JP2017535059A - 表面形状由来のオーバーレイの分解分析および分解分析を用いたオーバーレイ制御の向上 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、米国特許法第119条(e)に基づき、2014年9月3日出願の米国仮特許出願第62/045,417号を優先権主張するものである。前記米国仮特許出願第62/045,417号の全文を本明細書で引用している。
Claims (23)
- ウェーハ表面形状由来のオーバーレイ誤差を分析する方法であって、
複数ロットからのウェーハを含む複数のウェーハにおける面内歪みまたは測定されたオーバーレイを取得するステップと、
前記複数のウェーハについて取得された前記面内歪みまたは測定されたオーバーレイを、プロセッサを用いて複数の分解された成分に分解するステップと、
を含み、前記複数の分解された成分が、共通のプロセスシグネチャ、ロット間変動、およびウェーハ間変動を含む方法。 - 前記複数の分解された成分が更に、前記複数のウェーハに共通の残渣および高次のウェーハ間変動を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記分解された成分の和が前記面内歪みに等しい、請求項1に記載の方法。
- 前記複数の分解された成分の少なくとも1個の統計的表現をユーザーに対し提示するステップを更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記統計的表現が、標準偏差領域における表現および分散領域における表現の少なくとも一方を含む、請求項4に記載の方法。
- オーバーレイ補正処理の効果を判定する方法であって、
複数ロットからのウェーハを含む複数のウェーハにおける、前記オーバーレイ補正処理を適用する前の前記複数のウェーハの面内歪みを表す第1組の面内歪みを取得するステップと、
前記複数のウェーハにおける、前記オーバーレイ補正処理を適用した後の前記複数のウェーハの面内歪みを表す第2組の面内歪みを取得するステップと、
前記第1組の面内歪みを、プロセッサを用いて第1組の分解された成分に分解するステップと、
前記第2組の面内歪みを、前記プロセッサを用いて第2組の分解された成分に分解するステップと、
前記第1組の分解された成分と前記第2組の分解された成分との比較に基づいて、少なくとも1個の分解された成分に対する前記オーバーレイ補正処理の効果係数を判定するステップと、
を含む方法。 - 前記第1および第2組の分解された成分の各々が、
共通のプロセスシグネチャ、高次多項式モデルのロット間変動、高次多項式モデルのウェーハ間変動、露光毎補正(CPE)モデルの共通シグネチャ、およびCPEモデルのウェーハ間変動を含む、請求項6に記載の方法。 - 前記第1組の分解された成分の和が前記第1組の面内歪みに等しく、前記第2組の分解された成分の和が前記第2組の面内歪みに等しい、請求項6に記載の方法。
- 前記第2組の面内歪みが、オーバーレイ計量ツールを用いたリソグラフィ処理の後で測定される、請求項6に記載の方法。
- 前記オーバーレイ補正処理の前記効果係数をユーザーに対し提示するステップを更に含む、請求項6の方法。
- ウェーハ製造を監視する方法であって、
複数ロットからのウェーハを含む第1組のウェーハを分析して、ウェーハ製造に用いたオーバーレイ補正処理の効果係数を判定するステップと、
複数ロットからのウェーハを含む第2組のウェーハにおける面内歪みを取得するステップと、
前記第2組のウェーハの前記面内歪みを複数の分解された成分、すなわち共通のプロセスシグネチャ、高次多項式モデルのロット間変動、高次多項式モデルのウェーハ間変動、露光毎補正(CPE)モデルの共通シグネチャ、およびCPEモデルのウェーハ間変動を含む複数の分解された成分に分解するステップと、
前記複数の分解された成分の少なくとも1個の分解された成分が前記オーバーレイ補正処理の効果係数に少なくとも部分的に基づいて重み付けされている前記複数の分解された成分の重み付き和に基づいて、前記第2組のウェーハにおける表面形状由来のオーバーレイ全変動を計算するステップと、
前記第2組のウェーハが確立された仕様を満たすか否かを、前記第2組のウェーハにおける表面形状由来のオーバーレイ全変動と前記確立された仕様との比較に基づいて判定するステップと、
を含む方法。 - 前記仕様が、特定のリソグラフィパターニング層用のオーバーレイ見込みのパーセンテージとして確立されている、請求項11に記載の方法。
- 分析ステップが更に、
前記第1組のウェーハにおける、前記オーバーレイ補正処理を適用する前の前記第1組のウェーハの面内歪みを表す第1組の面内歪みを取得するステップと、
前記第1組のウェーハにおける、前記オーバーレイ補正処理を適用した後の前記第1組のウェーハの面内歪みを表す第2組の面内歪みを取得するステップと、
前記第1組の面内歪みを、第1組の分解された成分に分解するステップと、
前記第2組の面内歪みを、第2組の分解された成分に分解するステップと、
前記第1組の分解された成分と前記第2組の分解された成分との比較に基づいて前記オーバーレイ補正処理の効果係数を判定するステップと、
を含む、請求項11に記載の方法。 - 前記第1組のウェーハと前記第2組のウェーハが同一である、請求項11に記載の方法。
- 前記第1組のウェーハと前記第2組のウェーハが異なっている、請求項11に記載の方法。
- 前記分解された成分の和が前記面内歪みに等しい、請求項11に記載の方法。
- 複数ロットからのウェーハを含む第1組のウェーハからウェーハ表面形状データを取得すべく構成された測定装置と、
前記測定装置と通信する分析器とを含み、前記分析器が、
前記第1組のウェーハにおける第1組の面内歪みを計算すると共に、
前記第1組の面内歪みを第1組の分解された成分、すなわち共通のプロセスシグネチャ、高次多項式モデルのロット間変動、高次多項式モデルのウェーハ間変動、CPEモデルの共通シグネチャ、およびCPEモデルのウェーハ間変動を含む第1組の分解された成分に分解すべく構成されているシステム。 - 前記分解された成分の和が前記面内歪みに等しい、請求項17に記載システム。
- 前記分析器が更に、
前記第1組のウェーハにおける、オーバーレイ補正処理を適用した後の前記第1組のウェーハの面内歪みを表す第2組の面内歪みを計算し、
前記第2組の面内歪みを、第2組の分解された成分に分解し、
前記第1組の分解された成分と前記第2組の分解された成分との比較に基づいて前記オーバーレイ補正処理の効果係数を判定すべく構成されている、請求項17に記載のシステム。 - 前記分析器が更に、
複数ロットからのウェーハを含む第2組のウェーハにおける面内歪みを計算し、
前記第2組のウェーハの面内歪みの組を複数の分解された成分、すなわち共通のプロセスシグネチャ、高次多項式モデルのロット間変動、高次多項式モデルのウェーハ間変動、露光毎補正(CPE)モデルの共通シグネチャ、およびCPEモデルのウェーハ間変動を含む複数の分解された成分に分解し、
前記複数の分解された成分の少なくとも1個の分解された成分が前記オーバーレイ補正処理の効果係数に少なくとも部分的に基づいて重み付けされている前記複数の分解された成分の重み付き和に基づいて、前記第2組のウェーハにおける表面形状由来のオーバーレイ全変動を計算し、
前記第2組のウェーハが確立された仕様を満たすか否かを、前記第2組のウェーハにおける表面形状由来のオーバーレイ全変動と前記確立された仕様との比較に基づいて判定すべく構成されている、請求項19に記載のシステム。 - 前記仕様が、特定のリソグラフィパターニング層用のオーバーレイ見込みのパーセンテージとして確立されている、請求項20に記載のシステム。
- 前記第1組のウェーハと前記第2組のウェーハが同一である、請求項20に記載のシステム。
- 前記第1組のウェーハと前記第2組のウェーハが異なっている、請求項20に記載のシステム。
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C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
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C13 | Notice of reasons for refusal |
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C23 | Notice of termination of proceedings |
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C03 | Trial/appeal decision taken |
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C30A | Notification sent |
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