JP2017518204A - バリア層スタック、バリア層スタックを製造するための方法、並びに超高バリア層及び反射防止システム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- この順で配置されている第1の層、第2の層、第3の層、及び第4の層を含み、
前記第1の層及び前記第3の層が、少なくとも1.9の屈折率を有しており、
前記第2の層及び前記第4の層が、1.7未満の屈折率を有しており、
前記層の各々が、少なくとも70nmの厚さを有しているバリア層スタック。 - 前記第4の層の上に一又は複数の更なる層、特に第5の層又は第5の層及び第6の層を更に含む、請求項1に記載のバリア層スタック。
- 前記層が互いに接して直接配設される、請求項1又は2に記載のバリア層スタック。
- 奇数の層が少なくとも1.9の屈折率を有しており、偶数の層が1.7未満の屈折率を有している、請求項1から3の何れか一項に記載のバリア層スタック。
- 奇数の層が約2の屈折率を有している、請求項1から4の何れか一項に記載のバリア層スタック。
- 偶数の層が1.6未満、特に約1.46の屈折率を有している、請求項1から5の何れか一項に記載のバリア層スタック。
- 前記バリア層スタックの奇数の層が、SiNx、NbOx、SiN、SiOxNy、AlOx、AlOxNy、TiOx TaOx、有機材料、特にポリマー材料、及びそれらの組み合わせのうちの少なくとも1つを含み、及び/又は前記バリア層スタックの偶数の層が、SiOx、MgFx、SiOxNy、有機材料、特にポリマー材料、及びそれらの組み合わせのうちの少なくとも1つを含む、請求項1から4の何れか一項に記載のバリア層スタック。
- 前記層の少なくとも1つが100nmを超える厚さを有しており、特に、100nmから300nmの範囲の厚さを有している、請求項1から7の何れか一項に記載のバリア層スタック。
- 奇数の層の各々の厚さが、偶数の層の各々の厚さ未満である、請求項1から8の何れか一項に記載のバリア層スタック。
- 前記バリア層スタックの水蒸気透過度が、10−4未満、特に10−5未満、具体的には約10−6である、請求項1から9の何れか一項に記載のバリア層スタック。
- 前記バリア層スタックの透過率が、少なくとも85%であり、特に90%を超える、請求項1から10の何れか一項に記載のバリア層スタック。
- 基板を更に含み、前記層が前記基板の上に提供される、請求項1から11の何れか一項に記載のバリア層スタック。
- 前記基板が、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタラート、ポリ(メタクリル酸メチルエステル)、トリアセチルセルロース、シクロオレフィンポリマー、ポリ(エチレンナフタレート)、及びそれらの組み合わせを含む群から選択された透明なポリマー材料を含む、請求項12に記載のバリア層スタック。
- 少なくとも4つの層を形成するために、第1の層材料及び第2の層材料を基板に接して交互に堆積させること
を含み、
前記第1の層材料が、少なくとも1.9の屈折率を有しており、
前記第2の層材料が、1.7未満の屈折率を有しており、
前記層の各々が、少なくとも70nmの厚さを有している、バリア層スタックを製造するための方法。 - 基板と、
前記基板の上に層スタックと
を含み、前記層スタックが、
この順で配置されている第1の層、第2の層、第3の層、及び第4の層を含み、
前記第1の層及び前記第3の層が、少なくとも1.9の屈折率を有しており、
前記第2の層及び前記第4の層が、1.7未満の屈折率を有しており、
前記層の各々が少なくとも70nmの厚さを有している、超高バリア層及び反射防止システム。
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