JP2017526942A - 差圧センサ - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明は、差圧センサに関するものである。【解決手段】本発明に係る差圧センサは、本体とカバーを含み、その内部に互いに分離された第1チャンバーと第2チャンバーが形成されたハウジングと、前記第1チャンバーと連通された第1圧力チャンネル及び前記第2チャンバーと連通された第2圧力チャンネルと、電子部品が搭載されて端子が形成され、前記第1チャンバーと面する第1面とその第1面と平行して前記第2チャンバーと面する第2面とを備え、前記第2チャンバーを覆う基板と、前記基板の第1面に、前記第1チャンバーと第2チャンバーの圧力差に応じた電気信号を発生させるように設置されたセンサ素子と、前記ハウジングに設置され、その一端が前記第1チャンバーの内部に延長され、前記センサ素子の電気信号を外部装置に伝達するように構成されたリードフレームと、前記センサ素子の電気信号を前記リードフレームに伝達するために、前記基板の端子と前記リードフレームを接続する導体と、前記本体とカバーが接する領域に配置されて、前記第1チャンバーを外部に対して密封する第1シール部と、前記基板と前記本体が接する領域に配置されて、前記第2のチャンバーを前記第1チャンバーに対して密封する第2シール部とを含む。【選択図】 図2

Description

本発明は、排気系後処理装置等に使用される差圧センサに関するものである。
車両の排気システムには、排気ガス中の粒子状物質を物理的に捕集し、燃焼させて除去する排気系後処理装置と排気ガスを冷却する低圧EGRクーラー(Low Pressure Exhaust Gas Recirculation cooler、LP EGR cooler)が設置される。そして、排気系後処理装置と低圧排気ガスの再循環装置クーラーの前段と後段の圧力差を測定するための差圧センサが設置される。排気系後処理装置や排気ガスの再循環装置クーラーに異常が生じた場合には差圧センサで測定された差圧が増加する。
登録特許公報第1011098号には、第1ハウジングチャンバー、第2ハウジングチャンバー及び第3ハウジングチャンバーを含むハウジングを備えた差圧センサにおいて、第1シール部が第1ハウジングチャンバーに対して第3ハウジングチャンバーを密封し、ハウジングの本体である第1ハウジング部とカバーである第2ハウジング部に接する領域内に配列される第2シール部が第1ハウジングチャンバーを第2ハウジングチャンバーから密封することを特徴とする差圧センサが開示されている。
前記差圧センサは、第2シール部がハウジングを外側に密封させると同時に、第2ハウジングチャンバーに対してセンサ要素を有する第1ハウジングチャンバーを密封させるので、接着の過程が減る。
また、公開特許公報第2013−0018570号には、感知要素を有する感知 要素キャリア要素と電子部品が搭載される電子モジュールキャリア要素をそれぞれ備えた電子モジュール組立体と、これを収容するハウジング組立体を含み、感知要素、キャリア要素と電子モジュールキャリア要素との間には、電気接続部が提供するセンサシステムが開示している。
また、公開特許公報第2012−0062363号には、差圧センサにおいて、排気ガスからセンサチップを保護するための手段として、フィルタを備えたことを特徴とする差圧センサが開示している。
大韓民国公開特許公報第2013−0018570号 大韓民国公開特許公報第2012−0062363号 大韓民国特許公報第1011098号
本発明は、従来の差圧センサとは違う新たな構造で改善された差圧センサを提供することを目的とする。
上述した目的を達成するための本発明に係る差圧センサは、本体とカバーを含む。その内部に互いに分離された第1チャンバーと第2チャンバーが形成されたハウジングと、前記第1チャンバーと連通された第1圧力チャンネル及び前記第2チャンバーと連通された第2圧力チャンネルと、電子部品が搭載されて端子が形成され、前記第1チャンバーと面する第1面とその第1面と平行して、前記第2チャンバーと面する第2面とを備え、前記第2チャンバーを覆う基板と、前記基板の第1面に、前記第1チャンバーと第2チャンバーの圧力差に応じた電気信号を発生させるように設置されたセンサ素子と、前記ハウジングに設置され、その一端が前記第1チャンバーの内部に延長され、前記センサ素子の電気信号を外部装置に転送するように構成されたリードフレームと、前記センサ素子の電気信号を前記リードフレームに伝達するために、前記基板の端子と前記リードフレームを接続するリード線と、前記本体とカバーが接する領域に配置されて、前記第1チャンバーを外部に対して密封する第1シール部と、前記基板と前記本体が接する領域に配置されて、前記第2チャンバーを前記第1チャンバーに対して密封する第2シール部とを含む。
また、前記基板の電子部品、端子及び導線を保護するために、前記基板の電子部品、端子及び導体を包む充填剤をさらに含むことが好ましい。前記充填剤は、ゲル状態であることが望ましい。
また、前記センサ素子と前記端子の間で、前記基板から前記カバーの方向に突出したバリアをさらに含み、前記充填剤は前記バリアと前記ハウジングの内壁によって囲まれた領域に塗布することができる。
前記電子部品は積層セラミックコンデンサを含み、前記導線はアルミニウム線であることがある。
また、前記基板はセラミック基板であることが望ましい。
また、前記リードフレームは互いに電気的に分離された第1リードフレーム、第2リードフレーム及び第3リードフレームを含んでおり、前記第2リードフレームの一端部の少なくとも一部と前記第3リードフレームの一端部の少なくとも一部分が互いに交錯するよう構成されることが望ましい。
本発明に係る差圧センサは、組み立てが容易で、構造が簡単であるという長所がある。
は、本発明に係る差圧センサの一実施形態の分解斜視図である。 は、図1に示された差圧センサの断面図である。 は、図1に示された差圧センサの一部を示す図である。 は、図1に示された差圧センサの組立方法を説明するための図である。 は、図1に示された差圧センサの組立方法を説明するための図である。 は、図1に示された差圧センサの組立方法を説明するための図である。 は、図1に示された差圧センサの組立方法を説明するための図である。 は、図1に示された差圧センサの組立方法を説明するための図である。 は、図1に示された差圧センサの組立方法を説明するための図である。
以下、添付された図面を参照して、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。次に紹介される実施例は、当業者に本発明の思想が十分に伝わるようにするために、例として提供されるものである。したがって、本発明は、以下説明される実施例に限定されず、他の形態で具体化することもできる。
図1は、本発明に係る差圧センサの一実施形態の分解斜視図であり、図2は図1に示された差圧センサの断面図である。図1と2を参照すると、本発明に係る差圧センサの一実施例は、ハウジング(10)、第1圧力チャンネル(24)、第2圧力チャンネル(25)、基板(30)、センサ素子(40)、リードフレーム(50)、導線(60)、第1シール部(70)、第2シール部(80)、充填剤(90)とを含んでいる。
ハウジング(10)は、本体(20)とカバー(21)を含んでいる。カバー(21)は、本体(20)に挟まれて本体(20)の開放された上段を外部から密封する役割をする。ハウジング(10)の内部には、第1チャンバー(11)と第2のチャンバー(12)が形成される。本体(20)の中心部に形成された分離壁(13)は、第2チャンバー(12)を第1チャンバー(11)から分離させる。第2チャンバー(12)の図面上右側には、支持部(14)が形成される。本体(20)の一方の側部には、ノズル形状の第1圧力チャンネル(24)と第2の圧力チャンネル(25)が並んで結合される。第1圧力チャンネル(24)は例えば、排気系・後処理装置の前段に接続されて第2の圧力チャンネル(25)は、排気ガス後処理装置の後段に接続することができる。第1チャンバー(11)は第1圧力チャンネル(24)と連通して、第2チャンバー(12)は、第2圧力チャンネル(25)と連通している。したがって、第1チャンバー(11)と第2チャンバー(12)の差圧を測定すると、排気系・後処理装置の前段と後段との間の差圧を測定することができる。
基板(30)は、本体(20)の内部に第2チャンバー(12)を覆うように配置される。基板(30)は、分離壁(13)と支持部(14)によって支持される。基板(30)にはセンサ素子(40)、積層セラミックコンデンサなどの電子部品(31)、端子(32)などが設置されている。ハウジング(10)には、高温の排気ガスが流入されるため、基板(30)はセラミック基板であることが望ましい。基板(30)はセンサ素子(40)を支持する役割だけでなく、第2シール部(80)と一緒に第2チャンバー(12)を第1チャンバー(11)に対して密封する役割をする。
基板(30)には、開口(33)が形成され、センサ素子(40)はこの開口(33)が形成された部分に設置される。開口(33)はセンサ素子(40)の下部に第2チャンバー(12)の圧力を提供することである。センサ素子(40)の周囲には、長方形の枠形のセンサ素子バリア(34)が配置され、センサ素子バリア(34)の内部には排気ガス中の有害物質からセンサ素子(40)を保護するためのゲル(35)が満たされることがある。ゲルは、フルオロシリコーンゲルであることがある。
センサ素子(40)は例えば、圧力に敏感なメンブレンを備えたシリコン系半導体圧力センサを含むことがある。センサ素子(40)の下部には、基板(30)の開口(33)を介して第2のチャンバー(12)の圧力が伝えられて、センサ素子(40)の上部には、第1チャンバー(11)の圧力がゲル(35)を介して伝達される。センサ素子(40)は、上部と下部の圧力差に応じた電気信号を発生させ、この電気信号は、基板(30)に形成された配線と電子部品(31)を介して基板(30)の端子(32)に伝達される。
本体(20)の右側には、外部装置との結合のためのコネクタ部(16)が形成されており、コネクタ部(16)にはリードフレーム(50)が設置される。リードフレーム(50)の一端は、ハウジング(10)の内部に延長され、他端はハウジング(10)の外部に向かって延長される。リードフレーム(50)のハウジング(10)の内部に延長された一端と基板(30)の端子(32)は導線(60)によって電気的に接続されている。導線(60)は、ワイヤーボンディングによってリードフレーム(50)と端子(32)に接続されている。導線(60)は、アルミニウム線であることがある。センサ素子(40)の電気信号は、リードフレーム(50)を介して、センサ素子(40)の電気信号を処理することができる外部デバイスに伝達される。
図3は、図1に示された差圧センサの一部を示す図である。図3に示すように、リードフレーム(50)は、電気的に分離された第1リードフレーム(51)、第2リードフレーム(52)、第3リードフレーム(53)とを含んでいる。ここで、第2リードフレーム(52)と第3リードフレーム(53)の端子側の一端部は互いに交錯するよう構成される。もう少し詳しく説明すると、第3リードフレーム(53)は第2リードフレーム(52)の方向に延長された第3リードフレーム延長部(531)を含み、第2リードフレーム(52)は、第3リードフレーム延長部(531)と並んで第3リードフレーム(53)の方向に延長された第2フレームの延長部(521)を含む。また、第2リードフレーム(52)の第2フレームの延長部(521)の反対方向の末端(522)は、第2リードフレーム(52)と第1リードフレーム(51)との間の空間に延長される。
このような構成は、ピンマップ(Pin Map)の変化に関係なく、端子(32)とリードフレーム(50)を接続するリード線が交差されないようにすることである。図3に示すように、ピンマップが変化する場合、導線(60)の長さとボンディングの位置だけ調整すると導線の交差無しに端子(32)とリードフレーム(50)を電気的に接続することができる。
図3の(a)に示すように、第1リードフレーム(51)が電圧入力端に接続されて第2リードフレーム(52)と第3リードフレーム(53)がそれぞれ電圧出力段及び接地とに接続された場合には、基板の端子(32)の中間の端子を第3リードフレーム延長部(531)と接続して、右側の端子を第2のリードフレームの延長部(521)と接続する。交錯した一端部に導線(60)を接続するため導線が交差されないという長所がある。導線が交差されるとショートすることがある。図3の(b)に示すように、第2リードフレーム(52)と第3リードフレーム(53)がそれぞれ接地及び電圧出力端子とに接続されている場合には、一般的な接続方法と同様に基板の端子(32)の中間の端子を第2リードフレーム(52)と接続して、右側の端子を第3リードフレーム(53)と接続する。
再び、図1と2を参照すると、本体(20)とカバー(21)が接する領域には、本体(20)を密封するための第1シール部(70)が配置される。第1シール部(70)は接着ボンドで成り立つことができる。第1シール部(70)は、本体(20)の外壁に沿って形成された結合溝(17)内に塗布される。第1シール部(70)は、概ね長方形の形になる。
第2シール部(80)は、本体(20)の分離壁(13)と支持部(14)などの第2チャンバー(12)の側壁をなす構造の上面に形成された概ね正方形である溝(15)に塗布される。第2シール部(80)は、第2チャンバー(12)を第1チャンバー(11)に対して密封する役割をする。
また、センサ素子(40)と端子(32)との間の基板(30)には、カバー(21)の方向に突出したバリア(18)が設置される。バリア(18)は、ハウジング(10)の内壁と一緒に基板(30)に設置された電子部品(31)、端子(32)、導線(60)、リードフレーム(50)との一部を囲む領域を形成する。この領域には、電子部品(31)、端子(32)、導線(60)とリードフレーム(50)を排気ガスから保護するための充填剤(90)が満たされる。充填剤(90)は、フルオロシリコーンゲルであることができる。バリア(18)は、本体(20)の内壁に形成されたガイド(19)に固定されることがある。
以下、上述した構成の差圧センサの組立方法を図面を参照して説明する。
まず、図4に示すように、本体(20)の第2チャンバー(12)の周囲の分離壁(13)と支持部(14)などに形成された溝(15)に第2シール部(80)をなす接着剤を塗布する。
次に、図5に示すように、センサ素子(40)と電子部品(31)が設置された、基板(30)に第2チャンバー(12)の開放された上面を覆う。基板(30)と第2チャンバー(12)の接触部は第2シール部(80)によって密封される。
次に、図6に示すように、ワイヤーボンディングを介して基板(30)の端子(32)とリードフレーム(50)の一端を電気的に接続する。
次に、図7に示すように、基板(30)に接着剤を塗布した後、バリア(18)を本体(20)の内壁に形成されたガイド(19)に挟んで固定する。
次に、図8に示すように、バリア(18)と本体(20)の内壁によって形成された空間に充填剤(90)を満たす。
最後に、図9に示すように、本体(20)の結合溝(17)に第1シール部(70)をなす接着剤を塗布して、カバー(21)を本体(20)に挟んで本体(20)上部を密封する。
以下は上述した差圧センサの設置と動作について説明する。
第1圧力チャンネル(24)を排気系・後処理装置の前段に接続し、第2圧力チャンネル(25)を後段に接続すると、センサ素子(40)の下部には、基板(30)の開口(33)を介して第2チャンバー(12)(第2圧力チャンネル)の圧力が伝達されて、センサ素子(40)の上部には、センサ素子(40)を覆っているゲル(35)を介して第1チャンバー(11)(第1圧力チャンネル)の圧力が伝達される。センサ素子(40)は、差圧に応じた電気信号を発生させる。この電気信号は、基板(30)の配線と電子部品(31)を介して基板(30)の端子(32)に伝達される。そして、端子(32)とリードフレーム(50)を電気的に接続するリード線(60)を介してリードフレーム(50)に伝達される。リードフレーム(50)に伝達された電気信号は、本体(20)のコネクタ部(16)に接続された外部デバイスに伝達される。外部デバイスは、差圧を測定し、排気系・後処理装置の状態を判断する。
以上で説明された実施例は、本発明の好適な実施例を説明したものに過ぎず、本発明の権利範囲は、説明された実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想と特許請求の範囲内で、この分野の当業者によって様々な変更、変形または置換が可能であり、そのような実施例は、本発明の範囲に属するものと理解されるべきである。
10:ハウジング
11:第1チャンバー
12:第2チャンバー
13:隔壁
14:支持部
15:ホーム
16:コネクタ部
17:結合溝
18:バリア
19:ガイド
20:本体
21:カバー
24:第1圧力チャンネル
25:第2圧力チャンネル
30:基板
31:電子部品
32:端子
33:開口
34:センサ素子バリア
35:ゲル
40:センサ素子
50:リードフレーム
51:第1リードフレーム
52:第2リードフレーム
53:第3リードフレーム
60:導線
70:第1シール部
80:第2シール部
90:充填剤

Claims (7)

  1. 本体とカバーを含み、その内部に互いに分離された第1チャンバーと第2チャンバーが形成されたハウジングと、
    前記第1チャンバーと連通された第1圧力チャンネル及び前記第2チャンバーと連通した第2圧力チャンネルと、
    電子部品が搭載されて端子が形成され、前記第1チャンバーと面する第1面とその第1面と平行して前記第2チャンバーと面する第2面を備えて、前記第2のチャンバーを覆う基板と、
    前記基板の第1面に、前記第1チャンバーと第2チャンバーの圧力差に応じた電気信号を発生させるように設置されたセンサ素子と、
    前記ハウジングに設置され、その一端が前記第1チャンバーの内部に延長され、前記センサ素子の電気信号を外部装置に転送するように構成されたリードフレームと、
    前記センサ素子の電気信号を前記リードフレームに伝達するために、前記基板の端子と前記リードフレームを接続するリード線と、
    前記本体とカバーが接する領域に配置されて、前記第1チャンバーを外部に対して密封する第1シール部と、
    前記基板と前記本体が接する領域に配置されて、前記第2のチャンバーを前記第1チャンバーに対して密封する第2シール部とを含む差圧センサ。
  2. 前記基板の電子部品、端子及び導線を保護するために、前記基板の電子部品、端子及び導体を包む充填剤をさらに含む、請求項1に記載の差圧センサ。
  3. 前記充填剤は、ゲル状態である、請求項2に記載の差圧センサ。
  4. 前記センサ素子と、前記端子間で、前記基板から前記カバーの方向に突出したバリアをさらに含み、前記充填剤は、前記バリアと前記ハウジングの内壁たちによって囲まれた領域に塗布された、請求項2に記載の差圧センサ。
  5. 前記電子部品は、積層セラミックコンデンサを含み、前記導線はアルミニウム線の請求項1に記載の差圧センサ。
  6. 前記基板はセラミック基板である、請求項1に記載の差圧センサ。
  7. 前記リードフレームは、互いに電気的に分離された第1リードフレーム、第2リードフレーム及び第3リードフレームとを含んでおり、前記第2のリードフレームの一端部の少なくとも一部分と前記第3リードフレームの一端部の少なくとも一部が互いに交錯するよう構成された、請求項1に記載の差圧センサ。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015107306A1 (de) * 2015-05-11 2016-11-17 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Feldgerät zum Einsatz in der Prozessautomatisierung
GB2551710B (en) * 2016-06-24 2020-07-01 Perkins Engines Co Ltd Housing for sensor assembly of after treatment system
KR101836282B1 (ko) * 2016-10-20 2018-03-08 현대자동차 주식회사 차압 센서를 구비한 배기 시스템
JP7323810B2 (ja) * 2018-02-15 2023-08-09 ミツミ電機株式会社 圧力センサ装置
CN110553783A (zh) * 2018-05-31 2019-12-10 联合汽车电子有限公司 用于车辆的压力传感器以及压力测量方法
CN109506828A (zh) * 2018-12-28 2019-03-22 武汉飞恩微电子有限公司 一种检测汽车尾气颗粒捕捉的压力传感器装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4879903A (en) * 1988-09-02 1989-11-14 Nova Sensor Three part low cost sensor housing
JP4072973B2 (ja) * 1998-09-07 2008-04-09 日本電産コパル電子株式会社 圧力変換器
JP4582633B2 (ja) * 2002-05-25 2010-11-17 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 圧力を測定するための装置
JP4879899B2 (ja) * 2005-08-01 2012-02-22 パナソニック株式会社 半導体装置
KR20120062363A (ko) * 2010-12-06 2012-06-14 현대자동차주식회사 Lp-egr 쿨러 차압 센서
JP5853171B2 (ja) * 2010-12-13 2016-02-09 パナソニックIpマネジメント株式会社 半導体圧力センサおよびその製造方法
JP5955677B2 (ja) * 2011-08-01 2016-07-20 センサータ テクノロジーズ インコーポレーテッド 差圧力測定のためのセンサシステム

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3808480A (en) * 1973-04-16 1974-04-30 Bunker Ramo Capacitive pressure transducer
US3880009A (en) * 1973-05-24 1975-04-29 Bunker Ramo Pressure transducer
KR920005348Y1 (ko) * 1988-03-01 1992-08-03 미쓰비시전기주식회사 압력센서
ES2048322T3 (es) * 1989-08-04 1994-03-16 Endress Hauser Gmbh Co Dispositivo manometrico.
US5969591A (en) * 1991-03-28 1999-10-19 The Foxboro Company Single-sided differential pressure sensor
JP2000346737A (ja) * 1999-06-02 2000-12-15 Denso Corp 圧力センサ
US6272928B1 (en) * 2000-01-24 2001-08-14 Kulite Semiconductor Products Hermetically sealed absolute and differential pressure transducer
ITMI20070099A1 (it) * 2007-01-24 2008-07-25 St Microelectronics Srl Dispositivo elettronico comprendente dispositivi sensori differenziali mems e substrati bucati
US7992441B2 (en) * 2008-07-31 2011-08-09 Sensata Technologies, Inc. Pressure sensor for measuring pressure in a medium
JP2010145341A (ja) * 2008-12-22 2010-07-01 Nabtesco Corp 圧力センサモジュール
PL2312290T3 (pl) 2009-10-16 2020-06-01 First Sensor Mobility Gmbh Czujnik ciśnienia i jego zastosowanie w zbiorniku płynu
CN202693192U (zh) * 2012-06-27 2013-01-23 龙泉市杰科汽车零部件有限公司 一种差压传感器
JP5997570B2 (ja) * 2012-10-15 2016-09-28 アズビル株式会社 圧力センサチップ
CN103278285A (zh) * 2013-06-08 2013-09-04 无锡隆盛科技股份有限公司 一种压差传感器
KR101486518B1 (ko) * 2013-08-06 2015-01-27 주식회사 코멧네트워크 차압센서
JP2015165222A (ja) * 2014-03-03 2015-09-17 株式会社デンソー 圧力センサ
FR3018916B1 (fr) * 2014-03-19 2017-08-25 Commissariat Energie Atomique Capteur de mesure de pression differentielle microelectromecanique et/ou nanoelectromecanique

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4879903A (en) * 1988-09-02 1989-11-14 Nova Sensor Three part low cost sensor housing
JP4072973B2 (ja) * 1998-09-07 2008-04-09 日本電産コパル電子株式会社 圧力変換器
JP4582633B2 (ja) * 2002-05-25 2010-11-17 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 圧力を測定するための装置
JP4879899B2 (ja) * 2005-08-01 2012-02-22 パナソニック株式会社 半導体装置
KR20120062363A (ko) * 2010-12-06 2012-06-14 현대자동차주식회사 Lp-egr 쿨러 차압 센서
JP5853171B2 (ja) * 2010-12-13 2016-02-09 パナソニックIpマネジメント株式会社 半導体圧力センサおよびその製造方法
JP5955677B2 (ja) * 2011-08-01 2016-07-20 センサータ テクノロジーズ インコーポレーテッド 差圧力測定のためのセンサシステム

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