JP2017214606A - 透明導電膜付き基板及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 137
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 42
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 47
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 35
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 31
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 31
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 58
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 41
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 17
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 16
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 16
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 5
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002926 oxygen Chemical class 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の透明導電膜付き基板は、一方の面側に粗面を有する透明基体と、前記粗面を覆うように透明導電膜が配されてなる透明導電膜付き基板であって、前記粗面の表面粗さRms[nm]が0.5以上2.0以下であり、X線回折法により取得される、前記透明導電膜の(222)面の回折ピーク強度を(400)面の回折ピーク強度により除した値が20以上である。
【選択図】図1
Description
一方、前記ITOをタッチパネルの電極膜として用いる場合、パターニングされたITO膜のパターン形状が目立って見えてしまう、所謂「骨見え現象」が生じ、視認性が低下する課題があった(特許文献2)。この現象を低減するために、ITOからなる電極膜の下地に、光学調整層としてインデックス・マッチング層(Index Matching Layer:IM層)を設ける手法が採用されている(特許文献3)。
また、本発明は、低温プロセスにおいて低い比抵抗を有する透明導電膜付き基板が得られる、透明導電膜付き基板の製造方法を提供することを第二の目的とする。
本発明の請求項3に記載の透明導電膜付き基板は、請求項1又は2において、前記透明導電膜の比抵抗[μΩ・cm]が350以下である、ことを特徴とする。
本発明の請求項5に記載の透明導電膜付き基板は、請求項1乃至3のいずれか一項において、前記粗面が、前記透明基体の一方の面と前記透明導電膜との間に配された、光学調整層の該透明導電膜と接する面である、ことを特徴とする。
図1は、本発明の透明導電膜付き基板の一構成例を模式的に示す図であり、透明導電膜がIM層の上に形成される場合である。
本例の透明導電膜付き基板は、ガラス基板からなる透明基体2の一方の面2a(図1では上面)側に、IM層3を介して、透明導電膜4が配される構成である。つまり、本例において、透明基体2が一方の面2a側に有する粗面は、IM層3の表面(図1では上面)である。
透明基体2がPET等の耐熱透明プラスチック基板の場合、IM層3を構成する膜は、基板からの放出ガスを抑制する構造としても機能する。
以下では、IM層3が2層構造[酸化ニオブ膜(NbOx)/酸化シリコン(SiOx)]からなる場合について説明する。すなわち、本例では、透明基体2の上に、IM層3として、まず酸化ニオブ膜(NbOx)を形成し、次いで酸化シリコン(SiOx)を形成した後、透明導電膜4を設けた。
透明な基体上に、IM層と透明導電膜を形成するための成膜装置としては、たとえば図4に示すようなインターバック式のスパッタリング装置が用いられる。
図4の製造装置10においては、基板18(透明基体2に相当)は、不図示の搬送手段により、仕込取出室(L/UL)11、加熱室(H)12、第一成膜室(S1)13、第二成膜室(S2)14、及び、第三成膜室(S3)15の内部を移動可能とされている。
上記の各室11、12、13、14および15には個別に、その内部空間を減圧可能とするための排気手段11P、12P、13P、14Pおよび15Pが配されている。
図2は、本発明の透明導電膜付き基板の他の一構成例を模式的に示す図であり、透明導電膜が透明基体の上に形成される場合である。
本例の透明導電膜付き基板は、ガラス基板からなる透明基体2の一方の面2a(図2では上面)に接して、透明導電膜4が配される構成が基本となる。この構成(図2)に関する作製条件および評価結果は、後述する表1の実験例1に示す。
この構成(図2)では、透明基体2の一方の面2aが粗面化されていない。
透明基体2としては、たとえば、無アルカリガラス基板が好適に用いられる。ただし、ガラス単体である必要はなく、スリミング処理する一面がガラスからなる構成とした基板であっても構わない。
本発明に係る効果を確認するため、表1に示す異なる作製条件により、透明導電膜付き基板を作製した。以下では、実験例1−3により作製した透明導電膜付き基板を、試料1−3と呼ぶ。
実験例2は、透明導電膜の成膜時に水素を含むガスを用いていない。つまり、プロセスガスは、不活性ガスであるArに反応性ガスであるO2を添加したものである。実験例2により作製した透明導電膜付き基板を、試料2と呼ぶ。
不活性ガスであるArに反応性ガスであるO2を添加し、さらにH2Oを添加してなる混合ガスであり、実験例3の水の添加量は、Arに対する水(H2O)の分圧[Pa]で9.0×10-3である。実験例3により作製した透明導電膜付き基板を試料3と呼ぶ。
また、X線回折法により得られたプロファイルから、(222)面の回折ピーク強度aと(400)面の回折ピーク強度bを求め、強度比a/bの値を算出し、これにより透明導電膜の結晶性を評価した。
さらに、作製した試料1−3を構成する透明導電層の水素含有量は、SIMS(二次イオン質量分析:Secondary Ion-microprobe Mass Spectrometer)等の既知の定量測定法を用いて評価した。
透明導電膜の成膜はDCスパッタ法で行い、所望の膜厚および膜質を得られるように、バッキングプレートに電源から投入される電力を調整した。
ここで、表中の「Glass」はガラス基板を意味し、「ITO」とはITOからなる透明導電膜を意味する。ITO膜の形成には、酸化スズ(SnO2)を5質量%含有したITOターゲットを利用した。また「IM」はIM層を意味しており、本実験例のIM層は、酸化ニオブ(NbOx)と酸化シリコン(SiOx)を積層させた多層膜である。
また、プロセスガスに添加する酸素の量は、後加熱処理後の比抵抗が最小になる条件を選択している。すなわち表1に示した後加熱処理後の比抵抗の値を得た際の条件であり、Arに対する酸素(O2)の分圧[Pa]の値を表1に示した。
(A1)水素を含むガスを用いずにIM層上に透明導電膜を作製した場合、IM層が無い場合に比べて、透明導電膜の成膜後のシート抵抗は増加する(85.6→95.2[Ω/□])。後加熱処理後におけるシート抵抗も増加した(60.4→71.6[Ω/□])。比抵抗においても同じ傾向が確認された。これにより、IM層が無い場合と比べて、後加熱処理による比抵抗値の改善率も低下する(29.4→24.8[%])ことが分かった。また、回折ピーク強度比a/bも減少する(27.5→18.7)ことが分かった。ここで、文中の矢印は、実験例1→実験例2の比較を意味する。
回折ピーク強度比a/bは、(222)面と(400)面の回折ピークの強度比を示しており、この値が大きいと、同じ向きに成長する結晶の割合が多い状態を示していると考えられることから、より大きな結晶粒を有する透明導電膜を得ることができていると考えされる。透明導電膜を構成する結晶粒が大きくなった結果、導電性が向上する(比抵抗が低くなる)ことになる。
ゆえに、図5に示す製造装置は、本発明に係る透明導電膜付き基板の製造方法を実施するにあたり、再現性が高く、量産性にも優れた、製造ラインの構築に寄与する。
なお、図6の横軸に示した「水添加:あり/なし」は、透明導電膜の成膜の際に、水素を含むガスを用いたか/用いなかったかを示している。
(B1)実験例2では、酸素分圧の全域において、比抵抗は、成膜後に比べて後加熱処理後の方が小さくなる。後加熱処理後の比抵抗値は、酸素分圧が増えるに連れて、目標とする比抵抗値に近づく単調減少の傾向を示すが、目標とする比抵抗値を下回る領域は確認できなかった。
たとえば、図4や図5に示した製造装置を用いて製造する方法を例示したが、図4と同様の構成において、被処理体である基板が一方向に流れる通過型の製造装置を用いてもよい。透明導電膜の温度を60℃以下とするために、スパッタ搬入室内あるいは前室に、強制冷却手段を設けることにより、基体を冷却してもよい。
また、上述した実施形態では、ITOからなる透明導電膜を成膜した場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば酸化亜鉛系の透明導電膜を成膜する際にも適用可能である。
Claims (6)
- 一方の面側に粗面を有する透明基体と、前記粗面を覆うように透明導電膜が配されてなる透明導電膜付き基板であって、
前記粗面の表面粗さRms[nm]が0.5以上2.0以下であり、
X線回折法により取得される、前記透明導電膜の(222)面の回折ピーク強度を(400)面の回折ピーク強度により除した値が20以上である、
ことを特徴とする透明導電膜付き基板。 - 前記透明導電膜に含まれる水素の含有量[atoms/cm3 ]が、1×1021以上である、
ことを特徴とする請求項1に記載の透明導電膜付き基板。 - 前記透明導電膜の比抵抗[μΩ・cm]が350以下である、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の透明導電膜付き基板。 - 前記粗面が、前記透明基体の一方の面であり、前記透明導電膜と接する面である、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の透明導電膜付き基板。 - 前記粗面が、前記透明基体の一方の面と前記透明導電膜との間に配された、光学調整層の該透明導電膜と接する面である、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の透明導電膜付き基板。 - 一方の面側に粗面を有する透明基体と、前記粗面を覆うように透明導電膜が配されてなる透明導電膜付き基板の製造方法であって、
所望のプロセスガス雰囲気とした成膜空間において、前記透明導電膜の母材をなすターゲットにスパッタ電圧を印加してスパッタを行い、所定の温度とされた前記透明基体の一方の面側にある前記粗面上に前記透明導電膜を成膜するステップAを少なくとも備え、
前記プロセスガスとして、水素を含むガスを用いるとともに、
前記透明導電膜の温度[℃]を、60以下の範囲としたことを特徴とする透明導電膜付き基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016107179A JP6825826B2 (ja) | 2016-05-30 | 2016-05-30 | 透明導電膜付き基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016107179A JP6825826B2 (ja) | 2016-05-30 | 2016-05-30 | 透明導電膜付き基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017214606A true JP2017214606A (ja) | 2017-12-07 |
JP6825826B2 JP6825826B2 (ja) | 2021-02-03 |
Family
ID=60575373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016107179A Active JP6825826B2 (ja) | 2016-05-30 | 2016-05-30 | 透明導電膜付き基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6825826B2 (ja) |
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2016
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Publication number | Publication date |
---|---|
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