JP2017523597A - ブロックコポリマーの自己組織化によるパターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
− 金属化すべき少なくとも2つの領域を画定する第1のマスクを基板の表面上に形成する工程、
− 第1のマスクの上方にアセンブリガイドを、このアセンブリガイドが、金属化すべき2つの領域にそれぞれ属する2つの接点領域を覆う表面を画定するように、形成する工程、
− 該表面上にブロックコポリマー層を堆積させる工程、
− ブロックコポリマー層を再組織化する工程、
− 再組織化されたブロックコポリマー層の相の1つを除去して、2つの接点領域および2つの接点領域の間に配置された第1のマスクの一部の上方のブロックコポリマー層に延びる複数の孔を生じる工程、
− 連続トレンチが2つの接点領域および第1のマスクの該一部の上方に形成されるまで、ブロックコポリマー層の孔をエッチングすることによって拡大する工程、
− 第1のマスクを介して、連続トレンチを基板の表面に転写して、接点領域に対応するパターンを形成する工程
を提供することによって満たされる傾向がある。
− 第1のマスク上に平坦化層、および平坦化層上に第2のマスクを形成することを意図した少なくとも1つの層を堆積させる工程であって、アセンブリガイドおよびブロックコポリマー層が第2のマスクを形成することを意図した該層上に形成される工程、
− ブロックコポリマー層および第2のマスク中に連続トレンチを同時に形成する工程、および
− 第2のマスクの連続トレンチを第1のマスクまで平坦化層に転写する工程
をさらに含む。
− アセンブリガイドは直線的であり、2つの接点領域がアセンブリガイドによって画定される表面の端部を占めるように配置される、
− アセンブリガイドがグラフォエピタキシーによって形成され、この方法は、アセンブリガイドの側壁および底部にグラフト層を堆積させる工程を含む、
− ブロックコポリマーがポリスチレンおよびポリメチルメタクリレートを含み、グラフト層がホモポリスチレンに基づく、
− この方法は、再組織化されたブロックコポリマー層の相の1つが除去された直後に、酸素を含むプラズマによってグラフト層をエッチングする工程を含む、
− 前記基板は、電気接続平面、および電気接続平面を覆し、その中に前記パターンが形成される誘電体材料層を含む、および
− 基板の表面上のパターンは、誘電体材料層を電気接続平面まで横切る相互接続孔である。
Claims (11)
- 以下の工程:
− 金属化すべき少なくとも2つの領域(21a、21c)を画定する第1のマスク(20)を基板(30)の表面上に形成する(F1からF3)工程、
− 第1のマスク(20)の上方にアセンブリガイド(23a)を、このアセンブリガイドが、金属化すべき2つの領域(21a、21c)にそれぞれ属する2つの接点領域(22a、22c)を覆う表面を画定するように、形成する(F4からF6)工程、
− 該表面上にブロックコポリマー層(46)を堆積させる(F7)工程、
− ブロックコポリマー層(46)を再組織化する(F7)工程、
− 再組織化されたブロックコポリマー層(46)の相の1つを除去して、2つの接点領域(22a、22c)および2つの接点領域(22a、22c)の間に配置された第1のマスク(20)の一部の上方のブロックコポリマー層に延びる複数の孔(24’)を生じる(F8)工程、
− 連続トレンチ(25a)が2つの接点領域(22a、22c)および第1のマスク(20)の該一部の上方に形成されるまで、ブロックコポリマー層の孔をエッチングすることによって拡大する(F9)工程、
− 接続領域(22a、22c)に対応するパターン(47)を形成するように、第1のマスク(20)を介して、連続トレンチ(25a)を基板の表面に転写する工程(F10からF11)
を含むブロックコポリマーの自己組織化による基板(30)の表面にパターン(47、48)を製造する方法。 - 以下の工程:
− 第1のマスク(20)上に平坦化層(39)、および平坦化層(39)上に第2のマスクを形成することを意図した少なくとも1つの層(41)を堆積させる工程であって、アセンブリガイド(23a)およびブロックコポリマー層(46)が第2のマスクを形成することを意図した該層(41)上に形成される(F4)工程、
− ブロックコポリマー層(46)および第2のマスク(41)中に連続トレンチ(25a)を同時に形成する工程、および
− 第2のマスクの連続トレンチ(25a)を第1のマスク(20)まで平坦化層(39)に転写する(F10)工程
をさらに含む請求項1に記載の方法。 - 第2のマスクは、窒化物層(42)と酸化物層(41)とを含むスタックから形成される請求項2に記載の方法。
- 第2のマスクにおけるトレンチ(25a)の形成は、ブロックコポリマー層(46)を介した窒化物層(42)の異方性エッチング工程、窒化物層(42)の等方性エッチング工程、窒化物層(42)を介した酸化物層(41)の異方性エッチング工程、および酸化物層(41)の等方性エッチング工程を連続的に含む請求項3に記載の方法。
- ブロックコポリマー層(46)の孔(24’)を拡大することは、窒化物層(42)および酸化物層(41)の等方性エッチング工程の間に起こる請求項4に記載の方法。
- アセンブリガイド(23a)は直線的であり、2つの接点領域(22a、22c)がアセンブリガイド(23a)によって画定される表面の端部を占めるように配置される請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- アセンブリガイド(23a)がグラフォエピタキシーによって形成され、方法は、アセンブリガイドの側壁および底部にグラフト層を堆積させる工程をさらに含む請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- ブロックコポリマー(46)がポリスチレンおよびポリメチルメタクリレートを含み、グラフト層がホモポリスチレンに基づく請求項7に記載の方法。
- 再組織化されたブロックコポリマー層(46)の相の1つが除去された直後に、酸素を含むプラズマによってグラフト層をエッチングする工程を含む請求項8に記載の方法。
- 基板(30)は、電気接続平面(31)、および電気接続平面(31)を覆い、その中に前記パターン(47、48)が形成される誘電体材料層(32)を含む請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- 基板(30)の表面上のパターンは、誘電体材料層(32)を電気接続平面(31)まで横切る相互接続孔(47)である請求項10に記載の方法。
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