CN210570493U - 一种测量仪器的激光测头装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种测量仪器的激光测头装置,包括空心测杆、测球、激光源、反光镜、激光透射镜、光电探测器、处理器,所述测球与所述空心测杆连接处有激光反射缺口,所述处理器用于根据所述光电探测器上激光束的入射点距离变化,计算得到本装置在测量工作时产生的位移量。本装置使用激光束在光电探测器上的入射点位置变化量来检测装置在测量工作时产生的位移,通过测量工作时激光束最终在光电探测器上的入射点,以及静止时激光束在光电探测器上的入射点,使用处理器计算两次入射点之间距离,从而得出本装置在测量工作时产生的位移量。
Description
技术领域
本实用新型涉及精密测量技术领域,特别涉及一种测量仪器的激光测头装置。
背景技术
测头是精密测量仪的关键部位之一,作为传感器提供被测工件的几何位置信息,测头的发展水平直接影响着精密测量仪的测量精度与测量效率。精密测头通常分为接触式测头与非接触式测头两种,其中接触式测头又分为机械式测头、触发式测头和扫描式测头,目前以扫描式测头应用最为广泛。
目前的测头使用方法都普遍复杂,并且由于激光射入的位置差值非常小,所以很难准确的计算出装置在测量工作时产生的位移;并且如果在测量时,测头若产生形变,也不能将形变量检测出来,导致测量结果存在形变产生的误差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于改善现有技术中所存在的不足,提供一种测量仪器的激光测头装置。
为了实现上述实用新型目的,本实用新型实施例提供了以下技术方案:
一种测量仪器的激光测头装置,包括测量组件,所述测量组件包括测球、测杆,所述测杆为空心测杆,所述测球设置于所述空心测杆的一端,且所述测球与所述空心测杆连接的球面设置有激光反射缺口,所述激光反射缺口位于所述空心测杆的内部;所述一种测量仪器的激光测头装置还包括:
激光源,用于发射激光束;
反光镜,倾斜设置于所述空心测杆远离测球的一端,用于将所述激光源发射的激光束反射至所述测球的激光反射缺口上;
激光透射镜,平行设置于所述空心测杆远离测球的一端,用于接收激光反射缺口反射的激光束,并将激光束射入的不同位置产生的距离放大后透射至光电探测器上;
光电探测器,设置于激光透射镜远离空心测杆的一方,用于接收所述激光透射镜透射的所述激光反射缺口反射的激光束;
处理器,用于根据所述光电探测器所接收到的激光束的位置的变化值,得到所述空心测杆的位移量。
本装置使用激光束的路径来检测装置在测量工作时产生的位移,通过测量工作时激光束最终在光电探测器上的入射点,以及静止时激光束在光电探测器上的入射点,使用处理器计算两次入射点之间距离,从而得出本装置在测量工作时产生的位移量。
更进一步的,为了更好的实现本实用新型,作为一种可实施方式,所述激光反射缺口为相互垂直的两个面。这两个相互垂直的面分别定义为第一斜面、第二斜面,静止状态时,射入第一斜面的激光束与第一斜面呈45°夹角,因此激光束射入第一斜面后,再经第一斜面反射出来的激光束与射入第一斜面的激光束垂直;经第一斜面反射出来的激光束射入第二斜面,此时激光束与第二斜面呈45°夹角,因此激光束射入第二斜面后,再经第二斜面反射出来的激光束与射入第二斜面的激光束垂直。
不将所述激光反射缺口设计为平面,是因为若激光反射缺口为平面的话,激光源发射的激光束经过反光镜反射入激光反射缺口后,激光束会按原始路径反射回反光镜,又经反光镜反射回激光源,起不到任何作用,因此将激光反射缺口设计为斜面,激光束会反射至另一个斜面,才能完成后续测量目的。
作为另一种可实施方式,所述激光反射缺口为90°锥角的圆锥形。将激光反射缺口设计为90°锥角的圆锥形,那么激光束无论落在激光反射缺口的哪个位置都能进行反射。
更进一步的,为了更好的实现本实用新型,所述反光镜还连接设置有支撑座,所述空心测杆设置于支撑座。
更进一步的,为了更好的实现本实用新型,所述支撑座的中部设置有通孔,且通孔的直径大小与所述空心测杆的外径相同,所述支撑座设置于空心测杆远离测球的一端,且空心测杆穿过支撑座的通孔。
本装置外部还连接有测量仪器,所述测量仪器带动本装置移动,测球与被测物体接触时,测球受力移动支撑座,使得支撑座发生位移;当本装置移动时,激光源、反光镜、激光透射镜、光电探测器相互固定,且都不随测球的移动而移动。
更进一步的,为了更好的实现本实用新型,还包括簧片,所述簧片包括分别设置于支撑座边缘的第一簧片、第二簧片,所述第一簧片、第二簧片以支撑座的通孔对称设置。所述簧片用于本装置完成测量工作后,给支撑座一个拉力,将支撑座拉回静止状态时的位置,起到让装置复位的作用。
更进一步的,为了更好的实现本实用新型,所述反光镜相对于所述空心测杆的竖直方向倾斜45°。激光源发射的激光束为平行光束,空心测杆在竖直方向上与激光源发射的激光束垂直,为了简化后期的计算过程,降低运算量,将反光镜的倾斜角度设置为相对空心测杆竖直方向倾斜45°,即相对激光源发射的激光束也倾斜45°。根据光线反射原理,那么激光源发射的激光束经过反光镜反射后,垂直通过空心测杆射入激光反射缺口。且可用分光镜代替反光镜,只要能完成上述功能即可,而且采用分光镜可以拓展测头的测量范围,避免激光反射缺口反射出来的反射光入射至反光镜而无法入射至激光透射镜。
更进一步的,为了更好的实现本实用新型,所述激光透射镜为凸透镜或凹透镜。由于装置在测量被测物体时,可能被测的长度较小,此时激光束的位移也较小,难以对其进行准确测量,而凸透镜和凹透镜都有成像放大的远离,因此使用激光透色镜对激光束的入射点进行成倍放大,对放大后的激光束入射点进行测量,通过计算即可得到装置实际的位移量。
更进一步的,为了更好的实现本实用新型,所述光电探测器为位置敏感探测器。
基于上述装置的使用方法,具体包括以下步骤:
步骤S1:固定精密激光测头装置,使得装置处于静止状态;
步骤S2:开启激光源,激光源发射激光束在反光镜上,调整反光镜的位置,使得反光镜将激光束反射入激光反射缺口,激光反射缺口再将激光束反射至激光透射镜;
步骤S3:调整激光透射镜的位置,使得激光反射缺口反射的激光束刚好落在激光透射镜的光心处;处理器存储装置静止状态时激光束在光电探测器上的入射点;
步骤S4:开始测量工作,测量仪器带动精密激光测头装置移动,精密激光测头装置的测球与被测物体接触时,测球受力移动支撑座,使得支撑座发生位移;
步骤S5:处理器存储装置测量状态时激光束在光电探测器上的入射点,结合装置静止状态时激光束在光电探测器上入射点,计算装置在测量时测球产生的位移量和空心测杆产生的形变量。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果:
1、本实用新型将激光反射缺口设计为两个垂直的斜面或90°锥角的圆锥形的斜面,避免激光束到达后激光反射缺口后按照原来路径又回到激光源处;同时,由于两个垂直斜面或者90°锥角的作用,入射光与反射光在测量过程中一直保持平行状态,测球位移量的变化将直接反应在反射激光的光路上;空心测杆变形引起的测球的角度变化很小,完全可以忽略不计。
2、调整激光透射镜的位置,使得从激光反射缺口反射出来的激光束落在激光透射镜的光心处,这样激光束不会改变传播方向,透过激光透射镜落在光电探测器上作为参考入射点;
3、装置在进行测量工作时,激光束不会落在激光透射镜的光心处,经过激光透射镜的折射,最终在光电探测器上的入射点与静止时的入射点会成倍放大,使用处理器计算光电探测器上激光束入射点之间的距离,即可得到装置在测量工作时产生的位移量。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本实用新型装置示意图以及装置静止状态时激光束路径示意图;
图2为本实用新型装置进行测量工作状态时激光束路径示意图;
图3为本实用新型激光束入射点示意图;
图4为本实用新型激光反射缺口处激光束路径示意图;
图5为本实用新型实施例2的示意图;
图6为本实用新型装置加入簧片和导向槽的结构示意图;
图7为本实用新型实施例3中装置测量状态时空心测杆产生形变量的示意图;
图8为本实用新型实施例3中装置空心测杆产生形变量时的角度变化示意图;
图9为本实用新型实施例3中装置空心测杆产生形变量时的角度变化示意图。
主要元件符号说明
激光源100,反光镜101,激光透射镜102,光电探测器103,测球200,激光反射缺口201,空心测杆202,支撑座203,第一斜面204,第二斜面205,第一簧片206,第二簧片207,导向槽300。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时,在本实用新型的描述中,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性,或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
实施例1:
本实用新型通过下述技术方案实现,如图1所示,一种测量仪器的激光测头装置,包括测球200、测杆、激光源100、反光镜101、激光透射镜102、光电探测器103、处理器,所述测杆为空心测杆202,所述测球200设置于所述空心测杆202的一端,且所述测球200与所述空心测杆202连接的球面设置有激光反射缺口201,所述激光反射缺口201位于所述空心测杆202的内部。
作为一种可实施方式,所述激光反射缺口201为相互垂直的两个面,且两个面都与所述空心测杆202竖直方向成45°夹角,如图4所示为所述测球200 的激光反射缺口201的正视图,为了便于区分,将激光反射缺口201的两个面定义为第一斜面204、第二斜面205。
激光源100,用于向反光镜101发射激光束。
反光镜101,相对于所述空心测杆202的竖直方向倾斜45°设置,同时与激光反射缺口201的第一斜面204平行,与激光反射缺口201的第二斜面205 垂直;所述反光镜101用于将激光源100发射的激光束反射后垂直射入空心测杆202,激光束落到激光反射缺口201的第一斜面204上;由于射入激光反射缺口201的激光束与第一斜面204呈45°夹角,那么激光束射入第一斜面204后,则会以与所述空心测杆202的水平方向反射至激光反射缺口201的第二斜面205 上。
激光透射镜102,用于接收激光反射缺口201反射的激光束,并将激光束透射至光电探测器103上。激光束从激光反射缺口201的第一斜面204反射至第二斜面205时,由于两个斜面相互垂直,那么激光束从激光反射缺口201的第二斜面205反射至激光透射镜102时的路径与激光束射入第一斜面204时的路径平行。
光电探测器103,用于接收激光透射镜102透射的激光束。
处理器,用于根据光电探测器103上落入的激光束入射点位置,计算本装置的位移量。
所述激光源100发射的激光束射入所述反光镜101,发射的激光束与所述反光镜101的平面呈45°夹角,因此从反光镜101反射出来的激光束与反光镜101 也呈45°夹角,从反光镜101反射出来的激光束通过空心测杆202射入第一斜面204。
如图1所示,当本装置处于静止状态,即未进行测量工作时,从反光镜101 反射进入第一斜面204的激光束与第一斜面204呈45°夹角,如图4所示,假设从反光镜101反射出来的激光束落在第一斜面204的c点处,此时射入第一斜面204的激光束与第一斜面204反射出来的激光束垂直,同时第一斜面204反射出来的激光束与激光源100发射出来的激光束平行;从第一斜面204反射出来的激光束落在第二斜面205的c`点处,由于第二斜面205与第一斜面204垂直,因此从第一斜面204反射出来的激光束与第二斜面205呈45°夹角,那么从第二斜面205反射出来的激光束与第二斜面205也呈45°夹角,即从第二斜面205反射出来的激光束与进入第一斜面204的激光束平行;从第二斜面205 反射出来的激光束通过空心测杆202进入激光透射镜102,本装置静止时,需调整所述激光透射镜102的位置,使得从第二斜面205反射出来的激光束刚好落在激光透射镜102的光心处;落在所述激光透射镜102光心处的激光束不会改变传播方向,即会按照进入激光透射镜102前的路径穿过激光透射镜102,然后落入光电探测器103,如图1所示,进入激光透射镜102前的激光束路径与激光透射镜102垂直,且激光束落在激光透射镜102的光心处b点,因此从激光透射镜102透射出来的激光束也与激光透射镜102垂直,最后落在光电探测器103 的a点处。
需要进一步说明的是,所述激光透射镜102为凸透镜或凹透镜,本实施例中激光透射镜102使用凸透镜举例,如图3所示,当激光束不落在激光透射镜 102的光心处b点时,那么经过凸透镜的激光束会产生折射现象,使得激光束最后不落在a点;假设激光束落在激光透射镜102的b`点,则射入激光透射镜102 的激光束经凸透镜折射后,经过焦点F,最后落在光电探测器103的a`点处。当光电探测器103与焦点F的直线距离大于凸透镜与焦点F的直线距离时,光电探测器103上a点与a`点之间距离即为等比例放大后的b点与b`点之间的距离;使用处理器从光电探测器103上检测a点与a`点之间距离,既可依照等比例放大的倍数计算出凸透镜上b点与b`点之间的距离,避免如果b点与b`点之间的距离太小时,测量不准确或难以测量。
如图2所示,当本装置进行测量工作时,测球200会发生位移,空心测杆202可能会发生形变,使得第一斜面204与所述反光镜101不再平行,那么从反光镜101反射出来的激光束与第一斜面204的夹角也不为45°,即进入第一斜面204的激光束与第一斜面204反射出来的激光束不再垂直;此时,从第二斜面205反射出来的激光束将不再落入所述凸透镜的光心处,假设落在如图3所示的凸透镜的b`点处,激光束经凸透镜的折射后,落在光电探测器103的a`点处,已知凸透镜与光电探测器103之间的距离,使用处理器计算光电探测器103 上a点与a`点之间的距离,既可计算出凸透镜上b点与b`点之间的距离,也能计算出在测量工作时测球200产生的位移量和空心测杆202产生的形变量。
需要说明的是,当本装置在静止状态时,调整所述激光透射镜102的位置,使得第二斜面205反射出来的激光束刚好落在激光透射镜102的光心处,设置好激光透射镜102的位置之后,进行测量工作时,仅测球200和与其连接的空心测杆202发生位移,而激光源100、反光镜101、激光透射镜102、光电探测器103均按照本装置静止状态时调整的位置不变动,这样才能在光电探测器103 上检测到装置在测量工作时激光束的入射点与静止状态时的入射点有差值。
作为另一种可实施方式,所述激光反射缺口201为90°锥角的圆锥形,将激光反射缺口201设置为90°锥角的圆锥形的好处是不管从反光镜101反射出来的激光束射在圆锤形的哪里,都会被反射在90°锥角的圆锥形的其他位置上。上一种实施方式中,若激光束刚好射在第一斜面204和第二斜面205的垂直交线处,那么激光束就可能会按照原路径反射回去或发生其他导致检测不准确的情况。
更进一步地,所述空心测杆202还连接设置有支撑座203,所述支撑座203 的中部设置有通孔,且通孔的直径大小与所述空心测杆202的外径相同,所述支撑座203设置于空心测杆202远离测球200的一端,且空心测杆202穿过支撑座203的通孔。本装置还连接有测量仪器(未在附图中示出),所述测量仪器用于移动测头装置进行测量工作,当测量仪器移动测头装置时,会带动空心测杆202和支撑座203一起移动,使得支撑座203发生位移。
如图6所示,本装置还包括簧片,所述簧片包括第一簧片206、第二簧片 207,所述第一簧片206、第二簧片207分别连接与所述支撑座203的边缘,且第一簧片206、第二簧片207相对于支撑座203的通孔对称。所述支撑座203的外部设置有壳体(未在附图中示出),所述簧片的一端与支撑座203的边缘连接,另一端与壳体固定连接。当完成测量工作时,所述簧片将支撑座203拉回静止状态时的位置,起到复位的作用。
更进一步地,为了更好地实现本实用新型,如图6所示,为避免支撑座203 在测量过程中发生角度变化,还包括导向槽300,所述支撑座203设置在导向槽 300内,使得支撑座203仅能在导向槽300限定的方向上移动。
本实施例中所使用的光电探测器103可选用常用的位置敏感探测器 (PositionSensitive Detector,简称PSD),属于半导体器件,一般做成PN 结构,其工作原理是基于横向光电效应,能够用于位置坐标的精确测量,具有高灵敏度、高分辨率、响应速度快和配置电路简单等优点。
一种测量仪器的激光测头装置的使用方法,包括以下步骤:
步骤S1:固定精密激光测头装置,使得装置处于静止状态。
固定精密激光测头装置,使其在未进行测量工作时的状态,即静止状态,为后面步骤取得静止状态下,光电探测器103上的激光束入射点。
步骤S2:开启激光源,激光源发射激光束在反光镜上,调整反光镜的位置,使得反光镜将激光束反射入激光反射缺口,激光反射缺口再将激光束反射至激光透射镜。
调整反光镜101的倾斜角度至45°,使得激光源100发射激光束射入反光镜101后,以垂直的角度反射入激光反射缺口201。激光束射入激光反射缺口 201后,激光反射缺口201要将激光束反射至激光透射镜102。
步骤S3:调整激光透射镜的位置,使得激光反射缺口反射的激光束刚好落在激光透射镜的光心处;处理器存储装置静止状态时激光束在光电探测器上的入射点。
由于本装置已处于一个未工作的静止状态,因此此时去调整激光透射镜102 的位置比调整空心测杆202的位置要合理。根据透镜的折射原理可知,经过透镜光心的光束传播方向不变,由于装置在静止状态时,从激光反射缺口201反射出来的激光束相对于激光透射镜102是垂直的,因此使激光束落在激光透射镜102的光心上,激光束的传播方向不变,最终在光电探测器103上得到该激光束的入射点,该入射点即为之后测量状态时激光束在光电探测器103上的其他入射点的最佳参考入射点。调整好激光透射镜102的位置后,在之后进行测量工作时,所述激光源100、反光镜101、激光透射镜102、光电探测器103之间相互固定,测量工作时,也不改变他们的位置。
步骤S4:开始测量工作,测量仪器带动精密激光测头装置移动,精密激光测头装置的测球与被测物体接触时,测球受力移动支撑座,使得支撑座发生位移。
开始测量工作时,与本装置连接的测量仪器带动本装置移动,测球200与被测物体接触时,测球200受力后会带动支撑座203移动,使得支撑座203也发生位移。
步骤S5:处理器存储装置测量状态时激光束在光电探测器上的入射点,结合装置静止状态时激光束在光电探测器上入射点,计算装置在测量时测球产生的位移量和空心测杆产生的形变量。
实施例2:
本实施例作为一种可实施方式的举例,假设所述激光透射镜102为凹透镜,如图5所示,当本装置静止状态时,调整凹透镜的位置,使得激光反射缺口201 反射的激光束落在凹透镜的光心处d点,激光束透过凹透镜的光心后不改变激光束传播方向,最终落在光电探测器103的e点处。当本装置进行测量工作时,激光束从激光反射缺口201发射后落在凹透镜的d`点,根据凹透镜的折射原理,激光束经过凹透镜折射后,最后落在e`点。
如图5所示可知,使用凹透镜也可以使得激光束在光电探测器103上静止时的入射点e点与测量时的入射点e`点的距离,大于激光束在凹透镜上静止时的入射点d点与测量时的入射点d`点的距离,也实现了按倍数放大激光束入射点距离进行测量的目的,解决了测量装置在测量时产生的位移量较小而不方便测量的问题。
使用处理器检测光电探测器103上静止时激光束的入射点e点和测量时的入射点e`点之间的距离,已知光电探测器103与凹透镜之间的距离,即可计算出本装置测球200的位移量和空心测杆202的形变量。
实施例3:
本实施例作为一种可实施方式的举例,假设所述反光镜101为分光镜,如图7所示,当本装置静止状态时,调整凸透镜的位置,使得激光反射缺口201 反射的激光束落在凸透镜的光心处b点,激光束透过凸透镜的光心后不改变激光束传播方向,最终落在光电探测器103的a点处。当本装置进行测量工作时,激光束从激光反射缺口201发射后落在凸透镜的b`点,根据凸透镜的折射原理,激光束经过凸透镜折射后,最后落在a`点。
如图7所示可知,由于使用分光镜代替反光镜101,使得反射激光的行程更大,即测头的测量范围进一步提高了。
如图8-9所示,由于实际测量过程中,空心测杆202变形量非常小,空心测杆202变形导致的激光反射缺口201发生的角度变化量也非常小。如图8-9 所示,设空心测杆202的变形角度为α,根据正弦定理可得空心测杆202变形导致反射激光位移量为:
假设变形角度α变化为0.05°,那么激光反射位移量为x=0.00087b,同时由于空心测杆202长度远远大于其宽度,因此可以忽略测头角度变化造成的反射激光位移平移量。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。
Claims (9)
1.一种测量仪器的激光测头装置,包括测量组件,所述测量组件包括测球、测杆,其特征在于:
所述测杆为空心测杆,所述测球设置于所述空心测杆的一端,且所述测球与所述空心测杆连接的球面设置有激光反射缺口,所述激光反射缺口位于所述空心测杆的内部;所述一种测量仪器的激光测头装置还包括:
激光源,用于发射激光束;
反光镜,倾斜设置于所述空心测杆远离测球的一端,用于将所述激光源发射的激光束反射至所述测球的激光反射缺口上;
激光透射镜,平行设置于所述空心测杆远离测球的一端,用于接收激光反射缺口反射的激光束,并将激光束射入的不同位置产生的距离放大后透射至光电探测器上;
光电探测器,设置于激光透射镜远离空心测杆的一方,用于接收所述激光透射镜透射的所述激光反射缺口反射的激光束;
处理器,用于根据所述光电探测器所接收到的激光束的位置的变化值,得到所述空心测杆的位移量。
2.根据权利要求1所述的一种测量仪器的激光测头装置,其特征在于:所述激光反射缺口为相互垂直的两个面。
3.根据权利要求1所述的一种测量仪器的激光测头装置,其特征在于:所述激光反射缺口为90°锥角的圆锥形。
4.根据权利要求1所述的一种测量仪器的激光测头装置,其特征在于:所述空心测杆还连接设置有支撑座,空心测杆设置于支撑座。
5.根据权利要求4所述的一种测量仪器的激光测头装置,其特征在于:所述支撑座的中部设置有通孔,且通孔的直径大小与所述空心测杆的外径相同,所述支撑座设置于空心测杆远离测球的一端,且空心测杆穿过支撑座的通孔。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种测量仪器的激光测头装置,其特征在于:所述反光镜相对于所述空心测杆的竖直方向倾斜45°。
7.根据权利要求1-5任一项所述的一种测量仪器的激光测头装置,其特征在于:所述激光透射镜为凸透镜或凹透镜。
8.根据权利要求1-5任一项所述的一种测量仪器的激光测头装置,其特征在于:所述光电探测器为位置敏感探测器。
9.根据权利要求5所述的一种测量仪器的激光测头装置,其特征在于:还包括簧片,所述簧片包括分别设置于支撑座边缘的第一簧片、第二簧片,所述第一簧片、第二簧片以支撑座的通孔对称设置。
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---|---|---|---|
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---|---|---|---|
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CN210570493U true CN210570493U (zh) | 2020-05-19 |
Family
ID=70638719
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201921722408.4U Active CN210570493U (zh) | 2019-10-15 | 2019-10-15 | 一种测量仪器的激光测头装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN210570493U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110553588A (zh) * | 2019-10-15 | 2019-12-10 | 北方民族大学 | 一种测量仪器的精密激光测头装置及其使用方法 |
-
2019
- 2019-10-15 CN CN201921722408.4U patent/CN210570493U/zh active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110553588A (zh) * | 2019-10-15 | 2019-12-10 | 北方民族大学 | 一种测量仪器的精密激光测头装置及其使用方法 |
CN110553588B (zh) * | 2019-10-15 | 2024-06-07 | 东莞市佳视精密科技有限公司 | 一种测量仪器的精密激光测头装置及其使用方法 |
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GR01 | Patent grant | ||
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