JP2017220924A - 弾性波装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2…圧電基板
2a…主面
3…IDT電極
3a1,3b1…第1,第2のバスバー
3a2,3b2…第1,第2の電極指
4,5…第1,第2の電極層
4a,5a…側面部
6A…第1のレジストパターン
6B…第2のレジストパターン
6Bc…開口部
17…保護膜
Claims (10)
- 少なくとも第1,第2の電極層を有するIDT電極が直接的または間接的に圧電体上に設けられた弾性波装置の製造方法であって、
前記圧電体上に第1のレジストパターンを形成する工程と、
前記圧電体上及び前記第1のレジストパターン上に第1の電極層用の金属膜を積層する工程と、
前記第1の電極層用の金属膜上に、開口部を有する第2のレジストパターンを形成する工程と、
前記第1の電極層用の金属膜上及び前記第2のレジストパターン上に第2の電極層用の金属膜を積層する工程と、
前記第1,第2のレジストパターンを剥離する工程と、
を備える、弾性波装置の製造方法。 - 前記第1の電極層用の金属膜及び前記第2の電極層用の金属膜のうち少なくとも一方が、複数の金属膜を積層することにより形成される積層金属膜である、請求項1に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記第2のレジストパターンを形成する工程において、平面視したときに、前記第1のレジストパターン上に積層された前記第1の電極層用の金属膜が、前記第2のレジストパターンの前記開口部の内側に位置するように、前記第2のレジストパターンを形成する、請求項1または2に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記第1のレジストパターンが、ネガ型レジスト及びイメージリバーサルレジストのうち一方からなる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記第2のレジストパターンが、ネガ型レジスト及びイメージリバーサルレジストのうち一方からなる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記第1,第2の電極層を有するIDT電極が、対向し合っている、第1及び第2のバスバーと、前記第1のバスバーに一端が接続されている、複数本の第1の電極指と、前記複数本の第1の電極指と間挿し合っており、かつ前記第2のバスバーに一端が接続されている、複数本の第2の電極指とを有し、
前記IDT電極において、前記第1及び第2の電極指が、弾性波伝搬方向から視たときに重なり合っている領域を交叉領域とし、
前記交叉領域が、弾性波の音速が相対的に高い中央領域と、前記中央領域よりも音速が低くされており、前記中央領域の電極指の延びる方向における両端部に設けられた低音速部とを有し、
前記第1の電極層用の金属膜上に前記第2の電極層用の金属膜を積層する工程において、前記低音速部における前記第1の電極層用の金属膜上に、前記第2の電極層用の金属膜を積層する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。 - 前記第1の電極層用の金属膜を積層する工程の後であり、かつ前記第2のレジストパターンを形成する工程の前に、前記第1の電極層用の金属膜上に、前記第1の電極層用の金属よりも現像液により腐食され難い、保護膜を形成する工程をさらに備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記保護膜が金属層である、請求項7に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記保護膜がTiからなる、請求項8に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記保護膜が酸化ケイ素からなる酸化ケイ素層である、請求項7〜9のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016113235 | 2016-06-07 | ||
JP2016113235 | 2016-06-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017220924A true JP2017220924A (ja) | 2017-12-14 |
JP6870461B2 JP6870461B2 (ja) | 2021-05-12 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017091078A Active JP6870461B2 (ja) | 2016-06-07 | 2017-05-01 | 弾性波装置の製造方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP6870461B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019171476A1 (ja) * | 2018-03-06 | 2019-09-12 | 新日本無線株式会社 | 表面弾性波素子の製造方法 |
JP7458055B2 (ja) | 2019-12-13 | 2024-03-29 | 三安ジャパンテクノロジー株式会社 | 弾性表面波素子の製造方法 |
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WO2015182522A1 (ja) * | 2014-05-26 | 2015-12-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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2017
- 2017-05-01 JP JP2017091078A patent/JP6870461B2/ja active Active
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JP6870461B2 (ja) | 2021-05-12 |
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