JP2017228519A - Ｎｉ（ＯＨ）２電極を有する薄膜固体電池を製造する方法、電池セルおよび電池 - Google Patents

Abstract

【課題】既知の水系電池に比べ乾燥の恐れが回避されるかまたは大きく軽減されるＮｉ系正極を有する薄膜固体電池セルおよび薄膜固体電池を製造する方法の提供。【解決手段】第１集電体層１２を含む基材上に薄膜固体電池セルを製造する方法が開示され、第１集電体層１２の上に第１電極層３０を堆積させることを含み、第１電極層３０が、孔壁を有する複数の孔を含むナノ多孔質複合層であり、第１電極層３０が、誘電材料と電極活物質粒子との混合物を含み、第１電極層３０の上に多孔質誘電層４０を堆積させることを含み、さらに、第２電極層５０を多孔質誘電層４０上に直接堆積させることを含み、第２電極層５０を堆積することには電気化学堆積プロセスによって多孔質Ｎｉ（ＯＨ）２層を堆積させることが含まれる薄膜電池セルの製造方法。さらに、薄膜固体電池セルおよび電池が開示される。【選択図】図９

Description

本開示は、Ｎｉ（ＯＨ）_２電極を有する薄膜固体電池セルを製造する方法、Ｎｉ（ＯＨ）_２電極を含む薄膜固体電池セル、およびそのセルを含む電池に関する。

固体ニッケル−水素化金属（ＮｉＭＨ）型電池は当該技術分野において既知である。そのような電池は例えば、シリカとチタニアとのナノ多孔質複合層を負極（アノード）として含み得、チタニアが電極活物質として機能する。複合電極層は、多孔質シリカ（ＳｉＯ_ｘ）構造体の中に埋め込まれているかまたは分散しているＴｉＯ_ｘナノ粒子を含む。そのような電池の作動原理は、ナノ多孔質シリカ構造体の孔壁または孔表面における吸着水層の存在に依存する。水層は、（ａ）アノードおよびカソードでの充放電反応における試薬としての水と、（ｂ）イオン伝導の手段（電解質）との両方を提供する。正極（カソード）としては、ＮｉＯ層が提案されてきた。ＮｉＯ層は、例えば、物理蒸着によって提供され得る。正極と負極とは、孔壁に吸着水をも含み固体電解質として作用するシリカなどのナノ多孔質誘電材料の薄層によって分離されていることが好ましい。

しかし、そのような装置構造体にＮｉＯを正極として使用することにはいくつかの欠点がある。例えば、ＮｉＯを使用する場合、充電反応（つまり電池充電中）において水の正味の消費が存在する。これは、良好な電池作動に必要な表面吸着水層を乾燥させてしまう可能性がある。さらに、水または水酸化物イオンとＮｉＯ電極との反応は、ＮｉＯ電極の比較的薄い表層に限られる、というのも、水および水酸化物イオンはＮｉＯ層のバルク中へ容易に浸透することができないからである。電極反応速度（電流）を増加させるために、平面電極よりも高い有効表面積を有する電極が使用され得る。このように、多孔質ＮｉＯ構造体は、水のより良好な接近を可能にするため、より効率的であり得る。

「乾性」ＮｉＯの代替物としては「湿性」Ｎｉ（ＯＨ）_２が、従来のアルカリ電解質を有する湿式ニッケル−水素化金属型電池の正極材料として知られている。上述した水系固体ニッケル−水素化金属型電池にＮｉ（ＯＨ）_２を使用することもまた有益であると考えられ得る、というのも、そのような電極を使用する場合には充電／放電中に水の正味の消費が存在せず、それが本質的には水素化材料であり、当該材料のバルクへの水の接近も可能としているからである。従来のアルカリ系ＮｉＭＨおよびアルカリＺｎ電池では、Ｎｉ（ＯＨ）_２は通常、粉体から適用される。しかし、粉体の比較的大きな粒径（例えば１０マイクロメートル程度）ゆえにそのようなプロセスは、薄膜電池の電極層であって厚みが通常１マイクロメートル程度である電極層を形成するのに適さない。粒子に基づいたプロセスとは別に、Ｎｉ（ＯＨ）_２の電着がナノ多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層の形成のために知られているが、これらの電着プロセスは、ナノ多孔質シリカ構造体の孔壁または孔表面における吸着水層の存在に依存した作動原理を有する上記電池種の電極層としてのＮｉ（ＯＨ）_２層の堆積には適していない。

本開示の目的は、Ｎｉ系正極を有する薄膜固体電池セルを製造する方法を提供すること、およびＮｉ系正極を有する薄膜固体電池であって高いエネルギー密度を有する電池を提供することである。

本開示の目的は、既知の水系電池に比べて乾燥の恐れが回避されるかまたは大きく軽減されるＮｉ系正極を有する薄膜固体電池セルおよび薄膜固体電池を製造する方法を提供することである。

上記目的は、本開示による方法および装置によって少なくとも部分的に達成される。

第１の態様によれば、本開示は、薄膜固体電池セルを製造する方法に関する。

第１集電体層を含む基材上に薄膜固体電池セルを製造する方法が提供され、当該方法は：第１集電体層の上に第１電極層を堆積させることを含み、第１電極層が、孔壁を有する複数の孔を含むナノ多孔質複合層であり、第１電極層が、誘電材料と電極活物質との混合物を含み；第１電極層の上に多孔質誘電層を堆積させることを含み；さらに、第２電極層を多孔質誘電層上に直接堆積させることを含み、第２電極層を堆積することには電気化学堆積プロセスによって多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層を堆積させることが含まれることを特徴とする。

本開示の方法の実施形態の利点は、充放電中に、電池セルの乾燥が相殺されるように水の消費が相殺される、薄膜固体電池セルを製造することが可能になるという点である。

本開示の方法の実施形態の利点は、第２電極層とその下にある誘電層との間の良好な接着、したがって第２電極層と固体電解質との間の良好な接着が得られ得るという点であり、それは電池の作動および性能にとって好都合である。

本開示の方法の実施形態の利点は、第２電極層を形成するプロセスで用いる電気化学堆積条件、例えば堆積中に用いる電流または電圧および堆積のために使用する溶液の組成などを選択することによって、第２電極層の気孔率とその厚みを良好に制御できるという点である。

本開示の方法の実施形態の利点は、（水および水酸化物イオンとの相互作用によって起こる）充放電反応をＮｉ（ＯＨ）_２正極層の主要部分全体に亘って起こさせることのできる薄膜固体電池セルを製造することが可能になるという点および、これらの反応が第２電極層の一部（表面部分）に限られないという点である。これは、既知の手法に比べてより高いエネルギー密度およびより高い有効電池容量に達することを可能にする。

第２電極層を多孔質誘電層上に「直接」堆積させることは、本開示との関連において、第２電極層が多孔質誘電層と物理的に接触した状態で、つまり他のいかなる層、構造体または類似物も間に存在していない状態で第２電極層を堆積させることを意味する。

本開示の方法の実施形態の利点は、当該方法によって、Ｎｉ（ＯＨ）_２層を非導電性表面上に直接堆積させることが可能になり、それゆえＮｉ（ＯＨ）_２層を多孔質誘電層上に直接堆積させることが可能になる、という点である。本開示の実施形態の利点は、このことによって、第１電極層および多孔質誘電層を提供した後にＮｉ（ＯＨ）_２層（第２電極層）を提供して電池セルを製造することが可能になるという点である。第１電極層および多孔質誘電層の形成には、通常５００℃程度の温度での焼成ステップが必要となり得る。そのため、もしも代わりにＮｉ（ＯＨ）_２層（第２電極層）を多孔質誘電層および第１電極層の形成前に提供したならば、そのような焼成ステップは、Ｎｉ（ＯＨ）_２層がそのような形成ステップの間に乾燥してしまう恐れを実質的に増大させるであろう。本開示の方法の実施形態の利点は、Ｎｉ（ＯＨ）_２層を提供した後にＮｉ（ＯＨ）_２層の乾燥の恐れを増大させる高温においてプロセスステップを実施する必要性を、大いに低減する、薄膜電池セルの製造プロセスが提供されるという点である。

本開示との関連において、用語「ナノ多孔質複合体」は、孔径（例えば孔直径）が０．４〜２０ｎｍの範囲内にある孔を有するいかなる類の複合材料であってもよい、ということに留意されたい。

本開示との関連において、用語「電気化学堆積プロセス」は、析出を誘起する局所的なｐＨ変化を起こす電気化学反応によって電極表面で誘起される化学析出反応に基づいた、いかなるプロセスであってもよい、ということに留意されたい。

方法は、第１電極層が負極層を形成し得、かつ第２電極層が正極層を形成し得る、薄膜固体電池を製造するために、整備され得る。

本開示の実施形態において、方法は、第１電極層を堆積させるステップの後に、第１電極層の孔壁を親水化することをさらに含んでもよく、それは、親水性表面を有する孔を作り出してそれによって孔壁表面での水層の吸着を容易にするという点で、有益である。そのような水層は、第１電極層内での良好なイオン伝導を可能にするためおよびそのような第１電極層を含む電池セルの充放電中に第１電極層において電子の良好な交換を可能にするために必要である。

本開示の実施形態において、孔壁を親水化することには、ＵＶ硬化ステップを実施すること、すなわち第１電極層をＵＶ光に曝露することが含まれてもよく、それは、例えば加熱を必要としない周囲温度で実施できる単純なステップであるという点で有益である。

本開示の実施形態において、孔壁を親水化することには、湿潤雰囲気中でアニーリングステップを実施することが含まれてもよく、それは、第１電極層内での良好なイオン伝導を可能にするためおよびそのような第１電極層を含む電池セルの充放電中に第１電極層での電子の良好な交換を可能にするために必要な、孔壁表面での水層の吸着がもたらされ得るように、水または水蒸気を含有する雰囲気中でそのようなアニーリングステップが行われるという点で、有益である。アニーリングは、例えば、Ｈ_２とＯ_２とを含む環境下で１〜３時間、４００〜５５０℃の範囲内の温度で実施され得るが、本開示はそれに限定されない。本開示との関連において、用語「湿潤雰囲気」は、３０％超、好ましくは４０％超の相対湿度を有するいかなる雰囲気であってもよいことに留意されたい。

本開示の実施形態において、電気化学堆積プロセスによって多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層を堆積させることは、電気析出プロセスによって堆積させることを含んでもよい。本開示の実施形態において、多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層は例えば、４０〜６０％の範囲内の気孔率および、１００ｎｍ〜１０マイクロメートル、例えば１００ｎｍ〜５マイクロメートル、例えば２００ｎｍ〜２．５マイクロメートルの範囲内の厚みを有し得るが、本開示はそれらに限定されない。

本開示の実施形態において、電気化学堆積プロセスは、第１電極層を充電してそれによって第１電極層を導電性にすることを含む第１段階と、多孔質誘電層上でのＮｉ（ＯＨ）_２の析出を含む第２段階とを含み得る。電気化学プロセスの第１段階の間、Ｎｉ（ＯＨ）_２材料堆積物はまだ存在していない可能性がある。第１電極層の充電は、電気エネルギーを電極層に供給すること、例えば、電気化学堆積プロセス中に行うような電位または電流の印加をすることによって、行われ得る。

本開示の実施形態において、第１電極層の誘電材料と電極活物質との混合物は、電極活物質粒子を中に分散させた誘電材マトリックスを含み得る。粒子はナノ粒子であり得る。そのような実施形態において、第１電極層は例えば、２０〜６０％、例えば２０〜４０％の範囲内の気孔率を有し得、電極活物質粒子は５ｎｍ未満の直径を有し得るが、本開示はそれらに限定されない。

本開示の実施形態において、第１電極層の誘電材料と電極活物質との混合物は、誘電材料ナノ粒子と電極活物質ナノ粒子との混合物であってもよい。そのような実施形態では、第１電極層は例えば４０〜６０％の範囲内の気孔率を有し得、誘電材料ナノ粒子は例えば１０〜１００ｎｍの範囲内の直径を有し得、電極活物質ナノ粒子は例えば５〜２０ｎｍの範囲内の直径を有し得るが、本開示はそれらに限定されない。

本開示の実施形態において、負極層は例えば、シリカ誘電材料とチタニア電極活物質とを含むシリカ−チタニア層であり得るが、本開示はそれに限定されない。負極層の厚みは例えば、５００ｎｍ〜１０マイクロメートル、例えば１〜１０マイクロメートルの範囲内にあり得るが、本開示はそれらに限定されない。

本開示の実施形態によれば、方法はさらに、第２電極層の上に第２集電体層を堆積させることを含んでもよく、それは、本開示の一実施形態に従って製造した電池セルの作動時に抵抗関連の電位低下が少ない状態で電流が第２電極層の内外へと効率的に運ばれ得るように、第２集電体層が良好な導電性を有し得るという点で、有益である。

本開示は、第２の態様によれば、本開示の実施形態に従って製造した電池セルおよび電池に関するものである。

第２の態様によれば、薄膜固体電池セルが提供され、当該薄膜固体電池セルは：第１集電体層を含み；第１集電体層の上の第１電極層を含み、第１電極層が、孔壁を有する複数の孔を含むナノ多孔質複合層であり、第１電極層が、誘電材料と電極活物質との混合物を含み；第１電極層の上の多孔質誘電層を含み；さらに、多孔質誘電層に直接付着した第２電極層を含み、第２電極層が薄膜多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層であることを特徴とする。

概して、本開示のこの態様の特徴は、本発明の先述の態様に関連して上に述べたのと同様の利点を提供する。

本開示の実施形態において、薄膜多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層の厚みは１００ｎｍ〜１０マイクロメートルの範囲内にあり得、そのことは、薄膜電池セルでのその層の一体化のためにそのような層厚みが適しており、高い容積エネルギー密度および良好な出力能が提供される、という点で有益である。

本開示の実施形態において、薄膜多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層は４０〜６０％の範囲内の気孔率を有し得、そのことは、電気化学的相互作用のための広い界面がそのような多孔質電極層によって提供されて、その結果、そのような多孔質電極層を含む電池セルの充放電中に電解質と電極材料との相互作用が増大し得、充電容量の向上した電池セルがもたらされ得る、という点で有益である。多孔質電極層のさらなる利点は、そのような多孔質電極層を含む電池セルの充放電中に起こる歪みに対してより良好な耐性を有し得るように、当該多孔質電極層が非多孔質電極層に比べてより広い塑性変形窓を有し得る、という点である。

本開示の実施形態において、多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層は例えば、４０〜６０％の範囲内の気孔率および、１００ｎｍ〜１０マイクロメートル、例えば１００ｎｍ〜５マイクロメートル、例えば２００ｎｍ〜２．５マイクロメートルの範囲内の厚みを有し得るが、本開示はそれらに限定されない。

本開示の実施形態において、第１電極層の誘電材料と電極活物質との混合物は、電極活物質（例えば電極活物質粒子）を中に分散させた誘電材マトリックスを含み得る。粒子はナノ粒子であり得る。

本開示の実施形態において、第１電極層は、２０〜６０％の範囲内の気孔率を有するシリカ−チタニアナノ多孔質層であり得、そのことは、電気化学的相互作用のための広い界面がそのような多孔質電極層によって提供されて、その結果、そのような多孔質電極層を含む電池セルの充放電中に電解質と電極材料との相互作用が増大し得、充電容量の向上した電池セルがもたらされ得る、という点で有益である。多孔質電極層のさらなる利点は、そのような多孔質電極層を含む電池セルの充放電中に起こる歪みに対してより良好な耐性を有し得るように、当該多孔質電極層が非多孔質電極層に比べてより広い塑性変形窓を有し得る、という点である。

そのような実施形態において、第１電極層は例えば、２０〜６０％、例えば２０〜４０％の範囲内の気孔率を有し得、電極活物質粒子は５ｎｍ未満の直径を有し得るが、本開示はそれらに限定されない。

本開示の実施形態において、第１電極層の誘電材料と電極活物質との混合物は、誘電材料ナノ粒子と電極活物質ナノ粒子との混合物であってもよい。そのような実施形態では、第１電極層は例えば４０〜６０％の範囲内の気孔率を有し得、誘電材料ナノ粒子は例えば１０〜１００ｎｍの範囲内の直径を有し得、電極活物質ナノ粒子は例えば５〜２０ｎｍの範囲内の直径を有し得るが、本開示はそれらに限定されない。

本開示の実施形態において、負極層は例えば、シリカ誘電材料とチタニア電極活物質とを含むシリカ−チタニア層であり得るが、本開示はそれに限定されない。負極層の厚みは例えば、５００ｎｍ〜１０マイクロメートル、例えば１〜１０マイクロメートルの範囲内にあり得るが、本開示はそれらに限定されない。

本開示の実施形態において、多孔質誘電層は、１０〜９０％の範囲内の気孔率を有する多孔質シリカ層であり得、そのことは、そのような誘電層を含む電池セルの充電時または放電時に、電解質層として作用する水層の吸着のための、したがって第１電極と第２電極との間での多孔質誘電層を介した良好なイオン伝導のための広い内部表面がそのような多孔質誘電層によって提供される、という点で有益である。多孔質層のさらなる利点は、そのような多孔質層を含む電池セルの充放電中に起こる歪みに対してより良好な耐性を有し得るように、当該多孔質層が非多孔質層に比べてより広い塑性変形窓を有し得る、という点である。

本開示の実施形態において、多孔質誘電層は例えば多孔質シリカ層であり得るが、本開示はそれに限定されない。多孔質誘電層は例えば、５〜５００ｎｍ、例えば１０〜１００ｎｍの範囲内の厚みを有し得るが、本開示はそれらに限定されない。多孔質誘電層は例えば、１〜２０ｎｍの範囲内、例えば１０ｎｍ程度などの孔径を有し得るが、本開示はそれらに限定されない。気孔率は例えば、１０〜９０％、好ましくは２０〜６０％、例えば３０〜４０％の範囲内にあり得る。

本開示の実施形態において、第１電極層の誘電材料と電極活物質との混合物は、電極活物質ナノ粒子を中に分散させた誘電材マトリックスを含んでいてもよく、それは、ナノ粒子が広い表面積を提供し、結果的に高速の充電特性を有する電池セルをもたらし得る、という点で有益である。

本開示の実施形態による薄膜固体電池は、少なくとも１つの上記薄膜固体電池セルを含む。電池は、複数個、例えば少なくとも２つの、そのような薄膜固体電池セルを含み得、当該複数個の電池セルは、直列もしくは並列または両者の組み合わせによって連結され得る。

本開示による電池セルおよび電池の実施形態の利点は、充放電中に、電池セルまたは電池の乾燥が回避され得るように水の正味の消費が相殺されるという点である。

本開示による電池セルおよび電池の実施形態の利点は、（水および水酸化物イオンとの相互作用によって起こる）充放電反応をＮｉ（ＯＨ）_２正極層の主要部分全体に亘って起こさせることができるという点および、これらの反応が正極層の一部（表面部分）に限られないという点である。これは、既知の手法に比べてより高いエネルギー密度およびより高い有効電池容量に達することを可能にする。

本開示の詳細な好ましい態様は、添付の独立請求項および従属請求項に示されている。従属請求項による特徴は、単に特許請求の範囲において明記されているとおりではなく、独立請求項の特徴およびその他の従属請求項の特徴と適切に組み合わされていてもよい。

本開示の上記およびその他の特性、特徴および利点は、本開示の原理を例によって示す添付の図面と併せて理解される以下の詳細な説明から明らかとなる。この説明は、本開示の範囲を限定することなく、単なる例示のために与えられている。以下で引用している参照図は、添付の図面に言及するものである。

本開示の一実施形態による薄膜固体電池セルの一例の断面を模式的に示す。 「乾性」ＮｉＯ層の場合のＯＨ⁻拡散を模式的に示す。 「湿性」Ｎｉ（ＯＨ）_２層の場合のＯＨ⁻拡散を模式的に示す。 「湿性」Ｎｉ（ＯＨ）_２層の場合のＯＨ⁻拡散を模式的に示す。 図１に示す電池構造体と比べて逆の積層物を有する薄膜固体電池の一例の断面を模式的に示す。 ＴｉＮ／Ｎｉ上に定電流で堆積させたＮｉ（ＯＨ）_２層の、陰極堆積電流密度の関数としての測定電流効率の一例を示す。 ＴｉＮ／Ｎｉ上に定電流で堆積させたＮｉ（ＯＨ）_２層の、陰極堆積電流密度の関数としての測定膜厚（黒四角）および測定気孔率（黒三角）の一例を示す。 定電流で堆積させたＮｉ（ＯＨ）_２層の、０．２ＭのＬｉＯＨ中で走査速度２０ｍＶ／ｓで実施したサイクリックボルタンメトリー測定の結果を示す。 ０．０１ＭのＮｉ（ＮＯ_３）_２溶液中での電着によって製造したＮｉ（ＯＨ）_２層の、走査速度２０ｍＶ／ｓでのサイクリックボルタンメトリー測定から決定した堆積電流密度の関数としての体積容量を示す。 Ｎｉ層上（上部曲線）および、ナノ多孔質複合負極層の上に提供した厚み１０ｎｍの多孔質シリカ層上（下部曲線）に、Ｎｉ（ＯＨ）_２層を電気化学堆積させる間に測定した、時間の関数としての電位対Ａｇ／ＡｇＣｌを示す。 本開示の一実施形態に従って製造した電池のＳＥＭ（走査電子顕微鏡）写真を示す。 本開示の一実施形態に従って製造した電池に対して測定したサイクリックボルタンメトリー曲線を示す。 本開示の一実施形態に従って製造した電池の時間の関数としての測定放電電圧を示す。

異なる図中での同じ参照記号は、同じであるかまたは類似した要素を指す。

本開示は特定の実施形態に関して所定の図面を参照して説明されることになるが、本開示は、それに限定されず、特許請求の範囲によってのみ限定される。描写される図面は、模式的なものに過ぎず、限定的ではない。図面ではいくつかの要素の大きさが、例証を目的として誇張され、縮尺どおりに描かれていない場合がある。寸法および相対寸法は、本開示の実際の具体化には対応していない。

特許請求の範囲において用いられる用語「含む」は、その後に記載されている手段に限定されると解釈されるべきでなく、その他の要素またはステップを排除するものでないことに留意されたい。したがってそれは、述べている特性、整数、ステップまたは構成要素の存在を言及されるとおりに指定するが、１つ以上の他の特徴、整数、ステップもしくは構成要素またはそれらの群の存在または追加を排除しない、と解釈されるべきである。例えば、表現「手段ＡおよびＢを含む装置」の範囲は、構成要素ＡおよびＢのみから構成される装置に限定されるべきでない。本開示に関してそれは、装置に関連する唯一の構成要素がＡおよびＢであるということを意味する。

この明細書全体を通じて、「１つの実施形態」または「一実施形態」に対する言及は、その実施形態との関連において記載された特定の特徴、構造または特性が本開示の少なくとも１つの実施形態に含まれていることを意味する。したがって、この明細書全体に亘って様々な場所に出現する語句「１つの実施形態において」または「一実施形態において」は、必ずしも全てが同じ実施形態を指しているわけではないが、その可能性はある。さらに、本開示から当業者にとって明らかであろうように、１つ以上の実施形態において特定の特徴、構造または特性がいかなる適切な様式で組み合わさってもよい。

同様に、本開示の例示的実施形態の記載では、本開示を簡素化しかつ発明に関する種々の態様のうちの１つ以上についての理解を助ける目的で、時として単一の実施形態、図またはその説明の中で本開示の様々な特徴を一緒にしていることを理解すべきである。しかしながらこの開示方法は、特許請求の範囲に記載されている本開示が、各請求項で明確に述べているよりも多くの特徴を必要とするという意図を反映していると解釈されるべきでない。むしろ、後に続く特許請求の範囲が反映しているように、発明に関する態様は、先に開示された単一の実施形態の全ての特徴よりも少ない特徴に存する。このように、詳細な説明の後に続く特許請求の範囲は、各請求項が本開示の別個の実施形態として独立している状態で、この詳細な記載の中にこれにより明確に組み込まれる。

本明細書において提供される記載中には、数多くの具体的な詳細が示されている。しかしながら、本開示の実施形態はこれらの具体的な詳細がなくても実施され得るということが理解される。
他の事例では、この記載の理解を不明瞭にしないために、周知の方法、構造体および技術を詳細に示していない。

以下の用語は、単に本開示の理解を助けるために提供される。

充電式電池において、各電極は、放電中（すなわち電池作動中）には第１極性を有し、充電中には第２の反対極性を有する。しかし技術的に言えば、負極は、放電中にはアノードであり、充電中にはカソードである。その逆も同様に、正極は、放電中にはカソードであり、電池の充電時にはアノードである。本開示との関連においては、放電（すなわち電池作動）の専門用語を用いる。本明細書ではさらに、アノードで負極を意味し、カソードで正極を意味する。本開示を通じて、「アノード材料」に言及する場合、それは負極材料の意味であり、「カソード材料」に言及する場合、それは正極材料の意味である。

本開示との関連において、電池半セルは、単一の電極層および電解質層、例えばアノード層および電解質層、またはカソード層および電解質層を含む構造体である。本開示との関連において、電池セルは、電解質層を間に有する２つの電極層を含む構造体、すなわちアノード層／電解質層／カソード層の積層物を含む構造体である。電池は、単一の電池セルを含んでもよく、または複数の、例えば少なくとも２つの電池セルを含んでもよい。電池は、直列もしくは並列で連結された２つ以上の電池セルまたは、直列および並列を組み合わせて連結させた電池セルを含み得る。

本開示との関連において、電極活物質は、電池電極層の構成要素である材料である。電極活物質において実際の電気化学変換（価数の変化）が起こり、それは、電極での化学エネルギーの蓄積を引き起こす。電極層は、典型的には電極活物質と支持材料とからなる。

本開示との関連において、水系電池は、電極活物質の電気化学反応に水が関与する電池である。水系電池は通常、水系電解質を有する。

本開示との関連において、薄膜は、１０ｎｍ〜１０マイクロメートルの範囲内の厚みを有する薄層または薄い被膜である。薄膜電池は、薄膜層からなる電池、すなわちカソード層、電解質層およびアノード層が１０ｎｍ〜１０マイクロメートルの範囲内の厚みを有する薄層である電池である。

本開示との関連において、ナノ多孔質膜またはナノ多孔質層は、孔径（例えば孔直径）が０．４〜２０ｎｍの範囲内にある孔を有する材料層である。

本開示との関連において、ナノ粒子は、１〜５００ｎｍ、典型的には１０〜１００ｎｍの範囲内の直径を有する粒子である。ナノ粒子は例えば、球体、立方体、八面体もしくは円錐形などの特定形状を有することができ、またはランダムな形状を有することができる。

これより本開示を本開示のいくつかの実施形態の詳細な説明によって記載することにする。添付の特許請求の範囲の用語によってのみ限定されている本開示の真の精神または技術的教示内容から逸脱することなく当業者の知識に従って本開示のその他の実施形態を構成できることは明らかである。

図１は、本開示の一実施形態による薄膜固体電池セル１００の断面を模式的に示す。電池セル１００は、基材１０上のアノード層すなわち負極層（第１電極層）３０を含み、かつ場合によっては基材１０と負極層３０との間に電子注入層２０を含む。図１に示す例では、基材１０は、担体基材１１と、担体基材１１の上の負極集電体層（第１集電体層）１２とを含む。図１に示すように、基材１０は複数の層を含み得る。例えば、基材１０は、シリコン担体１１と、負極集電体層１２、例えばＴｉＮ負極集電体層とを含み得る。電池セル１００はさらに、負極層３０と正極層５０との間に固体電解質層４０を挟んだ状態で、カソード層すなわち正極層（第２電極層）５０を含む。正極層５０の上には、正極集電体層（第２集電体層）６０、例えば金属接触層が存在する。場合により、電池セル１００はさらなる層、例えば、負極層３０と固体電解質層４０との間の緩衝層（図１に示さず）など、例えばＰＥＣＶＤ窒化シリコン緩衝層などを含み得る。

本開示の実施形態において、基材１０は（負極）集電体層１２を含み、負極層３０（および場合によっては電子注入層２０）は負極集電体層１２上に提供される。例えば基材１０は、シリコン担体基材または箔（例えば柔軟な箔）の上に提供された集電体層１２を例えば含む、様々な層の積層物から構成されていてもよい。集電体層１２は、例えばＴｉ、ＴｉＮ、炭素、Ｐｔ、Ｎｉ、Ａｌ、ステンレス鋼もしくはカーボンナノチューブまたはそれらの組み合わせを含み得るが、本開示はそれらに限定されない。集電体層１２の厚みは、例えば１０〜２５０ｎｍの範囲内にあり得るが、本開示はそれに限定されない。集電体層１２は、単一層から構成されていてもよく、または多層積層物、例えば、ＴｉＮ層とＴｉＮ層上を被覆したＮｉ層とを含むかもしくは例えばＴｉ層とＴｉ層の上のＴｉＮ層とを含む２層積層物などであってもよい。本開示の実施形態において、担体基材は集電体層の機能をも有し得る。

担体基材１１は、平面状であってもよく、または非平面状であってもよい。例えば、非平面状担体基材１１は複数の３Ｄ機構または３Ｄ微細構造体、例えば複数の微細ピラーなどを含んでもよい。例えば、担体基材は、高アスペクト比の一連のピラー、例えばシリコンピラーなどを含んでもよく、シリコンピラーが集電体層１２で被覆されていてもよい。ピラーは例えば、０．５〜１０マイクロメートルの範囲内の直径、１〜２０マイクロメートルの間隔、および１０〜２００マイクロメートルの範囲内の高さを有し得るが、本開示はそれらに限定されない。複数の３Ｄ微細構造体を含む基材を使用することの利点は、電池容量が増加するという点である。

場合によって採用される電子注入層２０は、負極層３０のための接着層および／または湿潤層としても作用し得る。電子注入層２０は、例えば、（例えば１〜１０ｎｍの範囲内の厚みを有する）酸化チタン薄層であり得るが、本開示はそれに限定されない。

描写した負極層３０は、誘電材料と、電極活物質、例えば電極活物質粒子との混合物を含むナノ多孔質複合層である。本開示の実施形態において、層３０は、電極活物質粒子を誘電マトリックス中に分散させた、誘電材マトリックスを含み得る。それは例えば、（多孔質）シリカ（ＳｉＯ_ｘ）マトリックス中に埋め込まれたＴｉＯ_ｘ非晶質ナノ粒子を例えば含む、シリカ−チタニアナノ多孔質複合層であってもよい。電極活物質ナノ粒子は例えば、５ｎｍより小さい直径を有し得、複合負極層３０内で隣接するナノ粒子間の距離は５ｎｍ未満であり得る。多孔質マトリックスの気孔率は例えば、２０〜６０％の範囲内、例えば２０〜４０％の範囲内、例えば３０％程度などであり得る。本開示のその他の実施形態において、ナノ多孔質複合電極層３０は、例えばシリカ、アルミナまたはジルコニアのナノ粒子などの誘電材料ナノ粒子と、例えばＴｉＯ_ｘナノ粒子などの電極活物質粒子との混合物を含み得る。誘電材料ナノ粒子は例えば、１０〜１００ｎｍ、例えば１０〜３０ｎｍの範囲内、例えば２０ｎｍ程度などの直径を有し得るが、本開示はそれらに限定されない。活物質ナノ粒子は、例えば５〜２０ｎｍの範囲内の直径を有し得るが、本開示はそれに限定されない。そのような複合電極層の気孔率は、例えば４０〜６０％の範囲内にあり得る。ＴｉＯ_ｘ非晶質ナノ粒子の代わりに、Ｎｉ（ＯＨ）_２に対する負極電位において電気化学的に活性であるその他の半導体金属の酸化物または水酸化物、例えばＴａ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏ、ＶまたはＮｂを含有する酸化物などを使用してもよいが、本開示はそれらに限定されない。負極層３０の厚みは例えば、５００ｎｍ〜１０マイクロメートルの範囲内、例えば１〜１０マイクロメートルの範囲内にあり得るが、本開示はそれらに限定されない。電極活物質ナノ粒子の埋め込まれた誘電性多孔質マトリックスを負極層３０が含む実施形態では、それは例えば、液体前駆体（例えばゾル−ゲル前駆体）のスピンコーティング、ブレードコーティング、スロットダイコーティング、スプレーコーティングまたはキャスティングを行って硬化させることにより提供され得る。負極層３０が誘電ナノ粒子と電極活物質粒子との混合物を含む実施形態では、それは例えば、ブレードコーティング、バーコーティング、スプレーコーティング、スクリーン印刷、インクジェット印刷またはペーストキャスティングによって提供され得る。

本開示の実施形態において、正極層５０は、固体電解質層４０および負極層３０の上の、電気析出により提供される「湿性」Ｎｉ（ＯＨ）_２層すなわちＮｉＯ・Ｈ_２Ｏ層である。正極層５０は、多孔質層であり、典型的には４０〜６０％の範囲内の気孔率を有する。それは例えば、１００ｎｍ〜１０マイクロメートル、例えば１００ｎｍ〜５マイクロメートル、例えば２００ｎｍ〜２．５マイクロメートルの範囲内の厚みを有し得るが、本開示はそれらに限定されない。

本開示の実施形態において、描写した固体電解質層４０は、例えば５〜５００ｎｍ、好ましくは１０〜１００ｎｍの範囲内の厚みを有する親水性の多孔質誘電層、例えば多孔質シリカ層などであり、当該多孔質層、例えば多孔質シリカ層は、（電池充電後に）内面または壁に水を吸着している複数の孔を有する。多孔質誘電層は例えば、１〜２０ｎｍの範囲内、例えば１０ｎｍ程度などの孔径を有し得るが、本開示はそれらに限定されない。気孔率は例えば、１０〜９０％、好ましくは２０〜６０％、例えば３０〜４０％の範囲内にあり得る。固体電解質層４０は、多孔質マトリックス、例えば多孔質シリカマトリックスを含む複合電解質層であり、その孔壁には水層が吸着しており、その吸着水層は電解質として作用する。本開示の実施形態において、固体電解質層４０は、単一層であってもよく、または積層物であってもよい。例えば、固体電解質層４０は、ＰＶＤまたはＣＶＤによる酸化シリコンの薄層（厚みは例えば５〜１０ｎｍ）とその上にある溶液処理された多孔質シリカ層とを含む積層物であってもよい。多孔質シリカ層は例えば、シリコーン前駆体またはＴＥＯＳ（オルトケイ酸テトラエチル）前駆体を使用してスピンコーティングによって形成され得る。ＰＶＤまたはＣＶＤによる酸化シリコン層を最初に提供することの利点は、当該酸化シリコン層がその下にある負極層３０の孔内への液体前駆体の浸透を防止し得るという点である。

本開示の実施形態において、正極集電体（金属接触層）６０は例えば、Ｎｉ、Ｗ、Ｔｉ、Ａｕ、Ｐｔまたはそれらの組み合わせを含み得るが、本開示はそれらに限定されない。

本開示の実施形態による電池セルの一部である層４０は、孔壁における吸着水層の存在に基づいて電解質として作用できる多孔質かつ親水性の層である。そのような層４０は、電解質膜を作り出す溶液で孔を満たすことにより、電解質として使用することもできる。それゆえ、層４０は、例えば燃料セル、電解装置および太陽光燃料セルで使用する例えばナフィオン（商標）などのプロトン伝導性およびヒドロキシル伝導性の膜を形成するためにも使用され得る。太陽光燃料セルは、太陽光からの光電気化学変換によって空気（水蒸気またはＣＯ_２）から化学物質（例えばＨ_２ガスまたはメタノール）を生成する光電解化学セルであり、電解質膜の隣に（光）カソードおよび（光）アノードを必要とする。

本開示の実施形態による装置の作動は、ナノ多孔質負極層３０の中および固体電解質層４０の中に存在している水分／水、より具体的には負極層３０の中および固体電解質層４０の中に存在する孔の壁または内面に吸着している水分／水に依存する。電池内でこの水分または水は、充電／放電中の電極での電子交換のための試薬として、かつイオン伝導のための手段（電解質層）として作用する。乾性の（例えばスパッタされた）ＮｉＯ層を正極層として使用する既知の手法に比べて、Ｎｉ（ＯＨ）_２層を正極層５０として使用する本開示の実施形態の利点は、以下でさらに説明するように全体としてのカソードおよびアノードのセル反応にＨ_２Ｏの正味の消費が存在しないという点である。それゆえ、乾性ＮｉＯ層を正極層として使用する既知の方法とは対照的に、表面水層が「干上がる」恐れが回避されるかまたは実質的に軽減される。

乾性ＮｉＯ正極層の場合、充電／放電セル反応は：
負極では

そして
正極では

と記述できる。

そうしてＮｉＯ正極層の場合での全体としての充電／放電セル反応は：

と記述できる。これは、電池の充電中に負極においてＨ_２Ｏの消費があり、それが正極において補償されない、ということを示す。これは、電池充電中にＨ_２Ｏの正味の消費をもたらす。水は電解質機能を提供するためにも必要であるため、この電池で乾性ＮｉＯ正極層を使用することは、好ましくない手法である。

「湿性」Ｎｉ（ＯＨ）_２正極層の場合、充電／放電セル反応は：
負極３０では

そして
正極５０では

と記述できる。

そうしてＮｉ（ＯＨ）_２正極層の場合での全体としての充電／放電セル反応は：

と記述できる。これは、Ｎｉ（ＯＨ）_２正極層を使用する場合に電池の充電中に反応（５）に従ってＮｉ（ＯＨ）_２からＨ_２Ｏが作り出されるということを示す。これは負極での（４）によるＨ_２Ｏの消費を補償する。放電中には逆の反応が起こる。それゆえ、充電／放電中に水の正味の消費が存在しない。これは、表面水層が影響を受けないままであり得、よってその電解質機能が維持され得る、ということを意味する。したがって、「湿性」Ｎｉ（ＯＨ）_２正極層をこの電池で使用することは、好ましい手法である。

Ｎｉ（ＯＨ）_２層を正極層５０として使用する本開示の実施形態のさらなる利点は、水および水酸化物イオンとの反応がＮｉ（ＯＨ）_２電極層全体に亘って（つまり電極層の厚み全体に亘って）起こり得るという点である。乾性の（例えばスパッタされた）ＮｉＯ層を正極層として使用する既知の手法では、「乾性」ＮｉＯ層を貫くＯＨ⁻拡散が速度論的に制限されるために反応が電極層の表面部分に制限され、結果として充電中におけるＮｉＯ層の表面部分のみが利用され、表面部分のみ、すなわちＮｉＯ／電解質界面のみにＮｉＯＯＨ層が形成される。Ｎｉ（ＯＨ）_２電極層の場合、「湿性」（含水）Ｎｉ（ＯＨ）_２層を貫いてＯＨ⁻拡散が起こり、まずＮｉ（ＯＨ）_２層と集電体層（例えばＮｉ層）との界面にＮｉＯＯＨ層が形成され、その後にＮｉ（ＯＨ）_２層全体に亘ってＮｉＯＯＨ層がさらに形成される（さらに広がる）。これを図２ａ〜図２ｃに模式的に示す。

図２ａは、例えばＮｉ層などの金属層６０と、「乾性」ＮｉＯ電極層７０（例えばスパッタされたＮｉＯ層）とを含む積層物の断面を模式的に示す。ＮｉＯ層７０はバルク水を含有しないが、水はＮｉＯ層７０の露出面付近（または、電池構造体の中では固体電解質層との界面）でのみ利用可能である。結果として、電極層７０の厚みｄ_１の表面部分７１のみが水に接近できる。したがってそのような構造体では、水との電気化学反応は、（実質的に非多孔質の）ＮｉＯ層の厚みｄ_１の表面部分７１においてのみ起こり、この表面部分７１が充電反応中にＮｉＯＯＨへと変換される（ＮｉＯ＋ＯＨ⁻→ＮｉＯＯＨ＋ｅ⁻）。「乾性」ＮｉＯ層７０を貫くＯＨ⁻拡散は速度論的に制限される。ＮｉＯＯＨの形成は、ＮｉＯ層７０の露出面で起こることが好ましい、というのも、乾性ＮｉＯ層を貫くイオン抵抗は電子抵抗よりも高いからである。例えば、表面部分７１の厚みｄ_１は、厚み３００ｎｍのＮｉＯ層７０での実験に基づいて４０ｎｍ程度であることが見積もられた。これは、ＮｉＯの充電容量、したがって電池のエネルギー密度および容量を制限する。

図２ｂは、例えばＮｉ層などの金属層６０と、水を含有するＮｉ（ＯＨ）_２電極層５０、すなわちＮｉ（ＯＨ）_２・Ｈ_２Ｏ層とを含む積層物の断面を模式的に示す。まず、金属層６０との界面にある含水Ｎｉ（ＯＨ）_２電極層５０の一部５２が、充電中に含水ＮｉＯＯＨ層へと変換される（つまり、Ｎｉ（ＯＨ）_２・Ｈ_２Ｏ層５０がＮｉＯＯＨ・Ｈ_２Ｏに変換される）。そのような構造体では、水との電気化学反応（Ｎｉ（ＯＨ）_２＋ＯＨ⁻→ＮｉＯＯＨ＋Ｈ_２Ｏ＋ｅ⁻）は、金属層６０と電極層５０との界面にある一部５２でのみならず、図２ｃに模式的に示すようにＮｉ（ＯＨ）_２電極層の全厚みｄ_２の全体に亘って起こり得る。これは、含水Ｎｉ（ＯＨ）_２（すなわちＮｉ（ＯＨ）_２・Ｈ_２Ｏ）層を貫く比較的速いＯＨ⁻拡散に関係している。Ｎｉ（ＯＨ）_２の電子抵抗はイオン拡散に対するその抵抗よりも大きいため、Ｎｉ／Ｎｉ（ＯＨ）_２界面でＮｉＯＯＨの形成が始まる。

例えば、（ＴｉＮ／Ｎｉ集電体層上に提供された）Ｎｉ（ＯＨ）_２電極層を含む構造体に対して０．２ＭのＬｉＯＨ溶液中で実施した半セル測定からは、電気化学析出により作製したＮｉ（ＯＨ）_２電極層５０が同様の厚みの乾性ＮｉＯ電極層７０よりもはるかに高い容量を有するということが示された。直接スパッタおよび反応性スパッタをした厚み３００ｎｍの乾性ＮｉＯ電極層の測定容量はいずれも約２マイクロＡｈ／ｃｍ^２であった。３０％の気孔率を有する厚み３２０ｎｍのＮｉ（ＯＨ）_２電極層については、２０マイクロＡｈ／ｃｍ^２（約６００ｍＡｈ／ｃｍ^３）の容量が測定された。したがって、Ｎｉ（ＯＨ）_２層を正極層として使用することの利点は、それによって充電容量が増加するという点である。

Ｎｉ（ＯＨ）_２電極層を含む固体電池を製造する場合、堆積後の温度総負荷量（すなわち、湿性Ｎｉ（ＯＨ）_２層の堆積後に高温で行ったプロセスステップに関係する温度総負荷量）は、湿性電極層の品質、したがって電池性能に影響を与える可能性があり、構造変化を招く可能性がある。例えば、８０〜１１０℃の範囲内の温度で始めると、表面の水が除去される。より高い、例えば１６０〜２４０℃で始まる温度では、電極層内に組み込まれている水分が除去され、１７０〜２３０℃より高い温度ではＮｉ（ＯＨ）_２のＮｉＯへの分解が観察される。これは例えば、Ｎｉ（ＯＨ）_２電極５１を含む固体電池１０１であって図１に示す積層物とは逆のものに相当する図３に模式的に示す積層物に基づいた電池１０１を製造する場合に、あてはまり得る。図３に示す積層物を製造する場合、（正極集電体を含む）基材１３上にＮｉ（ＯＨ）_２正極層５１を堆積させ、続いてＮｉ（ＯＨ）_２電極層５１上に固体電解質層４１および負極層３１を堆積させ、最後に集電体層６１を堆積させる。この製造プロセスは、例えば負極層３１の形成中に、典型的には５００℃程度の温度での焼成ステップを含むであろう。５００℃の焼成ステップは、Ｎｉ（ＯＨ）_２層５１を乾燥させてＮｉＯに分解させる恐れが大きい。したがって、これらの望ましくない影響を回避するためには、Ｎｉ（ＯＨ）_２正極層を有する電池を作製するとき、負極層を提供した後にＮｉ（ＯＨ）_２層を堆積させる製造プロセスを選択することが好ましい。これは、図１に示す積層物（層配列）に相当する。図１に示す積層物を製造するためには、電気絶縁層の上、図１に示す例では電気絶縁性の固体電解質層４０（多孔質シリカ層）および負極層３０の上に、湿性薄膜Ｎｉ（ＯＨ）_２層５０を堆積させるのを可能にする方法が必要である。

本開示は、電気析出によって湿性Ｎｉ（ＯＨ）_２層５０をナノ多孔質誘電層（固体電解質層４０）の上に直接形成する方法を提供する。本開示の実施形態による電気析出方法の利点は、堆積の間の電流または電圧、および堆積に使用する溶液の組成などの（例えば図５でさらに示すような）堆積条件を制御することによってＮｉ（ＯＨ）_２層の気孔率を制御することが可能になるという点である。堆積中に通す荷電体を制御することによって厚みを制御できることは有益である。Ｎｉ（ＯＨ）_２層は、本開示による電池において正極層５０として使用される場合、４０〜６０％の範囲内の気孔率および、１００ｎｍ〜１０マイクロメートル、例えば１００ｎｍ〜５マイクロメートル、例えば２００ｎｍ〜２．５マイクロメートルの範囲内の厚みを有することが好ましいが、本開示はそれらに限定されない。

驚くべきことに、（導電性集電体層１２上のナノ多孔質複合負極層３０の上に提供される）ナノ多孔質誘電層４０上に直接、Ｎｉ（ＯＨ）_２層５０を電気析出させることに成功した。誘電層４０は、少なくとも５〜１０ｎｍ（典型的には１０〜１００ｎｍ）の厚みを有する非導電性の層であるため、電気化学堆積に必要な電子がこの層を通過することはできず、誘電／液体界面での電気析出反応は可能でないと予想されるであろう。

理論にとらわれることはないが、導電層（本開示の装置では負極集電体層１２に相当）を下に有したナノ多孔質誘電層（本開示の装置では固体電解質層４０に相当）上でのＮｉ（ＯＨ）_２層の電気化学堆積のメカニズムは、導電層での硝酸塩の電気化学的還元（ＮＯ_３ ⁻＋Ｈ_２Ｏ＋２ｅ⁻→ＮＯ_２ ⁻＋２ＯＨ⁻）の結果として、遊離ＯＨ⁻およびナノ多孔質誘電層を貫くＯＨ⁻伝導によって導電層の導電性表面のみならずその上のナノ多孔質誘電層の表面においてもｐＨが増大すること；ならびに、多孔質誘電層の表面にＮｉ（ＯＨ）_２を析出させるＮｉ^２＋とＯＨ⁻との化学反応：Ｎｉ^２＋＋２ＯＨ⁻→ＮｉＯ・Ｈ_２Ｏ↓
によって、説明され得る。

したがって、理論にとらわれることはないが、ナノ多孔質誘電層上でのＮｉ（ＯＨ）_２層５０の電気析出による電気化学堆積のメカニズムは、イオンを伝導するが電子を伝導しない多孔質誘電層では電気析出反応に必要なｐＨ変化も起こるという仮説によって、説明され得る。ｐＨ変化が孔の内部に蓄積し、最終的には誘電層と溶液との界面にある表面層に蓄積し、そこで電気析出が起こる、と推測される。ＮＯ_３ ⁻イオンは、電解質溶液からナノ多孔質誘電層の孔を通って、下にある導電性集電体層に向かって拡散し得る。それらは集電体にてＮＯ_２ ⁻へと還元され得る（ＮＯ_３ ⁻＋Ｈ_２Ｏ＋２ｅ⁻→ＮＯ_２ ⁻＋２ＯＨ⁻）。これに続いて、発生したＯＨ⁻イオンが外部へ（つまり、集電体からナノ多孔質誘電層を通って、電解質浴と接触している誘電層露出面に向かって）拡散し得る。次いでナノ多孔質誘電層の露出面でのＮｉ^２＋とＯＨ⁻との化学反応が誘電層表面でのＮｉ（ＯＨ）_２の析出をもたらし得る（Ｎｉ^２＋＋２ＯＨ⁻→ＮｉＯ・Ｈ_２Ｏ↓）。

本開示の実施形態において、析出反応は、多孔質誘電層４０の下のナノ多孔質複合負極層３０内に存在する電極活物質（例えばチタニア）の電気化学的充電の後に起こり得る。実際、Ｎｉ（ＯＨ）_２の電気化学堆積に必要な総電荷の計算または較正の際には、チタニア−シリカ複合層の反応（４）による初期充電を考慮に入れなければならない。本開示の実施形態によるナノ多孔質誘電層４０上でのＮｉ（ＯＨ）_２の電気化学堆積は２ステップすなわち２段階で起こることが分かった。電気化学プロセスの第１ステップすなわち第１段階では、ナノ多孔質複合負極層３０が充電される。この初期充電ステップの結果、それが導電体になり、Ｎｉ（ＯＨ）_２材料の実際の堆積（電気化学堆積プロセスの第２ステップすなわち第２段階）が始まる。

実験１：Ｎｉ上でのＮｉ（ＯＨ）_２の電気析出

０．０１ＭのＮｉ（ＮＯ_３）_２溶液を使用し総電荷Ｑ＝−０．２６Ｃ／ｃｍ^２でＴｉＮ／Ｎｉ積層物上での定電流堆積を行うことによってＮｉ（ＯＨ）_２層を形成する実験を行った。図４は、ＲＢＳ（ラザフォード後方散乱分光法）により決定した堆積層のニッケル含有量から算出した陰極堆積電流密度の関数としての測定電流効率を示す。図５は、ＳＥＭ（黒四角）によって決定した対応する膜の厚みおよび、算出気孔率（黒三角）を、陰極堆積電流密度の関数として示す。

堆積させたＮｉ（ＯＨ）_２の量（ｎ（Ｎｉ）、単位：モル／ｃｍ^２）、したがって電極の貯蔵容量は：

に従って電流密度（ｉ、単位：Ａ／ｃｍ^２）と堆積時間（ｔ、単位：秒）とによって決定されることが示された。式中、Ｆは９６４８５Ｃ／ｍｏｌ（ファラデー定数）、ｚ＝２（ＮＯ_３ ⁻の還元によって２ＯＨ⁻イオンと交換された電子の数に対応）であり、η（ｉ）は％表示での電流効率または堆積効率である。図４に示す電流効率はこの式に従って算出した。ＲＢＳによって測定したＮｉの量は、０．２ＭのＬｉＯＨ中、走査速度２０ｍＶ／ｓでの図６に示すサイクリックボルタンメトリー測定（電位対Ａｇ／ＡｇＣｌ）によって決定された電極容量から決定した堆積Ｎｉ（ＯＨ）_２の量に、非常によく一致することが分かった。これらの曲線は、Ｎｉ（ＯＨ）_２層の反応（５）による正極としての活性を例証している。ボルタモグラムの正の、つまりアノードのピークは、Ｎｉ（ＯＨ）_２をＮｉＯＯＨへと酸化する電極反応に対応する。ボルタモグラムの負の、つまりカソードのピークは、ＮｉＯＯＨをＮｉ（ＯＨ）_２へと還元する逆反応を示す。アノードピークおよびカソードピークの下の電荷は実質的に等しいことが分かり、可逆性が示された。ピークにおいて積分した電荷は、反応（５）によるＮｉ（ＯＨ）_２層の電荷に等しい。ピーク下で積分した電荷は、Ｎｉ（ＯＨ）_２層の体積容量に関係している。いくつかのＮｉ（ＯＨ）_２層について算出した体積容量を、堆積電流密度の関数として図７に示す。ＲＢＳによって測定したＮｉの量に基づき（かつ緻密な非多孔質層を仮定して）、９９０Ａｈ／ｌの理論容量が算出された。Ｎｉ（ＯＨ）_２層は多孔質であるため、緻密層の場合に比べて、実際の体積はより大きく、かつ（図７に示す）実際の体積容量はより低い。図７では容量を、ＳＥＭによって測定した実際の層厚みに規格化している。

膜の気孔率（％表示）は、（ｎ（Ｎｉ）に関係する）電流密度の関数であり、測定膜厚（ｄ、単位：ｃｍ）から：

に従って決定できることが見出された。式中、Ｎｉ（ＯＨ）_２・Ｈ_２Ｏの分子量としてＭＷ＝１１０．７２ｇ／モルであり、Ｎｉ（ＯＨ）_２・Ｈ_２Ｏの密度としてρ＝４．１ｇ／ｃｍ^３である。

実験２：ナノ多孔質チタニア−シリカ上でのＮｉ（ＯＨ）_２の電気析出

ナノ多孔質チタニア−シリカ層（本開示の一実施形態による装置において負極層３０に相当）上での定電流堆積によってＮｉ（ＯＨ）_２層を本開示の実施形態に従って形成する実験を行った。ＴｉＮ層の上に厚み５００ｎｍまたは８００ｎｍのナノ多孔質チタニア−シリカ複合負極層３０を有しているＴｉ（１５ｎｍ）／ＴｉＮ（１５０ｎｍ）積層物（第１集電体層１２）で洗浄済ｎ型シリコン基材１１を被覆したものを使用した。ナノ多孔質チタニア−シリカ層は、前駆体溶液のスピンコーティングおよび焼成によって形成した。５００ｎｍ厚のナノ多孔質チタニア−シリカ層を形成するには、後に続く２回のコーティングステップを用い、８００ｎｍ厚のナノ多孔質チタニア−シリカ層を形成するには、後に続く３回のコーティングステップを用いた。定電流堆積プロセスでは、２つの異なる堆積電流密度を用いた。１つの実験では、−０．０５Ａ／ｃｍ^２の堆積電流密度を用い、結果として約５０％の気孔率を有するＮｉ（ＯＨ）_２層を得た。もう１つの実験では、−０．２ｍＡ／ｃｍ^２の堆積電流密度を用い、結果として約３０％の気孔率を有するより緻密なＮｉ（ＯＨ）_２層を得た。厚み２００ｎｍ〜２．５マイクロメートルのＮｉ（ＯＨ）_２層の堆積に成功した。厚みは、上述したとおり適切な堆積時間および電流密度を選択することによって制御した。いくつかの実験では、Ｎｉ（ＯＨ）_２層５０の堆積物がチタニア−シリカ複合電極層３０上に直接得られた。さらなる実験を実施して、電解質層４０として作用する（チタニア−シリカ複合体層３０の上に提供されている）多孔質誘電層上にＮｉ（ＯＨ）_２層５０の堆積物を得ることに成功したが、当該多孔質誘電層４０は、１０ｎｍ厚のＰＶＤ酸化シリコン層、１０ｎｍ厚のＰＥＣＶＤ窒化シリコン層、またはシリコン／キシレン前駆体混合物から得た１０〜３０ｎｍ厚のスピンコートナノ多孔質シリカ層のいずれかから構成されるものであった。

一例として以下に、洗浄済ｎ型シリコン基材上のＴｉ（１５ｎｍ）／ＴｉＮ（１５０ｎｍ）積層物（集電体層）と、ＴｉＮ層の上の７５０ｎｍ厚の（後に続く３回のスピンコーティングおよび焼成のステップによって形成した）ナノ多孔質チタニア−シリカ複合負極層３０と、負極層３０上の１０ｎｍのＰＶＤ酸化シリコン層４０とを含む基材上に本開示の一実施形態に従って定電流で堆積させたＮｉ（ＯＨ）_２層についての結果を示す。定電流堆積プロセスでは、０．０１ＭのＮｉ（ＮＯ_３）_２溶液および−０．２Ａ／ｃｍ^２の堆積電流密度（総電荷＝−１．０４Ｃ／ｃｍ^２）を用いた。Ｎｉ（ＯＨ）_２層の厚みは約１．２マイクロメートルであった。図８は、Ｎｉ（ＯＨ）_２層の電気化学堆積中に測定した、時間の関数としての電位対Ａｇ／ＡｇＣｌを示す（上の曲線）。比較のために、導電性Ｎｉ基材上での堆積中の電位（−０．２ｍＡ／ｃｍ^２の電流密度、総電荷＝−０．２６Ｃ／ｃｍ^２で実施した、図４および図５にも報告している実験）も図８に示す。ナノ多孔質電極層とナノ多孔質酸化シリコン層とを含む積層物上での電着の電位対Ａｇ／ＡｇＣｌは、ナノ多孔質誘電積層物の付加的な抵抗のために、Ｎｉ上での堆積に比べてより負の値にシフトする。さらに、ナノ多孔質電極層とナノ多孔質酸化シリコン層とを含む積層物上での堆積は、電位対Ａｇ／ＡｇＣｌの初期の低下を示す。これは、上述したＮｉ（ＯＨ）_２の実際の堆積が始まる前の負極層３０の充電に関係している。図８の挿入図は、ピーク時に１６ｍＣ／ｃｍ^２に達し、平坦部に到達したときに約２５ｍＣ／ｃｍ^２に達することを示している。この電荷は、複合負極層３０内のＴｉＯ_ｘの反応（４）による充電に使用され、複合電極の総容量の約３５％までを占める。これは、本開示の実施形態においてＮｉ（ＯＨ）_２層の堆積に必要な電荷を見積もるときに、複合負極層３０の充電に必要なこの付加的な電荷を考慮に入れる必要があるということを明確に示している。

本開示はさらに、図１に模式的に示しかつ上に述べた、積層物を有する電池セル１００を製造する方法を提供する。この方法は：担体基材１１上に負極集電体層１２を提供すること（または負極集電体層１２を含むかもしくは負極集電体層の機能を有する基材１０を提供すること）を含み；場合により、負極集電体層１２上に電子注入層２０を提供することを含み；負極集電体層１２上または、存在する場合には電子注入層２０上に、ナノ多孔質複合層である負極層３０（第１電極層）を提供することを含み；多孔質誘電層である固体電解質層４０を負極層３０上に提供することを含み；さらに、電気化学堆積プロセス、例えば電気析出プロセスによって、Ｎｉ（ＯＨ）_２層である正極層５０（第２電極層）を多孔質誘電層４０上に提供することを含む。方法はさらに、正極集電体層６０（第２集電体層）をＮｉ（ＯＨ）_２正極層５０上に堆積させることを含む。

ナノ多孔質複合負極層３０は、誘電材料と電極活物質（例えば電極活物質ナノ粒子）との混合物を含む。それは例えばチタニア−シリカ複合層であってもよい。本開示の実施形態において、ナノ多孔質複合負極層３０は、誘電材料ナノ粒子、例えばシリカ、アルミナまたはジルコニアのナノ粒子と、活物質ナノ粒子、例えばチタニアナノ粒子または、例えばＴａ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏ、ＶもしくはＮｂを含有する酸化物ナノ粒子との混合物を含み得るが、本開示はそれらに限定されない。そのような複合層は例えば、基材上での前駆体混合物の溶液処理、例えば、キャスティング、ブレードコーティング、スプレーコーティングまたは印刷、および焼成によって、形成され得る。当該混合物は、例えば、ナノ粒子複合スラリーまたはインク、例えば溶媒中に懸濁させたナノ粒子の混合物であり得る。本開示のその他の実施形態において、ナノ多孔質複合負極層３０は、電極活物質（例えば電極活物質粒子、例えばチタニア粒子）を中に分散させた誘電材料マトリックス（例えばシリカマトリックス）を含み得る。そのような複合層は、例えば、化学溶液堆積（ＣＳＤ）によって形成され得る。それは例えば、シリカおよびチタニアを化学前駆体分子、例えばチタニア用のＴｉ（ＩＶ）−有機酸錯体およびシリカ用のＴＥＯＳまたはシリコーンなどから形成する、ゾル−ゲル法によって形成され得る。両者の合剤、例えば多孔質シリカ用のゾル−ゲル混合物中にチタニアナノ粒子を懸濁させたものを使用することもできる。

負極層３０の堆積後、層を活性化させるため、つまり層を（例えばメチル基などの疎水性基の除去によって）親水性にするために、活性化ステップ、例えばＵＶ硬化ステップを実施することが好ましい。この実験では、２５４ｎｍに鋭いピークを有するＵＶＣスペクトルを用いて７０ｍＷ／ｃｍ^２の放射照度で２時間かけてＵＶ硬化を行った。しかしながら本開示はそれに限定されず、その他の適切なＵＶ照射パラメータを使用してもよい。ＵＶ硬化の代わりに、またはＵＶ硬化に加えて、湿潤雰囲気中（例えば、水または水蒸気を含有する雰囲気中）でのアニーリング、例えば、Ｈ_２およびＯ_２を含む環境での４００〜５５０℃の範囲内の温度での１〜３時間のアニーリングなどが当該活性化に含まれていてもよいが、本開示はそれらに限定されない。例えば、実験では、５００℃の炉内にて２時間、５ｓｌｍのＨ_２および３．７５ｓｌｍのＯ_２の流量でウェハを焼成することにより、湿式アニールを行った。ＵＶ照射ステップおよび／または湿式アニールステップは、負極層３０を堆積させた直後に行ってもよい。これに代えて、またはこれに加えて、負極層３０の上に電解質層４０を形成した後、つまり負極層３０および電解質層４０と同時に、そのステップを行ってもよい。

多孔質固体電解質層４０としては、作動条件下で安定でありかつ、孔壁上に表面水層を形成させるのに十分に親水性である（つまり、少なくとも連続した水の単層の形成を可能にする）いかなる誘電材料も使用できる。使用され得る材料の例は、酸化シリコン、例えばＣＶＤもしくはＰＶＤにより形成された薄い酸化シリコンまたは、スピンオン堆積もしくはゾル−ゲル法などの溶液処理によって形成された薄い酸化物（厚み１０〜１００ｎｍ）、および窒化物（厚み５〜１０ｎｍ）である。例えば、薄い多孔質酸化物は、シリコーン／キシレン混合物を含む前駆体のスピンコーティング、および焼成によって形成され得る。堆積方法および条件は、酸化物がその下のナノ多孔質電極層３０を埋めるかまたは塞ぐことのないように、選択すべきである。適切な方法の例は、ゾル−ゲル処理、ＰＶＤおよびＣＶＤである。多孔質誘電層４０の孔径は、例えば、１〜２０ｎｍの範囲内、例えば１０ｎｍ程度などであり得るが、本開示はそれらに限定されない。気孔率は例えば、１０〜９０％、好ましくは２０〜６０％、例えば３０〜４０％の範囲内にあり得る。

例えば、実験では、スピンコーティングおよび焼成によって多孔質酸化物層４０をナノ多孔質シリカ−チタニア層上に堆積させた。多孔質酸化物層４０を形成するためのゾル−ゲル前駆体溶液は、２３．０ｍｌのキシレンと７．０ｍｌのシリコーンオイルとを混合することによって調製した。これはＡｒグローブボックス内で行った。振盪器を使用して溶液を１０分間ゆっくり振盪することによって混合物を得た。ピペットを使用して８インチの基材上に３ｍｌの前駆体溶液を滴下し、その後、１０００ｒｐｍでスピンコートした。これに続いて、８０℃で１０分間の乾燥ステップおよび、空気中、ホットプレート上での３５０℃で１０分間のプリベークステップを行った。次に、７９％のＮ_２および２１％のＯ_２を含む雰囲気中、５００℃の炉内で２時間、ハードベークステップを行った。

本開示の実施形態において、正極層５０は、電気析出させたＮｉ（ＯＨ）_２層である。Ｎｉ（ＯＨ）_２堆積のための電解質浴としては、様々な電解液が使用され得る。Ｎｉ^２＋源が必要である。Ｎｉ^２＋濃度は、例えば、１ｍＭ〜１Ｍの範囲内にあり得る。この範囲内で低濃度、例えば０．０１Ｍ程度の濃度などを用いることが好ましい。この範囲内で濃度が低い方が、より滑らかかつより均一な堆積物がもたらされるということが実験的に観察された。それはまた、下にある多孔質層の孔内でのＮｉのめっき形成および堆積を防止するのを可能にする。アニオンとしては、ＮＯ_３ ⁻が好ましいが、反応に無関係でありかつＮｉ（ＯＨ）_２堆積物を溶解させないいかなるアニオンも使用できる。例はＳＯ_４ ^２−およびＣＨ_３ＣＯＯ⁻であるが、本開示はそれらに限定されない。さらに、酸化剤が必要である。これは、（Ｎｉ（ＮＯ_３）_２電解質または無関係なＫ^＋、Ｎａ^＋、Ｌｉ^＋などのカチオンを伴う）ＮＯ_３ ⁻系であることが好ましいが、電気還元時にｐＨ上昇を導入するいかなる酸化剤、例えば、水（ピンホールの原因となり得る水素の形成が欠点である）、Ｏ_２（溶液中に内在するかまたはパージングによって添加される）またはＨ_２Ｏ_２（不安定であるのが欠点である）などであっても機能する。方法は、例えばＮａ_２ＳＯ_４などの、補助用または無関係の電解液を使用するかまたは使用せずに、実施され得る。

正極集電体層６０は、例えばＰＶＤ（物理蒸着）によって堆積させ得る。それは、例えば、Ｎｉ、Ｗ、Ｔｉまたはそれらの組み合わせを含み得るが、本開示はそれらに限定されない。

実験３：電池セルの製造

本開示の方法の一実施形態に従って電池セル１００を製造した。１５ｎｍ厚のＴｉ層と１５０ｎｍ厚のＴｉＮ層とから構成される金属積層物１２を８インチのシリコン担体基材１１上に堆積させた。この金属積層物は、負極集電体層１２を形成する（そして、基材１０の一部と見なされる）。ＴｉＮ層上に７５０ｎｍ厚のチタニア−シリカ複合負極層３０を、前駆体溶液のスピンコーティングおよび焼成によって形成した。負極層用の前駆体溶液は、Ａｒグローブボックス内で２５ｍｌのテトラヘプタン酸チタン（ＩＶ）塩を４５．９ｍｌのキシレン（溶媒）および６．２５ｍｌのシリコーンオイル（化学前駆体）と混合することによって調製した。まず、キシレンをテトラヘプタン酸チタン（ＩＶ）塩に注ぎ、次にシリコーンオイルをこの溶液に添加した。振盪器を使用して溶液を１０分間ゆっくり振盪することによって混合物を得た。ピペットを使用して８インチの基材上に３ｍｌの前駆体溶液を滴下し、その後、１０００ｒｐｍでスピンコートした。これに続いて、８０℃で１０分間の乾燥ステップおよび、空気中、ホットプレート上での３５０℃で１０分間のプリベークステップを行った。スピンコーティング、乾燥およびプリベークのこの一連のステップを、必要な層厚みに応じて２回または３回実施した。単回のコーティングおよび焼成ステップの結果として、約２５０ｎｍの層厚みが得られた。その後、Ｎ_２が７９％でありＯ_２が２１％である雰囲気中、５００℃の炉内で２時間、ハードベークステップを行った。その後、ＵＶ硬化ステップを行った。これは、高出力ＵＶＣ照射チャンバ内で、２５４ｎｍに鋭いピークを有するＵＶＣスペクトルを用いて７０ｍＷ／ｃｍ^２の放射照度で２時間かけて行った。その後、５ｓｌｍのＨ_２および３．７５ｓｌｍのＯ_２の流量で５００℃の炉内でウェハを２時間焼成することにより、湿式アニールを行った。

プラズマスパッタリングを用いて１０ｎｍ厚の酸化シリコン層４０を負極層３０の上に堆積させた。この層の気孔率は１０〜３０％の範囲内にあると見積もられた。次に、試料をＩＰＡで洗浄し、窒素ガンで乾燥させた。

その後、２００ｎｍ厚のＮｉ（ＯＨ）_２層（正極層５０）を酸化シリコン層上に電気化学的に堆積させた。定電流堆積プロセスでは、白金対極およびＡｇ／ＡｇＣｌ参照電極とともに０．０１ＭのＮｉ（ＮＯ_３）_２溶液を使用した。堆積電流密度は、−０．０５Ａ／ｃｍ^２であった。総電荷Ｑは、−０．１１５Ｃ／ｃｍ^２であった。Ｎｉ（ＯＨ）_２層の定電流堆積に必要な総電荷を見積もる際、チタニア−シリカ複合電極層３０の反応（４）による初期充電を考慮に入れた。この特定の例では、初期充電（電気化学プロセスの第１段階）には−０．０６５Ｃ／ｃｍ^２の電荷が必要であり、Ｎｉ（ＯＨ）_２の実際の堆積（電気化学プロセスの第２段階）には−０．０５０Ｃ／ｃｍ^２の電荷が必要であり、結果として総電荷が−０．１１５Ｃ／ｃｍ^２になる、ということが分かった。

次に、プラズマスパッタリングによって１５０ｎｍ厚のＮｉ層（正極集電体層６０）をＮｉ（ＯＨ）_２正極層５０上に堆積させた。図９は、結果として得られた積層物のＳＥＭ写真を示す。

図１０に示すように、この装置に対して実施したサイクリックボルタンメトリー測定値は明確な放電ピークを示し、装置が電気化学的に活性であることを指し示している。

図１１は、この電池の時間の関数としての測定放電電圧を示す。電池をまず２Ｖで５分間充電した。その後、電池電圧が０Ｖに達する（時間ｔ＝ｔ_{ｃｕｔ−ｏｆｆ}の時）まで、電池を電流密度ｊ＝−５０マイクロＡ／ｃｍ^２で放電させた。測定電池電圧（放電電圧Ｕ）を時間の関数として図１１に示す。この電圧プロファイルからエネルギーＥを

のとおりに算出し、その結果、エネルギー密度Ｅは０．３マイクロＷｈ／ｃｍ^２であった。

上記記載は、本開示の特定の実施形態を詳述している。しかしながら、本文中で上記がどれほど詳しく書かれているようであっても、本開示が多くの方法で実施され得ることが理解される。本開示の特定の特徴または態様を説明する場合での特定の専門用語の使用は、本明細書中で専門用語がその専門用語に関連する本開示の特徴または態様の任意の具体的特性を含むことに制限されるように再定義されることを暗に示していると解釈されるべきでないことに、留意されたい。

本発明による装置について、好ましい実施形態、具体的な構成および配置、ならびに材料を本明細書中で述べてきたが、本発明の範囲および精神から逸脱することなく外形および細部に様々な変更または改変がなされ得るということを理解されたい。例えば、記載した方法に対してステップの追加または削除が本発明の範囲内でなされ得る。

上記の詳細な説明、および本開示の概要は、装置を製造する方法を中心としたものであったが、本開示は、上記の実施形態のいずれかによる方法を用いて得られる装置に関するものでもある。

Claims (15)

1. 第１集電体層を含む基材上に薄膜固体電池セルを製造する方法であって、
   該第１集電体層の上に第１電極層を堆積させる工程であって、該第１電極層は、孔壁を有する複数の孔を含むナノ多孔質複合層であり、該第１電極層は、誘電材料と電極活物質との混合物を含む工程；
   該第１電極層の上に多孔質誘電層を堆積させる工程；および、
   第２電極層を該多孔質誘電層上に直接堆積させる工程、を含み、
   該第２電極層を堆積する工程は、電気化学堆積プロセスによって多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層を堆積させる工程を含むことを特徴とする、方法。
2. 前記第１電極層を堆積させる工程の後に、前記第１電極層の前記孔壁を親水化する工程をさらに含む、請求項１に記載の薄膜固体電池セルを製造する方法。
3. 前記第１電極層の前記孔壁を親水化する工程は、ＵＶ硬化工程を実施する工程を含む、請求項２に記載の薄膜固体電池セルを製造する方法。
4. 前記第１電極層の前記孔壁を親水化する工程は、湿潤雰囲気中でアニーリング工程を実施する工程を含む、請求項２に記載の薄膜固体電池セルを製造する方法。
5. 前記電気化学堆積プロセスは、電気析出プロセスである、請求項１〜４のいずれかに記載の薄膜固体電池セルを製造する方法。
6. 前記電気化学堆積プロセスは、前記第１電極層を充電してそれによって該第１電極層を導電性にする工程を含む第１段階と、前記多孔質誘電層上でのＮｉ（ＯＨ）_２材料の析出を含む第２段階とを含む、請求項１〜５のいずれかに記載の薄膜固体電池セルを製造する方法。
7. 前記第２電極層の上に第２集電体層を堆積させる工程をさらに含む、請求項１〜６のいずれかに記載の薄膜固体電池セルを製造する方法。
8. 薄膜固体電池セルであって、
   第１集電体層；
   該第１集電体層の上の第１電極層であって、該第１電極層は、孔壁を有する複数の孔を含むナノ多孔質複合層であり、該第１電極層は、誘電材料と電極活物質との混合物を含む第１電極層；
   該第１電極層の上の多孔質誘電層；および、
   該多孔質誘電層に直接付着した第２電極層；を含み、
   該第２電極層は薄膜多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層であることを特徴とする、薄膜固体電池セル。
9. 前記薄膜多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層の厚みは、１００ｎｍ〜１０マイクロメートルの範囲内にある、請求項８に記載の薄膜固体電池セル。
10. 前記薄膜多孔質Ｎｉ（ＯＨ）_２層は、４０〜６０％の範囲内の気孔率を有する、請求項８〜９のいずれかに記載の薄膜固体電池セル。
11. 前記第１電極層は、２０〜６０％の範囲内の気孔率を有するシリカ−チタニアナノ多孔質層である、請求項８〜１０のいずれかに記載の薄膜固体電池セル。
12. 前記多孔質誘電層は、１０〜９０％の範囲内の気孔率を有する多孔質シリカ層である、請求項８〜１１のいずれかに記載の薄膜固体電池セル。
13. 前記第１電極層の誘電材料と電極活物質との前記混合物は、電極活物質粒子を中に分散させた誘電材マトリックスを含む、請求項８〜１２のいずれかに記載の薄膜固体電池セル。
14. 前記第１電極層の誘電材料と電極活物質との前記混合物は、誘電材料ナノ粒子と電極活物質ナノ粒子との混合物である、請求項８〜１２のいずれかに記載の薄膜固体電池セル。
15. 請求項８〜１４のいずれかに記載の少なくとも１つの薄膜固体電池セルを含む、薄膜固体電池。

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