
ステン膜を積層する二層構造、チタン膜と、そのチタン膜上にアルミニウム膜を積層し、
さらにその上にチタン膜を形成する三層構造等がある。また、アルミニウムに、チタン、
タンタル、タングステン、モリブデン、クロム、ネオジム、スカンジウムから選ばれた一
または複数の金属を組み合わせた合金膜、もしくは窒化膜を用いてもよい。
また、導電体260は、インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含むインジウム酸化
物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物
、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化シリコンを添加し
たインジウム錫酸化物等の透光性を有する導電性材料を適用することもできる。また、上
記透光性を有する導電性材料と、上記金属の積層構造とすることもできる。
絶縁体280は、加熱により一部の酸素が脱離する酸化物材料を用いることが好ましい
加熱により酸素を脱離する酸化物材料として、化学量論的組成を満たす酸素よりも多く
の酸素を含む酸化物を用いることが好ましい。化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの
酸素を含む酸化物膜は、加熱により一部の酸素が脱離する。化学量論的組成を満たす酸素
よりも多くの酸素を含む酸化物膜は、昇温脱離ガス分光法(TDS:Thermal D
esorption Spectroscopy)分析にて、酸素原子に換算しての酸素
の脱離量が1.0×1018atoms/cm以上、好ましくは3.0×1020at
oms/cm以上である酸化物膜である。なお、上記TDS分析時における膜の表面温
度としては100℃以上700℃以下、または100℃以上500℃以下の範囲が好まし
い。
例えばこのような材料として、酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンを含む材料を用い
ることが好ましい。または、金属酸化物を用いることもできる。なお、本明細書中におい
て、酸化窒化シリコンとは、その組成として窒素よりも酸素の含有量が多い材料を指し、
窒化酸化シリコンとは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多い材料を示す。
また、トランジスタ400を覆う絶縁体280は、その下方の凹凸形状を被覆する平坦
化膜として機能してもよい。
また、導電体260を覆うように、絶縁体270を設けてもよい。絶縁体280に酸素
が脱離する酸化物材料を用いる場合、導電体260が、脱離した酸素により酸化すること
を防止するため、絶縁体270は、酸素に対してバリア性を有する物質を用いる。当該構
成とすることで、導電体260の酸化を抑制し、絶縁体280から、脱離した酸素を効率
的に酸化物230へと供給することができる。
絶縁体280上には、絶縁体282、および絶縁体284が順に積層して設けられてい
る。また、絶縁体280、絶縁体282、および絶縁体284には、導電体244、導電
体246a、および導電体246b等が埋め込まれている。なお、導電体244は、キャ
パシタ300、またはトランジスタ500と電気的に接続するプラグ、または配線として
機能を有する。導電体246a、および導電体246bは、キャパシタ300、またはト
ランジスタ400と電気的に接続するプラグ、または配線として機能を有する。
絶縁体282、および絶縁体284のいずれか、または両方に、酸素や水素に対してバ
リア性のある物質を用いることが好ましい。当該構成とすることで、トランジスタ400
近傍の層間膜から脱離する酸素を、効率的にトランジスタ400へ、拡散させることがで
きる。
絶縁体284の上方には、キャパシタ300が設けられている。
絶縁体602上には、導電体604、および導電体624が設けられている。なお、導
電体624は、トランジスタ400、またはトランジスタ500と電気的に接続するプラ
グ、または配線として機能を有する。
導電体604上に絶縁体612、絶縁体612上に導電体616が設けられている。ま
た、導電体616は、絶縁体612を介して、導電体604の側面を覆っている。つまり
、導電体604の側面においても、容量として機能するため、キャパシタの投影面積当た
りの容量を増加させることができる。従って、半導体装置の小面積化、高集積化、微細化
が可能となる。
なお、絶縁体602は、少なくとも導電体604、と重畳する領域に設けられていれば
よい。例えば、図13(B)に示すキャパシタ300Aのように、絶縁体602を、導電
体604、および導電体624と重畳する領域にのみ設け、絶縁体602と、絶縁体61
2とが接する構造としてもよい。
導電体616上には、絶縁体620、および絶縁体622が順に積層して設けられてい
る。また、絶縁体620、絶縁体622、および絶縁体602には導電体626、および
導電体628が埋め込まれている。なお、導電体626、および導電体628は、トラン
ジスタ400、またはトランジスタ500と電気的に接続するプラグ、または配線として
機能を有する。
また、キャパシタ300を覆う絶縁体620は、その下方の凹凸形状を被覆する平坦化
膜として機能してもよい。
以上が半導体装置におけるトランジスタの積層構造の一例である。
<表示システム>
図14は、上記半導体装置を適用した表示システムの構成例を説明するブロック図であ
る。
表示システムは、図1で説明したセンサ101、アプリケーションプロセッサ102、
コンフィギュレーションコントローラ103、コンフィギュレーションメモリアレイ10
4、および画像プロセッサ105の他、ホストコントローラ106、インターフェイス1
07、ドライバIC110(IC(Integrated Circuit))、ドライ
バIC111、および表示装置130を有する。
表示装置130は、表示部112および表示部113を有する。表示部112は、各画
素に液晶素子114を有する。表示部113は、各画素に発光素子115を有する。画素
は、液晶素子114と発光素子の2つの表示素子を有し、それぞれの表示素子を重ねて表
示を切り替えて行う機能を有する。画素の構成例については後で詳細に説明する。
液晶素子114は、IPS(In−Plane−Switching)モード、TN(
Twisted Nematic)モード、FFS(Fringe Field Swi
tching)モード、ASM(Axially Symmetric aligned
Micro−cell)モード、OCB(Optically Compensate
d Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Li
quid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric
Liquid Crystal)モードなどの駆動方法を用いて駆動することができる。
または、垂直配向(VA)モード、具体的には、MVA(Multi−Domain V
ertical Alignment)モード、PVA(Patterned Vert
ical Alignment)モード、ECB(Electrically Cont
rolled Birefringence)モード、CPA(Continuous
Pinwheel Alignment)モード、ASV(Advanced Supe
r−View)モードなどの駆動方法を用いて駆動することができる。
液晶素子114が有する液晶材料には、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液
晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。または
、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相
等を示す液晶材料を用いることができる。または、ブルー相を示す液晶材料を用いること
ができる。
なお発光素子115としては、有機エレクトロルミネッセンス素子、無機エレクトロル
ミネッセンス素子等のEL素子の他、または発光ダイオードなどを用いることができる。
EL素子は、白色の光を射出するように積層された積層体を用いることができる。具体
的には、青色の光を射出する蛍光材料を含む発光性の有機化合物を含む層と、緑色および
赤色の光を射出する蛍光材料以外の材料を含む層または黄色の光を射出する蛍光材料以外
の材料を含む層と、を積層した積層体を、用いることができる。
画像プロセッサ105は、画像処理を行う具体的な回路の一例として、補正パラメータ
保持回路108および補正選択回路109を有する。画像プロセッサ105は、画像デー
タVDを画像処理した画像データLCCompおよび画像データLCCompをドライバ
IC110およびドライバIC111に出力する。
補正パラメータ保持回路108は、一例としてガンマ補正回路116、調光補正回路1
17、曲面補正回路118、閾値補正回路119、および調色補正回路120を有する。
ガンマ補正回路116、調光補正回路117、曲面補正回路118、閾値補正回路119
、および調色補正回路120は、パラメータPxに応じて画像データVDを補正する。補
正選択回路109は、補正パラメータ保持回路108が有する各補正回路のいずれか一以
上を選択して補正された画像データLCCompおよび画像データLCCompタを出力
する機能を有する。
ガンマ補正回路116は、使用環境に応じて入力される画像データVDに対して適切な
ガンマ補正を行う機能を有する回路である。調光補正回路117は、使用環境に応じて入
力される画像データVDに対して適切な調光補正を行う機能を有する回路である。曲面補
正回路118は、表示装置130の表示面の形状に応じて入力される画像データVDに対
して適切な補正を行う機能を有する回路である。閾値補正回路119は、表示装置130
の各画素が有するトランジスタの閾値電圧の補正を考慮して補正する機能を有する回路で
ある。調色補正回路120は、使用環境に応じて入力される画像データVDに対して適切
な調色補正を行う機能を有する回路である。色の補正は、R(赤)G(緑)B(青)の三
原色に限らず、白(W)を加えた4色に対応させることもできる。または、黄(Y)、マ
ゼンタ(M)、シアン(C)の三原色に対応した色の補正を行うこともできる。
ホストコントローラ106は、画像データVDを所定の形式の信号に変換してインター
フェイス107に出力する機能を有する。
インターフェイス107は、LVDS(Low Voltage Different
ial Signaling)、DVI、HDMI(登録商標)Lなどに即した信号に変
換する回路が挙げられる。
ドライバIC110は、画像プロセッサ105で画像処理された画像データLCCom
をもとに、表示装置130の表示部112で表示するための各種信号を生成する機能を
有する。画像データLCCompは、表示部112が有する液晶素子114で表示を行う
ための信号である。
ドライバIC111は、画像プロセッサ105で画像処理された画像データELCom
をもとに、表示装置130の表示部113で表示するための各種信号を生成する機能を
有する。画像データELCompは、表示部112が有する発光素子115で表示を行う
ための信号である。
表示装置130では、表示部112と表示部113のうち、表示部112においてのみ
画像を表示することができる。表示部112に反射型の液晶素子114を用いることで、
画像を表示する際に光源として外光を利用することができる。外光を利用する場合、表示
部112においてのみ画像の表示を行うことで、表示装置130の消費電力を抑えること
ができる。また、表示部113では発光素子115を用いているため、別途光源を用意す
る、或いは外光を利用することなく、画像の表示を行うことができる。よって、表示部1
13において画像を表示することで、表示装置130の使用環境に左右されずに高い表示
品質を確保することができる。
また、表示装置130では、表示部112と表示部113の両方を用いて画像を表示す
ることも可能である。上記構成により、表示装置130において表示できる画像の階調数
を高めることができる。或いは、表示装置130において表示できる画像の色域の範囲を
広げることができる。
また、表示装置130は、ドライバIC110に供給する画像データLCCompと、
ドライバIC111に供給する画像データELCompとを、画像データVDから画像処
理を施して生成する機能を有する画像プロセッサ105を有する。具体的に、画像プロセ
ッサ105は、信号処理により、入力された画像データVDに各種の補正を施す機能も有
する。画像データVDに各種の補正を施す機能とは、言い換えると、画像データLCCo
mpと画像データELCompとに各種の補正を施す機能とも言える。
なお、上記補正として、液晶素子114の特性に合わせたガンマ補正、発光素子115
の劣化特性に合わせた調光補正などを行うことができる。表示装置130では、上記補正
の他に、外光の強度、外光の入射角、色の調整、階調数の調整等を行うこともできる。
<画素の構成例および動作例>
図15(A)は、図14で説明した液晶素子と発光素子を有する画素の構成例を説明す
るための断面図の一例である。
図15(A)は、画素回路51、画素回路52、液晶素子LCおよび発光素子ELの積
層構造を説明するための断面図である。
図15(A)では、発光素子ELを有する層61、画素回路を有する層62、および液
晶素子LCを有する層63を図示している。層61乃至63は、基板70と基板80との
間に設けられる。なお図示していないが、その他に偏光板、円偏光板、反射防止膜等の光
学部材を有していてもよい。
層61は発光素子ELを有する。発光素子ELは、電極71、発光層72、および電極
73を有する。電極71と電極73との間に挟まれた発光層72に電流が流れることで光
92(点線矢印で図示)を射出する。光92の強度は、層62にある画素回路52によっ
て制御される。
層62は、画素回路51、画素回路52およびカラーフィルター74を有する。また層
622は、画素回路51と反射電極81とを接続するための電極87、画素回路52と電
極71とを接続するための電極75を有する。カラーフィルター74は、発光素子ELが
射出する光が白色の場合に設けられ、特定の波長の光92を視認側に射出することができ
る。カラーフィルター74は、開口83に重なる位置に設ける。画素回路51および画素
回路52は、反射電極81に重なる位置に設ける。なお図15(A)では、液晶素子LC
が設けられる層と発光素子ELが設けられる層の間に画素回路51および画素回路52を
設ける構成を図示したが、画素回路51および画素回路52は液晶素子LCおよび発光素
子ELの上層または下層に設ける構成としてもよい。
層63は、開口83、反射電極81および導電層82、液晶84、導電層85、および
カラーフィルター86を有する。導電層82は、対となる導電層85との間に設けられる
液晶84の配向状態を制御する。反射電極81は、外光を反射して反射光91(点線矢印
で図示)を射出する。反射光91の強度は、画素回路51による液晶84の配向状態の調
整によって制御される。開口83は、層61の発光素子ELが射出する光92が透過する
位置に設ける。
反射電極81は、例えば、可視光を反射する材料を用いることができる。具体的には、
銀を含む材料を反射膜に用いることができる。例えば、銀およびパラジウム等を含む材料
または銀および銅等を含む材料を反射膜に用いることができる。また、例えば、表面に凹
凸を備える材料を、反射膜に用いることができる。これにより、入射する光をさまざまな
方向に反射して、白色の表示をすることができる。
導電層82および導電層85は、例えば、可視光を透過する材料を用いることができる
。具体的には、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛
、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができ
る。
基板70および基板80には、例えば、ガラス、セラミックス等の透光性を有する無機
材料を用いることができる。あるいは基板631、632には、可撓性を有する材料、例
えば樹脂フィルムまたはプラスチック等の有機材料を用いることができる。なお基板70
および基板80には、偏光板、位相差板、プリズムシートなどの部材を適宜積層して用い
ることもできる。
絶縁層は、例えば、絶縁性の無機材料、絶縁性の有機材料または無機材料と有機材料を
含む絶縁性の複合材料を用いることができる。例えば絶縁層には、酸化シリコン膜、窒化
シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜等またはこれらから選ばれた複数
を積層した積層材料、あるいはポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリイミド
、ポリカーボネート、ポリシロキサン若しくはアクリル樹脂等またはこれらから選択され
た複数の樹脂の積層材料もしくは複合材料、を含む膜を用いることができる。
電極75および電極87等の導電層は、導電性を備える材料を配線等に用いることがで
きる。例えば電極75および電極87は、アルミニウム、金、白金、銀、銅、クロム、タ
ンタル、チタン、モリブデン、タングステン、ニッケル、鉄、コバルト、パラジウムまた
はマンガンから選ばれた金属元素などを用いることができる。または、上述した金属元素
を含む合金などを、配線等に用いることができる。
発光層72は、発光層、電荷輸送層または電荷注入層を自由に組み合わせて形成すれば
良い。例えば、低分子系有機EL材料や高分子系有機EL材料を用いればよい。また、E
L層として一重項励起により発光(蛍光)する発光材料(シングレット化合物)からなる
薄膜、または三重項励起により発光(リン光)する発光材料(トリプレット化合物)から
なる薄膜を用いることができる。また、電荷輸送層や電荷注入層として炭化珪素等の無機
材料を用いることも可能である。これらの有機EL材料や無機材料は公知の材料を用いる
ことができる。
電極71は、発光素子ELの陽極として機能する。陽極を形成する材料としては、陰極
を形成する材料よりも仕事関数の大きい材料を用い、ITO(酸化インジウム酸化スズ)
、酸化インジウム酸化亜鉛(In―ZnO)、酸化亜鉛(ZnO)等、さらにIT
Oよりもシート抵抗の低い材料、具体的には白金(Pt)、クロム(Cr)、タングステ
ン(W)、もしくはニッケル(Ni)といった材料を用いることができる。
電極73は、仕事関数の小さい金属(代表的には周期表の1族もしくは2族に属する金
属元素)や、これらを含む合金を用いることができる。仕事関数が小さければ小さいほど
発光効率が向上するため、中でも、陰極に用いる材料としては、アルカリ金属の一つであ
るLi(リチウム)を含む合金材料が望ましい。
図15(A)に示すように、液晶素子LCおよび発光素子ELを重ねて設ける。そして
、開口83は、発光素子ELが射出する光92が透過する位置に設ける。このような構成
とすることで、周辺環境に応じた表示素子の切り替えを画素が占める面積を大きくするこ
となく実現できる。その結果、視認性が向上した表示装置とすることができる。
図15(B)は、図15(A)に示す画素の断面図の画素回路51、画素回路52、液
晶素子LCおよび発光素子ELに対応する回路図である。図15(B)に示す画素90に
おいて、画素回路51は、トランジスタM1および容量素子CsLCを有する。画素回路
52は、トランジスタM2、M3および容量素子CsELを有する。画素90が有する各
素子は、図15(B)に示すように、ゲート線GLLC、ゲート線GLEL、信号線SL
LC、信号線SLEL、容量線LCS、電流供給線Lano、および共通電位線Lcas
に接続される。
なお容量素子CsELは、発光素子ELを駆動するための階調電圧をトランジスタM3
のゲートに保持するために設けている。このような構成とすることで、発光素子ELを駆
動するための階調電圧の保持をより確実に行うことができる。
トランジスタM1は、導通状態を制御することで、液晶素子LCを駆動するための階調
電圧を容量素子CsLCに与える。トランジスタM2は、導通状態を制御することで、発
光素子ELを駆動するための階調電圧をトランジスタM3のゲートに与える。トランジス
タM3は、ゲートの電圧に応じて電流供給線Lanoと共通電位線Lcasとの間に電流
を流して発光素子ELを駆動する。
トランジスタM1乃至M3は、nチャネル型トランジスタを用いることができる。nチ
ャネル型トランジスタは、各配線の電圧の大小関係を変えることで、pチャネル型トラン
ジスタに置き換えることもできる。トランジスタM1乃至M3の半導体材料は、シリコン
を用いることができる。シリコンは、単結晶シリコン、ポリシリコン、微結晶シリコンま
たはアモルファスシリコンなどを適宜選択して用いることができる。
あるいはトランジスタM1乃至M3の半導体材料は、酸化物半導体を用いることができ
る。
なお、酸化物半導体は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウム
および亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イ
ットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、
ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム
、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が
含まれていてもよい。
また画素30が有するトランジスタM1乃至M3は、ボトムゲート型のトランジスタや
、トップゲート型トランジスタなどの様々な形態のトランジスタを用いて作製することが
できる。また画素30が有するトランジスタM1乃至M3を、バックゲートを有するトラ
ンジスタとしてもよい。バックゲートに与える電圧は、ゲート線GLLCやゲート線GL
ELとは異なる、別の配線から与える構成としてもよい。このような構成とすることで、
トランジスタの閾値電圧のコントロール、あるいはトランジスタを流れる電流量を大きく
することができる。
図15(C)では、画素90の模式図を図示している。画素90は、図15(A)、(
B)で説明した画素回路51、画素回路52、開口83、液晶素子LCおよび発光素子E
Lを有する。また図15(C)では、反射光91および光92を図示している。
図15(C)に示す画素回路51および画素回路52は、液晶素子LCが設けられる層
と発光素子ELが設けられる層の間に設けられる。液晶素子LCを駆動するための画素回
路51と発光素子ELを駆動するための画素回路52とのトランジスタを有する素子層を
同じ工程で設けることで、画素回路51と画素回路52とを同層に配置する構成とする。
当該構成とすることで、液晶素子LCに階調電圧を与える駆動回路と、発光素子ELに階
調電圧を与える駆動回路とを一体化した駆動回路とすることができる。
図15(C)に示す構成とすることで画素90は、液晶素子LCによる反射光91の強
度の制御と、開口83を透過する発光素子ELの発する光92の強度の制御と、によって
階調表示を行うことができる。なお反射光91が射出される方向および発光素子ELが発
する光35が射出される方向は、表示装置の表示面となる。
図15(C)に示す画素90の構成では、液晶素子LCが有する反射電極によって外光
を利用した反射光91の強度を液晶層で調節して階調表示を行う。そのため画素90を有
する表示装置は、屋外での視認性を向上することができる。
また図15(C)に示す画素90の構成では、発光素子ELの発する光92の強度を調
節して階調表示を行う。そのため画素90を有する表示装置は、外光の強度が小さい屋内
での視認性を向上することができる。
なお屋外にて液晶素子LCを制御して表示を行う構成、または屋内にて発光素子ELを
制御して表示を行う構成は、表示装置に照度を測定可能なセンサを設ける構成とすればよ
い。
また図15(C)に示す構成では、画素ごとに液晶素子LCを制御することができる画
素回路51、及び発光素子ELを制御することができる画素回路52を有する。つまり、
画素90ごとに液晶素子LCおよび発光素子ELの階調表示を別々に制御することができ
る。このような構成では、複数の画素で一様に点灯するバックライトの制御とは異なり、
表示する画像に応じた発光素子ELの発光を画素レベルといった最小単位で制御すること
ができるため、余分な発光を抑えることができる。そのため図15(C)の画素90を有
する表示装置は、低消費電力化を図ることができる。
図15(B)で示した画素90を有する表示装置の動作モードについて、図16(A)
から図16(D)までを参照して説明する。
表示装置は、周辺の照度に応じて、動作モードを切り替えることができる。図16(A
)から図16(C)までは、照度に応じて表示装置が取り得る表示モードを説明するため
の画素の模式図である。なお図16(A)から図16(C)までにおいては、図15(C
)と同様に、画素回路51、画素回路52、液晶素子LC、発光素子EL、開口83、液
晶素子LCが有する反射電極が反射する反射光91、および開口83より射出される発光
素子ELが発する光92を図示している。
表示装置が取り得る表示モードとしては、図16(A)から図16(C)までに示す、
反射液晶表示モード(R−LC mode)と、反射液晶+EL表示モード(R−LC+
EL mode)と、EL表示モード(EL mode)と、を挙げて説明する。
反射液晶表示モードは、画素が有する液晶素子を駆動して反射光の強度を調節して階調
表示を行う表示モードである。具体的には図16(A)に示す画素の模式図のように液晶
素子LCが有する反射電極で反射光91の強度を液晶層で調節して階調表示を行う。
反射液晶+EL表示モード(R−LC+EL mode)は、液晶素子の駆動と発光素
子の駆動とによって反射光の強度と発光素子の光の強度の双方を調節して階調表示を行う
表示モードである。具体的には図16(B)に示す画素の模式図のように液晶素子LCが
有する反射電極で反射光91の強度と、発光素子ELが開口83より射出する光92の強
度と、を調節して階調表示を行う。
EL表示モード(EL mode)は、発光素子を駆動して光の強度を調節して階調表
示を行う表示モードである。具体的には図16(C)に示す画素の模式図のように、発光
素子ELが開口83より射出する光92の強度を調節して階調表示を行う。
図16(D)には、上述した3つのモード(反射液晶表示モード、反射液晶+EL表示
モード、EL表示モード)の状態遷移図を示す。状態C1は反射液晶表示モードを表し、
状態C2は反射液晶+EL表示モードを表し、状態C3はEL表示モードを表している。
図16(D)に図示するように、状態C1から状態C3までは照度に応じていずれかの
状態の表示モードを取り得る。例えば屋外のように照度が大きい場合、状態C1を取り得
る。また屋外から屋内に移動するような照度が小さくなる場合、状態C1から状態C3に
遷移する。また屋内であっても照度が大きく、反射光による階調表示が可能な場合、状態
C3から状態C2に遷移する。
以上のように照度に応じて表示モードを切り替える構成とすることで、消費電力が比較
的大きい発光素子の光の強度による階調表示の頻度を減らすことができる。そのため、表
示装置の消費電力を低減することができる。
また表示装置は、バッテリーの残容量、表示するコンテンツ、あるいは周辺環境の照度
に応じて、さらに動作モードを切り替えることができる。例えば、通常のフレーム周波数
で動作する通常動作モード(Normal mode)と、低速のフレーム周波数で操作
するアイドリング・ストップ(IDS)駆動モードと、を挙げられる。
なお、アイドリング・ストップ(IDS)駆動とは、画像データの書き込み処理を実行
した後、画像データの書き換えを停止する駆動方法のことをいう。一旦画像データの書き
込みをして、その後次の画像データの書き込みまでの間隔を延ばすことで、その間の画像
データの書き込みに要する分の消費電力を削減することができる。
アイドリング・ストップ(IDS)駆動モードは、上述した反射液晶表示モードまたは
反射液晶+EL表示モードといった表示モードと組み合わせることで、さらなる低消費電
力化を図ることができるため有効である。
<電子部品>
上述した半導体装置を適用した電子部品について説明する。
図17(A)は、電子部品の作製方法例を示すフローチャートである。電子部品は、半
導体パッケージ、またはIC用パッケージともいう。この電子部品は、端子取り出し方向
や、端子の形状に応じて、複数の規格や名称が存在する。そこで、その一例について説明
する。
トランジスタで構成される半導体装置は、組み立て工程(後工程)を経て、プリント基
板に脱着可能な部品が複数合わさることで完成する。後工程については、図17(A)に
示す各工程を経ることで完成させることができる。具体的には、前工程で得られる素子基
板が完成(ステップST71)した後、基板の裏面を研削する。この段階で基板を薄膜化
して、前工程での基板の反り等を低減し、部品の小型化を図る。次に、基板を複数のチッ
プに分離するダイシング工程を行う(ステップST72)。
図17(B)は、ダイシング工程が行われる前の半導体ウエハ7100の上面図である
。図17(C)は、図17(B)の部分拡大図である。半導体ウエハ7100には、複数
の回路領域7102が設けられている。回路領域7102には、本発明の形態に係る半導
体装置が設けられている。
複数の回路領域7102は、それぞれが分離領域7104に囲まれている。分離領域7
104と重なる位置に分離線(「ダイシングライン」ともいう。)7106が設定される
。ダイシング工程ST72では、分離線7106に沿って半導体ウエハ7100切断する
ことで、回路領域7102を含むチップ7110を半導体ウエハ7100から切り出す。
図17(D)にチップ7110の拡大図を示す。
分離領域7104に導電層や半導体層を設けてもよい。分離領域7104に導電層や半
導体層を設けることで、ダイシング工程時に生じうるESDを緩和し、ダイシング工程に
起因する歩留まりの低下を防ぐことができる。また、一般にダイシング工程は、基板の冷
却、削りくずの除去、帯電防止などを目的として、炭酸ガスなどを溶解させて比抵抗を下
げた純水を切削部に供給しながら行なう。分離領域7104に導電層や半導体層を設ける
ことで、当該純水の使用量を削減することができる。よって、半導体装置の生産コストを
低減することができる。また、半導体装置の生産性を高めることができる。
ステップST72を行った後、分離したチップを個々にピックアップしてリードフレー
ム上に搭載し接合する、ダイボンディング工程を行う(ステップST73)。ダイボンデ
ィング工程におけるチップとリードフレームとの接着方法は製品に適した方法を選択すれ
ばよい。例えば、接着は樹脂やテープによって行えばよい。ダイボンディング工程は、イ
ンターポーザ基板上にチップを搭載し接合してもよい。ワイヤーボンディング工程で、リ
ードフレームのリードとチップ上の電極とを金属の細線(ワイヤー)で電気的に接続する
(ステップST74)。金属の細線には、銀線や金線を用いることができる。ワイヤーボ
ンディングは、ボールボンディングとウェッジボンディングの何れでもよい。
ワイヤーボンディングされたチップは、エポキシ樹脂等で封止される、モールド工程が
施される(ステップST75)。モールド工程を行うことで電子部品の内部が樹脂で充填
され、機械的な外力による内蔵される回路部やワイヤーに対するダメージを低減すること
ができ、また水分や埃による特性の劣化を低減することができる。リードフレームのリー
ドをメッキ処理する。そしてリードを切断および成形加工する「成型工程」を行う(ステ
ップST76)。めっき処理によりリードの錆を防止し、後にプリント基板に実装する際
のはんだ付けをより確実に行うことができる。パッケージの表面に印字処理(マーキング
)を施す(ステップST77)。検査工程(ステップST78)を経て、電子部品が完成
する(ステップST79)。上掲した実施の形態の半導体装置を組み込むことで、低消費
電力で、小型な電子部品を提供することができる。
完成した電子部品の斜視模式図を図17(E)に示す。図17(E)では、電子部品の
一例として、QFP(Quad Flat Package)の斜視模式図を示している
。図17(E)に示すように、電子部品7000は、リード7001およびチップ711
0を有する。
電子部品7000は、例えばプリント基板7002に実装される。このような電子部品
7000が複数組み合わされて、それぞれがプリント基板7002上で電気的に接続され
ることで電子機器に搭載することができる。完成した回路基板7004は、電子機器等の
内部に設けられる。電子部品7000を搭載することで、電子機器の消費電力を削減する
ことができる。または、電子機器を小型化することが容易になる。
電子部品7000は、デジタル信号処理、ソフトウェア無線、アビオニクス(通信機器
、航法システム、自動操縦装置、飛行管理システム等の航空に関する電子機器)、ASI
Cのプロトタイピング、医療用画像処理、音声認識、暗号、バイオインフォマティクス(
生物情報科学)、機械装置のエミュレータ、および電波天文学における電波望遠鏡等、幅
広い分野の電子機器の電子部品(ICチップ)に適用することが可能である。このような
電子機器としては、カメラ(ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ等)、表示装置、パー
ソナルコンピュータ(PC)、携帯電話、携帯型を含むゲーム機、携帯型情報端末(スマ
ートフォン、タブレット型情報端末など)、電子書籍端末、ウエアラブル型情報端末(時
計型、ヘッドマウント型、ゴーグル型、眼鏡型、腕章型、ブレスレット型、ネックレス型
等)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、デジタルオーディオプ
レイヤー等)、複写機、ファクシミリ、プリンタ、プリンタ複合機、現金自動預け入れ払
い機(ATM)、自動販売機、家庭用電化製品などに適用可能である。
<電子機器>
次いで、コンピュータ、携帯情報端末(携帯電話、携帯型ゲーム機、音響再生装置など
も含む)、電子ペーパー、テレビジョン装置(テレビ、又はテレビジョン受信機ともいう
)、デジタルビデオカメラなどの電子機器に、上述の電子部品を適用する場合について説
明する。
図18(A)は、携帯型の情報端末であり、筐体801、筐体802、第1の表示部8
03a、第2の表示部803bなどによって構成されている。筐体801と筐体802の
少なくとも一部には、上述した半導体装置を有する電子部品が設けられている。そのため
、動作の切り替えを高速で行うことが可能な携帯型の情報端末が実現される。
なお、第1の表示部803aはタッチ入力機能を有するパネルとなっており、例えば図
18(A)の左図のように、第1の表示部803aに表示される選択ボタン804により
「タッチ入力」を行うか、「キーボード入力」を行うかを選択できる。選択ボタンは様々
な大きさで表示できるため、幅広い世代の人が使いやすさを実感できる。ここで、例えば
「キーボード入力」を選択した場合、図18(A)の右図のように第1の表示部803a
にはキーボード805が表示される。これにより、従来の情報端末と同様に、キー入力に
よる素早い文字入力などが可能となる。
また、図18(A)に示す携帯型の情報端末は、図18(A)の右図のように、第1の
表示部803aおよび第2の表示部803bのうち、一方を取り外すことができる。第2
の表示部803bもタッチ入力機能を有するパネルとし、持ち運びの際、さらなる軽量化
を図ることができ、一方の手で筐体802を持ち、他方の手で操作することができるため
便利である。
図18(A)に示す携帯型の情報端末は、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像な
ど)を表示する機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示部に表示する機能、表示部に
表示した情報を操作又は編集する機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理
を制御する機能、等を有することができる。また、筐体の裏面や側面に、外部接続用端子
(イヤホン端子、USB端子など)、記録媒体挿入部などを備える構成としてもよい。
また、図18(A)に示す携帯型の情報端末は、無線で情報を送受信できる構成として
もよい。無線により、電子書籍サーバから、所望の書籍データなどを購入し、ダウンロー
ドする構成とすることも可能である。
更に、図18(A)に示す筐体802にアンテナやマイク機能や無線機能を持たせ、携
帯電話として用いてもよい。
図18(B)は、電子ペーパーを実装した電子書籍端末810であり、筐体811と筐
体812の2つの筐体で構成されている。筐体811および筐体812には、それぞれ表
示部813および表示部814が設けられている。筐体811と筐体812は、軸部81
5により接続されており、該軸部815を軸として開閉動作を行うことができる。また、
筐体811は、電源816、操作キー817、スピーカー818などを備えている。筐体
811、筐体812の少なくとも一には、上述した半導体装置を有する電子部品が設けら
れている。そのため、動作の切り替えを高速で行うことが可能な電子書籍端末が実現され
る。
図18(C)は、テレビジョン装置であり、筐体821、表示部822、スタンド82
3などで構成されている。テレビジョン装置820の操作は、筐体821が備えるスイッ
チや、リモコン操作機824により行うことができる。筐体821およびリモコン操作機
824には上述した半導体装置を有する電子部品が設けられている。そのため、動作の切
り替えを高速で行うことが可能なテレビジョン装置が実現される。
図18(D)は、スマートフォンであり、本体830には、表示部831と、スピーカ
ー832と、マイク833と、操作ボタン834等が設けられている。本体830内には
、上述した半導体装置を有する電子部品が設けられている。そのため動作の切り替えを高
速で行うことが可能なスマートフォンが実現される。
図18(E)は、デジタルカメラであり、本体841、表示部842、操作スイッチ8
43などによって構成されている。本体841内には、先の実施の形態に示す半導体装置
が設けられている。そのため、低消費電力化が図られたデジタルカメラが実現される。
<本明細書等の記載に関する付記>
本明細書等において、「第1」、「第2」、「第3」という序数詞は、構成要素の混同
を避けるために付したものである。従って、構成要素の数を限定するものではない。また
、構成要素の順序を限定するものではない。
本明細書等において、ブロック図では、構成要素を機能毎に分類し、互いに独立したブ
ロックとして示している。しかしながら実際の回路等においては、構成要素を機能毎に切
り分けることが難しく、一つの回路に複数の機能が係わる場合や、複数の回路にわたって
一つの機能が関わる場合があり得る。そのため、ブロック図のブロックは、明細書で説明
した構成要素に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
なお図面において、同一の要素または同様な機能を有する要素、同一の材質の要素、あ
るいは同時に形成される要素等には同一の符号を付す場合があり、その繰り返しの説明は
省略する場合がある。
本明細書等において、トランジスタの接続関係を説明する際、ソースとドレインとの一
方を、「ソース又はドレインの一方」(又は第1電極、又は第1端子)と表記し、ソース
とドレインとの他方を「ソース又はドレインの他方」(又は第2電極、又は第2端子)と
表記している。これは、トランジスタのソースとドレインは、トランジスタの構造又は動
作条件等によって変わるためである。なおトランジスタのソースとドレインの呼称につい
ては、ソース(ドレイン)端子や、ソース(ドレイン)電極等、状況に応じて適切に言い
換えることができる。
また、本明細書等において、電圧と電位は、適宜言い換えることができる。電圧は、基
準となる電位からの電位差のことであり、例えば基準となる電位をグラウンド電位(接地
電位)とすると、電圧を電位に言い換えることができる。グラウンド電位は必ずしも0V
を意味するとは限らない。なお電位は相対的なものであり、基準となる電位によっては、
配線等に与える電位を変化させる場合がある。
本明細書等において、スイッチとは、導通状態(オン状態)、または、非導通状態(オ
フ状態)になり、電流を流すか流さないかを制御する機能を有するものをいう。または、
スイッチとは、電流を流す経路を選択して切り替える機能を有するものをいう。
一例としては、電気的スイッチ又は機械的なスイッチなどを用いることができる。つま
り、スイッチは、電流を制御できるものであればよく、特定のものに限定されない。
なお、スイッチとしてトランジスタを用いる場合、トランジスタの「導通状態」とは、
トランジスタのソースとドレインが電気的に短絡されているとみなせる状態をいう。また
、トランジスタの「非導通状態」とは、トランジスタのソースとドレインが電気的に遮断
されているとみなせる状態をいう。なおトランジスタを単なるスイッチとして動作させる
場合には、トランジスタの極性(導電型)は特に限定されない。
本明細書等において、AとBとが接続されている、とは、AとBとが直接接続されてい
るものの他、接続されているものを含むものとする。ここで、AとBとが接続されている
とは、AとBとの間で、何らかの電気的作用を有する対象物が存在するとき、AとBとの
電気信号の授受を可能とするものをいう。
C1 状態
C2 状態
C3 状態
CS0 スイッチ
CS1 スイッチ
m0 ノード
m1 ノード
M1 トランジスタ
M2 トランジスタ
M3 トランジスタ
mb0 ノード
mb1 ノード
MEM_0 コンフィギュレーションメモリ
MEM_1 コンフィギュレーションメモリ
MEM_3 コンフィギュレーションメモリ
ST72 ダイシング工程
T0 時刻
T1 時刻
T2 時刻
T3 時刻
T4 時刻
T5 時刻
T6 時刻
T7 時刻
T8 時刻
T9 時刻
T10 時刻
T11 時刻
T12 時刻
T13 時刻
T14 時刻
T15 時刻
Ve0 電位
Ve1 電位
wl0 制御信号線
wl1 制御信号線
10 トランジスタ層
12 トランジスタ
14 半導体層
16 ゲート電極
20 配線層
20A 配線層
20B 配線層
22 配線
24 絶縁層
30 トランジスタ層
32 トランジスタ
34 半導体層
35 光
36 ゲート電極
40 配線層
40A 配線層
40B 配線層
42 配線
44 絶縁層
51 画素回路
52 画素回路
61 層
62 層
63 層
70 基板
71 電極
72 発光層
73 電極
74 カラーフィルター
75 電極
80 基板
81 反射電極
82 導電層
83 開口
84 液晶
85 導電層
86 カラーフィルター
87 電極
90 画素
91 反射光
92 光
101 センサ
102 アプリケーションプロセッサ
103 コンフィギュレーションコントローラ
104 コンフィギュレーションメモリアレイ
105 画像プロセッサ
106 ホストコントローラ
107 インターフェイス
108 補正パラメータ保持回路
109 補正選択回路
110 ドライバIC
111 ドライバIC
112 表示部
113 表示部
114 液晶素子
115 発光素子
116 ガンマ補正回路
117 調光補正回路
118 曲面補正回路
119 閾値補正回路
120 調色補正回路
130 表示装置
201 トランジスタ
202 トランジスタ
203 トランジスタ
204 トランジスタ
205 トランジスタ
206 トランジスタ
207 キャパシタ
208 トランジスタ
209 トランジスタ
210 トランジスタ
211 トランジスタ
212 トランジスタ
213 トランジスタ
214 キャパシタ
216 バッファ回路
217 トランジスタ
218 導電体
220 絶縁体
222 絶縁体
224 絶縁体
230 酸化物
230a 酸化物
230b 酸化物
230c 酸化物
240a 導電体
240b 導電体
244 導電体
246a 導電体
246b 導電体
250 絶縁体
260 導電体
270 絶縁体
280 絶縁体
282 絶縁体
284 絶縁体
300 キャパシタ
300A キャパシタ
301 基板
302 半導体領域
304 絶縁体
306 導電体
308a 低抵抗領域
308b 低抵抗領域
320 絶縁体
322 絶縁体
324 絶縁体
326 絶縁体
328 導電体
330 導電体
350 絶縁体
352 絶縁体
354 絶縁体
356 導電体
358 導電体
400 トランジスタ
405 導電体
410 絶縁体
412 絶縁体
414 絶縁体
416 絶縁体
500 トランジスタ
500A トランジスタ
602 絶縁体
604 導電体
612 絶縁体
616 導電体
620 絶縁体
622 絶縁体
624 導電体
626 導電体
628 導電体
631 基板
632 基板
801 筐体
802 筐体
803a 表示部
803b 表示部
804 選択ボタン
805 キーボード
810 電子書籍端末
811 筐体
812 筐体
813 表示部
814 表示部
815 軸部
816 電源
817 操作キー
818 スピーカー
820 テレビジョン装置
821 筐体
822 表示部
823 スタンド
824 リモコン操作機
830 本体
831 表示部
832 スピーカー
833 マイク
834 操作ボタン
841 本体
842 表示部
843 操作スイッチ
7000 電子部品
7001 リード
7002 プリント基板
7004 回路基板
7100 半導体ウエハ
7102 回路領域
7104 分離領域
7106 分離線
7110 チップ

Claims (1)

  1. 照度を検出する機能を有するセンサと、
    前記照度の変化が検出されると、検出された前記照度に応じた演算パラメータを演算により更新する機能と、前記演算パラメータが更新されるまでの間、予め用意された複数のパラメータのうち一のパラメータを、検出された前記照度に応じて選択するためのコンテキスト切り替え信号を生成する機能と、を有するアプリケーションプロセッサと、
    前記演算パラメータに対応する第1のコンフィギュレーションデータを生成する機能、及び、前記複数のパラメータにそれぞれ対応する複数の第2のコンフィギュレーションデータを生成する機能を有するコンフィギュレーションコントローラと、
    前記第1のコンフィギュレーションデータと、前記複数の第2のコンフィギュレーションデータとを保持する機能を有するコンフィギュレーションメモリアレイと、
    演算により前記演算パラメータが更新されるまでの間、前記コンテキスト切り替え信号によって選択された前記一のパラメータに対応する前記第2のコンフィギュレーションデータに応じて画像処理を実行し、前記演算パラメータが更新された後、更新後の前記演算パラメータに対応する前記第1のコンフィギュレーションデータに従って画像処理を実行する機能を有する画像プロセッサと、を有し、
    前記コンフィギュレーションメモリアレイは、複数のコンフィギュレーションメモリを有し、
    前記コンフィギュレーションメモリは、チャネル形成領域となる半導体層に酸化物半導体を含むトランジスタを有する半導体装置。
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