JP2017502743A5 - - Google Patents

Description

本開示の様々な特徴及び局面は、以下の請求項において述べられる。本発明の実施態様の一部を以下の項目［１］−［１９］に記載する。
［項目１］
湿度を制御する方法であって、前記方法は、
滅菌する物体を受容するように構成されたチャンバを提供する工程と、
第１の量の水を、水蒸気として前記チャンバ内に注入する工程と、
前記第１の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の圧力上昇及び圧力低下を決定する工程と、
前記圧力低下の前記圧力上昇に対する比率として、吸収比率（ＡＲ）を計算する工程と、
第１湿度値（ＲＨ _チャンバ ）を決定するために、第１の量の水を注入した後に、前記チャンバの湿度を感知する工程と、
前記第１湿度値を、予め選択された湿度値（ＲＨ _設定点 ）と比較して、湿度エラー（ＲＨ _エラー ）を判定する工程であって、ここでＲＨ _エラー ＝ＲＨ _設定点 −ＲＨ _チャンバ である、工程と、
第２の量の水を水蒸気として前記チャンバ内に注入する工程であって、前記第２の量の水は、前記吸収比率（ＡＲ）、及び前記湿度エラー（ＲＨ _エラー ）に基づいて計算される工程と、を含む、方法。
［項目２］
滅菌する投入物を、前記チャンバ内に位置付け、前記チャンバを密封する工程を更に含む、項目１に記載の方法。
［項目３］
第１の量の水を前記チャンバ内に注入する前に、前記チャンバ内を真空引きする工程を更に含む、項目１又は２に記載の方法。
［項目４］
第１の量の水を前記チャンバ内に注入する前に、前記チャンバを所定温度まで加熱する工程を更に含む、項目１〜３のいずれか一項に記載の方法。
［項目５］
吸収係数（ＡＣ）を計算する工程を更に含み、ここでＡＣ＝１＋（Ｐ _{ゲイン，ＡＲ} ^＊ ＡＲ）であり、ここでＰ _{ゲイン，ＡＲ} は、比例ゲイン定数であり、前記第２の量の水は前記吸収係数（ＡＣ）、及び前記湿度エラー（ＲＨ _エラー ）に基づいて計算される、項目１〜４のいずれか一項に記載の方法。
［項目６］
前記第２の量の水は、前記吸収係数（ＡＣ）、及び前記湿度エラー（ＲＨ _エラー ）と比例する、項目５に記載の方法。
［項目７］
第１の量の水、又は第２の量の水を前記チャンバ内に、水蒸気として注入する工程は、注入時間（ｔ _注入 ）にわたって、水注入弁を開く工程を含む、項目１〜６のいずれか一項に記載の方法。
［項目８］
前記注入時間（ｔ _注入 ）は一定値である、項目７に記載の方法。
［項目９］
注入時間（ｔ _注入 ）＝Ｐ _ゲイン ^＊ ＡＣ ^＊ ＲＨ _エラー であり、Ｐ _ゲイン は、湿度エラー（ＲＨ _エラー ）を調整するために使用される比例ゲイン定数である、項目７に記載の方法。
［項目１０］
第１の量の水を注入する工程の後、かつ前記チャンバの前記湿度を感知する工程の前に、投入物吸収時間ｔ _ａｂｓ だけ待つ工程を更に含む、項目１〜９のいずれか一項に記載の方法。
［項目１１］
前記投入物吸収時間（ｔ _ａｂｓ ）は一定値である、項目１０に記載の方法。
［項目１２］
吸収係数（ＡＣ）を計算する工程であって、ＡＣ＝１＋（Ｐ _{ゲイン，ＡＲ} ^＊ ＡＲ）であり、Ｐ _{ゲイン，ＡＲ} は、ＡＲを調整するために使用される比例ゲイン定数である、工程と、
前記投入物吸収時間ｔ _ａｂｓ を計算する工程であって、ｔ _ａｂｓ ＝ｔ _{ａｂｓ，ｈ，ｍａｘ} ／ＡＣであり、ｔ _{ａｂｓ，ｈ，ｍａｘ} は、最大投入物吸収時間を表す定数である、工程とを更に含む、項目１０に記載の方法。
［項目１３］
前記チャンバと流体連通する圧力センサーを提供する工程と、
前記圧力センサーを使用して、第１の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる前記圧力上昇及び前記圧力低下を決定する工程と、を更に含む、項目１〜１２のいずれか一項に記載の方法。
［項目１４］
弁によって前記チャンバと選択的に流体連通する湿度センサーを提供する工程と、
前記チャンバの前記湿度を感知する前に、前記弁を開いて前記湿度センサーと前記チャンバとの間の流体連通をもたらす工程とを更に含む、項目１〜１３のいずれか一項に記載の方法。
［項目１５］
前記湿度センサーは、湿度マニホールド内に位置し、前記弁は前記チャンバと前記湿度マニホールドとの間に位置する、項目１４に記載の方法。
［項目１６］
第２の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の第２圧力上昇及び第２圧力低下を決定する工程と、
前記第２圧力低下の前記第２圧力上昇に対する比率として、第２吸収比率（ＡＲ _２ ）を計算する工程と、
第２湿度値（ＲＨ _{チャンバ，２} ）を決定するために、第２の量の水を注入した後に、前記チャンバの前記湿度を感知する工程と、
前記第２湿度値を、予め選択された湿度値（ＲＨ _設定点 ）と比較して、第２湿度エラー（ＲＨ _{エラー，２} ）を決定する工程であって、ＲＨ _{エラー，２} ＝ＲＨ _設定点 −ＲＨ _{チャンバ，２} である、工程と、
第３の量の水を水蒸気として前記チャンバ内に注入する工程であって、前記第３の量の水は、前記第２吸収比率（ＡＲ _２ ）、及び前記第２湿度エラー（ＲＨ _{エラー，２} ）に基づいて計算される工程と、を更に含む、項目１〜１５のいずれか一項に記載の方法。
［項目１７］
前記チャンバ内に殺菌ガスを投入する工程を更に含む、項目１〜１６のいずれか一項に記載の方法。
［項目１８］
殺菌ガスで物体を滅菌するための滅菌器であって、前記滅菌器は、
滅菌する物体を受容するためのチャンバと、
前記チャンバ内への殺菌ガスの投入を制御するため、殺菌ガス源に接続され得る殺菌ガス制御システムと、
前記チャンバ内の気体環境を操作するための湿度制御システムであって、前記湿度制御システムは、
選択可能な量の水を前記チャンバ内に注入するため、水源に接続され得る水制御システム、
前記チャンバ内の圧力を測定するため、前記チャンバと流体連通する圧力センサー、
前記チャンバ内の前記気体環境の湿度値（ＲＨ _チャンバ ）を感知するため、前記チャンバと流体連通、又は選択的流体連通する湿度センサー、及び
第１の量の水をチャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の圧力低下及び圧力上昇を判定し、
前記圧力低下の前記圧力上昇に対する比率として、吸収比率（ＡＲ）を計算し、
前記湿度値（ＲＨ _チャンバ ）と予め選択された湿度値（ＲＨ _設定点 ）と比較して、湿度エラー（ＲＨ _エラー ）を決定し（ここでＲＨ _エラー ＝ＲＨ _設定点 −ＲＨ _チャンバ ）、
前記吸収比率（ＡＲ）、及び前記湿度エラー（ＲＨ _エラー ）に基づいて前記チャンバに注入される第２の量の水を判定する、ように構成されたコントローラを含む、湿度制御システムとを含む、滅菌器。
［項目１９］
チャンバ内の気体環境を操作するための湿度制御システムであって、前記システムは、
選択可能な量の水を前記チャンバ内に注入するため、水源に接続され得る水制御システムと、
前記チャンバ内の圧力を測定するため、前記チャンバと流体連通する圧力センサーと、
前記チャンバ内の前記気体環境の湿度値（ＲＨ _チャンバ ）を感知するため、前記チャンバと流体連通、又は選択的流体連通する湿度センサーと、
第１の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の圧力低下及び圧力上昇を判定し、
前記圧力低下の前記圧力上昇に対する比率として、吸収比率（ＡＲ）を計算し、
前記湿度値（ＲＨ _チャンバ ）を予め選択された湿度値（ＲＨ _設定点 ）と比較して、湿度エラー（ＲＨ _エラー ）を決定し（ここでＲＨ _エラー ＝ＲＨ _設定点 −ＲＨ _チャンバ ）、
前記吸収比率（ＡＲ）、及び前記湿度エラー（ＲＨ _エラー ）に基づいて前記チャンバに注入される第２の量の水を判定する、ように構成されたコントローラとを含む、システム。

Claims (10)

1. 湿度を制御する方法であって、前記方法は、
   滅菌する物体を受容するように構成されたチャンバを提供する工程と、
   第１の量の水を、水蒸気として前記チャンバ内に注入する工程と、
   前記第１の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の圧力上昇及び圧力低下を決定する工程と、
   前記圧力低下の前記圧力上昇に対する比率として、吸収比率（ＡＲ）を計算する工程と、
   第１湿度値（ＲＨ_チャンバ）を決定するために、第１の量の水を注入した後に、前記チャンバの湿度を感知する工程と、
   前記第１湿度値を、予め選択された湿度値（ＲＨ_設定点）と比較して、湿度エラー（ＲＨ_エラー）を判定する工程であって、ここでＲＨ_エラー＝ＲＨ_設定点−ＲＨ_チャンバである、工程と、
   第２の量の水を水蒸気として前記チャンバ内に注入する工程であって、前記第２の量の水は、前記吸収比率（ＡＲ）、及び前記湿度エラー（ＲＨ_エラー）に基づいて計算される工程と、を含む、方法。
2. 滅菌する投入物を、前記チャンバ内に位置付け、前記チャンバを密封する工程を更に含む、請求項１に記載の方法。
3. 第１の量の水を前記チャンバ内に注入する前に、前記チャンバ内を真空引きする工程を更に含む、請求項１又は２に記載の方法。
4. 第１の量の水を前記チャンバ内に注入する前に、前記チャンバを所定温度まで加熱する工程を更に含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
5. 吸収係数（ＡＣ）を計算する工程を更に含み、ここでＡＣ＝１＋（Ｐ_{ゲイン，ＡＲ}＊ＡＲ）であり、ここでＰ_{ゲイン，ＡＲ}は、比例ゲイン定数であり、前記第２の量の水は前記吸収係数（ＡＣ）、及び前記湿度エラー（ＲＨ_エラー）に基づいて計算される、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
6. 前記第２の量の水は、前記吸収係数（ＡＣ）、及び前記湿度エラー（ＲＨ_エラー）と比例する、請求項５に記載の方法。
7. 第１の量の水、又は第２の量の水を前記チャンバ内に、水蒸気として注入する工程は、注入時間（ｔ_注入）にわたって、水注入弁を開く工程を含む、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
8. 第１の量の水を注入する工程の後、かつ前記チャンバの前記湿度を感知する工程の前に、投入物吸収時間ｔ_ａｂｓだけ待つ工程を更に含む、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
9. チャンバ内の気体環境を操作するための湿度制御システムであって、前記システムは、
   選択可能な量の水を前記チャンバ内に注入するため、水源に接続され得る水制御システムと、
   前記チャンバ内の圧力を測定するため、前記チャンバと流体連通する圧力センサーと、
   前記チャンバ内の前記気体環境の湿度値（ＲＨ_チャンバ）を感知するため、前記チャンバと流体連通、又は選択的流体連通する湿度センサーと、
   第１の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の圧力低下及び圧力上昇を判定し、
   前記圧力低下の前記圧力上昇に対する比率として、吸収比率（ＡＲ）を計算し、
   前記湿度値（ＲＨ_チャンバ）を予め選択された湿度値（ＲＨ_設定点）と比較して、湿度エラー（ＲＨ_エラー）を決定し（ここでＲＨ_エラー＝ＲＨ_設定点−ＲＨ_チャンバ）、
   前記吸収比率（ＡＲ）、及び前記湿度エラー（ＲＨ_エラー）に基づいて前記チャンバに注入される第２の量の水を判定する、ように構成されたコントローラとを含む、システム。
10. 殺菌ガスで物体を滅菌するための滅菌器であって、前記滅菌器は、
    滅菌する物体を受容するためのチャンバと、
    前記チャンバ内への殺菌ガスの投入を制御するため、殺菌ガス源に接続され得る殺菌ガス制御システムと、
    請求項９に記載の湿度制御システムと、を含む、滅菌器。