JP2017519352A - フローティングディフュージョン・インターコネクト・キャパシタを有する撮像素子 - Google Patents
フローティングディフュージョン・インターコネクト・キャパシタを有する撮像素子 Download PDFInfo
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Abstract
Description
図1及び2は、例示的なCMOS撮像素子10を示す。撮像素子10は、半導体基板700(例えば、図7A及び7Bに示すシリコン基板700)上に形成される。撮像素子10は、画素110が、例えば、n行m列を有するn×m行列に配置されている画素領域11を含む。画素領域11は、有効画素領域(図示せず)及びオプティカルブラック画素領域(図示せず)を含んでもよい。有効領域内の画素110は、撮像素子によって生成される画像のビット(ドット又は画素ともいう)に対応する、画素信号を出力するためのものである。一方、オプティカルブラック領域内の画素は、各種のノイズ除去技術のための基準として用いられる、黒レベル信号を出力するためのものである。オプティカルブラック領域内の画素は、それらが入射光から遮蔽されているという点を除いては、有効画素領域内の画素110と概して同じである。オプティカルブラック領域は、概して、画素領域11の1つ以上の縁に沿って、有効画素領域の周縁に提供される。画素領域11は、各種の機能を実行するために含まれ得るが、出力画像内のビットには対応しない、ダミー画素も含んでもよい。以下、“画素110”と称するときは、明示的に別段の指示がない限り、撮像素子によって生成される画像のビットに対応する画像信号を出力する画素を意味する。各画素110は、光電変換機能を有する受光素子であるフォトダイオードと、MOSトランジスタとにより構成される。画素110の詳細な構成については、以下でさらに論じるものとする。
図3及び5は、画素110の例示的な概略構成、特に、画素110a及び110bそれぞれによって表される構成(以下でさらに論じる)を示す。これらの概略構成は、本来一般的であり、よって、インターコネクト950の特定のレイアウトなど、本開示の実施形態の特徴である、ある詳細を示しておらず、それについては、以下でより詳細に論じるものとする。しかしながら、本開示の画素110は、これらの例示的な概略構成に限定されるものではない。よって、本開示の範囲を逸脱することなく、例えば、新たなトランジスタが、画素110a/bに追加されることができ、又は、既存のトランジスタが、画素110a/bから除去され、若しくは画素110a/b内において移転されることができる。したがって、画素110は、現在既知の又は開発予定の、インターコネクトによって読み出しノードに接続される電荷蓄積ノードを含む、任意の一般的なアクティブピクセルアーキテクチャを用いて、概略的に構成され得る。図4及び6は、ローリングシャッタモード又はグローバルシャッタモードそれぞれにおける、画素110a及び110bの動作を示す。本開示の範囲を逸脱することなく、別の動作手続きを利用することが可能であることは、理解されるであろう。例示的なアクティブピクセルアーキテクチャは、Bigasらの“Review of CMOS image sensors”、Microelectronics Journal、2006年に記載されている。
上述の通り、本開示の画素110は、その全体構成に関係なく、電荷蓄積ノードを読み出しノードに接続するローカルインターコネクトを含む。本開示の実施形態の様々な利点は、他の画素素子に関係するローカルインターコネクトのレイアウトに関する。これらの利点についての理解を助けるために、本開示の実施形態のレイアウトとは異なるレイアウトを有するローカルインターコネクトを含む比較例について、まず考えることとする。比較例の画素110のレイアウトが、図8に示されている。図8には、PDのレイアウト、FD、トランジスタM3のゲート電極713、転送ゲートラインTG(M1の配線のうちの1つである)、及びローカルインターコネクト730が詳細に示されている。画素の他の素子については、その特定のレイアウトはこの際注目対象ではないため、概略的に示されている。これらの他の画素素子は、トランジスタM1のゲート電極811、トランジスタM2のゲート電極812、トランジスタM4のゲート電極814、配線316、リセットゲートラインRSG、及び読み出し選択ラインROSを含む。実際には、隣接画素の回路素子は、図8に示すレイアウト領域の様々な部分に位置し得るが、簡素化のため、隣接画素の回路素子は示していない。PDは、転送ゲートトランジスタM3のゲート電極713を介してFDに接続される。転送ゲートラインTGは、M1配線層に含まれ、ゲート電極713に接続される。リセットゲートラインRSGは、ゲート電極811に接続される。読み出し選択ラインROSは、ゲート電極812に接続される。電源線316は、トランジスタM1及びM4に接続される。カラム読み出し線17は、トランジスタM2に接続される。画素110の各種のトランジスタのゲート電極は、基板の表面上に配置され、配線は、上述のように、ゲート電極の上方の配線層内に配置される。よって、コンタクト730は、配線を各種の画素素子に接続し得る。M1配線層(最下部の配線層)に位置するTGライン及びインターコネクト850を除いては、各種の配線がどの配線層に位置するかについて、図8には特定していない。
図9及び10は、本発明の例示的な実施形態の平面から見た詳細な画素レイアウトを示す。図8と同様に、図9及び10では、いくつかの回路素子が詳細に示されており、一方、他の回路素子は、概略的に表されているに過ぎない(それらの詳細なレイアウトは、目下の注目対象ではない)。図9の例示的な実施形態における画素のレイアウトは、インターコネクト850の代わりにインターコネクト950が設けられていることを除いては、比較例に関して上述したものと類似している。さらに、トランジスタM5のゲート電極815及びグローバルシャッタラインABが図9に示されている。
例えば、リセットゲートラインRSGがM1配線である場合、インターコネクト950には、リセットゲートラインRSGが重なり、リセットゲートラインRSG及びゲート電極811と共にデュアルキャパシタを形成し得る。
上述の通り、インターコネクト950は、他の場合に可能なよりも、FD領域を小さくすることを可能にするという点において利点をもたらす。FD領域をより小さくすることは、ダークノイズを減少させるという点で有利である。さらに、フローティングディフュージョンの大きさが小さくなるほど、その領域に到達する寄生光の量が少なくなり、FD領域を光から遮断することが容易となる。
電子機器は、上述した撮像素子10を含むように構成され得る。例えば、電子機器は、デジタルカメラ(静止画及び動画を撮るように構成されるカメラの両方を含む)、携帯電話、スマートフォン、タブレット装置、携帯情報端末(PDA:personal digital assistant)、ラップトップコンピュータ、デスクトップコンピュータ、ウェブカメラ、望遠鏡、科学実験用センサ、並びに、光を検知し、及び/又は画像をキャプチャするのに有利であり得る任意の電子機器を含み得る。
Claims (28)
- 光感知素子と、電荷蓄積ノードと、前記光感知素子及び前記蓄積ノードの間の転送素子と、出力素子と、前記電荷蓄積ノードを前記出力素子の制御電極に接続するローカル金属インターコネクトとを各々が含む、2次元配列された複数の画素を備え、
前記ローカル金属インターコネクトが、前記転送素子の制御電極、及びM1配線層に位置される所与の画素制御配線とともに、平行平板デュアルキャパシタを形成する、撮像素子。 - 前記ローカル金属インターコネクト及び前記所与の配線は、ある平面から見て、共同して前記電荷蓄積ノードを完全に覆う、請求項1に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、前記電荷蓄積ノードは、フローティングディフュージョン領域を含む、請求項1に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、前記フローティングディフュージョン領域の大きさは、前記フローティングディフュージョン領域のみが、前記光感知素子の完全飽和電荷を蓄積するために必要とされる最小サイズよりも小さい、請求項3に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、深いp型バリアが、前記フローティングディフュージョン領域の周りに配置される、請求項3に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、前記深いp型バリアは、前記光感知素子及び前記フローティングディフュージョンを含む画素領域を取り囲む、請求項5に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、前記ローカル金属インターコネクトは、フォトダイオードが形成される基板の上面に対して垂直方向の厚さが、400Åより少ない、請求項1に記載の撮像素子。
- 前記撮像素子は、裏面照射型撮像素子として構成される、請求項1に記載の撮像素子。
- 前記ローカル金属インターコネクトは、チタン窒化チタン(TiTiN)を含む、請求項1に記載の撮像素子。
- 請求項1に記載の前記撮像素子を備える、電子機器。
- 2次元配列された複数の画素と、
配線層内に形成され、各々が前記複数の画素のうち1つ以上に接続され、前記複数の画素の動作を制御する、複数の制御配線と、を備え、
前記複数の画素の各々は、
電荷を生成するように構成される光感知素子と、
前記光感知素子によって生成された前記電荷を、少なくとも読み出し動作が実行されるまで保持するように構成される、電荷蓄積ノードと、
前記読み出し動作が実行されるときに、前記電荷に対応する画素出力信号を生成するように構成される、出力素子と、
前記電荷蓄積ノードを前記出力素子の制御電極に電気的に接続するローカル金属インターコネクトと、を含み、
前記ローカル金属インターコネクトは、前記出力素子の前記制御電極の上で、かつ、前記配線層のうち最も低い配線層の下に位置する層に形成され、前記ローカル金属インターコネクトと前記所与の配線との間の重複領域において平行平板キャパシタを形成するように、前記複数の制御配線のうちの所与の配線が、ある平面から見て前記ローカル金属インターコネクトに重なるように構成される、撮像素子。 - 前記ローカル金属インターコネクト及び前記所与の配線は、前記平面から見て、共同して前記電荷蓄積ノードを完全に覆う、請求項11に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々は、前記光感知素子を前記電荷蓄積ノードに選択的に接続するように構成される転送素子を含み、前記平行平板キャパシタの少なくとも一部がデュアルキャパシタであるように、前記転送素子の制御電極の少なくとも一部が、前記平面から見て、前記ローカル金属インターコネクト及び前記所与の配線の両方と重なる、請求項11に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、前記電荷蓄積ノードは、フローティングディフュージョン領域を含む、請求項11に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、前記フローティングディフュージョン領域の大きさは、前記フローティングディフュージョン領域のみが、前記光感知素子の完全飽和電荷を蓄積するために必要とされる最小サイズよりも小さい、請求項13に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、深いp型バリアが、前記フローティングディフュージョン領域の周りに配置される、請求項13に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、前記深いp型バリアは、前記光感知素子及び前記フローティングディフュージョンを含む画素領域を取り囲む、請求項15に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、前記ローカル金属インターコネクトは、基板の上面に対して垂直方向の厚さが、400Åより少ない、請求項11に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、前記ローカル金属インターコネクトは、チタン窒化チタン(TiTiN)を含む、請求項11に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、前記所与の配線は、前記平面から見て、前記ローカル金属インターコネクトの実質的に全てに重なる、請求項11に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素のうち少なくともいくつかについて、前記所与の配線は、隣接する画素との間の境界領域に延びるダミーセクションを含み、前記ダミーセクションが重なるように、前記ローカル金属インターコネクトは前記境界領域内に延びる、請求項11に記載の撮像素子。
- 前記複数の画素の各々について、前記光感知素子は、フォトダイオードであり、前記電荷蓄積ノードは、フローティングディフュージョン領域であり、前記出力素子は、増幅トランジスタを含み、前記出力素子の前記制御電極は、前記増幅トランジスタのゲート電極を含み、
前記複数の画素の各々は、
前記フォトダイオードを前記フローティングディフュージョン領域に選択的に接続するように構成され、前記電極層内に形成されて前記所与の配線に接続されるポリシリコンゲート電極を含む、転送トランジスタと、
前記フローティングディフュージョン領域を電源線に選択的に接続するように構成される、リセットトランジスタと、
前記増幅トランジスタに接続され、前記読み出し動作を選択的に実行するように構成され、それによって前記画素の信号レベルが読み出されるようにする、読み出しトランジスタと、をさらに含む、請求項11に記載の撮像素子。 - 前記複数の画素の各々は、前記フォトダイオードを前記電源線に選択的に接続するように構成されるグローバルシャッタトランジスタを含む、請求項21に記載の撮像素子。
- 前記制御配線は、その上で搬送される制御信号を介して、前記複数の画素の動作を制御し、前記制御信号は、制御部によって前記制御配線に印加され、
前記制御部は、グローバルシャッタモードで動作するように構成され、前記グローバルシャッタモードにおいて、前記複数の画素は、前記グローバルシャッタトランジスタのスイッチングを介して各積分期間が実質的に同時に開始され、前記転送トランジスタのスイッチングを介して各積分期間が実質的に同時に終了される、請求項22に記載の撮像素子。 - 前記平行平板キャパシタは、前記電荷蓄積ノード及び前記平行平板キャパシタが、共に前記光感知装置の完全飽和電荷を保持することが可能であるように構成される、請求項11に記載の撮像素子。
- 前記撮像素子は、裏面照射型撮像素子として構成される、請求項1に記載の撮像素子。
- 請求項11に記載の前記撮像素子を備える、電子機器。
- 2次元配列された複数の画素と、
配線層内に形成され、各々が前記複数の画素のうち1つ以上に接続され、前記複数の画素の動作を制御する複数の制御配線と、を備え、
前記複数の画素の各々は、
電荷を生成するように構成されるフォトダイオードと、
フローティングディフュージョン領域と、
前記制御配線の所与の配線に接続されるゲート電極を有し、転送動作が実行されるときに前記フォトダイオードを前記フローティングディフュージョンに接続するように構成され、それによって前記フローティングディフュージョン領域に前記フォトダイオードによって生成される前記電荷を受け取らせる、転送トランジスタと、
ゲート電極を有し、前記フォトダイオードによって生成される前記電荷に対応する画素出力信号を生成するように構成される、増幅トランジスタと、
前記フローティングディフュージョン領域を前記増幅トランジスタの前記ゲート電極に電気的に接続するローカル金属インターコネクトと、を含み、
前記ローカル金属インターコネクトは、前記増幅トランジスタの前記ゲート電極の上で、かつ、前記配線層のうち最も低い配線層の下に位置する層に形成され、前記ローカル金属インターコネクトと前記所与の配線との間の重複領域において平行平板キャパシタを形成するように、前記所与の配線が前記ローカル金属インターコネクトに重なるように構成される、撮像素子。
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