JP2017506041A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 静電型トランスデューサであって、
   貫通開口のアレイを有する導電性の第１の部材と、
   可撓性を有する導電性の第２の部材であって、使用時に、前記第１の部材および前記第２の部材の１つまたは両方に印加された電位に応じた静電力によって、平衡位置から前記第１の部材の方に変位するように構成されている、可撓性を有する導電性の第２の部材と、
   第３の部材と、
   を含み、
   前記第２の部材および前記第３の部材は、非平面のプロファイルを有することによって弾性的に変形可能であり、
   前記第２の部材および第３の部材のうちの少なくとも１つは、使用時に、前記電位によって前記平衡位置から変位されると、前記第２の部材を付勢して前記平衡位置の方に戻す弾性付勢力を加えるように構成されており、
   前記第２の部材および前記第３の部材は、相互に逆であるそれぞれのプロファイルパターンでプロファイルを与えられている、静電型トランスデューサ。
2. 前記静電型トランスデューサは、使用時に、前記導電性の第１の部材と前記可撓性を有する導電性の第２の部材との間に静電引力のみを発生させる電位を印加するように構成されている、請求項１に記載の静電型トランスデューサ。
3. 前記第３の部材は、前記第１の部材と前記第２の部材との間にある、可撓性を有する電気絶縁性の部材である、請求項１または２に記載の静電型トランスデューサ。
4. 前記可撓性を有する導電性の第２の部材が、前記第１の部材上にわたって延在し、および弾性的に変形可能な第３の部材が、前記第２の部材上にわたって延在している、請求項１または２に記載の静電型トランスデューサ。
5. 前記非平面のプロファイルが、複数の局所的に突出する部分を備える、請求項１に記載の静電型トランスデューサ。
6. 前記弾性的に変形可能な第２の部材または前記弾性的に変形可能な第３の部材がエンボス加工されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載の静電型トランスデューサ。
7. 前記突出する部分が、１ｍｍ〜２０ｍｍ、好ましくは５ｍｍ〜１０ｍｍの、前記弾性的に変形可能な部材の正中面と平行な最大寸法を有する、請求項５または６に記載の静電型トランスデューサ。
8. 前記弾性的に変形可能な第２の部材または前記弾性的に変形可能な第３の部材の有効厚さが０．２５ｍｍ〜１０ｍｍである、請求項１〜７のいずれか一項に記載の静電型トランスデューサ。
9. 前記第１の部材、前記第２の部材および前記第３の部材が、前記トランスデューサの端縁においてのみ接合されている、請求項１〜８のいずれか一項に記載の静電型トランスデューサ。
10. 前記第１の部材と前記第２の部材との間、前記第１の部材と前記第３の部材との間、および前記第２の部材と前記第３の部材との間、のうちの少なくとも一つの間に結合をさらに備える、請求項１〜８のいずれか一項に記載の静電型トランスデューサ。
11. 前記第１の部材の前記開口が、０．５ｍｍ〜１０ｍｍ、例えば約１．５ｍｍの、前記第１の部材の正中面と平行な最大寸法を有する、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の静電型トランスデューサ。
12. 前記第１の部材の前記開口間の間隔が０．５ｍｍ〜２ｍｍである、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の静電型トランスデューサ。
13. 前記導電性の第１の部材が、ポリマーシートであって、その上に金属被覆によって適用された導電性の層を有するポリマーシートを備える複合層である、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の静電型トランスデューサ。
14. 前記可撓性を有する導電性の第２の部材が、金属被覆されたポリマーシートから作られている、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の静電型トランスデューサ。