JP2017500738A5 - - Google Patents

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  1. 少なくとも1つの型押し構造体(2)を有する型押しスタンプ(1)によって、支持基板(3)上に少なくとも1つのマイクロ構造体またはナノ構造体を有する複数の個別レンズ(9)を型押しする方法であって、
    以下のステップを、特に以下の順序で、すなわち、
    ・ 前記型押しスタンプ(1)の前記型押し構造体(2)を調量装置(4)に対して配向するステップと、
    ・ 前記調量装置(4)を用いて、前記型押し構造体(2)内に型押し用ペースト(6)を調量するステップと、
    ・ 前記型押し用ペースト(6)を少なくとも部分的に硬化して当該型押し用ペースト(6)を型押しするステップと、を有する方法において、
    前記型押し構造体(2)は、少なくとも調量の際に重力方向(G)を向いており、
    重力により、凸の型押し用ペースト表面(6o)を前記支持基板(3)の方向に形成し、
    前記支持基板(3)の方向に前記型押しスタンプ(1)を接近させることにより、前記凸の型押し用ペースト表面(6o)によって、前記支持基板(3)との、前記型押し用ペースト(6)の点接触接続が行われ、
    前記支持基板(3)の方向に前記型押しスタンプ(1)をさらに接近させることにより、前記支持基板(3)との、前記型押し用ペースト表面(6o)の接触接続面が連続して拡大する、
    ことを特徴とする方法。
  2. 前記型押し用ペースト(6)を、型押しの前に部分的に硬化し、引き続いて完全に硬化する、
    請求項1に記載の方法。
  3. 前記調量装置(4)のノズル(5)を用い、中心からずらして、特に前記型押し構造体(2)の縁部において、前記型押し用ペースト(6)を当該型押し構造体(2)内に入れる、
    請求項1または2に記載の方法。
  4. 前記型押し用ペースト(6)を前記型押し構造体(2)の後面(1r)から硬化させる、
    請求項1から3までの少なくとも1つに記載の方法。
JP2016534902A 2013-11-29 2014-10-22 構造体を型押しする方法および装置 Active JP6559130B2 (ja)

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