JP2017205902A - Release film suitable for manufacture of multilayer printed wiring board - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a release film for process which can be easily and sufficiently peeled from a metal surface having high degree of roughness such as blacking-treated copper foil even after a process on a severe condition such as hot press on such a condition that a temperature, a pressure and the like are higher than a conventional one or hot press for a longer time.SOLUTION: A releaser film for process contains a thermoplastic resin, where at least one surface thereof has the following characteristics: (1) a film restorability value R measured by a nanoindentation method at a test temperature of 180°C is R≥70(%).SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、いわゆる黒化処理銅箔等の表面粗度の高い金属表面からの離型性に優れたプロセス用離型フィルムに関し、より具体的には、粗面化処理された銅箔層を有する多層プリント配線板等の金属/樹脂積層体の製造に好適に用いられるプロセス用離型フィルム、及びそれを用いた多層プリント配線板等の金属/樹脂積層体の製造方法に関する。   The present invention relates to a release film for a process excellent in releasability from a metal surface having a high surface roughness such as so-called blackened copper foil, more specifically, a roughened copper foil layer. The present invention relates to a process release film suitably used for the production of a metal / resin laminate such as a multilayer printed wiring board, and a method for producing a metal / resin laminate such as a multilayer printed wiring board using the same.

近年、電子機器の急速な進歩に伴い、ICの集積度が増大するにつれ、より高精度、高密度、高信頼性化への要求に対応する目的でプリント配線板が多用されている。
このプリント配線板としては、片面プリント配線板、両面プリント配線板、多層プリント配線板、フレキシブルプリント配線板がある。なかでも3層以上の導体の中間に絶縁層をおいて一体化し、任意の導体相互および実装する電子部品と任意の導体層との接続ができる点で多層プリント基板(以後「MLB」ともいう。)の応用分野は広がっている。
このMLBは、例えば一対の片面銅張積層板、または一対の両面銅張積層板を両面外装としてその内側に一層または二層以上の内層回路板をプリプレグ(エポキシ樹脂等)を介在させて交互に積み重ね、これらを治具で挟持するとともにクッション材を介してプレス熱板で熱プレスして、プリプレグを硬化させて強固に一体化された積層体を形成し、穴開け、スルーホールメッキなどを行った後、表面をエッチングすることで形成される。
このようなMLBを製造するプロセスにおいては、通常銅張積層板(外装板)と治具との間に離型フィルムが用いられる。このプロセス用離型フィルムとしては、4−メチル−1−ペンテン共重合体、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエステル、シンジオタクチックポリスチレンなどの熱プレス時の加熱加圧工程で溶融しない高耐熱性の樹脂で構成されたフィルムあって、剛性、表面平滑性などに優れたものが使用される(例えば、特許文献1から特許文献4等参照。)。
In recent years, with the rapid progress of electronic devices, as the degree of integration of ICs increases, printed wiring boards are frequently used for the purpose of meeting demands for higher accuracy, higher density, and higher reliability.
As this printed wiring board, there are a single-sided printed wiring board, a double-sided printed wiring board, a multilayer printed wiring board, and a flexible printed wiring board. Among them, a multilayer printed board (hereinafter also referred to as “MLB”) is that an insulating layer is integrated in the middle of three or more conductors so that any conductors and electronic components to be mounted can be connected to any conductor layer. ) Is expanding.
This MLB has, for example, a pair of single-sided copper-clad laminates or a pair of double-sided copper-clad laminates with double-sided exteriors, and one or two or more inner-layer circuit boards intervening with prepregs (epoxy resin, etc.) interposed therebetween. Stack them, pinch them with a jig and heat press them with a hot platen with a cushioning material to cure the prepreg to form a tightly integrated laminate, drill holes, through hole plating, etc. After that, the surface is etched.
In the process of manufacturing such MLB, a release film is usually used between a copper clad laminate (exterior plate) and a jig. The release film for this process is a high heat-resistant resin that does not melt in the heating and pressurizing step during hot pressing, such as 4-methyl-1-pentene copolymer, polytetrafluoroethylene, polyester, syndiotactic polystyrene. A film having a high rigidity and surface smoothness is used (see, for example, Patent Document 1 to Patent Document 4).

銅貼積層板の銅箔にはエポキシ樹脂との接着性を高めるために表面を酸化したり、酸によるエッチング処理をおこなうことで荒らした、いわゆる黒化処理銅箔のような表面を粗面化処理した銅箔がしばしば使用される。この場合には、上記の各プロセス用離型フィルムにおいては、熱プレス時の加熱加圧工程で上記銅箔面がフィルム表面に食い込み、離型フィルムが剥離できなくなるという問題が起こることがある。   The copper foil of the copper-clad laminate has a roughened surface like a so-called blackened copper foil that has been roughened by oxidizing the surface to improve adhesion to the epoxy resin or by etching with acid. Treated copper foil is often used. In this case, in the release film for each process described above, there may be a problem that the copper foil surface bites into the film surface in the heating and pressurizing step at the time of hot pressing, and the release film cannot be peeled off.

これに対して、4−メチル−1−ペンテン(共)重合体からなり、実質的にワックスまたはシリコーンを含まない層(A)の少なくとも一方の最外層にポリプロピレンおよび/またはポリエチレンの層(B)を設けてなるシートを4.3倍以上に一軸延伸した後、該シートにおける少なくとも一方の最外層のポリプロピレンおよび/またはポリエチレンの層(B)を剥離除去したフィルムであって、延伸方向の熱収縮率が20%以上であることを特徴とする延伸フィルムを使用することが提案されている(例えば、特許文献5ご参照。)。   On the other hand, a polypropylene and / or polyethylene layer (B) comprising at least one outermost layer of the layer (A) comprising a 4-methyl-1-pentene (co) polymer and substantially free of wax or silicone. A film obtained by uniaxially stretching a sheet provided with 4.3 times or more and then peeling off and removing at least one outermost polypropylene and / or polyethylene layer (B) of the sheet, wherein the film shrinks in the stretching direction. It has been proposed to use a stretched film having a rate of 20% or more (for example, see Patent Document 5).

しかしながら、当該技術分野の発展に伴い、多層プリント配線板用離型フィルム等のプロセス用離型フィルムに対する要求水準は年々高まっており、より高温、高圧な熱プレス等の過酷なプロセス条件においても粗度の高い金属表面から、容易に、かつ十分に剥離することができるプロセス用離型フィルムが強く求められている。単に離型フィルムの剛性や、表面平滑性を高めるだけでは、この様な要求に応えることは必ずしもできていなかった。   However, with the development of this technical field, the level of demand for process release films such as release films for multilayer printed wiring boards is increasing year by year, and even under severe process conditions such as hot presses at higher temperatures and higher pressures. There is a strong demand for a release film for a process that can be easily and sufficiently peeled from a metal surface having a high degree. Simply increasing the rigidity and surface smoothness of the release film has not always been able to meet such requirements.

特開2004−082717号公報JP 2004-082717 A 特開平10−67027号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-67027 特開2014−8720号公報JP 2014-8720 A 特開2001−246635号公報JP 2001-246635 A 特許第4489699号明細書Japanese Patent No. 4,489,699

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、温度、圧力等が従来よりも高い条件での熱プレス、又はより長時間の熱プレス等の過酷な条件でのプロセス後においても、黒化処理銅箔等の粗度の高い金属表面から、容易に、かつ十分に剥離することができるプロセス用離型フィルムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, even after a process under severe conditions such as a hot press under conditions where the temperature, pressure, etc. are higher than before, or a hot press for a longer time, etc. It is an object of the present invention to provide a release film for a process that can be easily and sufficiently peeled from a metal surface having a high roughness such as a blackened copper foil.

本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討を重ねた結果、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rに着目し、当該フィルム復元性値Rが一定の値以上であるときに上記課題が効果的に解決されることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち本発明及びその各態様は、下記[1]から[10]に記載のとおりである。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have focused on the film resilience value R measured by the nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C., and the film resilience value R is a constant value. When it was above, it discovered that the said subject was solved effectively and came to complete this invention.
That is, the present invention and each aspect thereof are as described in [1] to [10] below.

[1]
熱可塑性樹脂を含んでなるプロセス用離型フィルムであって、その少なくとも1の面が、以下の特性を有する、上記プロセス用離型フィルム:
(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、
R ≧ 70(%)
である。
[2]
熱可塑性樹脂を含んでなるプロセス用離型フィルムであって、その少なくとも1の面が以下の特性を有する、[1]に記載のプロセス用離型フィルム:
(2)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hが、
H ≧ 40(MPa)
である。
[3]
前記(1)の特性を有する少なくとも1の面と、前記(2)の特性を有する少なくとも1の面とが、同一の面である、[2]に記載のプロセス用離型フィルム。
[4]
ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでなる、[1]から[3]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[5]
延伸若しくは無延伸のポリエステルフィルム層、又は延伸若しくは無延伸のポリアミドフィルム層を有する、[1]から[4]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[6]
粗面化処理された金属表面からの剥離に用いられる、[1]から[5]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[7]
表面粗度Raが、1.0〜6.5μmである金属表面からの剥離に用いられる、[1]から[5]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[8]
[1]から[7]のいずれか一項に記載の離型用フィルムを、上記(1)の特性を有する少なくとも1の面において、粗面化処理された金属箔層と接触させて熱プレスする工程、及び
該プロセス用離型用フィルムを、該金属箔層から剥離する工程、
を有することを特徴とする金属/樹脂積層体の製造方法。
[9]前記金属/樹脂積層体が、多層プリント配線板である、[8]に記載の製造方法。
[10]
[9]に記載の製造方法によって製造された多層プリント基板を有する、電気電子機器。
[1]
Process release film comprising a thermoplastic resin, the process release film having at least one surface having the following characteristics:
(1) The film resilience value R measured by the nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C.
R ≧ 70 (%)
It is.
[2]
Process release film comprising a thermoplastic resin, wherein at least one surface has the following characteristics: Process release film according to [1]:
(2) Hardness H measured by the nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C.
H ≧ 40 (MPa)
It is.
[3]
The release film for process according to [2], wherein at least one surface having the characteristic (1) and at least one surface having the characteristic (2) are the same surface.
[4]
The release film for a process according to any one of [1] to [3], comprising a polyester resin and / or a polyamide resin.
[5]
The release film for process according to any one of [1] to [4], which has a stretched or unstretched polyester film layer or a stretched or unstretched polyamide film layer.
[6]
The release film for process according to any one of [1] to [5], which is used for peeling from a roughened metal surface.
[7]
The release film for process according to any one of [1] to [5], which is used for peeling from a metal surface having a surface roughness Ra of 1.0 to 6.5 μm.
[8]
The release film according to any one of [1] to [7] is brought into contact with a roughened metal foil layer on at least one surface having the characteristics of (1) above and subjected to hot press And a step of peeling the process release film from the metal foil layer,
A method for producing a metal / resin laminate, comprising:
[9] The manufacturing method according to [8], wherein the metal / resin laminate is a multilayer printed wiring board.
[10]
An electrical and electronic apparatus having a multilayer printed circuit board manufactured by the manufacturing method according to [9].

本発明のプロセス用離型フィルムは、温度、圧力等が従来よりも高い条件での熱プレス、又はより長時間の熱プレス等の過酷な条件でのプロセス後においても、黒化処理銅箔等の粗度の高い金属表面から、離型剤等を用いることなく、また、高価で加工が困難な高融点のエンジニアリングプラスチック等の使用を要することなく、容易に、かつ十分に剥離することができるという、従来技術では実現できなかった、実用上高い価値を有する技術的効果を実現するものである。
本発明のプロセス用離型フィルムを用る製造方法は、多層プリント配線板等の金属/樹脂積層構造を有する電機電子部品を、高い自由度で生産性良く製造することができる。
The release film for a process of the present invention is a blackened copper foil or the like even after a process under severe conditions such as a heat press under conditions where temperature, pressure, etc. are higher than before, or a hot press for a longer time. It can be easily and sufficiently peeled from a metal surface having a high roughness without using a release agent or the like, and without using a high-melting engineering plastic that is expensive and difficult to process. That is, it realizes a technical effect having a high value in practical use, which could not be realized by the prior art.
The manufacturing method using the release film for a process of the present invention can manufacture an electrical / electronic component having a metal / resin laminated structure such as a multilayer printed wiring board with high flexibility and high productivity.

銅箔層がガラス繊維−エポキシ樹脂複合絶縁体の両面に積層した硬化した両面銅張り積層板の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the hardened double-sided copper clad laminated board which the copper foil layer laminated | stacked on both surfaces of the glass fiber-epoxy resin composite insulator. 図1の両面銅張り積層板に接着プリプレグと銅箔層を積層し、両表面に離型フィルムを積層した状態を示した概略断面図である。It is the schematic sectional drawing which showed the state which laminated | stacked the adhesive prepreg and the copper foil layer on the double-sided copper clad laminated board of FIG. 1, and laminated | stacked the release film on both surfaces. 図2の多層積層板を加圧成形して得られる多層積層板の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the multilayer laminated board obtained by pressure-molding the multilayer laminated board of FIG. 図3の多層積層板に接着プリプレグと両面銅張り積層板を積層し、両表面に離型フィルムを積層した状態を示した概略断面図である。It is the schematic sectional drawing which showed the state which laminated | stacked the adhesive prepreg and the double-sided copper clad laminated board on the multilayer laminated board of FIG. 3, and laminated | stacked the release film on both surfaces. 図4の多層積層板を加圧成形して得られる多層積層板の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the multilayer laminated board obtained by pressure-molding the multilayer laminated board of FIG.

(プロセス用離型フィルム)
本発明のプロセス用離型フィルムは、熱可塑性樹脂を含んでなるフィルムであって、その少なくとも1の面が、試験温度180℃において最大押し込み荷重2mNのナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが70(%)以上である、という特性(特性(1))を有するものである。
フィルム復元性値Rが上記範囲にあることによって、黒化処理銅箔等の粗度の高い金属表面からの剥離、とりわけ比較的高温、高圧、及び/又は長時間で粗度の高い金属表面と密着した後の剥離が容易となる。したがって、本発明のプロセス用離型フィルムは、粗度の高い表面を有する金属層を有する金属/樹脂積層体の製造、とりわけ黒化処理、粗面化処理された銅箔層を有する多層プリント配線板の製造に、特に好適に用いることができる。
フィルム復元性値Rは、測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷して測定する、最大押し込み荷重(2mN)時の押し込み深さと、除荷後(0mN)の押し込み深さの比から、下式にしたがって計算される。
フィルム復元性値R(%)=(除荷後の押し込み深さ/最大押し込み荷重時の押し込み深さ)×100
(Release film for process)
The release film for a process of the present invention is a film comprising a thermoplastic resin, and at least one surface thereof is a film resilience value measured by a nanoindentation method with a maximum indentation load of 2 mN at a test temperature of 180 ° C. It has the characteristic (characteristic (1)) that R is 70 (%) or more.
When the film restorability value R is in the above range, peeling from a highly rough metal surface such as a blackened copper foil, especially a relatively high temperature, high pressure, and / or a long rough metal surface, Peeling after adhesion becomes easy. Therefore, the process release film of the present invention is a production of a metal / resin laminate having a metal layer having a surface with high roughness, particularly a multilayer printed wiring having a copper foil layer subjected to blackening treatment and roughening treatment. It can use especially suitably for manufacture of a board.
The film resilience value R is determined by unloading a triangular pyramid diamond indenter (Berkovich indenter) with a maximum indentation load of 2 mN into a film measurement surface using a nanoindenter at a measurement temperature of 180 ° C. From the ratio of the indentation depth at the time of the maximum indentation load (2 mN) and the indentation depth after unloading (0 mN), it is calculated according to the following formula.
Film restorability value R (%) = (indentation depth after unloading / indentation depth at maximum indentation load) × 100

フィルム復元性値Rが上記範囲にあることによって黒化処理銅箔表面等の粗度の高い金属表面からの剥離が容易になることのメカニズムは必ずしも明らかではなく、また特定の理論に拘束されることを意図するものではないが、比較的高温、高圧、及び/又は長時間で粗度の高い金属表面と密着して熱プレスされた際に、粗度の高い金属表面の凹凸パターンに追随して変形したフィルム表面が、より平滑な形状に復元することにより、金属表面との密着が一部解消することと何らかの関係があるものと推定される。
フィルム復元性値Rは、73%以上であることがより好ましく、75%以上であることが特に好ましい。
剥離性の観点からフィルム復元性値Rは高いほうが好ましく、本発明において特に上限は存在しないが、加工性、取り扱い等の観点から、90%以下であることが好ましく、85%以下であることが特に好ましい。
本発明の離型用フィルムのフィルム復元性値Rを上記範囲とするために用いる樹脂の種類としては、特に限定されず、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、テトラフルオロエチレンに由来する構成単位を含むポリテトラフルオロエチレンやエチレン-テトラフルオロエチレン共重合体等であるフッ素樹脂、ウレタン樹脂、ポリスチレン樹脂等の樹脂の中から適宜選択して用いることができる。またこれらを併用することもできる。
また、用いられる樹脂は、熱可塑性樹脂であってもよいし、熱硬化性樹脂や紫外線、電子線等の活性エネルギー線を加えることで架橋する活性エネルギー線硬化性樹脂を用いてもよい。
本発明の離型用フィルムのフィルム復元性値Rを上記範囲とするには、前記樹脂を高分子量化する方法、樹脂フィルムにエポキシ基等反応基を含む架橋剤を含有させる方法、延伸配向により樹脂分子の配向をそろえる方法、樹脂フィルムに熱処理を施す方法等により適宜調整できる。本発明の離型用フィルムは、かかるフィルム復元性値Rを達成するための他の方法としては、例えば、フィルム表面に対してラビング処理を施すことなどが挙げられる。離型用フィルムの表面に対してラビング処理を施すことで前述の表面硬度を達成しようとする場合、ラビングの方法は特に限定されないが、例えば、既知のラビング装置を用いることができる。
The mechanism that the peeling from the metal surface with high roughness such as the blackened copper foil surface is facilitated by the film restoring value R being in the above range is not always clear, and is restricted by a specific theory. It is not intended to follow the uneven pattern on the metal surface with high roughness when it is hot pressed in close contact with the metal surface with high roughness at a relatively high temperature, high pressure and / or for a long time. It is presumed that the film surface deformed in this way has some relationship with the fact that the adhesion with the metal surface is partially eliminated by restoring to a smoother shape.
The film restorability value R is more preferably 73% or more, and particularly preferably 75% or more.
From the viewpoint of releasability, the film restorability value R is preferably higher. In the present invention, there is no particular upper limit, but from the viewpoint of processability, handling, etc., it is preferably 90% or less, and 85% or less. Particularly preferred.
The type of the resin used for setting the film restorability value R of the release film of the present invention in the above range is not particularly limited, and is a polytetrahedral resin including a polyester resin, a polyamide resin, and a structural unit derived from tetrafluoroethylene. It can be used by appropriately selecting from fluororesin such as fluoroethylene and ethylene-tetrafluoroethylene copolymer, urethane resin, polystyrene resin and the like. Moreover, these can also be used together.
The resin used may be a thermoplastic resin, or a thermosetting resin or an active energy ray curable resin that crosslinks by applying active energy rays such as ultraviolet rays and electron beams.
In order to make the film restorability value R of the release film of the present invention within the above range, a method of increasing the molecular weight of the resin, a method of adding a crosslinking agent containing a reactive group such as an epoxy group to the resin film, and stretching orientation It can be suitably adjusted by a method of aligning resin molecules, a method of heat-treating a resin film, or the like. The release film of the present invention includes, for example, a rubbing treatment for the film surface as another method for achieving the film restoring value R. When the surface hardness is to be achieved by performing a rubbing treatment on the surface of the release film, the rubbing method is not particularly limited, and for example, a known rubbing apparatus can be used.

本発明のプロセス用離型フィルムにおいては、その少なくとも1の面が、試験温度180℃において最大押し込み荷重2mNのナノインデンテーション法で測定した硬度Hが40(MPa)以上である、という特性(特性(2))を有することが好ましい。
硬度Hが上記範囲にあることによって、粗化処理銅箔表面等の粗度の高い金属表面からの剥離、とりわけ比較的高温、高圧、及び/又は長時間で粗度の高い金属表面と密着した後の剥離が、一層容易となる。したがって、本発明のプロセス用離型フィルムであって、上記(2)の特性を有する態様は、黒化処理された銅箔層等の粗度の高い金属表面を有する多層プリント配線板等の製造に、一層好適に用いることができる。
硬度Hは、測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷した際の、最大押し込み荷重(Fmax)、押し込み深さ(h)から、下式にしたがって計算される。
硬度H = Fmax/(23.96×h
In the process release film of the present invention, at least one surface has a characteristic that the hardness H measured by the nanoindentation method with a maximum indentation load of 2 mN at a test temperature of 180 ° C. is 40 (MPa) or more. It is preferable to have (2)).
Due to the hardness H being in the above range, peeling from a rough metal surface such as a roughened copper foil surface, in particular, adhesion to a high roughness metal surface at a relatively high temperature, high pressure, and / or long time. Later peeling becomes easier. Accordingly, the process release film of the present invention, which has the above-mentioned characteristic (2), is a method for producing a multilayer printed wiring board having a metal surface having a high roughness such as a blackened copper foil layer. Furthermore, it can be used more suitably.
Hardness H was measured when a triangular pyramid diamond indenter (Berkovich indenter) with a ridge angle of 115 ° was pushed into the film measurement surface with a maximum pushing load of 2 mN using a nanoindenter at a measurement temperature of 180 ° C. The maximum indentation load (F max ) and the indentation depth (h c ) are calculated according to the following formula.
Hardness H = F max /(23.96×h c 2 )

硬度Hが上記範囲にあることによって黒化処理銅箔表面等の、粗度の高い金属表面からの剥離が一層容易になることのメカニズムは必ずしも明らかではなく、また特定の理論に拘束されることを意図するものではないが、比較的高温、高圧、及び/又は長時間で粗度の高い金属表面と密着して熱プレスされた場合であっても、硬度の高いフィルム表面が、粗度の高い金属表面の凹凸パターンに追随して変形する度合いが小さく、金属表面との密着の度合いが小さいことと何らかの関係があるものと推定される。
硬度Hは、45MPa以上であることがより好ましく、55MPa以上であることが特に好ましい。
剥離性の観点からフィルムの硬度Hは高いほうが好ましく、本発明において特に上限は存在しないが、加工性、取り扱い等の観点から、130MPa以下であることが好ましく、115MPa以下であることが特に好ましい。
The mechanism by which the hardness H is within the above range makes it easier to separate from a roughened metal surface, such as a blackened copper foil surface, is not always clear, and is bound by a specific theory. Although it is not intended to have a high hardness, the surface of the film having a high hardness has a high degree of roughness even when it is hot-pressed in close contact with a metal surface having a high roughness at a relatively high temperature, high pressure and / or for a long time. It is estimated that the degree of deformation following the uneven pattern on the high metal surface is small, and that there is some relationship with the low degree of adhesion to the metal surface.
The hardness H is more preferably 45 MPa or more, and particularly preferably 55 MPa or more.
From the viewpoint of releasability, the film preferably has a higher hardness H. In the present invention, there is no particular upper limit, but from the viewpoint of workability, handling, etc., it is preferably 130 MPa or less, and particularly preferably 115 MPa or less.

本発明の離型用フィルムの硬度Hを上記範囲とするには、前記樹脂を高分子量化する方法、樹脂フィルムにエポキシ基等反応基を含む架橋剤を含有させる方法、延伸配向により樹脂分子の配向をそろえる方法、樹脂フィルムに熱処理を施す方法等により適宜調整できる。   In order to set the hardness H of the release film of the present invention in the above range, a method of increasing the molecular weight of the resin, a method of adding a cross-linking agent containing a reactive group such as an epoxy group to the resin film, a resin molecule by stretching orientation It can adjust suitably by the method of aligning orientation, the method of heat-processing a resin film, etc.

本発明のプロセス用離型フィルムの上記態様においては、上記(1)の特性を有する少なくとも1の面と、上記(2)の特性を有する少なくとも1の面とが、同一の面であることが好ましい。すなわち、本発明の上記態様においては、少なくとも1の面が、上記(1)の特性と、上記(2)の特性とを、同時に有することが好ましい。
当該少なくとも1の面が、上記(1)の特性と上記(2)の特性とを同時に有することで、粗度の高い金属表面からの剥離が更に容易になるので、この様な面は熱プレス等の際に、いわゆる黒化処理銅箔のような表面粗度の高い金属表面と接触させて使用するのに特に好適である。
In the said aspect of the release film for processes of this invention, it is that at least 1 surface which has the characteristic of said (1) and at least 1 surface which has the characteristic of said (2) are the same surfaces. preferable. That is, in the above aspect of the present invention, it is preferable that at least one surface has the above-mentioned characteristic (1) and the characteristic (2) at the same time.
Since the at least one surface has the characteristics (1) and (2) at the same time, peeling from a metal surface having a high roughness is further facilitated. In particular, it is particularly suitable for use in contact with a metal surface having a high surface roughness such as a so-called blackened copper foil.

本発明のプロセス用離型フィルムは、その少なくとも1の面、好ましくは上記(1)の特性を有する少なくとも1の面、の水に対する接触角が、90°から130°であることが好ましい。この様な接触角を有することにより、この態様のプロセス用離型フィルムは濡れ性が低く、粗度の高い金属表面、特に黒化処理した銅箔表面からの剥離性に優れ、多層プリント配線板等の成形品の熱プレス後の離型を、一層容易にすることができる。
上記少なくとも1つの面の水に対する接触角は、好ましくは95°から120°であり、より好ましくは98°から115°、更に好ましくは100°から110°である。
In the process release film of the present invention, the contact angle with respect to water of at least one surface thereof, preferably at least one surface having the above property (1), is preferably 90 ° to 130 °. By having such a contact angle, the release film for process of this embodiment has low wettability, excellent peelability from a highly rough metal surface, particularly a blackened copper foil surface, and a multilayer printed wiring board. It is possible to further facilitate the release of the molded product such as after the hot pressing.
The contact angle of at least one surface with respect to water is preferably 95 ° to 120 °, more preferably 98 ° to 115 °, and still more preferably 100 ° to 110 °.

また、本発明のプロセス用離型フィルムは、その120℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであるか、又はその170℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであることが好ましい。さらに、本発明のプロセス用離型フィルムは、120℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであって、かつ、170℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであることが好ましい。
120℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであるか、又は170℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであることにより、熱プレス工程等における皺の発生を有効に抑制することができる。
Further, the release film for a process of the present invention preferably has a tensile elastic modulus at 120 ° C. of 75 MPa to 500 MPa, or a tensile elastic modulus at 170 ° C. of 75 MPa to 500 MPa. Further, the process release film of the present invention preferably has a tensile elastic modulus at 120 ° C. of 75 MPa to 500 MPa and a tensile elastic modulus at 170 ° C. of 75 MPa to 500 MPa.
When the tensile elastic modulus at 120 ° C. is from 75 MPa to 500 MPa, or the tensile elastic modulus at 170 ° C. is from 75 MPa to 500 MPa, generation of wrinkles in a hot press process or the like can be effectively suppressed.

本実施形態のプロセス用離型フィルムは、その120℃での引張弾性率が80MPaから400MPaであることが好ましく、85MPaから350MPaであることがより好ましく、88MPaから300MPaであることがさらに好ましく、90MPaから280MPaであることが特に好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、その170℃での引張弾性率が80MPaから400MPaであることが好ましく、85MPaから350MPaであることがより好ましく、88MPaから300MPaであることがより好ましく、90MPaから280MPaであることがより好ましく、95MPaから200MPaであることがさらに好ましく、105MPaから170MPaであることが特に好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、その120℃での引張弾性率、及び170℃での引張弾性率が共に上記の好ましい範囲内であることが加工の際の自由度および用途が広がるため特に好ましい。
The release film for a process of this embodiment preferably has a tensile modulus at 120 ° C. of 80 MPa to 400 MPa, more preferably 85 MPa to 350 MPa, further preferably 88 MPa to 300 MPa, 90 MPa To 280 MPa is particularly preferred.
The process release film of the present embodiment preferably has a tensile modulus at 170 ° C. of 80 MPa to 400 MPa, more preferably 85 MPa to 350 MPa, more preferably 88 MPa to 300 MPa, and 90 MPa. To 280 MPa, more preferably from 95 MPa to 200 MPa, and particularly preferably from 105 MPa to 170 MPa.
Since the release film for process of this embodiment has both the tensile elastic modulus at 120 ° C. and the tensile elastic modulus at 170 ° C. within the above-mentioned preferable range, the degree of freedom and application during processing are expanded. Particularly preferred.

また、本発明のプロセス用離型フィルムは、そのTD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率が3%以下であるか、又は、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が4%以下であることが好ましい。さらに、TD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率が3%以下であってかつTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が4%以下であることがより好ましい。
TD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率が3%以下であるか、又は、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が4%以下であることにより、熱プレス工程等における皺の発生を更に有効に抑制することができる。この実施形態において、横(TD)方向の熱寸法変化率が上記の特定の値を示すもの用いることで、皺の発生が更に有効に抑制されるメカニズムは必ずしも明らかではないが、比較的熱膨張/収縮の小さいフィルムを用いることにより、プロセス時の加熱/冷却によるプロセス用離型フィルムの熱膨張/収縮が抑制されることと関連があるものと推測される。
Moreover, the mold release film for a process of the present invention has a thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 120 ° C. in the TD direction (lateral direction) of 3% or less, or 23 in the TD direction (lateral direction). It is preferable that the thermal dimensional change rate from 0 ° C. to 170 ° C. is 4% or less. Furthermore, the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 120 ° C. in the TD direction (lateral direction) is 3% or less, and the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 170 ° C. in the TD direction (lateral direction) is 4% or less. It is more preferable that
The thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 120 ° C. in the TD direction (lateral direction) is 3% or less, or the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 170 ° C. in the TD direction (lateral direction) is 4%. By being below, the generation | occurrence | production of soot in a hot press process etc. can be suppressed still more effectively. In this embodiment, the mechanism by which the rate of thermal dimensional change in the transverse (TD) direction exhibits the specific value described above is used to suppress the generation of wrinkles more effectively. It is presumed that the use of a film having a small shrinkage / shrinkage is related to the suppression of the thermal expansion / shrinkage of the process release film due to heating / cooling during the process.

本実施形態のプロセス用離型フィルムは、そのTD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率が2.5%以下であることが好ましく、2.0%以下であることより好ましく、1.5%以下であることが更に好ましくい。一方、そのTD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率が−5.0%以上であることが好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が3.5%以下であることが好ましく、3.0%以下であることがより好ましく、2.0%以下であることが更に好ましくい。一方、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が−5.0%以上であることが好ましい。
The mold release film for a process according to this embodiment preferably has a thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 120 ° C. in the TD direction (lateral direction) of 2.5% or less, and is 2.0% or less. More preferably, it is still more preferably 1.5% or less. On the other hand, the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 120 ° C. in the TD direction (lateral direction) is preferably −5.0% or more.
The mold release film for a process of the present embodiment preferably has a thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 170 ° C. in the TD direction (lateral direction) of 3.5% or less, and is 3.0% or less. Is more preferable, and it is still more preferable that it is 2.0% or less. On the other hand, the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 170 ° C. in the TD direction (lateral direction) is preferably −5.0% or more.

本発明のプロセス用離型フィルムは、そのTD方向(横方向)の熱寸法変化率とMD方向(フィルムの製造時の長手方向。以下、「縦方向」ともいう)の熱寸法変化率の和が特定の値以下であることが好ましい。
すなわち、上記プロセス用離型フィルムの横(TD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率の和は、6%以下であることが好ましく、一方、そのTD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率の和が−5.0%以上であることが好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、横(TD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率の和が6%以下であることにより、熱プレス工程等における皺の発生を一層有効に抑制することができる。
The release film for process of the present invention is the sum of the thermal dimensional change rate in the TD direction (transverse direction) and the thermal dimensional change rate in the MD direction (longitudinal direction at the time of manufacturing the film; hereinafter also referred to as “longitudinal direction”). Is preferably not more than a specific value.
That is, the sum of the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 120 ° C. in the transverse (TD) direction and the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 120 ° C. in the longitudinal (MD) direction of the release film for process is 6%. On the other hand, the sum of the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 120 ° C. in the TD direction (lateral direction) and the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 120 ° C. in the vertical (MD) direction is − It is preferably 5.0% or more.
In the release film for process of this embodiment, the sum of the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 120 ° C. in the transverse (TD) direction and the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 120 ° C. in the vertical (MD) direction is 6. % Or less, generation of wrinkles in a hot press process or the like can be further effectively suppressed.

また、本発明のプロセス用離型フィルムの横(TD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率の和は、7%以下であることが好ましく、一方、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率の和が−5.0%以上であることが好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、横(TD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率の和が7%以下であることにより、熱プレス工程等における皺の発生を更に有効に抑制することができる。
Moreover, the sum of the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 170 ° C. in the transverse (TD) direction and the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 170 ° C. in the longitudinal (MD) direction of the release film for process of the present invention is: It is preferably 7% or less. On the other hand, the sum of the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 170 ° C. in the TD direction (lateral direction) and the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 170 ° C. in the vertical (MD) direction. Is preferably −5.0% or more.
In the release film for process of this embodiment, the sum of the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 170 ° C. in the transverse (TD) direction and the thermal dimensional change rate from 23 ° C. to 170 ° C. in the vertical (MD) direction is 7 % Or less makes it possible to more effectively suppress the generation of wrinkles in a hot press process or the like.

本発明のプロセス用離型フィルムの厚みは、フィルムとして製膜可能であり、かつ離型フィルムとして使用可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、通常5〜150μm、好ましくは15〜100μm、より好ましくは25〜80μmである。   The thickness of the release film for a process of the present invention is not particularly limited as long as it can be formed as a film and can be used as a release film, but is usually 5 to 150 μm, preferably 15 to 15 μm. The thickness is 100 μm, more preferably 25 to 80 μm.

本発明のプロセス用離型フィルムの上記少なくとも1の面は、特性(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、R ≧ 70(%)であることを満足すればよく、その材質等に特に制限は無いが、適切なフィルム復元性値Rを比較的容易かつ安価に実現できることから、ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含むものであることが望ましい。   The at least one surface of the release film for a process of the present invention satisfies the characteristic (1) that the film restoration value R measured by the nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C. is R ≧ 70 (%). There is no particular limitation on the material and the like, but it is desirable to include a polyester resin and / or a polyamide resin because an appropriate film restoring value R can be realized relatively easily and inexpensively.

(ポリエステル樹脂)
本発明において好ましく用いられるポリエステル樹脂は、ホモポリエステルであってもよく、共重合ポリエステルであってもよい。ホモポリエステルを用いる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、2,6−ナフタレンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、1,4−シクロヘキサンジメタノール等を挙げることができる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等を例示することができる。一方、共重合ポリエステルに用いるジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、2,6−ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、オキシカルボン酸(例えば、P−オキシ安息香酸など)等の一種または二種以上が挙げられ、グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、1,4−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等の一種または二種以上を挙げることができる。
(Polyester resin)
The polyester resin preferably used in the present invention may be a homopolyester or a copolyester. When using a homopolyester, those obtained by polycondensation of an aromatic dicarboxylic acid and an aliphatic glycol are preferred. Examples of the aromatic dicarboxylic acid include terephthalic acid and 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, and examples of the aliphatic glycol include ethylene glycol, diethylene glycol, and 1,4-cyclohexanedimethanol. Typical polyesters include polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT), and the like. On the other hand, examples of the dicarboxylic acid component used in the copolyester include isophthalic acid, phthalic acid, terephthalic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, adipic acid, sebacic acid, oxycarboxylic acid (for example, P-oxybenzoic acid, etc.), etc. As the glycol component, one or more of ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, butanediol, 1,4-cyclohexanedimethanol, neopentyl glycol and the like can be mentioned.

本発明で好ましく用いられるポリエステルは、溶融重合反応で得られたものであってもよいが、溶融重合後にチップ化したポリエステルを固相重合して得られた原料を用いれば、原料中に含まれるオリゴマー量が低減できるので特に好ましい。
ポリエステル中に含まれるオリゴマー量は0.7重量%以下であることが好ましく、さらに好ましくは0.5重量%以下である。当該ポリエステルのオリゴマー量が少ない場合、本発明のプロセス用離型フィルム中に含まれるオリゴマー量の低減、更にはフィルム表面へのオリゴマー析出防止効果が特に高度に発揮される。
The polyester preferably used in the present invention may be obtained by a melt polymerization reaction, but is included in the raw material if a raw material obtained by solid-phase polymerization of a polyester formed into a chip after melt polymerization is used. This is particularly preferable because the amount of oligomer can be reduced.
The amount of oligomer contained in the polyester is preferably 0.7% by weight or less, and more preferably 0.5% by weight or less. When the amount of the oligomer of the polyester is small, the amount of the oligomer contained in the process release film of the present invention is reduced, and further, the effect of preventing oligomer precipitation on the film surface is exhibited to a high degree.

プロセス用離型フィルムがポリエステル樹脂を含む態様においては、ポリエステル樹脂を含む層中には、易滑性付与を主たる目的として粒子を配合することができる。配合する粒子の種類は、易滑性付与可能な粒子であれば特に限定されるものではなく、具体例としては、例えば、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム、酸化チタン等の粒子が挙げられる。また、特公昭59−5216号公報、特開昭59−217755号公報等に記載されている耐熱性有機粒子を用いてもよい。この他の耐熱性有機粒子の例として、熱硬化性尿素樹脂、熱硬化性フェノール樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂等が挙げられる。さらに、ポリエステル製造工程中、触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる
一方、使用する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は、必要に応じて2種類以上を併用してもよい。
また、用いる粒子の平均粒径は、通常0.01〜3μm、好ましくは0.01〜1μmの範囲である。平均粒径が0.01μm以上であれば、粒子が凝集が抑制され、十分な分散性が容易に実現でき、一方、3μm以下であれば、フィルムの表面粗度が実用上好適な一定限度内に抑制される。
In the aspect in which the release film for process contains a polyester resin, particles can be blended in the layer containing the polyester resin for the main purpose of imparting slipperiness. The kind of the particle to be blended is not particularly limited as long as it is a particle capable of imparting slipperiness. Specific examples thereof include silica, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium carbonate, calcium sulfate, calcium phosphate, and phosphoric acid. Examples of the particles include magnesium, kaolin, aluminum oxide, and titanium oxide. Further, the heat-resistant organic particles described in JP-B-59-5216, JP-A-59-217755 and the like may be used. Examples of other heat-resistant organic particles include thermosetting urea resins, thermosetting phenol resins, thermosetting epoxy resins, benzoguanamine resins, and the like. Furthermore, during the polyester production process, it is possible to use precipitated particles in which a part of a metal compound such as a catalyst is precipitated and finely dispersed. On the other hand, the shape of the particles to be used is not particularly limited. Either a rod shape or a flat shape may be used. Moreover, there is no restriction | limiting in particular also about the hardness, specific gravity, a color, etc. These series of particles may be used in combination of two or more as required.
Moreover, the average particle diameter of the particle | grains to be used is 0.01-3 micrometers normally, Preferably it is the range of 0.01-1 micrometer. If the average particle diameter is 0.01 μm or more, aggregation of the particles is suppressed and sufficient dispersibility can be easily realized, while if it is 3 μm or less, the surface roughness of the film is within a practically preferable fixed limit. To be suppressed.

さらに、ポリエステル層中の粒子含有量は、通常0.001〜5重量%、好ましくは0.005〜3重量%の範囲である。粒子含有量が0.001重量%以上であれば、フィルムの易滑性が十分であり、一方、5重量%以下であれば、十分なフィルムの透明性が確保される。
ポリエステル層中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、各層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後、重縮合反応を進めてもよい。
また、ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または、混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行ってもよい。
Furthermore, the particle content in the polyester layer is usually in the range of 0.001 to 5% by weight, preferably 0.005 to 3% by weight. If the particle content is 0.001% by weight or more, the slipperiness of the film is sufficient, while if it is 5% by weight or less, sufficient transparency of the film is ensured.
The method for adding particles to the polyester layer is not particularly limited, and a conventionally known method can be adopted. For example, it can be added at any stage of producing the polyester constituting each layer, but preferably a polycondensation reaction may be carried out after the esterification stage or after the transesterification reaction.
Also, a method of blending a slurry of particles dispersed in ethylene glycol or water with a vented kneading extruder and a polyester raw material, or a blending of dried particles and a polyester raw material using a kneading extruder. You may carry out by the method etc.

(ポリアミド樹脂)
本発明において好ましく用いられるポリアミド樹脂は、脂肪族ポリアミド樹脂であっても、芳香族ポリアミド樹脂であってもよいが、脂肪族ポリアミド樹脂がより好ましい。
脂肪族ポリアミド樹脂は、ラクタムの開環重合;脂肪族ジアミン成分と脂肪族ジカルボン酸成分との重縮合反応;脂肪族アミノカルボン酸の重縮合等によって製造することができる。
(Polyamide resin)
The polyamide resin preferably used in the present invention may be an aliphatic polyamide resin or an aromatic polyamide resin, but an aliphatic polyamide resin is more preferable.
The aliphatic polyamide resin can be produced by ring-opening polymerization of lactam; polycondensation reaction between an aliphatic diamine component and an aliphatic dicarboxylic acid component; polycondensation of an aliphatic aminocarboxylic acid, or the like.

ラクタムを開環重合して得られる脂肪族ポリアミドの例には、ポリアミド6、ポリアミド11、ポリアミド12およびポリアミド612等が含まれる。脂肪族ジアミン成分と脂肪族ジカルボン酸成分との重縮合で得られる脂肪族ポリアミドの例には、ポリアミド66、ポリアミド610、ポリアミド46、ポリアミドMXD6、ポリアミド6T、ポリアミド6Iおよびポリアミド9T等が含まれる。   Examples of the aliphatic polyamide obtained by ring-opening polymerization of lactam include polyamide 6, polyamide 11, polyamide 12 and polyamide 612. Examples of the aliphatic polyamide obtained by polycondensation of an aliphatic diamine component and an aliphatic dicarboxylic acid component include polyamide 66, polyamide 610, polyamide 46, polyamide MXD6, polyamide 6T, polyamide 6I, and polyamide 9T.

なかでも、ポリアミド6またはポリアミド66が好ましく;ポリアミド66がより好ましい。これらのポリアミドは、上記特性(1)を比較的容易に実現することが可能であり、高融点かつ高弾性率であり、耐熱性および機械的特性に優れるからである。また、他の層との接着性が比較的良好なので、積層フィルムを構成する場合にも有利である。
高融点かつ高弾性率であり、耐熱性および機械的特性に優れるポリアミドを用いたフィルムは、シワ、破れ等が有効に抑制されるため、成形品やプレス装置を清浄に保つ観点からも好適である。
脂肪族ポリアミドの、DSC法により測定される融点は、190℃以上が好ましい。190℃以上の融点を有することで、比較的高温での熱プレス等のプロセスに供された場合でも、皺を効果的に抑制することができる。
Of these, polyamide 6 or polyamide 66 is preferred; polyamide 66 is more preferred. This is because these polyamides can realize the above-mentioned property (1) relatively easily, have a high melting point and a high elastic modulus, and are excellent in heat resistance and mechanical properties. Moreover, since adhesiveness with another layer is comparatively favorable, it is advantageous also when comprising a laminated film.
Films made of polyamide with a high melting point and high elastic modulus, and excellent heat resistance and mechanical properties are suitable from the viewpoint of keeping molded products and press devices clean because wrinkles, tears, etc. are effectively suppressed. is there.
The melting point of aliphatic polyamide measured by DSC method is preferably 190 ° C. or higher. By having a melting point of 190 ° C. or higher, soot can be effectively suppressed even when subjected to a process such as hot pressing at a relatively high temperature.

(他の樹脂)
上述のポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂は、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂以外の他の樹脂をさらに含んでもよい。他の樹脂の好ましい例には、高温での引張応力や圧縮応力に対する耐クリープ性に優れる耐熱エラストマーや、応力緩和しにくく、弾性回復性の高い耐熱エラストマーなどが含まれる。
このような耐熱エラストマーとしては、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂との親和性を考慮すると、熱可塑性ポリアミド系エラストマー、熱可塑性ポリエステル系エラストマーなどが好ましい。
熱可塑性ポリアミド系エラストマーの例には、ポリアミドをハードセグメントとし、ポリエステルまたはポリエーテルをソフトセグメントとするブロック共重合体が含まれる。ハードセグメントを構成するポリアミドの例には、ポリアミド6、ポリアミド66、ポリアミド610、ポリアミド612、ポリアミド11などが含まれる。ソフトセグメントを構成するポリエーテルの例には、ポリエチレングリコール(PEG)、ポリプロピレングリコール(PPG)、ポリテトラメチレングリコール(PTMG)などが含まれる。
(Other resins)
The above-described polyester resin or polyamide resin may further include other resins other than the polyester resin or the polyamide resin. Preferred examples of other resins include heat-resistant elastomers that are excellent in creep resistance against tensile stress and compressive stress at high temperatures, and heat-resistant elastomers that are less susceptible to stress relaxation and have high elastic recovery properties.
As such a heat-resistant elastomer, in view of the affinity with a polyester resin or a polyamide resin, a thermoplastic polyamide-based elastomer, a thermoplastic polyester-based elastomer, or the like is preferable.
Examples of the thermoplastic polyamide-based elastomer include a block copolymer having polyamide as a hard segment and polyester or polyether as a soft segment. Examples of the polyamide constituting the hard segment include polyamide 6, polyamide 66, polyamide 610, polyamide 612, polyamide 11 and the like. Examples of the polyether constituting the soft segment include polyethylene glycol (PEG), polypropylene glycol (PPG), polytetramethylene glycol (PTMG), and the like.

熱可塑性ポリエステル系エラストマーの例には、結晶性の芳香族ポリエステル単位からなる結晶性重合体をハードセグメントとし、ポリエーテル単位または脂肪族ポリエステル単位からなる非晶性重合体をソフトセグメントとするブロック共重合体が含まれる。ハードセグメントを構成する結晶性の芳香族ポリエステル単位からなる結晶性重合体の例には、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリブチレンナフタレート(PBN)などが含まれる。ソフトセグメントを構成するポリエーテル単位からなる非晶性重合体の例には、ポリテトラメチレンエーテルグリコール(PTMG)などが含まれる。ソフトセグメントを構成する脂肪族ポリエステル単位からなる非晶性重合体の例には、ポリカプロラクトン(PCL)などの脂肪族ポリエステルが含まれる。   Examples of thermoplastic polyester elastomers include block copolymers in which a crystalline polymer composed of crystalline aromatic polyester units is used as a hard segment, and an amorphous polymer composed of polyether units or aliphatic polyester units is used as a soft segment. A polymer is included. Examples of the crystalline polymer comprising crystalline aromatic polyester units constituting the hard segment include polybutylene terephthalate (PBT) and polybutylene naphthalate (PBN). Examples of the amorphous polymer composed of polyether units constituting the soft segment include polytetramethylene ether glycol (PTMG). Examples of the amorphous polymer composed of aliphatic polyester units constituting the soft segment include aliphatic polyesters such as polycaprolactone (PCL).

熱可塑性ポリエステル系エラストマーの具体例には、ポリブチレンテレフタレート(PBT)とポリテトラメチレンエーテルグリコール(PTMG)とのブロック共重合体;ポリブチレンテレフタレート(PBT)とポリカプロラクトン(PCL)とのブロック共重合体;ポリブチレンナフタレート(PBN)と脂肪族ポリエステルとのブロック共重合体などが含まれる。   Specific examples of the thermoplastic polyester elastomer include a block copolymer of polybutylene terephthalate (PBT) and polytetramethylene ether glycol (PTMG); a block copolymer of polybutylene terephthalate (PBT) and polycaprolactone (PCL). Polymers; block copolymers of polybutylene naphthalate (PBN) and aliphatic polyesters are included.

熱可塑性ポリアミド系エラストマーおよび熱可塑性ポリエステル系エラストマーのDSC法により測定される融点は、190℃以上であることが好ましい。なお、熱可塑性エラストマーの融点が190℃未満であっても、熱可塑性エラストマーを、架橋剤や架橋助剤により化学的に架橋させたり、紫外線や電子線、ガンマ線などで物理的に架橋させたりすることで、高温での耐クリープ性や弾性回復性を向上させてもよい。   The melting point of the thermoplastic polyamide-based elastomer and the thermoplastic polyester-based elastomer measured by the DSC method is preferably 190 ° C. or higher. Even if the melting point of the thermoplastic elastomer is less than 190 ° C., the thermoplastic elastomer is chemically crosslinked with a crosslinking agent or a crosslinking aid, or physically crosslinked with ultraviolet rays, electron beams, gamma rays, or the like. Thus, creep resistance and elastic recovery at high temperatures may be improved.

上記ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂は、本発明の目的を損なわない範囲で、公知の添加剤をさらに含んでいてもよい。添加剤は、例えば、帯電防止剤、酸化防止剤、例えば銅化合物系を含む耐熱安定剤、例えばステアリン酸カルシウムおよびステアリン酸アルミニウムなどの滑剤、熱安定剤、潤滑剤、染料、顔料などの公知の添加剤、のいずれか又はそれらの組み合わせであってもよい。   The said polyester resin or polyamide resin may further contain the well-known additive in the range which does not impair the objective of this invention. Additives are known additives such as antistatic agents, antioxidants, heat stabilizers including, for example, copper compound systems, lubricants such as calcium stearate and aluminum stearate, thermal stabilizers, lubricants, dyes, pigments, etc. Any of these agents or a combination thereof may be used.

(ポリエステルフィルム層、及びポリアミドフィルム層)
本発明において好ましく用いられる上記ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂は、通常、延伸又は無延伸のフィルムの形態で用いられる。すなわち、本発明のプロセス用離型フィルムは、延伸若しくは無延伸のポリエステルフィルム層、又は延伸若しくは無延伸のポリアミドフィルム層を有することが好ましい。
(Polyester film layer and polyamide film layer)
The polyester resin or polyamide resin preferably used in the present invention is usually used in the form of a stretched or unstretched film. That is, the process release film of the present invention preferably has a stretched or unstretched polyester film layer or a stretched or unstretched polyamide film layer.

本発明のプロセス用離型フィルムの全部または一部を構成するのに好適なポリエステルフィルム層の厚みは、フィルムとして製膜可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、通常、12〜250μm、好ましくは25〜188μm、さらに好ましくは38〜125μmの範囲である。延伸ポリエステルフィルムである場合には、3〜50μmであることが好ましく、5〜35μmであることが好ましく、7〜20μmであることがさらに好ましい。また、無延伸ポリエステルフィルムである場合には、5〜80μmであることが好ましく、8〜50μmであることがさらに好ましく、10〜35μmであることが特に好ましい。   The thickness of the polyester film layer suitable for constituting all or part of the release film for a process of the present invention is not particularly limited as long as it can be formed as a film. It is 250 μm, preferably 25 to 188 μm, more preferably 38 to 125 μm. When it is a stretched polyester film, it is preferably 3 to 50 μm, preferably 5 to 35 μm, and more preferably 7 to 20 μm. Moreover, when it is an unstretched polyester film, it is preferable that it is 5-80 micrometers, It is more preferable that it is 8-50 micrometers, It is especially preferable that it is 10-35 micrometers.

上記ポリエステルフィルムの製造方法には特に制限はなく、従来公知の方法によって適宜製造することが可能であるが、延伸ポリエステルフィルムである場合には、例えば以下に記載の指針に従い製造することが好ましい。
まず、先に述べたポリエステル樹脂を使用し、ダイから押し出された溶融シートを冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静電印加密着法および/または液体塗布密着法が好ましく採用される。次に得られた未延伸シートは二軸方向に延伸されることが好ましい。逐次二軸延伸の場合、前記の未延伸シートを、まず一方向にロールまたはテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常70〜120℃、好ましくは80〜110℃であり、延伸倍率は通常2.5〜7倍、好ましくは3.0〜6倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸することができる。延伸温度は通常70〜170℃であり、延伸倍率は通常3.0〜7倍、好ましくは3.5〜6倍である。そして、引き続き180〜270℃の温度で緊張下または30%以内の弛緩下で熱処理を行い、二軸配向フィルムを得る。上記の延伸においては、一方向の延伸を2段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うのが好ましい。
There is no restriction | limiting in particular in the manufacturing method of the said polyester film, Although it can manufacture suitably by a conventionally well-known method, when it is a stretched polyester film, it is preferable to manufacture according to the guideline described below, for example.
First, a method of using the polyester resin described above and cooling and solidifying a molten sheet extruded from a die with a cooling roll to obtain an unstretched sheet is preferable. In this case, in order to improve the flatness of the sheet, it is necessary to improve the adhesion between the sheet and the rotary cooling drum, and an electrostatic application adhesion method and / or a liquid application adhesion method are preferably employed. Next, the obtained unstretched sheet is preferably stretched in the biaxial direction. In the case of sequential biaxial stretching, the unstretched sheet is first stretched in one direction by a roll or a tenter type stretching machine. The stretching temperature is usually 70 to 120 ° C., preferably 80 to 110 ° C., and the stretching ratio is usually 2.5 to 7 times, preferably 3.0 to 6 times. Subsequently, it can extend | stretch in the direction orthogonal to the extending | stretching direction of the 1st step | paragraph. The stretching temperature is usually 70 to 170 ° C., and the stretching ratio is usually 3.0 to 7 times, preferably 3.5 to 6 times. Subsequently, heat treatment is performed at a temperature of 180 to 270 ° C. under tension or under relaxation within 30% to obtain a biaxially oriented film. In the above-described stretching, a method in which stretching in one direction is performed in two or more stages can be employed. In that case, it is preferable to carry out so that the draw ratios in the two directions finally fall within the above ranges.

また、本実施態様におけるポリエステルフィルム製造に関しては同時二軸延伸法を採用することもできる。同時二軸延伸法は前記の未延伸シートを通常70〜120℃、好ましくは80〜110℃で温度コントロールされた状態で機械方向および幅方向に同時に延伸し配向させる方法で、延伸倍率としては、面積倍率で4〜50倍、好ましくは7〜35倍、さらに好ましくは10〜25倍が一般的である。そして、引き続き、170〜250℃の温度で緊張下または30%以内の弛緩下で熱処理を行い、延伸配向フィルムを得る。上述の延伸方式を採用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式、リニアー駆動方式等、従来から公知の延伸方式を適宜採用することができる。   In addition, the simultaneous biaxial stretching method can be adopted for the production of the polyester film in this embodiment. The simultaneous biaxial stretching method is a method in which the unstretched sheet is usually stretched and oriented in the machine direction and the width direction at 70 to 120 ° C., preferably 80 to 110 ° C., and the stretching ratio is as follows: The area magnification is generally 4 to 50 times, preferably 7 to 35 times, more preferably 10 to 25 times. Subsequently, heat treatment is performed at a temperature of 170 to 250 ° C. under tension or under relaxation within 30% to obtain a stretched oriented film. Regarding the simultaneous biaxial stretching apparatus that employs the above-described stretching method, conventionally known stretching methods such as a screw method, a pantograph method, a linear drive method, and the like can be appropriately employed.

さらに上述のポリエステルフィルム層がその表面に設けられた塗布層を有する場合には、上述のポリエステルフィルムの延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆる塗布延伸法(インラインコーティング)を施すことができる。塗布延伸法によりポリエステルフィルム上に塗布層が設けられる場合には、延伸と同時に塗布が可能になると共に塗布層の厚みを延伸倍率に応じて薄くすることができ、所望の塗布層を有するポリエステルフィルム層を、効率よく製造できる。   Furthermore, when the above-mentioned polyester film layer has the coating layer provided in the surface, what is called the coating extending | stretching method (in-line coating) which processes a film surface during the extending | stretching process of the above-mentioned polyester film can be given. When a coating layer is provided on a polyester film by a coating stretching method, the coating film can be applied simultaneously with stretching and the thickness of the coating layer can be reduced according to the stretching ratio, and a polyester film having a desired coating layer The layer can be manufactured efficiently.

本発明のプロセス用離型フィルムの全部または一部を構成するのに好適なポリアミドフィルムの厚みは、フィルムとして製膜可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、通常、12〜250μm、好ましくは25〜188μm、さらに好ましくは38〜125μmの範囲である。延伸ポリアミドフィルムである場合には、3〜50μmであることが好ましく、5〜35μmであることが好ましく、7〜20μmであることがさらに好ましい。また、無延伸ポリアミドフィルムである場合には、5〜80μmであることが好ましく、8〜50μmであることがさらに好ましく、10〜35μmであることが特に好ましい。   The thickness of the polyamide film suitable for constituting all or part of the release film for process of the present invention is not particularly limited as long as it can be formed as a film, but is usually 12 to 250 μm. , Preferably 25 to 188 μm, more preferably 38 to 125 μm. When it is a stretched polyamide film, it is preferably 3 to 50 μm, preferably 5 to 35 μm, and more preferably 7 to 20 μm. Moreover, when it is an unstretched polyamide film, it is preferable that it is 5-80 micrometers, It is more preferable that it is 8-50 micrometers, It is especially preferable that it is 10-35 micrometers.

上記ポリアミドフィルムの製造方法には特に制限はなく、従来公知の方法によって適宜製造することが可能であるが、延伸ポリアミドフィルムである場合には、例えば以下の記載に従い製造することが好ましい。
延伸ポリアミドフィルムは、例えば、ポリアミド樹脂を押し出してフィルム状(原反フィルム)に成形した後、延伸して得ることができる。ポリアミド樹脂を押し出す際には、ポリアミド樹脂を単独で押し出してもよいし、ポリアミド樹脂と他の樹脂、例えば熱可塑性ポリアミド系エラストマー、とをドライブレンドして使用してもよいし、あらかじめ、単軸、あるいは二軸押出機を用いて溶融混練したものを用いることもできる。
二軸延伸ポリアミドフィルムを製造する場合には、次に、得られた未延伸フィルムを二軸方向に延伸することが好ましい。逐次二軸延伸の場合、前記の未延伸シートを、まず一方向にロールまたはテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常30〜220℃、好ましくは50〜210℃であり、延伸倍率は通常1.5〜4.5倍、好ましくは2.5〜4.0倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸することができる。延伸温度は通常30〜220℃であり、延伸倍率は通常1.5〜4.5倍、好ましくは2.5〜4.0倍である。
そして、引き続き190〜210℃の温度で熱処理を行い、二軸延伸ポリアミドフィルムを得る。上記の延伸においては、一方向の延伸を2段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うのが好ましい。
There is no restriction | limiting in particular in the manufacturing method of the said polyamide film, Although it can manufacture suitably by a conventionally well-known method, when it is a stretched polyamide film, it is preferable to manufacture according to the following description, for example.
The stretched polyamide film can be obtained by, for example, extruding a polyamide resin to form a film (raw film) and then stretching. When extruding a polyamide resin, the polyamide resin may be extruded alone, or may be used by dry blending a polyamide resin and another resin, for example, a thermoplastic polyamide-based elastomer. Or what was melt-kneaded using the twin-screw extruder can also be used.
When producing a biaxially stretched polyamide film, it is preferable to stretch the resulting unstretched film in the biaxial direction. In the case of sequential biaxial stretching, the unstretched sheet is first stretched in one direction by a roll or a tenter type stretching machine. The stretching temperature is usually 30 to 220 ° C., preferably 50 to 210 ° C., and the stretching ratio is usually 1.5 to 4.5 times, preferably 2.5 to 4.0 times. Subsequently, it can extend | stretch in the direction orthogonal to the extending | stretching direction of the 1st step | paragraph. The stretching temperature is usually 30 to 220 ° C., and the stretching ratio is usually 1.5 to 4.5 times, preferably 2.5 to 4.0 times.
And it heat-processes at the temperature of 190-210 degreeC continuously, and obtains a biaxially stretched polyamide film. In the above-described stretching, a method in which stretching in one direction is performed in two or more stages can be employed. In that case, it is preferable to carry out so that the draw ratios in the two directions finally fall within the above ranges.

また、本実施態様におけるポリアミドフィルム製造に関しては、同時二軸延伸法を採用することもできる。同時二軸延伸法は前記の未延伸ポリアミドフィルムを通常30〜220℃、好ましくは50〜210℃で温度コントロールされた状態で機械方向および幅方向に同時に延伸し配向させる方法で、延伸倍率としては、面積倍率で1.5〜20倍、好ましくは5〜15倍、さらに好ましくは8〜12倍が一般的である。そして、引き続き、190〜210℃の温度で熱処理を行い、延伸配向ポリアミドフィルムを得る。上述の延伸方式を採用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式、リニアー駆動方式等、従来から公知の延伸方式を適宜採用することができる。   For the production of the polyamide film in this embodiment, a simultaneous biaxial stretching method can also be employed. The simultaneous biaxial stretching method is a method in which the unstretched polyamide film is usually stretched and oriented in the machine direction and the width direction at 30 to 220 ° C., preferably 50 to 210 ° C., and the stretching ratio is as follows. The area magnification is generally 1.5 to 20 times, preferably 5 to 15 times, more preferably 8 to 12 times. Subsequently, heat treatment is performed at a temperature of 190 to 210 ° C. to obtain a stretch-oriented polyamide film. Regarding the simultaneous biaxial stretching apparatus that employs the above-described stretching method, conventionally known stretching methods such as a screw method, a pantograph method, a linear drive method, and the like can be appropriately employed.

(多層フィルム)
本発明のプロセス用は、本発明の目的に反しない限りにおいて、単層であっても2層以上の多層フィルムであってもよい。
2層以上の多層フィルムである場合には、最外層に位置する少なくとも1の層の少なくとも1の表面が、(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、R ≧ 70(%)である、という特性を有する。
2層以上の多層フィルムを構成するそれぞれのフィルムの材質には特に制限は無いが、上記(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、R ≧ 70(%)である、という特性を有する少なくとも1の層が、ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでいることが好ましい。
(Multilayer film)
As long as the object of the present invention is not contrary to the object of the present invention, it may be a single layer or a multilayer film having two or more layers.
In the case of a multilayer film of two or more layers, at least one surface of at least one layer located in the outermost layer has (1) a film resilience value R measured by a nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C. R ≧ 70 (%).
There is no particular limitation on the material of each film constituting the multilayer film of two or more layers, but the film restoration value R measured by the nanoindentation method at the test temperature of 180 ° C. is R ≧ 70 (% It is preferable that the at least 1 layer which has the characteristic that it is) contains the polyester resin and / or the polyamide resin.

上記(1)の特性を有する少なくとも1の層以外の層は、ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでなる層であってもよいし、それ以外の樹脂、例えばそれ以外の熱可塑性樹脂を含んでなる層であってもよい。より具体的には、例えばポリフェニレンスルファイド樹脂(PPS樹脂)、ポリスルホン樹脂(PSF樹脂)、ポリエーテルサルフォン樹脂(PES樹脂)、ポリエーテルエーテルケトン樹脂(PEEK樹脂)、ポリイミド樹脂(PI樹脂)、ポリアミドイミド樹脂(PAI樹脂)、ポリエーテルイミド樹脂(PEI樹脂)、ポリエチレンナフタレート樹脂(PEN樹脂)、ポリアセタール樹脂(POM樹脂)、ポリカーボネート樹脂(PC樹脂)、ポリフェニレンエーテル樹脂(PPE樹脂)、ポリブチレンテレフタレート樹脂(PBT樹脂)、ポリエチレンテレフタレート樹脂(PET樹脂)、環状ポリオレフィン樹脂(COP樹脂)、シンジオタクチックポリスチレン樹脂(SPS樹脂)、ポリメチルペンテン樹脂(PMP樹脂)、ポリメチルメタクリレート樹脂(PMMA樹脂)、ポリエチレン樹脂(PE樹脂)、ポリプロピレン樹脂(PP樹脂)、ポリスチレン樹脂(PS樹脂)、ポリ酢酸ビニル樹脂(PVAc樹脂)、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂(ABS樹脂)若しくはアクリロニトリルスチレン樹脂(AS樹脂)、またはこれらの組み合わせ等を含んでなる層であってもよい。   The layer other than the at least one layer having the characteristic (1) may be a layer containing a polyester resin and / or a polyamide resin, or other resin, for example, other thermoplastic resin. It may be a layer comprising. More specifically, for example, polyphenylene sulfide resin (PPS resin), polysulfone resin (PSF resin), polyether sulfone resin (PES resin), polyether ether ketone resin (PEEK resin), polyimide resin (PI resin), Polyamideimide resin (PAI resin), polyetherimide resin (PEI resin), polyethylene naphthalate resin (PEN resin), polyacetal resin (POM resin), polycarbonate resin (PC resin), polyphenylene ether resin (PPE resin), polybutylene Terephthalate resin (PBT resin), polyethylene terephthalate resin (PET resin), cyclic polyolefin resin (COP resin), syndiotactic polystyrene resin (SPS resin), polymethylpentene resin (PMP resin), Methyl methacrylate resin (PMMA resin), polyethylene resin (PE resin), polypropylene resin (PP resin), polystyrene resin (PS resin), polyvinyl acetate resin (PVAc resin), acrylonitrile butadiene styrene resin (ABS resin) or acrylonitrile styrene resin It may be a layer comprising (AS resin) or a combination thereof.

上記態様において2層以上の樹脂層を積層する方法には特に制限はなく、従来公知の方法を適宜使用することができるが、例えば、ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでなる層と他の樹脂からなる層とを積層する場合、ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂と他の樹脂とを共押し出しして多層フィルム(原反フィルム)を得、これを延伸してもよい。あるいは、別々に得たポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでなる延伸フィルムと他の樹脂からなる延伸フィルムとを熱圧着、接着剤、接着層などにより積層してもよい。ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂と他の樹脂とを共押し出しして原反フィルムを得るには、通常のTダイ法、円筒ダイ法(インフレーション法)等の製膜法を用いることができる。   In the above embodiment, the method for laminating two or more resin layers is not particularly limited, and a conventionally known method can be appropriately used. For example, a layer containing a polyester resin and / or a polyamide resin, and the like can be used. When laminating a layer made of the above resin, a polyester resin and / or a polyamide resin and another resin may be coextruded to obtain a multilayer film (raw film), which may be stretched. Or you may laminate | stack the stretched film which consists of the polyester resin and / or polyamide resin which were obtained separately, and the stretched film which consists of other resin by thermocompression bonding, an adhesive agent, an adhesive layer, etc. In order to obtain a raw film by coextruding a polyester resin and / or a polyamide resin and another resin, a film forming method such as a normal T die method or a cylindrical die method (inflation method) can be used.

接着剤、接着層により積層する場合の接着剤、接着層に用いる樹脂は、両層の間の接着力を向上させることができる樹脂であればよく、特に制限は無いが、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物、アクリル系化合物やウレタン系化合物に代表される接着剤を適宜選択して使用することができる。また、接着対象である、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、若しくは他の樹脂、又はその複数と同一又は類似の樹脂を、不飽和カルボン酸及び/又はその酸無水物によりグラフト変性した樹脂を使用してもよい。   Adhesive, adhesive when laminating with an adhesive layer, resin used for the adhesive layer is not particularly limited as long as it can improve the adhesive force between the two layers. Adhesives typified by system compounds, acrylic compounds and urethane compounds can be appropriately selected and used. Further, a resin obtained by graft-modifying a polyester resin, a polyamide resin, another resin, or a resin that is the same or similar to a plurality thereof with an unsaturated carboxylic acid and / or an acid anhydride thereof may be used. Good.

グラフトモノマーとして用いられる不飽和カルボン酸及び/又はその酸無水物としては、炭素数3〜20のカルボン酸基を1以上有する不飽和化合物、無水カルボン酸基を1以上有する不飽和化合物を挙げることができ、不飽和基としては、ビニル基、ビニレン基、不飽和環状炭化水素基などを挙げることができる。具体的には、アクリル酸、メタクリル酸等の不飽和モノカルボン酸;マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、アリルコハク酸、メサコン酸、グルタコン酸、ナジック酸TM、メチルナジック酸、テトラヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸等の不飽和ジカルボン酸;無水マイレン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水アリルコハク酸、無水グルタコン酸、無水ナジック酸TM、無水メチルナジック酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸等の不飽和ジカルボン酸無水物等があげられる。これらは1種単独であるいは2種以上を組み合わせて使用することができる。なかでも、マレイン酸、無水マレイン酸、ナジック酸、及び無水ナジック酸が好ましい。
また、グラフト率は、通常20重量%未満であり、好ましくは0.1〜5重量%、より好ましくは0.5〜2重量%である。グラフト量が上記範囲にあることにより、上記グラフト変性樹脂は、樹脂としての機械的性質、安定性等を損なうことなしに、十分な接着性を実現することができる。上記グラフト変性樹脂は、溶液法、溶融混練法等、公知のグラフト重合法により製造することができるが、なかでも、溶液の形態で得られる溶液法が好ましい。
Examples of unsaturated carboxylic acids and / or acid anhydrides used as graft monomers include unsaturated compounds having one or more carboxylic acid groups having 3 to 20 carbon atoms and unsaturated compounds having one or more carboxylic anhydride groups. Examples of the unsaturated group include a vinyl group, a vinylene group, and an unsaturated cyclic hydrocarbon group. Specifically, unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid and methacrylic acid; maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid, allyl succinic acid, mesaconic acid, glutaconic acid, nadic acid TM, methyl nadic acid, tetrahydrophthalic acid Unsaturated dicarboxylic acids such as methylhexahydrophthalic acid; maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, allyl succinic anhydride, glutaconic anhydride, nadic acid TM, anhydrous methyl nadic acid, tetrahydrophthalic anhydride, methyl anhydride And unsaturated dicarboxylic acid anhydrides such as tetrahydrophthalic acid. These can be used alone or in combination of two or more. Of these, maleic acid, maleic anhydride, nadic acid, and nadic anhydride are preferable.
The graft ratio is usually less than 20% by weight, preferably 0.1 to 5% by weight, more preferably 0.5 to 2% by weight. When the graft amount is in the above range, the graft-modified resin can achieve sufficient adhesion without impairing mechanical properties, stability, and the like as the resin. The graft-modified resin can be produced by a known graft polymerization method such as a solution method or a melt-kneading method. Among them, a solution method obtained in the form of a solution is preferable.

本発明のプロセス用離型フィルムは、温度、圧力等が従来よりも高い条件での熱プレス、又はより長時間の熱プレス等の過酷な条件においても、粗度の高い銅箔等の金属表面から、容易に、かつ十分に剥離することができるので、表面粗度が大きな金属表面、粗面化処理された金属表面からの剥離を伴うプロセス、例えば多層プリント配線板をはじめとする、金属/樹脂積層体の製造プロセスにおいて好ましく用いることができる。
本発明のプロセス用離型フィルムを金属/樹脂積層体の製造プロセスに使用する場合には、本発明のプロセス用離型用フィルムを、その(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、R ≧ 70(%)であるという特性を有する少なくとも1の面において、粗面化処理された金属箔層と接触させて熱プレス加工し、次いで、該プロセス用離型フィルムを、該金属箔層から剥離する。
多層プリント配線板の材料となる片面銅張積層版、両面銅張積層版等の銅箔層の表面粗度は、通常Rzで1.0〜6.5μm、典型的には1.5〜4.0μmであり、本発明のプロセス用離型フィルムは、この様な表面粗度を有する銅箔層等の金属表面からの剥離に特に好適である。
The release film for a process of the present invention is a metal surface such as a copper foil having a high roughness even under severe conditions such as hot pressing under conditions of higher temperature, pressure, etc. Therefore, it is possible to easily and sufficiently peel off a metal surface having a large surface roughness, a process involving peeling from a roughened metal surface, for example, metal / including multilayer printed wiring boards, It can use preferably in the manufacturing process of a resin laminated body.
When the process release film of the present invention is used in a metal / resin laminate manufacturing process, the process release film of the present invention is measured by (1) a nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C. And at least one surface having the characteristic that the film restorability value R is R ≧ 70 (%), is hot-pressed in contact with the roughened metal foil layer, and then separated for the process. The mold film is peeled from the metal foil layer.
The surface roughness of a copper foil layer such as a single-sided copper-clad laminate or a double-sided copper-clad laminate used as a material for a multilayer printed wiring board is usually 1.0 to 6.5 μm in Rz, typically 1.5 to 4 The release film for process of the present invention is particularly suitable for peeling from a metal surface such as a copper foil layer having such surface roughness.

以下、5層プリント配線板の製造を例として、多層プリント配線板の製造における本発明のプロセス用離型フィルムの使用について説明する。   Hereinafter, the use of the process release film of the present invention in the production of a multilayer printed wiring board will be described by taking the production of a five-layer printed wiring board as an example.

銅箔層2と銅箔層3および硬化したガラス繊維−エポキシ樹脂複合絶縁体1からなる両面銅張り積層板の銅箔層2と銅箔層3にプリント配線パターン形成をした後、銅箔層2、銅箔層3に対して黒化処理や有機酸系エッチング処理剤を用いたエッチング処理等を行う。この黒化処理等のエッチング処理は、銅箔の表面を粗面化させる処理であり、接着プリプレグとの接着性を上げることができる。   After forming a printed wiring pattern on the copper foil layer 2 and the copper foil layer 3 of the double-sided copper-clad laminate composed of the copper foil layer 2, the copper foil layer 3, and the cured glass fiber-epoxy resin composite insulator 1, the copper foil layer 2. A blackening treatment or an etching treatment using an organic acid-based etching treatment agent is performed on the copper foil layer 3. The etching process such as the blackening process is a process of roughening the surface of the copper foil, and can improve the adhesion to the adhesive prepreg.

つぎに、接着プリプレグ6を用いて、上記基板と銅箔層7との間で第1回目の多層積層を行う。このとき、銅箔層2の外側に、本発明に相当するプロセス用離型フィルム4を置き、銅箔層7の外側にも、同じく本発明に相当するプロセス用離型フィルム5を置き、積層面に垂直方向に熱プレスによる加熱、加圧を行う(図2)。加熱、加圧における条件は、例えば190℃、圧力30kg/cm2 、時間40分とすることが好ましい。
加熱、加圧後、本発明のプロセス用離型フィルム4及び5を容易に剥離することができ、また、銅箔層2及び7の表面の傷の発生も有効に抑制することができる(図3)。
Next, the first multilayer lamination is performed between the substrate and the copper foil layer 7 using the adhesive prepreg 6. At this time, the process release film 4 corresponding to the present invention is placed outside the copper foil layer 2, and the process release film 5 also corresponding to the present invention is placed outside the copper foil layer 7, and laminated. Heating and pressing are performed by hot pressing in a direction perpendicular to the surface (FIG. 2). The conditions for heating and pressurization are preferably, for example, 190 ° C., pressure 30 kg / cm 2 , and time 40 minutes.
After heating and pressing, the process release films 4 and 5 of the present invention can be easily peeled off, and the occurrence of scratches on the surfaces of the copper foil layers 2 and 7 can be effectively suppressed (see FIG. 3).

続いて図4に示すように、銅箔層11と銅箔層9および硬化したガラス繊維−エポキシ樹脂複合絶縁体10からなる積層板と先に作成した銅箔層2、銅箔層3、銅箔層7からなる3層基板とを接着プリプレグ8を用いて第2回目の多層積層を行う。銅箔層11および銅箔層2の外側に離型フィルム5および離型フィルム4を置き、加熱、加圧して、積層一体化を行う。加熱、加圧条件は、例えば190℃、圧力30kg/cm2 、時間40分とすることが好ましい。
加熱、加圧後、本発明のプロセス用離型フィルム4及び5を容易に剥離することができ、また、銅箔層2及び11の表面の傷の発生も有効に抑制することができる(図5)。
Then, as shown in FIG. 4, the laminated board which consists of the copper foil layer 11, the copper foil layer 9, and the hardened glass fiber-epoxy resin composite insulator 10, and the copper foil layer 2, the copper foil layer 3, copper which were created previously A second multi-layer lamination is performed on the three-layer substrate made of the foil layer 7 using the adhesive prepreg 8. The release film 5 and the release film 4 are placed on the outer sides of the copper foil layer 11 and the copper foil layer 2 and heated and pressurized to perform lamination integration. The heating and pressing conditions are preferably, for example, 190 ° C., pressure 30 kg / cm 2 , and time 40 minutes.
After heating and pressing, the process release films 4 and 5 of the present invention can be easily peeled off, and the occurrence of scratches on the surfaces of the copper foil layers 2 and 11 can be effectively suppressed (see FIG. 5).

以上、5層プリント配線板の製造を例として、多層プリント配線板の製造における本発明のプロセス用離型フィルムの使用について説明したが、本発明のプロセス用離型フィルムは、それ以外の構成の多層プリント配線板の製造においても好適に使用することができる。また、多層プリント配線板に限らず、金属/樹脂積層体の製造等の、粗度の高い金属表面を有する部材を加熱、加圧する製造プロセスにおいても、その優れた粗面からの剥離性を活かして、好適に使用することができる。   In the above, the use of the process release film of the present invention in the manufacture of a multilayer printed wiring board has been described by taking the production of a five-layer printed wiring board as an example, but the process release film of the present invention has other configurations. It can be suitably used in the production of multilayer printed wiring boards. Moreover, not only in multilayer printed wiring boards, but also in manufacturing processes that heat and press members with high roughness metal surfaces, such as in the manufacture of metal / resin laminates, take advantage of the excellent peelability from rough surfaces. And can be preferably used.

本発明のプロセス用離型フィルムを用いることで、多層プリント配線板を高品質、低コスト、かつ高い生産効率で製造することができる。この様な多層プリント配線基板は、電子部品の実装に好適に使用することができ、また情報処理機器、ディスプレイ、通信機器、輸送機器等に用いられる電気電子機器に好適に搭載される。   By using the process release film of the present invention, a multilayer printed wiring board can be produced with high quality, low cost, and high production efficiency. Such a multilayer printed wiring board can be suitably used for mounting electronic components, and is suitably mounted on electrical and electronic equipment used for information processing equipment, displays, communication equipment, transportation equipment, and the like.

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明は、これにより何ら限定
されるものではない。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited at all by this.

以下の実施例/比較例において、物性/特性の評価は下記の方法で行った。
(180℃におけるナノインデンテーション法によるフィルム復元性値R)
測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷して、最大押し込み荷重(2mN)時の押し込み深さと、除荷後(0mN)の押し込み深さを測定した。下式にしたがって計算される、得られた最大押し込み荷重(2mN)時の押し込み深さと、除荷後(0mN)の押し込み深の比を、フィルム復元性値Rとした。

フィルム復元性値R=除荷後の押し込み深さ/最大押し込み荷重時の押し込み深さ
In the following examples / comparative examples, physical properties / characteristics were evaluated by the following methods.
(Restorability value R of film by nanoindentation method at 180 ° C)
At a measurement temperature of 180 ° C., a triangular pyramid diamond indenter (Berkovich indenter) with a ridge angle of 115 ° was pushed into the film measurement surface with a maximum indentation load of 2 mN using a nanoindenter, and then unloaded to obtain a maximum indentation load (2 mN). ) And the indentation depth after unloading (0 mN) were measured. The ratio of the indentation depth at the maximum indentation load obtained (2 mN) and the indentation depth after unloading (0 mN), calculated according to the following equation, was defined as a film resilience value R.

Film resilience value R = indentation depth after unloading / indentation depth at maximum indentation load

(180℃におけるナノインデンテーションによる硬度H)
測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷した際の、最大押し込み荷重(Fmax)、押し込み深さ(h)から、下式にしたがって計算した。

硬度H=Fmax/(23.96×h
(Hardness H by nanoindentation at 180 ° C)
At a measurement temperature of 180 ° C., the maximum indentation load when unloading a triangular pyramid diamond indenter (Berkovich indenter) with a ridge angle of 115 ° with a maximum indentation load of 2 mN using a nano indenter and then unloading it. F max ) and indentation depth (h c ) were calculated according to the following formula.

Hardness H = F max /(23.96×h c 2 )

(離型性)
熱プレスでの銅張り積層板の製造にプロセス用離型フィルムを使用し、プレス解放、冷却後、プロセス用離型フィルムに手で張力を加えて剥離を試み、剥離性を以下の基準で評価した。
○:プレスの解放後張力を加えると、プロセス用離型フィルムが銅箔層表面から簡単に剥離した。
×:プロセス用離型フィルムが銅箔層表面に密着しており、手では剥がせない。
(Releasability)
Process release film is used for the production of copper-clad laminates by hot pressing. After releasing the press and cooling, it is attempted to peel by applying tension to the release film for process by hand, and the peelability is evaluated according to the following criteria. did.
○: When a tension was applied after the press was released, the release film for the process was easily peeled from the surface of the copper foil layer.
X: The mold release film for process has adhered to the copper foil layer surface, and cannot be removed by hand.

[実施例1]
プロセス用離型フィルムとして、膜厚12μmの二軸延伸PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム(ユニチカ株式会社製、製品名:エンブレットPET12)を使用した。
当該二軸延伸PETフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、70.8%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、111.0MPaであった。
銅張積層板は、FR4(ガラスエポキシ/銅箔18μm両面、250×200mm×0.2mmt)を使用し、有機酸系のエッチング剤(メック株式会社製、製品名:メックVボンドBO−7790V)を用いて銅箔表面粗度がRa:2μmになるようエッチング処理した粗面化銅張積層板を使用した。この銅張積層板と銅張積層板の間に、樹脂層(接着プリプレグ)を介して重ね合わせ、その最上面と最下面に、更にプロセス用離型フィルムを配置後、180℃、25kg、60分の条件で熱プレスし、フィルムの銅箔からの剥離性を確認した。
プレス解放、冷却後に手で張力を加えたところ、プロセス用離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[実施例2]
プロセス用離型フィルムとして、膜厚15μmの二軸延伸ナイロンフィルム(興人フィルム&ケミカルズ株式会社製、製品名:ボニールRX)を使用した。
当該二軸延伸ナイロンフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、77.7%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、58.7MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放、冷却後に張力を加えたところ、離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[実施例3]
市販のPBT(ポリブチレンテレフタレート)樹脂(Tm=224℃、IV=1.2、〔三菱エンジニアリングプラスチックス(株)社製、商品名:ノバデュラン 5020〕
)を用いて、スクリュ径40mmの押出機のT−ダイフィルム成形機にて、樹脂温度250℃、チルロール温度80℃、エアーチャンバー静圧440mmHGの条件下、20μmの無延伸PBTフィルムを作製し、プロセス用離型フィルムとして使用した。
当該無延伸PBTフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、78.3%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、68.0MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放、冷却後に張力を加えたところ、離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[実施例4]
プロセス用離型フィルムとして、膜厚20μmの無延伸ナイロンフィルム(東レフィルム加工株式会社製、製品名:レイファンNO1401)を使用した。
当該無延伸ナイロンフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、76.6%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、81.9MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放後に張力を加えたところ、離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[比較例1]
プロセス用離型フィルムとして、膜厚16μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東レフィルム加工株式会社製、製品名:ルミラーF865)を使用した。
当該二軸延伸PETフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、68.5%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、34.7MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放後に張力を加えたが、離型フィルムは銅箔層表面に密着しており、手では剥がすことができなかった。
結果を、表1にまとめる。
[Example 1]
A biaxially stretched PET (polyethylene terephthalate) film (manufactured by Unitika Ltd., product name: emblet PET12) having a film thickness of 12 μm was used as a release film for the process.
The biaxially stretched PET film has a film resilience value R measured by the nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C. of 70.8%, and the hardness H measured by the nanoindentation method at the test temperature of 180 ° C. is 111.0 MPa.
The copper clad laminate uses FR4 (both glass epoxy / copper foil 18 μm, 250 × 200 mm × 0.2 mmt), and is an organic acid type etching agent (product name: MEC V Bond BO-7790V). A roughened copper-clad laminate that was etched so that the copper foil surface roughness was Ra: 2 μm was used. The copper-clad laminate and the copper-clad laminate are overlapped via a resin layer (adhesive prepreg), and a process release film is further disposed on the uppermost and lowermost surfaces, and then 180 ° C., 25 kg, 60 minutes. The film was hot-pressed under conditions to confirm the peelability of the film from the copper foil.
When tension was applied by hand after releasing the press and cooling, the release film for the process was easily peeled from the copper foil layer.
[Example 2]
A biaxially stretched nylon film having a film thickness of 15 μm (manufactured by Kojin Film & Chemicals Co., Ltd., product name: Bonil RX) was used as a release film for the process.
The biaxially stretched nylon film had a film resilience value R measured by the nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C. of 77.7%, and the hardness H measured by the nanoindentation method at the test temperature of 180 ° C. , 58.7 MPa.
Under the same conditions as in Example 1, the laminate was used in the manufacturing process.
When tension was applied after press release and cooling, the release film was easily peeled from the copper foil layer.
[Example 3]
Commercially available PBT (polybutylene terephthalate) resin (Tm = 224 ° C., IV = 1.2, manufactured by Mitsubishi Engineering Plastics Co., Ltd., trade name: NOVADURAN 5020)
) Using a T-die film molding machine of an extruder with a screw diameter of 40 mm, a 20 μm unstretched PBT film is produced under the conditions of a resin temperature of 250 ° C., a chill roll temperature of 80 ° C., and an air chamber static pressure of 440 mm HG, Used as release film for process.
The unstretched PBT film had a film resilience value R measured by the nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C. of 78.3%, and the hardness H measured by the nanoindentation method at the test temperature of 180 ° C. It was 68.0 MPa.
Under the same conditions as in Example 1, the laminate was used in the manufacturing process.
When tension was applied after press release and cooling, the release film was easily peeled from the copper foil layer.
[Example 4]
An unstretched nylon film (product name: Reyfan NO1401 manufactured by Toray Film Processing Co., Ltd.) having a film thickness of 20 μm was used as a release film for the process.
The non-stretched nylon film had a film resilience value R measured by the nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C. of 76.6%, and the hardness H measured by the nanoindentation method at the test temperature of 180 ° C. It was 81.9 MPa.
Under the same conditions as in Example 1, the laminate was used in the manufacturing process.
When tension was applied after the press was released, the release film was easily peeled from the copper foil layer.
[Comparative Example 1]
A biaxially stretched polyethylene terephthalate (PET) film (manufactured by Toray Film Processing Co., Ltd., product name: Lumirror F865) having a film thickness of 16 μm was used as a release film for the process.
The biaxially stretched PET film had a film resilience value R measured by the nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C. of 68.5%, and the hardness H measured by the nanoindentation method at the test temperature of 180 ° C. 34.7 MPa.
Under the same conditions as in Example 1, the laminate was used in the manufacturing process.
Although tension was applied after the press was released, the release film was in close contact with the copper foil layer surface and could not be peeled off by hand.
The results are summarized in Table 1.

本発明のプロセス用離型フィルムは、過酷な条件でのプロセス後においても、粗度の高い金属表面から、容易にかつ十分に剥離することができるので、産業の各分野、とりわけ多層プリント配線板の製造をはじめとする電気電子産業の分野において、高い利用可能性を有する。   The process release film of the present invention can be easily and sufficiently peeled off from a metal surface having a high roughness even after processing under severe conditions. In the field of electrical and electronic industries including manufacturing of

1:ガラス繊維−エポキシ樹脂複合絶縁体
2:銅箔層
3:銅箔層
4:離型フィルム
5:離型フィルム
6:接着プリプレグ
7:銅箔層
8:接着プリプレグ
9:銅箔層
10:ガラス繊維−エポキシ樹脂複合絶縁体
11:銅箔層
1: Glass fiber-epoxy resin composite insulator 2: Copper foil layer 3: Copper foil layer 4: Release film 5: Release film 6: Adhesive prepreg 7: Copper foil layer 8: Adhesive prepreg 9: Copper foil layer 10: Glass fiber-epoxy resin composite insulator 11: copper foil layer

Claims (10)

熱可塑性樹脂を含んでなるプロセス用離型フィルムであって、その少なくとも1の面が、以下の特性を有する、上記プロセス用離型フィルム:
(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、
R ≧ 70(%)
である。
Process release film comprising a thermoplastic resin, the process release film having at least one surface having the following characteristics:
(1) The film resilience value R measured by the nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C.
R ≧ 70 (%)
It is.
熱可塑性樹脂を含んでなるプロセス用離型フィルムであって、その少なくとも1の面が以下の特性を有する、請求項1に記載のプロセス用離型フィルム:
(2)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hが、
H ≧ 40(MPa)
である。
A process release film comprising a thermoplastic resin, wherein at least one surface has the following characteristics:
(2) Hardness H measured by the nanoindentation method at a test temperature of 180 ° C.
H ≧ 40 (MPa)
It is.
前記(1)の特性を有する少なくとも1の面と、前記(2)の特性を有する少なくとも1の面とが、同一の面である、請求項2に記載のプロセス用離型フィルム。   The process release film according to claim 2, wherein at least one surface having the characteristic (1) and at least one surface having the characteristic (2) are the same surface. ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでなる、請求項1から3のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。   The mold release film for a process according to any one of claims 1 to 3, comprising a polyester resin and / or a polyamide resin. 延伸若しくは無延伸のポリエステルフィルム層、又は延伸若しくは無延伸のポリアミドフィルム層を有する、請求項1から4のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。   The release film for a process according to any one of claims 1 to 4, which has a stretched or unstretched polyester film layer or a stretched or unstretched polyamide film layer. 粗面化処理された金属表面からの剥離に用いられる、請求項1から5のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。   The release film for a process according to any one of claims 1 to 5, which is used for peeling from a roughened metal surface. 表面粗度Rzが、1.0〜6.5μmである金属表面からの剥離に用いられる、請求項1から5のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。   The release film for processes according to any one of claims 1 to 5, which is used for peeling from a metal surface having a surface roughness Rz of 1.0 to 6.5 µm. 請求項1から7のいずれか一項に記載のプロセス用離型用フィルムを、上記(1)の特性を有する少なくとも1の面において、粗面化処理された金属箔層と接触させて熱プレスする工程、及び
該プロセス用離型用フィルムを、該金属箔層から剥離する工程、
を有することを特徴とする金属/樹脂積層体の製造方法。
The process release film according to any one of claims 1 to 7 is brought into contact with a roughened metal foil layer on at least one surface having the characteristics of (1) above and subjected to hot press. And a step of peeling the process release film from the metal foil layer,
A method for producing a metal / resin laminate, comprising:
前記金属/樹脂積層体が、多層プリント配線板である、請求項8に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 8, wherein the metal / resin laminate is a multilayer printed wiring board. 請求項9に記載の製造方法によって製造された多層プリント基板を有する、電気電子機器。   An electrical and electronic apparatus having a multilayer printed circuit board manufactured by the manufacturing method according to claim 9.
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