JP2017525568A - 液体ジェットの位置を特定するための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
a)測定点を有する衝突物が設けられる。測定点は、液体ジェットと相互作用するのに適している。
b)衝突物と液体ジェットとの間の第1の相対位置において、液体ジェットの状態が検出される。
c)液体ジェットの状態が変化するように、相対位置が変更される。
d)第1の相対位置と第2の相対位置との間の変化が検出される。
・ウォータージェットが通り抜けるのに適した凹部。
・液体ジェットと相互作用するための複数の、特に4つの測定点。
・液体ジェットにおいて導光される測定光に対して反射性である基準板。
・対応する測定点(例えば、測定面あたり少なくとも2つの測定点)を有する2つ以上の測定面。
・衝突物を被加工物ホルダーに取り付けるための締結手段。締結手段は、ねじ穴とすることができる。
・被加工物又は被加工物ホルダー上に衝突物をマイクロメートル精度で位置決めするための位置決め要素(溝、リブ等)。
(a)ジェット生成要素の運動面BE_Dと、運動面BE_D内の或る方向における液体ジェットFSとの間の角度。これは1つのジェット角32.1である(又は、物体が移動している場合には、縁部面KEに対する垂直線と、衝突物の運動面BE_Gとの間の角度)。
(b)運動面BEが規定されるような、第2の方向における第2のジェット角32.2。
(c)縁部面KEに対する垂直線と、運動面BE内の或る方向における液体ジェットの伝搬方向FSとの間の角度。これは、入射角31.1である。
(d)運動面BEが規定されるような、第2の方向における第2の入射角31.2。
f:実際には信号がない(自由液体ジェット1)、
u1:強い信号(反射面3上の非摂動液体ジェット1)、
u2:弱い信号(反射性の低い表面上の非摂動液体ジェット)。
Claims (18)
- 液体ジェット、詳細には、レーザービームを光学的に導くための液体ジェットの空間位置を特定するための方法であって、
a.前記液体ジェットと相互作用するための測定点を有する衝突物を設けるステップと、
b.衝突物と液体ジェットとの間の第1の相対位置における前記液体ジェットの状態を検出するステップと、
c.前記液体ジェットの前記状態が変化するように前記相対位置を変更するステップと、
d.前記第1の相対位置と第2の相対位置との間の相対位置変更を検出するステップと、
を含む、方法。 - 前記衝突物は、前記液体ジェットとの前記相互作用のための、異なる平面内に存在する少なくとも2つの測定点を有することを特徴とし、少なくとも2つの相対位置変更が実行されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記相対位置変更は、前記液体ジェットの縦方向軸を横断する方向においてのみ実行されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記液体ジェットの中点又は直径を特定するために、前記衝突物を最初に、前記液体ジェットの第1の側にある第1の測定点と相互作用させ、その後、前記液体ジェットの第2の側にある第2の測定点と相互作用させることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 電磁スペクトルの任意の所望の周波数領域の測定光が前記液体ジェットの中に結合され、前記液体ジェットの前記状態を特定するために、前記測定光の後方散乱、抽出又は反射が検出されることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 空間的な前記相対位置のうちの1つにおける前記液体ジェットは、前記衝突物上の測定点に対して前記液体ジェットの方向にずれた基準面上に突き当たることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基準面は、液体ジェットがそのまま突き当たると、測定光が前記突き当たる液体ジェットの中に結合されるか、又は結合されたままになるように、前記測定光を反射することを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 前記液体ジェットの前記状態は規則的な時間間隔で検出されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記衝突物は、液体ジェット導光レーザーを備える加工機の被加工物クランプ装置に強固に接続されることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記衝突物は、前記測定点として少なくとも1つの鋭い縁部を有することを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 空間的な前記相対位置のうちの1つにおける前記液体ジェットは、該液体ジェットが自由に通り抜けるための前記衝突物内の凹部を通って導かれることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
- a)前記液体ジェットとの前記相互作用のための衝突物と、
b)液体ジェットと衝突物との間のあらかじめ特定可能な相対位置変更を生成するための変位装置と、
c)第1の空間的相対位置及び第2の空間的相対位置における前記液体ジェットの第1の状態及び第2の状態を検出するための装置と、
を備え、前記第1の状態は、衝突物と液体ジェットとの間の相互作用が変更されたために、前記第2の状態とは異なる、請求項1に記載の方法を実行するための装置。 - 前記装置は、
a)液体ノズルから出射される液体ジェットを生成するための装置と、
レーザービームを前記液体ジェットの中に結合するためのレーザービーム結合ユニットと、
を備えることを特徴とする、請求項12に記載の装置。 - 前記衝突物は、前記液体ジェットとの相互作用のための少なくとも1つの縁部を有することを特徴とする、請求項12又は13に記載の装置。
- 測定光を液体ジェットの中に結合するための光学ユニットが設けられ、それにより、前記測定光ビームは導波体のように前記液体ジェットを通して導光され、前記液体ジェットの前記状態は光学測定を用いて特定できることを特徴とする、請求項12〜14のいずれか一項に記載の装置。
- 前記衝突物は、板状部分又は枠状部分を有することを特徴とする、請求項12〜15のいずれか一項に記載の装置。
- 前記衝突物に対する固定された空間位置に反射面が設けられ、該反射面は前記測定光ビームの少なくとも一部を後方に戻し、前記液体ジェットの中に結合できることを特徴とする、請求項12〜16のいずれか一項に記載の装置。
- 液体ジェットと相互作用する少なくとも1つの測定点を形成するために表面凹凸を有することを特徴とする、請求項1に記載の方法のために適した衝突物。
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