JP2018004640A - 伸縮性力センサ - Google Patents
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Claims (29)
- 力センサであって
繰り返しの第1の波状パターンで配置される1つまたは複数の電極を有する第1の層と、
繰り返しの第2の波状パターンで配置される1つまたは複数の電極を有する第2の層であって、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極は、1つまたは複数の電極交差点を形成するために、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極と対向する関係で設置され、かつ、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極を横断する、第2の層と、
を備え、
前記センサが伸張されるとき、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極は、新しい電極交差点を生じさせながら、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極に対して移動する、力センサ。 - 前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極は、第1の電極を含み、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極は、第2の電極を含み、
未伸張状態において、前記第1の電極と前記第2の電極とは第1の交点で交差し、
伸張状態において、前記第1の電極と前記第2の電極とは第2の交点で交差し、前記第2の交点は前記第1の交点と異なる、請求項1に記載の力センサ。 - 前記第1の波状パターンは、前記第2の波状パターンと同じである、請求項1に記載の力センサ。
- 前記第1の波状パターンと前記第2の波状パターンとは異なる、請求項1に記載の力センサ。
- 前記第1の波状パターンおよび前記第2の波状パターンは、蛇行状パターンである、請求項1に記載の力センサ。
- 前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極と前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極との間に設置される感圧材料をさらに備える、請求項1に記載の力センサ。
- 前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極と前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極との対向する関係を維持するために、前記第1の層および前記第2の層のうちの少なくとも1つの上に設置される接着剤をさらに備える、請求項1に記載の力センサ。
- 前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極は、第1の電極および第2の電極を含み、前記第1の電極と前記第2の電極とは、実質的に互いに平行である、請求項1に記載の力センサ。
- 前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極は、第3の電極および第4の電極を含み、前記第3の電極と前記第4の電極とは、実質的に互いに平行である、請求項1に記載の力センサ。
- 前記力センサが第1の方向に伸張されるとき、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極は、前記第1の方向に伸張され、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極に対して移動される、請求項1に記載の力センサ。
- 前記第1の波状パターンは、蛇行状パターンであり、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極が伸張されるとき、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極の隣接した山間の距離は長くなる、請求項10に記載の力センサ。
- 前記力センサが第2の方向に伸張されるとき、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極は、前記第2の方向に伸張され、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極に対して移動される、請求項1に記載の力センサ。
- 前記第2の波状パターンは、蛇行状パターンであり、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極が前記第2の方向に伸張されるとき、前記第2の層の前記1つまたは複数の電極の隣接した山間の距離は長くなる、請求項12に記載の力センサ。
- 前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極は、行として配置され、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極は、列として配置される、請求項1に記載の力センサ。
- 前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極および前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極との電気的接触をそれぞれ確立するための第1の接続パッドおよび第2の接続パッドをさらに備える、請求項1に記載の力センサ。
- 力センサを形成する方法であって、
第1の層上に1つまたは複数の電極を形成することであって、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極は、繰り返しの第1の波状パターンを有する、形成することと、
第2の層上に1つまたは複数の電極を形成することであって、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極は、第2の波状パターンを有する、形成することと、
複数の電極交差点を形成するために、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極が、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極と対向する関係にあり、かつ、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極を横断するように、前記第1の層を前記第2の層上に設置することと、を含み、
前記センサが伸張されるとき、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極と前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極とが互いに相対的に移動するため、新しい電極交差点が生じさせられる、方法。 - 前記第1の層を前記第2の層上に設置する工程の前に、前記第1の層および前記第2の層のうちの1つまたは複数に接着剤を施すことをさらに含む、請求項16に記載の方法。
- 前記第1の層を前記第2の層上に設置する工程の前に、前記第2の層上に感圧材料を設置することをさらに含む、請求項16に記載の方法。
- 前記第1の層上に1つまたは複数の電極を形成する工程は、前記第1の層上の1つまたは複数の電極を下地シートの第1の半分上に形成することを含み、
前記第2の層上に1つまたは複数の電極を形成する工程は、前記第2の層上の1つまたは複数の電極を前記下地シートの第2の半分上に形成することを含み、
前記第1の層を前記第2の層上に設置する工程の前に、前記第1の半分と前記第2の半分との間の折り目に沿って前記下地シートを折る、請求項16に記載の方法。 - 力センサであって
繰り返しの第1の波状パターンで配置される1つまたは複数の電極を有する第1の伸縮可能な層と、
繰り返しの第2の波状パターンで配置される1つまたは複数の電極を有する第2の伸縮可能な層であって、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極は、1つまたは複数の電極交差点を形成するために、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極と対向する関係で設置され、かつ、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極を横断する、第2の伸縮層と、
を備え、
前記センサが伸張されるとき、前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極は、前記1つまたは複数の電極交差点を維持しながら、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極に対して移動する、力センサ。 - 前記第1の波状パターンは、前記第2の波状パターンと同じである、請求項20に記載の力センサ。
- 前記第1の波状パターンと前記第2の波状パターンとは異なる、請求項20に記載の力センサ。
- 前記第1の波状パターンおよび前記第2の波状パターンは、蛇行状パターンである、請求項20に記載の力センサ。
- 前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極と前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極との間に設置される感圧材料をさらに備える、請求項20に記載の力センサ。
- 前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極と前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極との対向する関係を維持するために、前記第1の層および前記第2の層のうちの少なくとも1つの上に設置される接着剤をさらに備える、請求項20に記載の力センサ。
- 前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極は、第1の電極および第2の電極を含み、前記第1の電極と前記第2の電極とは、実質的に互いに平行である、請求項20に記載の力センサ。
- 前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極は、第3の電極および第4の電極を含み、前記第3の電極および前記第4の電極は、実質的に互いに平行である、請求項20に記載の力センサ。
- 前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極は、行として配置され、前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極は、列として配置される、請求項20に記載の力センサ。
- 前記第1の層上の前記1つまたは複数の電極および前記第2の層上の前記1つまたは複数の電極との電気的接触をそれぞれ確立するための第1の接続パッドおよび第2の接続パッドをさらに備える、請求項20に記載の触覚センサ。
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Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110678724A (zh) * | 2017-09-20 | 2020-01-10 | 崇实大学校产学协力团 | 具有凹凸部的压力传感器及其制造方法 |
US10739906B2 (en) * | 2018-01-10 | 2020-08-11 | Denso Ten Limited | Operation input device and touch panel |
JP6783830B2 (ja) * | 2018-08-27 | 2020-11-11 | ミネベアミツミ株式会社 | 滑りセンサ |
CN110095211B (zh) * | 2019-05-24 | 2023-12-19 | 清华大学深圳研究生院 | 一种可拉伸触觉传感器阵列及其制备方法 |
CN111006802B (zh) * | 2019-12-17 | 2021-07-27 | 华中科技大学 | 一种多模态可变胞柔性传感器及信号采集系统 |
JP7264136B2 (ja) * | 2020-08-28 | 2023-04-25 | 横河電機株式会社 | 力検出装置、力検出システム及び力検出装置の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20020194934A1 (en) * | 2001-06-26 | 2002-12-26 | Taylor Geoffrey L. | Pressure measurement sensor with piezoresistive thread lattice |
JP2010501849A (ja) * | 2006-08-31 | 2010-01-21 | コーリア リサーチ インスティトゥート オブ スタンダーズ アンド サイエンス | 曲面付着型触覚センサーとその製造方法 |
CN102539035A (zh) * | 2012-01-17 | 2012-07-04 | 江苏物联网研究发展中心 | 一种点阵型柔性压力分布传感器及其制备方法 |
JP2012519846A (ja) * | 2009-03-05 | 2012-08-30 | ストライカー コーポレイション | 弾性的に伸縮可能な織物状力センサアレイ及びその作製方法 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4856993A (en) | 1985-03-29 | 1989-08-15 | Tekscan, Inc. | Pressure and contact sensor system for measuring dental occlusion |
US4734034A (en) | 1985-03-29 | 1988-03-29 | Sentek, Incorporated | Contact sensor for measuring dental occlusion |
US5010774A (en) | 1987-11-05 | 1991-04-30 | The Yokohama Rubber Co., Ltd. | Distribution type tactile sensor |
DE4237072C1 (de) | 1992-11-03 | 1993-12-02 | Daimler Benz Ag | Resistiver Foliendrucksensor |
WO1994010794A1 (en) | 1992-11-04 | 1994-05-11 | Kopin Corporation | Control system for projection displays |
DE4406897C1 (de) | 1994-03-03 | 1995-05-24 | Daimler Benz Ag | Vorrichtung zur Sitzbelegungserkennung für ein Kraftfahrzeug |
LU90286B1 (fr) | 1998-09-11 | 2000-03-13 | Iee Sarl | Capteur de force |
FI108986B (fi) | 1999-07-01 | 2002-04-30 | Emfitech Oy | Menetelmä anturielementin valmistamiseksi ja anturielementti |
NL1019607C2 (nl) | 2001-12-19 | 2003-06-20 | Dutch Space B V | Sensormat voor het registreren van een drukprofiel. |
US20050003268A1 (en) | 2003-05-16 | 2005-01-06 | Scott Erik R. | Battery housing configuration |
US6964205B2 (en) | 2003-12-30 | 2005-11-15 | Tekscan Incorporated | Sensor with plurality of sensor elements arranged with respect to a substrate |
US7295724B2 (en) * | 2004-03-01 | 2007-11-13 | University Of Washington | Polymer based distributive waveguide sensor for pressure and shear measurement |
US7311009B2 (en) | 2004-11-17 | 2007-12-25 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Microelectromechanical systems contact stress sensor |
US7430925B2 (en) | 2005-05-18 | 2008-10-07 | Pressure Profile Systems, Inc. | Hybrid tactile sensor |
EP2758760B1 (en) * | 2011-09-24 | 2021-02-17 | President and Fellows of Harvard College | Elastic strain sensor |
US10602965B2 (en) * | 2013-09-17 | 2020-03-31 | Medibotics | Wearable deformable conductive sensors for human motion capture including trans-joint pitch, yaw, and roll |
US9322121B2 (en) * | 2013-02-28 | 2016-04-26 | Regents Of The University Of Minnesota | Stitched stretch sensor |
EP3071939B1 (en) * | 2013-11-18 | 2019-07-31 | President and Fellows of Harvard College | Printed stretchable strain sensor |
US10386249B2 (en) * | 2014-02-20 | 2019-08-20 | The University Of Akron | Wearable inductive-force sensor |
US9913642B2 (en) | 2014-03-26 | 2018-03-13 | Ethicon Llc | Surgical instrument comprising a sensor system |
KR101707002B1 (ko) * | 2015-03-04 | 2017-02-15 | 숭실대학교산학협력단 | 복합 감지형 센서 및 제조방법 |
WO2017044617A1 (en) * | 2015-09-08 | 2017-03-16 | The Regents Of The University Of California | Tactile sensors and methods of fabricating tactile sensors |
US10228806B2 (en) * | 2016-04-15 | 2019-03-12 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Flexible touch sensor and method of manufacturing the same |
EP3469323A4 (en) * | 2016-06-08 | 2020-03-18 | The University of British Columbia | SURFACE SENSOR ARRAYS USING ION CONDUCTING MATERIAL |
-
2017
- 2017-06-28 US US15/636,099 patent/US10473539B2/en active Active
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20020194934A1 (en) * | 2001-06-26 | 2002-12-26 | Taylor Geoffrey L. | Pressure measurement sensor with piezoresistive thread lattice |
JP2010501849A (ja) * | 2006-08-31 | 2010-01-21 | コーリア リサーチ インスティトゥート オブ スタンダーズ アンド サイエンス | 曲面付着型触覚センサーとその製造方法 |
JP2012519846A (ja) * | 2009-03-05 | 2012-08-30 | ストライカー コーポレイション | 弾性的に伸縮可能な織物状力センサアレイ及びその作製方法 |
CN102539035A (zh) * | 2012-01-17 | 2012-07-04 | 江苏物联网研究发展中心 | 一种点阵型柔性压力分布传感器及其制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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