JP2017513059A - マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明デバイスのためのeuv光源 - Google Patents
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Abstract
Description
式中のLgは、いわゆる利得長さを表し、I0は、アンジュレーターの入力における光強度を表している。
σηは、電子ビーム内の電子のエネルギ変化のRMSを定量化するものである。
102 第2のアンジュレーター
I 水平偏発光シナリオ
II 垂直偏発光シナリオ
III 水平偏と光垂直偏光の両方が生成されるシナリオ
Claims (22)
- マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明デバイスのためのEUV光源であって、
電子ビームを生成するための電子源(110)と、
前記電子ビームを加速するための加速器ユニット(120)と、
前記電子ビームを偏向することによってEUV光を生成するためのアンジュレーター配置(100)と、
を含み、
前記アンジュレーター配置(100)は、
第1の偏光状態を有するEUV光を生成するための第1のアンジュレーター(101)と、
前記第1の偏光状態とは異なる第2の偏光状態を有するEUV光を生成するための少なくとも1つの第2のアンジュレーター(102)と、
を含み、
前記第2のアンジュレーター(102)は、前記電子ビームの伝播方向に沿って前記第1のアンジュレーター(101)の下流に配置され、
前記アンジュレーター配置(100)は、それが、前記第1のアンジュレーター(101)がEUV光の前記生成に関して飽和状態にある第1の作動モードと、該第1のアンジュレーター(101)がEUV光の該生成に関して飽和状態にない少なくとも1つの第2の作動モードとを有するように構成される、
ことを特徴とするEUV光源。 - 前記アンジュレーター配置(100)は、少なくとも1つの作動モードにおいて、前記EUV光の前記生成の少なくとも90%の比率が前記第2のアンジュレーター(102)によって達成されるように構成されることを特徴とする請求項1に記載のEUV光源。
- 前記アンジュレーター配置(100)は、少なくとも1つの作動モードにおいて、前記EUV光の前記生成の少なくとも90%の比率が前記第1のアンジュレーター(101)によって達成されるように構成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のEUV光源。
- 前記アンジュレーター配置(100)は、少なくとも1つの作動モードにおいて、前記EUV光の前記生成の少なくとも40%の比率が前記第1のアンジュレーター(101)によって達成され、かつ該生成の少なくとも40%の比率が前記第2のアンジュレーター(102)によって達成されるように構成されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のEUV光源。
- 前記アンジュレーター配置(100)によって生成される前記EUV光の前記偏光状態は、前記電子ビームの修正により、後者が該アンジュレーター配置(100)に入射する前に可変方式で設定可能であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のEUV光源。
- 前記アンジュレーター配置(100)によって生成される前記EUV光の前記偏光状態は、前記電子ビームの利得長さの修正により、後者が該アンジュレーター配置(100)に入射する前に可変方式で設定可能であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のEUV光源。
- 電流を印加することができる前記電子ビームをフォーカスするための複数の四重極磁石を含み、
前記第1の作動モードと前記第2の作動モードの間の切り換えが、前記四重極磁石のうちの少なくとも1つにおける前記電流の変動によって少なくとも部分的に達成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のEUV光源。 - 前記第1の偏光状態と前記第2の偏光状態は、互いに対して直交することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のEUV光源。
- 前記アンジュレーター配置(100)は、前記第1のアンジュレーター(101)によって生成された第1の光ビームと前記第2のアンジュレーター(102)によって生成された第2の光ビームとを互いから空間的に分離される方式で前記照明デバイスに給送することができるように更に構成されることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のEUV光源。
- 前記第1のアンジュレーター及び前記第2のアンジュレーターは、該第1のアンジュレーター(101)内の前記電子ビームの伝播の方向と該第2のアンジュレーター(102)内の該電子ビームの該伝播の方向とが互いに対して傾斜するように配置されることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のEUV光源。
- 前記アンジュレーター配置(100)は、前記第1のアンジュレーター(101)によって生成された第1の光ビームと前記第2のアンジュレーター(102)によって生成された第2の光ビームとを前記照明デバイスに給送する途中で互いの上に重ねることができるように更に構成されることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載のEUV光源。
- 照明デバイス(503)と投影レンズ(506)とを含むマイクロリソグラフィ投影露光装置であって、
請求項1から請求項11のいずれか1項に記載のEUV光源、
を含むことを特徴とする装置。 - マイクロリソグラフィ投影露光装置であって、
電子ビームを生成するための電子源(110,810)、
前記電子ビームを加速するための加速器ユニット(120,820)、及び
前記電子ビームを偏向することによってEUV光を生成するためのアンジュレーター配置(100,800)、
を含むEUV光源と、
照明デバイス(503)と、
投影レンズ(506)と、
を含み、
前記アンジュレーター配置(100,800)は、第1の偏光状態を有するEUV光を生成するための第1のアンジュレーター(101,801)と、該第1の偏光状態とは異なる第2の偏光状態を有するEUV光を生成するための少なくとも1つの第2のアンジュレーター(102,802)とを含み、
投影露光装置の作動中に、前記第1のアンジュレーター(101,801)によって生成されたEUV光及び前記第2のアンジュレーター(102,802)によって生成されたEUV光が、前記照明デバイス(503)内にそれぞれ結合され、
前記電子ビームのエネルギが前記第1のアンジュレーター(101,801)によって生成されたEUV光に、かつそれぞれ前記第2のアンジュレーター(102,802)によって生成されたEUV光に変換されるそれぞれの相対比率が、可変方式で設定可能である、
ことを特徴とする装置。 - 前記電子ビームの前記エネルギが前記第1のアンジュレーター(101,801)によって生成されたEUV光に、かつそれぞれ前記第2のアンジュレーター(102,802)によって生成されたEUV光に変換される前記それぞれの相対比率の前記可変設定は、該電子ビームの修正により、後者が前記アンジュレーター配置(100,800)に入射する前に実施することができることを特徴とする請求項13に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明デバイスのためのEUV光源を作動させる方法であって、
前記EUV光源は、電子ビームを生成するための電子源(110)と、該電子ビームを加速するための加速器ユニット(120)と、該電子ビームを偏向することによってEUV光を生成するためのアンジュレーター配置(100)とを含み、
前記アンジュレーター配置(100)は、
第1の偏光状態を有するEUV光を生成するための第1のアンジュレーター(101)と、
前記第1の偏光状態とは異なる第2の偏光状態を有するEUV光を生成するための少なくとも1つの第2のアンジュレーター(102)と、
を含み、
前記第2のアンジュレーター(102)は、前記電子ビームの伝播の方向に沿って前記第1のアンジュレーター(101)の下流に配置され、
前記アンジュレーター配置(100)の作動中に、前記第1のアンジュレーター(101)がEUV光の前記生成に関して飽和状態にある第1の作動モードと該第1のアンジュレーター(101)がEUV光の該生成に関して飽和状態にない少なくとも1つの第2の作動モードとの間の切り換えが達成される、
ことを特徴とする方法。 - 前記第1の作動モードと前記第2の作動モードの間の前記切り換えは、前記電子ビームの修正により、後者が前記アンジュレーター配置(100)に入射する前に達成されることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明デバイスのためのEUV光源を作動させる方法であって、
前記EUV光源は、電子ビームを生成するための電子源(110)と、該電子ビームを加速するための加速器ユニット(120)と、該電子ビームを偏向することによってEUV光を生成するためのアンジュレーター配置(100)とを含み、
前記アンジュレーター配置(100,800)は、第1の偏光状態を有するEUV光を生成するための第1のアンジュレーター(101,801)と、該第1の偏光状態とは異なる第2の偏光状態を有するEUV光を生成するための少なくとも1つの第2のアンジュレーター(102,802)とを含み、
前記投影露光装置の作動中に、前記第1のアンジュレーター(101,801)によって生成されたEUV光及び前記第2のアンジュレーター(102,802)によって生成されたEUV光が、前記照明デバイス(503)内にそれぞれ結合され、
前記電子ビームのエネルギが前記第1のアンジュレーター(101,801)によって生成されたEUV光に、かつそれぞれ前記第2のアンジュレーター(102,802)によって生成されたEUV光に変換されるそれぞれの相対比率が、可変方式で設定可能である、
ことを特徴とする方法。 - 前記電子ビームの前記エネルギが前記第1のアンジュレーター(101,801)によって生成されたEUV光に、かつそれぞれ前記第2のアンジュレーター(102,802)によって生成されたEUV光に変換される前記それぞれの相対比率の前記可変設定は、該電子ビームの修正により、後者が前記アンジュレーター配置(100,800)に入射する前に達成されることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記EUV光源は、電流を印加することができる前記電子ビームをフォーカスするための複数の四重極磁石を含み、
前記第1の作動モードと前記第2の作動モードの間の前記切り換えは、前記四重極磁石のうちの少なくとも1つにおける前記電流の変動によって少なくとも部分的に達成される、
ことを特徴とする請求項15から請求項18のいずれか1項に記載の方法。 - 近似タンジェンシャル偏光分布又は近似ラジアル偏光分布が、前記照明デバイスの瞳平面に少なくとも時々生成されることを特徴とする請求項15から請求項19のいずれか1項に記載の方法。
- 非偏光光が、前記照明デバイスの瞳平面に少なくとも時々生成されることを特徴とする請求項15から請求項20のいずれか1項に記載の方法。
- 微細構造化構成要素をマイクロリソグラフィで生成する方法であって、
感光材料から構成された層が少なくとも部分的に加えられた基板を与える段階と、
結像される構造を有するマスク(505)を与える段階と、
請求項12から請求項14のいずれか1項に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置を与える段階と、
前記投影露光装置を用いて前記マスク(505)の少なくとも一部を前記層の領域上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
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