JP2017211607A - 光変調器 - Google Patents
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Description
基板上に形成された光変調回路と、該光変調回路を1以上の変調電気信号で駆動するK個(Kは1以上の自然数)の駆動回路を備える光変調器であり、
前記光変調回路は、入力光を分岐する第一の光カプラと、該第一の光カプラに光学的に接続された一対の光導波路アームと、該一対の光導波路アームからの光を合流する第二の光カプラとを備えており、
前記一対の光導波路アームは、それぞれのアームの光導波路の光伝播方向に形成された接合であって、第1のドーピング極性の領域と第1と逆の第2のドーピング極性の領域を含んで構成された接合を備えるN個(NはK以上の自然数)の領域 を 備えており、
前記K個の駆動回路は、前記N個の領域に電気的に接続されており、
前記N個の領域の内M(Mは1以上N未満の自然数)個の領域は
一方のアームの光導波路は、他方のアームと反対側が第1のドーピング極性の領域であり、他方のアーム側が第2のドーピング極性の領域であり、
他方のアームの光導波路は、一方のアームと反対側が第1のドーピング極性の領域であり、一方のアーム側が第2のドーピング極性の領域である第一の領域となっており、
前記N個の領域の内(N−M)個の領域は
第一の領域とはドーピング極性が逆である第二の領域となっている、
ことを特徴とする光変調器。
前記第一の領域と第二の領域は、光の伝播方向について、各々の領域の全長に対する長さの割合が概ね1/2に設定されていることを特徴とする、
発明の構成1に記載の光変調器。
前記第一の領域では、RF電極を前記第1のドーピング極性の領域に備え、DC電極を前記第2のドーピング極性の領域に備えるのに対し、
前記第二の領域では、RF電極を前記第2のドーピング極性の領域に備え、DC電極を前記第1のドーピング極性の領域に備える
発明の構成1または2に記載の光変調器。
前記K個の駆動回路は、前記第一の領域に接続され、差動信号を出力する第一の駆動回路と、
前記第二の領域に接続され、前記第一の駆動回路に対して逆相の差動信号を出力する、第二の駆動回路であり、
前記第一の駆動回路と第二の駆動回路が出力する差動信号のポジ側出力はすべて一方のアームのRF電極に接続されるのに対し、
前記第一の駆動回路と第二の駆動回路が出力する差動信号のネガ側出力はすべて他方のアームのRF電極に接続されることを特徴とする、
発明の構成3に記載の光変調器。
前記K個の駆動回路が出力する差動信号のポジ側出力は、前記K個の駆動回路それぞれで位相がすべて揃っており、また同様に前記K個の駆動回路が出力する差動信号のネガ側出力は、前記K個の駆動回路それぞれで位相がすべて揃っており、前記第一の領域のRF電極に接続される駆動回路が出力する差動信号のポジ側出力は一方のアームのRF電極に接続され、ネガ側出力はそれぞれ他方のアームのRF電極に接続されるのに対し、
前記第二の領域のRF電極に接続される駆動回路が出力する差動信号のネガ側出力は一方のアームのRF電極に接続され、ポジ側出力はそれぞれ他方のアームのRF電極に接続されることを特徴とする、
発明の構成3または4のいずれかに記載の光変調器。
光変調器に入力される前記変調電気信号はL(LはK以下の自然数)対の差動変調電気信号であって、
前記L対の差動変調電気信号を1対づつ入力し、全体として前記K個の駆動回路に分岐して出力するL個の分岐回路を備えることを特徴とする、
発明の構成1ないし5のいずれかに記載の光変調器。
前記該分岐回路と前記駆動回路の接続は、第一の領域に接続される駆動回路に対しては、前記分岐回路のポジ側出力が差動駆動回路のポジ入力に接続され、前記分岐回路のネガ側出力を駆動回路のネガ入力に接続されるのに対し、
第二の領域に接続される駆動回路に対しては、前記分岐回路のネガ側出力が差動駆動回路のポジ入力に接続され、前記分岐回路のポジ側出力を駆動回路のネガ入力に接続されることを特徴とする、
発明の構成6に記載の光変調器。
本発明の光変調器の概要となる要件の一つは、光変調回路となるMZM構造の一対の光導波路アームを光伝播方向にドーピング極性が異なる複数の領域に分けて、別々の駆動回路により変調駆動することにある。
光変調回路は、入力光を分岐する第一の光カプラと、該第一の光カプラに光学的に接続された一対の光導波路アームと、該一対の光導波路アームからの光を合流する第二の光カプラとを備えている。
K個の駆動回路は、N個の領域に電気的に接続されている。
一方のアームの光導波路は、他方のアームと反対側が第1のドーピング極性の領域であり、他方のアーム側が第2のドーピング極性の領域であり、
他方のアームの光導波路は、一方のアームと反対側が第1のドーピング極性の領域であり、一方のアーム側が第2のドーピング極性の領域である第一の領域となっており、
前記N個の領域の内(N−M)個の領域は
第一の領域とはドーピング極性が逆である第二の領域となっている、
ことを特徴とする光変調器である。
一方の第一のアームの第一の領域と第二の領域では、信号を入力する電極であるRF電極が設けられたドーピング領域の極性が異なることから、第一の領域に入力される駆動信号と第二の領域に入力される駆動信号は逆相とする。同様に、他方の第二のアームの第一の領域と第二の領域では、信号を入力する電極であるRF電極が設けられたドーピング領域の極性が異なることから、第一の領域と第二の領域に入力される信号は逆相とする。すなわち、第一の領域に入力する差動信号に対して、第二の領域に入力する差動信号は逆相とする。
図8に本発明の基本構造例として、第一の領域と第二の領域をそれぞれ一つずつ備える構造を示す。図8の例では、第一の領域R1において、Nドープ領域を一対の光導波路アームで共通化し、紙面上下方向にPドープ領域-Nドープ領域-Pドープ領域となっており、第二の領域R2では、逆にPドープ領域を共通化し、紙面上下方向にNドープ領域-Pドープ領域-Nドープ領域となっている。また、互いに逆相の上部の2つの信号源S1,S2から出力され、2つの領域R1,R2のRF電極RF1、RF1’、RF2、RF2’に入力される2組の差動信号の極性は逆であるが、信号線のRF電極との接続関係は2つの領域で同じであることも示した。
図9から分かるように、本発明の構成を用いることで、第一の領域R1の第一のアームA1の屈折率変化部(図9(a)左)のPドープ領域とNドープ領域の割合は、第二の領域R2の第二のアームA2の屈折率変化部(図9(b)右)のPドープ領域とNドープ領域の割合と等しくなる。また、第一の領域R1の第二のアームA2の屈折率変化部(図9(a)右)のPドープ領域とNドープ領域の割合は、第二の領域R2の第一のアームA1の屈折率変化部(図9(b)左)のPドープ領域とNドープ領域の割合と等しくなる。
以下に本発明の実施例について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
図13に、本発明の光変調器の実施例1を示す。図13の例では、MZMは図8の基本構成と同じく第一の領域R1と第二の領域R2を1つずつもつ。第一の領域R1では、Nドープ領域を一対の光導波路アームで共通化し、紙面上下方向にPドープ領域-Nドープ領域-Pドープ領域となっており、第二の領域R2では、Pドープ領域を共通化し、紙面上下方向にNドープ領域-Pドープ領域-Nドープ領域となっており、第一の領域R1は第二の領域R2とは、逆のドーピング極性ということができる。
第二の領域R2において、内側のPドープ領域を2つに分離し、2つのRF電極RF2,RF2’をPドープ領域に形成し、2つのDC電極DC2,DC2’を外側の2つのNドープ領域に形成しても良い。
図15に、本発明の光変調器の実施例2を示す。実施例1と同様の光変調器の構成とするが、第一の領域R1と第二の領域R2に接続する駆動回路D1,D2は、ともに反転又は非反転差動増幅回路であり、同相の差動信号を出力するものとする。そして、第一の領域R1と第二の領域R2では、駆動回路D1,D2からの同相の差動信号出力が互いに逆相となって入力されるように、逆の接続関係でRF電極に接続する。
第二の領域において、内側のPドープ領域を2つに分離し、2つのRF電極をPドープ領域に形成し、2つのDC電極を外側の2つのNドープ領域に形成しても良い。
図16に、本発明の光変調器の実施例3を示す。実施例1の第一の領域R1−1と第二の領域R2−1に加えて、追加の第一の領域R1−2、第二の領域R2−2・・・・R1−N、R2−Nと領域をそれぞれN個に増やし、図13の第二の領域の光出力側に配置する。
実施例4を図17に示す。この実施例4では、各N個の同数の第一の領域R1−1〜R1−Nと第二の領域R2−1〜R2−Nを合計で2N個備える。そして、複数L個(N以下の任意の自然数)の分岐回路BRA−1〜BRA−Lを配置し、それらに対して、L対の異なる差動信号Vdiff−1〜Vdiff−Lを入力する。L個あるそれぞれの分岐回路からは全部で2N対の差動信号が、全体でN個の非反転差動増幅回路である第一の駆動回路D1−1〜D1−Nと、全体でN個の反転差動増幅回路である第二の駆動回路D2−1〜D2−Nに重複無く接続する。
分岐回路BRA−1から2分岐して駆動回路D1−1、D2−1に接続し、
分岐回路BRA−2から4分岐して駆動回路D1−2、D2−2、D1−3、D2−3に接続し、
分岐回路BRA−3から8分岐して駆動回路D1−4、D2−4、D1−5、D2−5、D1−6、D2−6、D1−7とD2−7というように順に分岐数を2倍に増やして接続する。
駆動回路D1−2、D2−2、D1−3、D2−3の出力には、領域R1−2、R2−2、R1−3、R2−3をそれぞれ接続し、
駆動回路D1−4、D2−4・・・D1−7、D2−7の出力には、領域R1−4、R2−4・・・R1−7、R2−7をそれぞれ接続する。
実施例5を図18に示す。実施例5は実施例3(図16)の複数の領域を有する構成において、実施例2(図15)と同様に第一、第二の領域に接続する駆動回路をともに非反転差動増幅回路として、駆動回路出力の差動信号線対とRF電極の接続関係を領域で逆にした構成である。
第二の領域R2−1〜R2−Nを駆動する駆動回路D2−1〜D2−Nが出力する差動信号のネガ側出力は、第一のアームのRF電極に接続され、ポジ側出力はそれぞれ第二のアームのRF電極に接続されるように駆動回路の出力信号線を配置する。
実施例6を図19に示す。実施例6は実施例4(図17)の多値変調の場合において、実施例2と同様に駆動回路をすべて非反転差動増幅回路として、駆動回路出力信号線とRF電極の接続関係を領域で変えた構成である。
実施例7を図20に示す。実施例7は実施例3(図16)の場合において、駆動回路をすべて非反転差動増幅回路として、第二の領域を駆動する駆動回路については、分岐回路よりの入力を交差接続としたものである。駆動回路出力とRF電極の接続はすべての領域で同じにできる。
実施例8を図21に示す。実施例8は実施例4の多値変調の場合において、駆動回路をすべて非反転差動増幅回路として、第二の領域を駆動する駆動回路については、分岐回路からの入力を交差接続としたものである。駆動回路出力とRF電極の接続関係はすべての領域で同じにできる。
実施例9を図22に示す。実施例9は実施例3において、全部でN個、すなわち複数M個の第一の領域R1−1〜R1−M、複数(N−M)個の第二の領域R2−1〜R2−N−Mを設けた場合を示す。
C1,C2 光カプラ
F1,F2 屈折率変化部
PNJ1、PNJ2 PN接合面
D,D1,D2,D1−1〜D1−N,D2−1〜D2−N 駆動回路
Vdiff、Vdiff−1〜Vdiff−L 差動信号入力
RF、RF’、RF1、RF2,RF1’、RF2’ RF電極
DC,DC1、DC2 DC電極
PNJ0 プロセス誤差が無い場合のPN接合面
PNJoffset プロセス誤差によりオフセットしたPN接合面
R1,R2,R1−1〜R1−N、R2−1〜R2−N 領域
S1,S2 変調信号源
BRA、BRA1〜BRA−L 分岐回路
Claims (7)
- 基板上に形成された光変調回路と、該光変調回路を1以上の変調電気信号で駆動するK個(Kは1以上の自然数)の駆動回路を備える光変調器であり、
前記光変調回路は、入力光を分岐する第一の光カプラと、該第一の光カプラに光学的に接続された一対の光導波路アームと、該一対の光導波路アームからの光を合流する第二の光カプラとを備えており、
前記一対の光導波路アームは、それぞれのアームの光導波路の光伝播方向に形成された接合であって、第1のドーピング極性の領域と第1と逆の第2のドーピング極性の領域を含んで構成された接合を備えるN個(NはK以上の自然数)の領域を備えており、
前記K個の駆動回路は、前記N個の領域に電気的に接続されており、
前記N個の領域の内M(Mは1以上N未満の自然数)個の領域は
一方のアームの光導波路は、他方のアームと反対側が第1のドーピング極性の領域であり、他方のアーム側が第2のドーピング極性の領域であり、
他方のアームの光導波路は、一方のアームと反対側が第1のドーピング極性の領域であり、一方のアーム側が第2のドーピング極性の領域である第一の領域となっており、
前記N個の領域の内(N−M)個の領域は
第一の領域とはドーピング極性が逆である第二の領域となっている、
ことを特徴とする光変調器。 - 前記第一の領域と第二の領域は、光の伝播方向について、各々の領域の全長に対する長さの割合が概ね1/2に設定されていることを特徴とする、
請求項1に記載の光変調器。 - 前記第一の領域では、RF電極を前記第1のドーピング極性の領域に備え、DC電極を前記第2のドーピング極性の領域に備えるのに対し、
前記第二の領域では、RF電極を前記第2のドーピング極性の領域に備え、DC電極を前記第1のドーピング極性の領域に備える
請求項1または2に記載の光変調器。 - 前記K個の駆動回路は、前記第一の領域に接続され、差動信号を出力する第一の駆動回路と、
前記第二の領域に接続され、前記第一の駆動回路に対して逆相の差動信号を出力する、第二の駆動回路であり、
前記第一の駆動回路と第二の駆動回路が出力する差動信号のポジ側出力はすべて一方のアームのRF電極に接続されるのに対し、
前記第一の駆動回路と第二の駆動回路が出力する差動信号のネガ側出力はすべて他方のアームのRF電極に接続されることを特徴とする、
請求項3に記載の光変調器。 - 前記K個の駆動回路が出力する差動信号のポジ側出力は、前記K個の駆動回路それぞれで位相がすべて揃っており、また同様に前記K個の駆動回路が出力する差動信号のネガ側出力は、前記K個の駆動回路それぞれで位相がすべて揃っており、前記第一の領域のRF電極に接続される駆動回路が出力する差動信号のポジ側出力は一方のアームのRF電極に接続され、ネガ側出力はそれぞれ他方のアームのRF電極に接続されるのに対し、
前記第二の領域のRF電極に接続される駆動回路が出力する差動信号のネガ側出力は一方のアームのRF電極に接続され、ポジ側出力はそれぞれ他方のアームのRF電極に接続されることを特徴とする、
請求項3または4に記載の光変調器。
- 光変調器に入力される前記変調電気信号はL(LはK以下の自然数)対の差動変調電気信号であって、
前記L対の差動変調電気信号を1対づつ入力し、全体として前記K個の駆動回路に分岐して出力するL個の分岐回路を備えることを特徴とする、
請求項1ないし5のいずれかに記載の光変調器。 - 前記該分岐回路と前記駆動回路の接続は、第一の領域に接続される駆動回路に対しては、前記分岐回路のポジ側出力が差動駆動回路のポジ入力に接続され、前記分岐回路のネガ側出力を駆動回路のネガ入力に接続されるのに対し、
第二の領域に接続される駆動回路に対しては、前記分岐回路のネガ側出力が差動駆動回路のポジ入力に接続され、前記分岐回路のポジ側出力を駆動回路のネガ入力に接続されることを特徴とする、
請求項6に記載の光変調器。
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