JP5902485B2 - 走査型プローブ顕微鏡の探針形状評価方法 - Google Patents
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Description
本発明の走査型プローブ顕微鏡においては、試料台10の上に設置された被測定物Saの表面に対し針先が向かうように配置されるとともに、被測定物Saの表面に平行なX,Y方向の走査と該被測定物Saの表面に垂直なZ方向の移動とを該被測定物Saの表面に対して相対的に行える探針2aを有するカンチレバー1と、該カンチレバー1を振動させることが可能なレバー加振手段4と、カンチレバー1の変位を検出するカンチレバー変位検出部5とを備えている。試料台10は、3次元アクチュエータ9に取付けられており、探針2と被測定物Saの表面とを前記X,YおよびZ方向の相対的に移動させることが可能である。
また、XY駆動機構7とZ駆動機構8は制御部6に接続されており、それによって制御されている。
本発明に係る探針形状評価方法では、まず、探針形状を測定したい曲率半径の大きい探針2bを有するカンチレバーを走査型プローブ顕微鏡に取り付け、走査型プローブ顕微鏡のサンプル保持部にウエハー上に先端の曲率半径が10nm以下の先鋭な針状の構造を持つ探針形状検定用サンプルSbを載置する。
以上のように、探針2bの先端の曲率半径を算出することにより、探針の形状を評価することが可能である。
2,2a,2b 探針
3 レバー部
4 レバー加振手段
5 カンチレバー変位検出部
6 制御部
7 XY駆動機構
8 Z駆動機構
9 3次元アクチュエータ
10 試料台
11 表示部
Sa 被測定物(サンプル)
Sb 探針形状検定用サンプル
At 探針の形状を測定する領域
As 探針形状測定用サンプルの形状を測定する領域
A 探針形状の測定結果
Claims (1)
- 探針の先端形状を走査型プローブ顕微鏡により形状測定して、該探針の先端の先鋭度の評価を行う探針形状評価方法において、
前記走査型プローブ顕微鏡に備えた前記探針の先端を、対向配置した評価用試料の表面に対して、相対的に接触または所定間隔に接近させる近接工程と、
前記探針の先端と前記評価用試料の表面との間に働く物理量を一定としつつ所定の走査を行う走査工程と、
前記評価用の試料の表面形状を取得するデータ取得工程と、
前記取得したデータのうち、前記探針先端から下ろした中心軸上の所定の高さ(h)及びその高さで測定した形状の外縁で形成される断面の面積(S)から求めた仮想円の半径(r)を一組とするデータ組を、前記高さ(h)を変更した2以上抽出するデータ抽出工程と、
当該2以上の抽出データ組の前記高さ(h)および前記半径(r)より前記探針の先端を球状と近似した場合の曲率半径(Rtip)を次式により算定する算定工程と、
を含むことを特徴とする探針形状評価方法。
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