JP2017208289A - Ｎｂ３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】フラックスジャンプ発生等の低磁界不安定を抑制しつつ、伸線加工性をさらに改善し、歩留まりを十分に向上させ、実用化を容易なものとするＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線を提供する。
【解決手段】急熱急冷変態法によるＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線において、ＮｂとＡｌとのモル比が３：１で混合されたＮｂとＡｌの複合体からなるＮｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域１が、Ｎｂからなる隔壁２で被覆され、その外側にＡｌもしくはＡｌ合金、又はＣｕもしくはＣｕ合金からなる中間金属層３が設けられ、さらにその外側がＡｇからなるフィラメント間バリア材４で被覆されたシングル線を複数集合させた集合体の周囲を、Ｎｂ又はＴａからなる外皮６で被覆して構成されていることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、Ｎｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線及びその製造方法に関するものである。

ＮＭＲ用途に開発された初期の急熱急冷変態法Ｎｂ_３Ａｌ線材は、超伝導接続性を優先し、Ｎｂ_３Ａｌフィラメント間バリアを１Ｔ未満の磁場中でも超伝導性を保持するＮｂとしたため、Ｎｂ_３Ａｌフィラメント同士が電磁気的に結合し低磁界不安定性が生じる欠点があった。

これを改善するために、同じ高融点金属に属し、１Ｔ未満の磁場中で常伝導となるＴａをＮｂに替えてバリア材とすることが提案されたが、加速器マグネットの運転温度である２Ｋまで下げると低磁界不安定性の抑制が不可能なこと、また前駆体線の伸線加工で断線が頻発する等の問題があった。

そこで、本出願人らは、特許文献１において、低磁界不安定性の抑制、前駆体線の伸線加工性の向上等を図るため、Ｎｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域が、Ｎｂからなる隔壁で被覆され、その外側がＡｇからなるフィラメント間バリア材で被覆されたシングル線を複数集合させた集合体の周囲を、Ｎｂ又はＴａからなる外皮で被覆して構成した、Ｎｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線を提案した。

これにより、前駆体線の伸線加工性改善、急熱急冷変態後においては、４Ｋはもちろん２Ｋでも低磁界不安定性を抑制することができ、また、曲げひずみ負荷においては微視的クラック伝搬を抑制することが可能となった。

しかしながら、隔壁にＮｂを用い、フィラメント間バリア材にＡｇを用いたＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線では、ＮｂとＡｇとの機械的密着性が十分でなく、伸線加工性をさらに改善し、歩留まりを十分に向上させるためには、さらなる改善の余地があった。

特開２０１２−２４３６８５号公報

本発明は、このような従来技術の実状に鑑みてなされたもので、フラックスジャンプ発生等の低磁界不安定を抑制しつつ、伸線加工性をさらに改善し、歩留まりを十分に向上させ、実用化を容易なものとするＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線を提供することを課題とする。

本発明は、上記の課題を解決するために、以下のことを特徴としている。

第１に、急熱急冷変態法によるＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線において、ＮｂとＡｌとのモル比が３：１で混合されたＮｂとＡｌの複合体からなるＮｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域が、Ｎｂからなる隔壁で被覆され、その外側にＡｌもしくはＡｌ合金、又はＣｕもしくはＣｕ合金からなる中間金属層が設けられ、さらにその外側がＡｇからなるフィラメント間バリア材で被覆されたシングル線を複数集合させた集合体の周囲を、Ｎｂ又はＴａからなる外皮で被覆して構成されていることを特徴とする。

第２に、上記第１の発明のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線において、Ａｇからなるフィラメント間バリア材に対する中間金属層を構成するＡｌもしくはＡｌ合金のモル比が１５ａｔ％以下であることを特徴とする。

第３に、上記第１の発明のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線において、Ａｇからなるフィラメント間バリア材に対する中間金属層を構成するＣｕもしくはＣｕ合金のモル比が１０ａｔ％以下であることを特徴とする。

第４に、上記第２の発明のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線において、Ａｌ合金は、１０ａｔ％以下のＭｇもしくは３ａｔ％以下のＣｕが含有されていることを特徴とする。

第５に、上記第３の発明のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線において、Ｃｕ合金は、７ａｔ％以下のＧｅ、１５ａｔ％以下のＧａ、７ａｔ％以下のＳｎ、又は１５ａｔ％以下のＡｌが含有されていることを特徴とする。

第６に、上記第１から第５のいずれかの発明のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線を製造する方法であって、ＮｂとＡｌとのモル比が３：１で混合されたＮｂとＡｌの複合体からなるＮｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域を、隔壁とするためのＮｂからなる金属シートで巻き込み、さらにその周囲にＡｌもしくはＡｌ合金、又はＣｕもしくはＣｕ合金からなる金属シートを巻き込み、これをフィラメント間バリア層とするためのＡｇパイプに充填して六角シングルビレットに伸線加工した後、複数本の六角シングル線に切断し、次いでこの六角シングル線複数本を集合体とし、この集合体の周りを外皮とするためのＮｂ又はＴａからなる金属シートで巻き込み、これをＣｕパイプ又はＣｕ合金パイプに充填して細線に伸線加工し、最外層のＣｕ又はＣｕ合金をエッチングにより除去することを特徴とする。

本発明によれば、上記技術的手段及び技術的手法を採用したので、フラックスジャンプ発生等の低磁界不安定を抑制しつつ、伸線加工性をさらに改善し、歩留まりを十分に向上させ、実用化を容易なものとするＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線を提供することが可能となる。

Ｎｂ_３Ａｌ超伝導線はもともと優れた耐ひずみ特性を有しており、核融合炉や強磁場ＮＭＲなど大きな電磁力がかかる大型強磁場マグネットへの応用が期待されている。本発明により、高耐ひずみ性に加え、安定性、長尺性を兼ね備えた画期的な強磁場超伝導線材の開発が可能となり、核融合炉の実現やＮＭＲの高性能化などの発展が期待される。

本発明によるＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線の一構成例を示す断面図である。 本発明によるＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線の製造の手順の一例を示すフロー図である。 実施例１の前駆体線を構成するＡｇ被覆シングル線においてＮｂとＡｇの間にＡｌ中間金属層が挿入されたシングル線の断面写真である。 実施例１の前駆体線の断面写真である。 熱処理後の実施例１のバリア構造Ｎｂ_３Ａｌ超伝導線と従来のＮｂマトリクスＮｂ_３Ａｌ超伝導線の磁化特性を比較して示す図である。 熱処理後の実施例１のバリア構造Ｎｂ_３Ａｌ超伝導線と従来のＮｂ_３Ａｌ超伝導線の臨界密度特性を比較して示す図である。 実施例２の前駆体線を構成するＡｇ被覆シングル線においてＮｂとＡｇの間にＣｕ中間金属層が挿入されたシングル線の断面写真である。

以下、本発明を実施の形態に基づき詳細に説明する。

本発明のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線の最も基本的な構成は、Ｎｂ／Ａｌ複合体を材料とするＮｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域の周りを、Ｎｂからなる隔壁、ＡｌもしくはＡｌ合金、又はＣｕもしくはＣｕ合金からなる中間金属層及びＡｇからなるフィラメント間バリアで被覆したシングル線を集合体とし、この集合体をＮｂ又はＴａからなる外皮で被覆した構成である。

本発明のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線を構成するシングル線の中心部は、Ｎｂ金属とＡｌ金属を主な構成要素とする複合体であって、ＮｂとＡｌとのモル比が３：１で混合されたＮｂとＡｌとの複合体からなるＮｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域である。Ｎｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域は、例えば、ジェリーロール法により形成することができる。

シングル線は、上記したように、Ｎｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域を、高融点金属のＮｂからなる隔壁で被覆し、その外側に本発明の重要な特徴である中間金属層を設け、さらにその外側が常伝導金属・良導電体のＡｇからなるフィラメント間バリアで被覆した構成となっている。

フィラメント間バリアは、超伝導フィラメントの電磁気的結合を有効に断ち切るために設けられ、隔壁は、フィラメント間バリアと、Ｎｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域とが反応して非超伝導化合物を生成するのを防止するために設けられ、中間金属層は、隔壁のＮｂとフィラメント間バリアのＡｇの機械的密着性を向上させ、伸線加工性をより良好にするために設けられる。

シングル線における隔壁のＮｂの厚さは１μｍ以上、好ましくは１〜５μｍの範囲である。Ｎｂの厚さがこの範囲であると、ＡｇがＮｂ隔壁を拡散してＮｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域と反応して、非超伝導３元化合物が生成することを防止することができる。

シングル線の最外層となるフィラメント間バリア層を、高融点金属であるＮｂと比べて柔らかく延性に富むＡｇとすることにより、良好な伸線加工性と、曲げひずみ負荷による微視的クラック伝搬を抑制することができる。

シングル線におけるフィラメント間バリアを構成する常伝導金属・良導電体Ａｇの厚さは、１μｍ以上、好ましくは３〜５μｍの範囲である。厚さがこの範囲であると、伸線加工性と超伝導フィラメントの電磁気的結合の有効な断ち切りの観点から有利となる。

シングル線における中間金属層は、隔壁のＮｂとフィラメント間バリアのＡｇの機械的密着性を改善し、伸線加工性をより向上させる観点から、ＡｌもしくはＡｌ合金を用いる場合には、０．１μｍ以上、好ましくは０．１〜０．５μｍの範囲、ＣｕもしくはＣｕ合金を用いる場合には、０．１μｍ以上、好ましくは０．１〜０．５μｍの範囲である。

中間金属層としてＡｌもしくはＡｌ合金を使用する場合、Ａｇからなるフィラメント間バリア材に対するモル比は１５ａｔ％以下であることが望ましい。それより大きくなると、その後の急熱急冷処理などの熱処理の際に、ＡｌがＡｇの固溶限を超えて化合物相を形成してしまい、良好な加工性を得ることができなくなる。

中間金属層としてＡｌ合金を使用する場合、構成材料の硬さのバランスを整えるという観点から、ＭｇやＣｕなどを添加することができる。ＡｌにＭｇを添加する場合、Ｍｇは１０ａｔ％以下、Ｃｕを添加する場合、Ｃｕは３ａｔ％以下の組成であることが望ましい。それより多くなると加工効果が大きくなり過ぎ、伸線加工性は低下する。ただし、十分な加工性を確保する観点からは、純Ａｌの使用が望ましい。

また、中間金属層としてＣｕもしくはＣｕ合金を使用する場合、Ａｇからなるフィラメント間バリア材に対するモル比は１０ａｔ％以下であることが望ましい。それより大きくなると、その後の急熱急冷処理などの熱処理の際に、ＡｌがＡｇの固溶限を超えて化合物相を形成してしまい、良好な加工性を得ることができなくなる。

中間金属層としてＣｕ合金を用いる場合、構成材料の硬さのバランスを整えるという観点から、Ｇｅ、Ｇａ、ＳｎやＡｌなどを添加することができる。ＣｕにＧｅを添加する場合、Ｇｅは７ａｔ％以下、Ｇａを添加する場合、Ｇａは１５ａｔ％以下、Ｓｎは７ａｔ％以下、Ａｌは１５ａｔ％以下の組成であることが望ましい。それより多くなると加工効果が大きくなり過ぎ、伸線加工性は低下する。ただし、十分な加工性を確保する観点からは、純Ｃｕの使用が望ましい。

中間金属層としてＡｌやＣｕに添加する元素は上記以外であっても、平衡状態図に示される固溶限を超えない範囲で添加することも可能である。固溶限を超えると、化合物相が生成し、伸線加工性が低下する。ただし、十分な加工性を確保する観点からは、純Ａｌもしくは純Ｃｕの使用が望ましい。

本発明では、超伝導線の機械的強度の向上や、加工性の改善を図るために、集合体の内部好ましくは中心部に、例えばＮｂからなるダミーフィラメントの六角線を配置して、その外側にシングル線を配置し、その周りを外皮とする構成とすることもできる。このダミーフィラメントの六角線は、シングル線の製造と同様に伸線加工することにより成形することができる。また、Ｎｂの代わりに、Ｔａや、Ｔａバリアで被覆されたＣｕ線、Ｎｂバリアで被覆されたＡｇ線を用いてもよい。

また、本発明では、超伝導を安定化するため、集合体の内部好ましくは中心部に、従来と同様、内部安定化材フィラメントの六角線を配置して、その外側にシングル線を配置し、その周りを外皮とする構成とすることもできる。この内部安定化材フィラメントの六角線は、シングル線の製造と同様に伸線加工することにより成形することができる。

ここで、図１に、本発明による急熱急冷変態法によるＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線の一構成例を断面図で示す。

図１において、左側にＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線を示し、右側に要部を拡大して示す。前駆体を構成するシングル線は、Ｎｂ／Ａｌ複合体を材料とするＮｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域１が、Ｎｂからなる隔壁２で被覆され、その外側にＡｌもしくはＡｌ合金、又はＣｕもしくはＣｕ合金からなる中間金属層３が設けられ、さらにその外側がＡｇからなるフィラメント間バリア４で被覆されている。図中５は、断面が六角形のＮｂダミーフィラメントである。

前駆体は、中心部に複数のＮｂダミーフィラメント５が配置され、その周囲に、複数のシングル線からなる集合体が図示のように配置され、さらにその周囲を、Ｎｂ又はＴａからなる外皮６で被覆されて構成されている。図１では、説明の便宜上、シングル線及び、Ｎｂダミーフィラメントの本数が図示のように設定してあるが、後述の実施例に示すように、これらの本数は適宜適切な本数に設定することができる。また、後述の実施例に示すようにシングル線の集合体と外皮６の外周隙間に小径のＮｂ等からなるダミー丸線を挿入してもよい。

シングル線の製造方法としては、まず、Ｎｂ／Ａｌ複合体を隔壁材料のＮｂの高融点金属シートで巻き込む。次に、Ｎｂ／Ａｌ複合体の周囲に、ＡｌもしくはＡｌ合金、又はＣｕもしくはＣｕ合金からなる金属シートを巻き込み、さらにこれをフィラメント間バリアのＡｇからなるパイプに充填して静水圧押出しにより伸線加工し、六角シングルビレットに形成する。

そして、この六角シングルビレットを多数本に切断し、複数の短尺六角シングル線とし、これらを用いて最密充填組み立てして集合体として、この集合体の周りを外皮とするためのＮｂ又はＴａからなる高融点金属シートで巻き込み、更にＣｕパイプ又はＣｕ合金（ＣｕＮｉ等）パイプに充填して所定の寸法の細線に再度静水圧押出しした後、伸線加工し、マルチビレットとする。なお、前述したように、必要に応じて、中心部にあるいは内部にダミーフィラメントあるいは内部安定化材フィラメントを配置する。

伸線加工を施した後、最終的に、最外層のＣｕ又はＣｕ合金をエッチングにより除去することにより、本発明のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線とすることができる。

また、本発明では、上記の構成とした本発明のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線は、急熱急冷変態法によりＮｂ_３Ａｌ超伝導線とする。

急熱急冷変態法では、１９００℃以上、好ましくは１９３０〜２０００℃で５秒以内の熱処理後に、５００℃以下、好ましくは３０〜１００℃に急冷し、その後７００〜９００℃で追加熱処理する。

本発明のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線に対して、急熱急冷処理を行うことにより、前駆体線のＮｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域は、ＡｌがＮｂに過飽和に固溶したｂｃｃ相過飽和固溶体フィラメントに変換する。さらにその後、追加熱処理することにより、ｂｃｃ相からＡ１５相に結晶構造が変態してＮｂ_３Ａｌ超伝導フィラメントとすることができる。

図２に、本発明によるＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線の製造の手順の一例をフロー図で示す。

以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説明する。
実施例１
図２の製造フローに従って本発明によるＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線を作製した。
（１）Ｎｂ／Ａｌジェリーロール複合体シングルビレット
Ｎｂ／Ａｌ比が３．０となるよう、φ２ｍｍのＮｂ心棒の周囲に厚さ０．１ｍｍ・幅１５０ｍｍのＮｂシートと厚さ０．０３ｍｍ・幅１５０ｍｍのＡｌシートを重ねてジェリーロール巻きした（Ｎｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域）。次にその外周に厚さ１ｍｍ・幅１５０ｍｍのＮｂシートを５層分巻いたのち、その外周にＡｇパイプ内面との密着性向上のために厚さ０．０１１ｍｍ・幅１５０ｍｍのＡｌシートを１周巻き付けた。最後に内径１１．５ｍｍ／外径１３ｍｍのＡｇパイプに挿入してシングルビレットとした。このシングルビレットの断面写真を図３に示す。
（２）マルチビレット押出し・伸線加工
上記シングルビレット２４本を１００トン静水圧押出機で静水圧押出しした後、伸線加工して対辺距離２．９４ｍｍとなるように六角線に伸線加工後、矯正、洗浄してから長さ２００ｍｍのシングル六角線に切り分けた。

別途用意した対辺距離２．９４ｍｍのＮｂダミー六角線１９本を中心に配置して、その周りに２２２本のシングル六角線、合計２４１本（＝１９＋２２２）の六角線を束ね、外周の隙間にφ２ｍｍとφ１ｍｍのＮｂダミー丸線を入れた後、周囲に厚さ０．２ｍｍのＴａシートを約１１層巻きつけて、それをＣｕＮｉ管に挿入してマルチビレットとした。

上記マルチビレットを４００トン静水圧機出機で静水圧押出しした後、さらに外皮ＣｕＮｉ除去後の線径が１．３５ｍｍとなるように伸線加工し、その後外皮ＣｕＮｉをエッチングにより除去し、前駆体線を作製した。この前駆体線の断面写真を図４に示す。
（３）伸線加工性
シングルビレットの作製において、ダイス伸線中にもＡｇ外皮がずれることなく良好な加工性を示し、ＮｂとＡｇとの間の機械的密着性を改善するＡｌ中間金属層の効果が確認された。

マルチビレットの伸線においても、良好な加工性を示し、最終目標線径まで無断線で伸線できることを確認した。
（４）磁化特性
上記の手順により作製された本発明によるＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線に対し、最高到達温度２０００℃となる急熱急冷処理において、Ｎｂ／Ａｌ複合体フィラメントがＮｂ−Ａｌ過飽和固溶体となる最適な条件の下で処理を行った。このとき、Ｎｂ隔壁とＡｇフィラメント間バリアの間に設けられたＡｌ層はＡｇに固溶する。続けて８００℃×１０ｈの追加熱処理を施し、Ｎｂ−Ａｌ過飽和固溶体をＮｂ_３Ａｌ超伝導体へと相変態させ、Ｎｂ_３Ａｌ超伝導線とした。

この試料に対し、４．２Ｋにおける磁化特性を測定した。その結果を図５に示す。また、比較のため、従来のＮｂマトリクスＮｂ_３Ａｌ超伝導線の磁化特性も載せた。ｄ_ｆは超伝導フィラメント径を表す。この結果から、従来のＮｂマトリクスＮｂ_３Ａｌ超伝導線では１Ｔ以下の磁場領域において、大きなフラックスジャンプが観測されたのに対し、本発明の前駆体線を用いて作製したＮｂ_３Ａｌ超伝導線ではフラックスジャンプが抑制されていることを確認した。これにより、本発明によるＮｂからなる隔壁、Ａｌからなる中間金属層及びＡｇからなるフィラメント間バリアを備えたバリア構造がフィラメント間の磁気的結合を抑制するのに効果的であることが確認された。
（５）臨界電流密度特性
上記のバリア構造を有するＮｂ_３Ａｌ超伝導線に対して、臨界電流密度の磁場依存性を測定した。その結果を図６に示す。比較のため、従来のＮｂ_３Ａｌ超伝導線の臨界電流密度特性も載せた。この結果から、本発明によるバリア構造を有するＮｂ_３Ａｌ超伝導線は臨界電流密度特性については従来線材と同等の性能を示すことが確認された。
実施例２
上記のＮｂ／Ａｌジェリーロール複合体シングルビレットの作製において、Ａｌの代わりにＣｕを用いた試作も行った。その結果を図７に示す。図７から明らかなように、ＮｂとＡｇとの間の中間金属層としてＣｕを用いても良好な伸線加工性が得られることが確認された。

Claims (6)

1. ＮｂとＡｌとのモル比が３：１で混合されたＮｂとＡｌの複合体からなるＮｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域が、Ｎｂからなる隔壁で被覆され、その外側にＡｌもしくはＡｌ合金、又はＣｕもしくはＣｕ合金からなる中間金属層が設けられ、さらにその外側がＡｇからなるフィラメント間バリア材で被覆されたシングル線を複数集合させた集合体の周囲を、Ｎｂ又はＴａからなる外皮で被覆して構成されていることを特徴とする、急熱急冷変態法によるＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線。
2. Ａｇからなるフィラメント間バリア材に対する中間金属層を構成するＡｌもしくはＡｌ合金のモル比が１５ａｔ％以下であることを特徴とする請求項１に記載のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線。
3. Ａｇからなるフィラメント間バリア材に対する中間金属層を構成するＣｕもしくはＣｕ合金のモル比が１０ａｔ％以下であることを特徴とする請求項１に記載のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線。
4. Ａｌ合金は、１０ａｔ％以下のＭｇもしくは３ａｔ％以下のＣｕが含有されていることを特徴とする請求項２に記載のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線。
5. Ｃｕ合金は、７ａｔ％以下のＧｅ、１５ａｔ％以下のＧａ、７ａｔ％以下のＳｎ、又は１５ａｔ％以下のＡｌが含有されていることを特徴とする請求項３に記載のＮｂ_３Ａｌ超伝導線の前駆体線。
6. 請求項１から５のいずれかに記載のＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線を製造する方法であって、ＮｂとＡｌとのモル比が３：１で混合されたＮｂとＡｌの複合体からなるＮｂ／Ａｌ複合体フィラメント領域を、隔壁とするためのＮｂからなる金属シートで巻き込み、さらにその周囲にＡｌもしくはＡｌ合金、又はＣｕもしくはＣｕ合金からなる金属シートを巻き込み、これをフィラメント間バリア層とするためのＡｇパイプに充填して六角シングルビレットに伸線加工した後、複数本の六角シングル線に切断し、次いでこの六角シングル線複数本を集合体とし、この集合体の周りを外皮とするためのＮｂ又はＴａからなる金属シートで巻き込み、これをＣｕパイプ又はＣｕ合金パイプに充填して細線に伸線加工し、最外層のＣｕ又はＣｕ合金をエッチングにより除去することを特徴とするＮｂ_３Ａｌ超伝導線製造用の前駆体線の製造方法。