JP2017214181A - 帯状物の搬送制御方法及びこれを用いた帯状物の処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
P=T/R
kgas=λ/(b+2L)
先ず、本発明の帯状物の搬送制御方法を好適に実施可能な帯状物の処理装置の一具体例として、図1の真空成膜装置50について説明する。この図1に示す長尺基板真空成膜装置50はスパッタリングウェブコータとも称される装置であり、帯状物の一例としての長尺樹脂フィルムを真空チャンバー51内でロールツーロール方式で搬送しながらその表面に熱負荷の掛かる処理であるスパッタリング成膜処理を連続的に効率よく施す場合に好適に用いられる。
次に、上記したキャンロール56について図2を参照しながら説明する。このキャンロール56は金属製の円筒部材10からなり、その内部は冷却水などの温度調節された冷媒が循環できるようにいわゆるジャケットロール構造12になっている。円筒部材10の回転中心Oに位置する回転軸11は真空チャンバー51の外部の図示しないチラーとの間で冷媒を循環させるため二重配管構造になっており、その外周部に設けたベアリング13によって回転可能に支持されている。
次に、上記した複数のガス導入路14にガスを分配して供給するガスロータリージョイント20について図2〜図4を参照しながら説明する。図2〜3に示すように、ガスロータリージョイント20は前述した円筒部材10の一端部に固定されて該円筒部材10と共に回転する回転リングユニット21と、回転しない静止リングユニット22とから構成されており、これらは互いの摺動面で摺動するようになっている。
次に、上記のガスロータリージョイント20にガス供給源からガスを供給するガス供給システムの一具体例について図6を参照しながら説明する。この図6に示すガス供給システム30は、流量を制御するピエゾバルブ(PV)31と質量センサであるマスフローメータ(MFM)32とがガス供給配管26に設けられている。また、ガス供給路25内のガス圧を検出する圧力検出手段としての圧力センサ(P)33がガス供給路25に設けられており、調節計(CPU)34は該圧力センサ33の検出したガス圧に基づいてPV31の開度を制御している。
キャンロール56の外周面とそこに巻き付いている長尺樹脂フィルムFとの間のギャップ部のガス圧は、前述したように、長尺樹脂フィルムFを放出キャンロール56の外周面に押し付けるための抗力を超えないように設定するのが好ましい。そこで、上記した図6に示すガス供給システム30において、上記ギャップ部とほぼ同等のガス圧を有するガス分配路23のガス圧が前述した式1の抗力Pを超えない設定圧となるようにCPU34で圧力制御する。
Q=V/(2πR)・N・C・(P1/P2)
P1’=P2・Q・(2πR)/(V’・N・C)
上記のガス供給システムを有する真空成膜装置によって長尺樹脂フィルムの表面に金属膜をスパッタリングすることにより、シワ等の不具合のない金属膜付長尺樹脂フィルムを作製することができる。長尺樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルム又は液晶ポリマー系フィルムから選ばれる樹脂フィルムを挙げることができる。これら長尺樹脂フィルムは金属膜付フレキシブル基板としての柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性を有する点から好ましい。
図1に示すような金属膜付長尺樹脂フィルムの真空成膜装置(スパッタリングウェブコータ)50を用いて、長尺樹脂フィルムFとしての幅570mm、長さ1000m、厚さ50μmの東レ株式会社製のPETフィルム「ユーピレックス(登録商標)」に対して金属膜を成膜した。
ガス供給路25のガス圧が抗力を超過する直前にガス供給を停止すること、及び上記ガス圧が設定圧に対して急激に±10%以上変化した時にフィルム搬送速度が変更されたと判断してPID制御のパラメータに補正係数を反映させることをプログラミングすることを行わない以外は上記実施例と同様の条件で成膜処理を行った。但し、1.0m/minから4.0m/minにフィルム搬送速度を変更した後、120秒後に1.0m/minに変更した。この場合のガス圧と供給ガス流量の変化を図13に示す。
ガス供給路25のガス圧が設定圧に対して急激に±10%以上変化した時にフィルム搬送速度が変更されたと判断してPID制御のパラメータに補正係数を反映させるようにプログラミングすることを行わない以外は上記実施例と同様の条件で成膜処理を行った。但し、1.0m/minから4.0m/minにフィルム搬送速度を変更した後、120秒後に1.0m/minに変更した。この場合のガス圧と供給ガス流量の変化を図14に示す。
上記のように本発明の実施例の長尺樹脂フィルムの搬送制御方法によれば、フィルム搬送速度が変更されたとしてもガス放出機構付キャンロールのギャップ部のガス圧を設定値にほぼ安定して保つことができる。これにより、スパッタリング成膜中にガス放出機構付キャンロールにおいてフィルムの冷却が不十分になりにくく、よって熱負荷に起因するシワの発生を抑えることができる。
11 回転軸
12 ジャケットロール構造
13 ベアリング
14 ガス導入路
15 ガス放出孔
20 ガスロータリージョイント
21 回転リングユニット
22 静止リングユニット
23 ガス分配路
23a 開口部
24 接続管
25 ガス供給路
25a C字状溝
26 ガス供給配管
30、130 ガス供給システム
31 ピエゾバルブ
32 マスフローメータ
33 圧力センサ(圧力検出手段)
34 調節計
35 マスフローコントローラユニット
50 真空成膜装置
51 真空チャンバー
52 巻出ロール
53、63 フリーロール
54、62 張力センサロール
55、61 フィードロール
57、58、59、60 マグネトロンスパッタリングカソード
64 巻取ロール
F 長尺樹脂フィルム
Claims (14)
- 減圧雰囲気下において、外周面にガス放出機構を備えたキャンロールの該外周面に巻き付けながらロールツーロールで搬送する帯状物の搬送制御方法であって、
前記外周面のうち前記帯状物が巻き付けられるラップ領域における前記外周面と前記帯状物との間の隙間にガスを分配して供給するガス分配手段のガス圧が所定の設定圧に維持されるように、前記ガスを流量制御すると共に、該流量制御されるガスの流量から前記帯状物の搬送速度を推定し、該推定した搬送速度が変更されるごと前記流量制御の制御パラメータを変更することを特徴とする帯状物の搬送制御方法。 - 前記ガス分配手段のガス圧と前記設定圧との圧力差が所定のガス圧力変動閾値を超えた時に、前記搬送速度が変更されたと判断して前記推定した搬送速度に対応した制御パラメータの補正係数を算出し、該補正係数に応じた制御パラメータを算出して前記流量制御の制御パラメータとして採用することを特徴とする、請求項1に記載の帯状物の搬送制御方法。
- 前記搬送速度が変更されたと判断した時、前記制御パラメータの補正係数を特定の補正係数に設定することを特徴とする、請求項2に記載の帯状物の搬送制御方法。
- 前記ガス圧力変動閾値が前記設定圧の10%であることを特徴とする、請求項2又は3に記載の帯状物の搬送制御方法。
- 前記設定圧が、前記帯状物と前記キャンロールの外周面との間に生じる下記式で表される抗力よりも小さいことを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載の帯状物の搬送制御方法。
抗力=帯状物の長手方向の張力/キャンロールの半径 - 前記キャンロールは、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路を有しており、これら複数のガス導入路の各々はキャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、前記ガス分配手段は前記ラップ領域における前記ガス導入路にガスを分配して供給することを特徴とする、請求項1から5のいずれか1項に記載の帯状物の搬送制御方法。
- 減圧雰囲気下においてロールツーロールで搬送される長尺の帯状物をキャンロールの外周面に巻き付けて冷却しながら処理する帯状物の処理装置であって、
前記キャンロールはその外周面とそこに巻き付けられる前記帯状物との間に形成される隙間にガスを放出するガス放出機構付キャンロールであり、
前記キャンロールは、その外周面のうち前記帯状物が巻き付くラップ領域にのみガスを分配して供給するガス分配手段と、該ガス分配手段に供給するガスの流量を測定するガス流量測定手段と、前記ガス分配手段内のガス圧を測定する圧力検出手段とを備えており、
前記圧力検出手段で検出したガス圧の値は、前記ガス分配手段に供給するガスの流量を制御する制御手段に入力されており、前記制御手段は、前記入力されたガス圧の値と前記設定圧の値との差が所定のガス変動圧力閾値を超えた時に、帯状物の搬送速度が変化したと判断して、前記ガス流量測定手段で測定したガス流量に基づいて前記帯状物の搬送速度を推定すると共に、前記推定した搬送速度から算出した補正係数を前記制御手段の制御パラメータに反映させることを特徴とする帯状物の処理装置。 - 前記搬送速度が変更されたと判断されると、制御パラメータの補正係数を特定補正係数に設定することを特徴とする、請求項7に記載の帯状物の処理装置。
- 前記制御手段は、前記圧力検出手段で検出したガス圧が次式で示される前記帯状物と前記キャンロールの外周面との間に生じる抗力を超える前にガスの供給を停止するガス圧超過供給停止手段を備えていることを特徴とする、請求項7又は8に記載の帯状物の処理装置。
抗力=帯状物の長手方向の張力/キャンロールの半径 - 前記キャンロールが、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路を有しており、これら複数のガス導入路の各々はキャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、前記ガス分配手段が前記ラップ領域の前記ガス導入路にガスを分配して供給することを特徴とする、請求項7から9のいずれか1項に記載の帯状物の処理装置。
- 前記キャンロールの外周面に対向する位置に、前記帯状物の表面処理を行う表面処理手段が配されていることを特徴とする、請求項7から10のいずれか1項に記載の帯状物の処理装置。
- 前記表面処理手段が乾式成膜手段であることを特徴とする、請求項11に記載の帯状物の処理装置。
- 前記乾式成膜手段がスパッタリングカソードであることを特徴とする、請求項12に記載の帯状物の処理装置。
- 請求項7から13のいずれか1項に記載の帯状物の処理装置を用いて前記帯状物の少なくとも一方の表面に表面処理を行うことを特徴とする、帯状物の表面処理方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020235259A1 (ja) * | 2019-05-23 | 2020-11-26 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 積層装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09295733A (ja) * | 1996-04-30 | 1997-11-18 | Kawasaki Steel Corp | 帯状材の通板方向変換装置及び通板方向変換方法 |
JP2012184086A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Tokuden Co Ltd | ローラ装置 |
JP5516388B2 (ja) * | 2010-12-24 | 2014-06-11 | 住友金属鉱山株式会社 | ガス導入機構を備えたキャンロールおよびこれを用いた長尺基板の処理装置ならびに処理方法 |
-
2016
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09295733A (ja) * | 1996-04-30 | 1997-11-18 | Kawasaki Steel Corp | 帯状材の通板方向変換装置及び通板方向変換方法 |
JP5516388B2 (ja) * | 2010-12-24 | 2014-06-11 | 住友金属鉱山株式会社 | ガス導入機構を備えたキャンロールおよびこれを用いた長尺基板の処理装置ならびに処理方法 |
JP2012184086A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Tokuden Co Ltd | ローラ装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020235259A1 (ja) * | 2019-05-23 | 2020-11-26 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 積層装置 |
CN113811500A (zh) * | 2019-05-23 | 2021-12-17 | 株式会社日立电力解决方案 | 层叠装置 |
CN113811500B (zh) * | 2019-05-23 | 2023-03-21 | 株式会社日立电力解决方案 | 层叠装置 |
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