JP2017187596A - 表面処理方法およびマスク並びに表面処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸素の存在下において、光透過性基板の表面にパターン化された遮光部が形成されたマスクを介して、真空紫外光を被処理物に照射することにより、当該被処理物の表面に特定の表面変性領域を形成するに際して、マスクとして、光透過性基板における透光部を形成する領域の厚さが、遮光部が形成された領域の厚さより小さいもの、もしくは、遮光部の表面レベルと、遮光部に隣接する透光部の表面レベルとの差が1μm以上であるものが用いられる。
【選択図】図1
Description
一方、真空紫外光源として用いられるエキシマランプから放射される光は発散光であるため、マスクの遮光パターンと有機分子膜との間のギャップを大きく設定すると、マスクの遮光パターンに対応する領域にも光が回り込み、パターン精度が低下するという問題がある。
しかしながら、大型のマスクでは、その自重によりマスクのたわみや歪みが生じるため、マスクの遮光パターンと有機分子膜との間のギャップを制御することが困難であり、パターン精度が低下するという問題が生ずるおそれがある。
前記マスクとして、前記光透過性基板における透光部を形成する領域の厚さが、前記遮光部が形成された領域の厚さより小さいものが用いられることを特徴とする。
前記マスクとして、遮光部の表面レベルと、遮光部に隣接する透光部の表面レベルとの差が1μm以上であるものが用いられることを特徴とする。
前記光透過性基板における透光部を形成する領域の厚さが、前記遮光部が形成された領域の厚さより小さいことを特徴とする。
前記遮光部の表面レベルと、遮光部に隣接する透光部の表面レベルとの差が1μm以上であることを特徴とする。
処理室の内部空間と区画された空間内に配置された、真空紫外光をマスクを介してワークステージ上の被処理物に照射する真空紫外光源と、
マスクを保持するマスク保持機構と
を備えており、
前記真空紫外光源がエキシマランプであり、
前記マスクが、上記のマスクであって、遮光部が形成された面がワークステージの被処理物載置面と対向する状態で、前記マスク保持機構によって保持されることを特徴とする。
従って、このようなマスクが用いられる表面処理方法および表面処理装置によれば、真空紫外光により生成される活性酸素またはオゾンを確実に被処理物の処理に寄与させることができるため、被処理物に対する所期の処理を効率よく行うことができる。また、マスクを被処理物に密着させて使用できることから、マスクがその自重により撓んで解像度が低下することを回避することができる。このため、マスクを構成する光透過性基板の厚さを小さくすることができてエキシマランプからの真空紫外光を効率よく透過させることができて処理効率を向上させることができる。また、マスク自体の大型化を図ることができるため、生産効率を向上させることができる。
真空紫外光源としては、真空紫外光を放射するものであればよいが、必要な波長域の真空紫外光を高い強度で得ることができることから、エキシマランプが用いられることが好ましい。具体的には例えば、キセノンエキシマランプ(ピーク波長172nm)を好適に用いることができる。
マスクは、例えば、平板状の光透過性基板の表面にパターン化された遮光部が形成されると共に光透過性基板の表面が露出された透光部が形成されてなり、透光部の表面レベルと遮光部の表面レベルとの差が、1μm以上とされたものである。
透光部の表面レベルと遮光部の表面レベルとの差は、例えば、1μm以上、1000μm以下とされることが好ましい。
遮光膜は、上記の金属、金属酸化物および窒化物のうちから選ばれたものよりなる単層膜であっても、これらのうちの2種以上のものよりなる積層膜であっても、いずれであってもよいが、耐オゾン性が得られることから、ニッケル、金、白金などの金属膜または表面層が金属酸化物よりなる層により構成された積層膜であることが好ましい。
本発明の表面処理方法において用いられるマスクの具体的な構成例を図1に示す。
Lが所定の大きさとなるよう構成されている。具体的には、光透過性基板11における透光部12を形成する領域に、所定の深さの凹部11aを形成することによって、光透過性基板11における透光部12を形成する領域の厚さt1が、遮光部15を形成する領域の厚さt2より小さく構成されている。このマスク10aにおいて、遮光膜16の厚さは、例えば0.06〜0.1μmである。
所定の大きさとなるよう構成されている。なお、光透過性基板11は均一な厚みを有するものである。
この例における遮光膜16は、例えば、クロム膜など金属膜よりなる下層遮光膜17と、この下層遮光膜17の表面に形成された酸化クロム膜などの金属酸化膜よりなる上層遮光膜18との積層膜により構成されている。
図1(a)に示すマスク10aの作製方法について説明すると、先ず、図2(a)に示すように、光透過性基板11の表面の全面に遮光膜形成層16aが形成されたマスク材料(ブランクス)を用意し、このマスク材料における遮光膜形成層16aの表面上に、フォトレジストを塗布してレジスト層20aを形成する。フォトレジストは、ポジ型のものであっても、ネガ型のものであっても、いずれであってもよい。
次いで、レジスト層20aを所定のパターンに従って露光して現像する。これにより、図2(b)に示すように、透光部12を形成する領域ではレジスト層20aが除去され、遮光部15を形成する領域には、レジスト層20aが残存するレジストパターン20を形成する。露光処理は、例えば、レーザ描画装置などで直接描画して行っても、形成すべきパターンを有する原版となるフォトマスクを介して光を照射することにより行ってもよい。
そして、形成されたレジストパターン20をマスクとして、遮光膜形成層16aをエッチングすることにより、図2(c)に示すように、遮光部15を形成する領域にパターン化された遮光膜16を形成する。
さらに、形成されたレジストパターン20および遮光膜16のパターンをマスクとして、光透過性基板11を例えばエッチングすることにより、図2(d)に示すように、光透過性基板11における透光部12を形成する領域に所定の深さの凹部11aを形成する。
遮光膜形成層16aおよび光透過性基板11のエッチング処理は、薬液を用いたウェットエッチングにより行っても、反応性ガスを用いた反応性イオンエッチング(RIE)といったプラズマドライエッチングにより行ってもよいが、異方性を持たせることができてサイドエッチング(アンダーカット)を抑制することができることからプラズマドライエッチングにより行うことが好ましい。ここに、光透過性基板11のエッチング処理時のサイドエッチング(アンダーカット)が遮光膜16の厚さの1/2以下となる大きさとされていれば、遮光膜16が損傷し、パターンの精度が低下することを回避することができる。
なお、凹部11aは光透過性基板11を切削することにより形成することも可能である。
その後、レジストパターン20を除去することにより、図1(a)に示すマスク10aを得ることができる。
次いで、形成されたレジストパターン20をマスクとして、下層遮光膜形成層17aをエッチングすることにより、図3(c)に示すように、遮光部15を形成する領域にパターン化された下層遮光膜17を形成する。
レジストパターン20を除去した後、下層遮光膜17のパターン上に上層遮光膜18を形成することにより、図1(b)に示すマスク10bを得ることができる。ここに、上層遮光膜18は、例えば無電解メッキにより形成することができる。
図4は、本発明の表面処理装置の一例における構成を概略的に示す説明用断面図である。図5は、図4に示す表面処理装置の一部を示す拡大図である。
この表面処理装置は、被処理物としての基板材料(以下、「被処理基板」ともいう。)Wが内部に配置される処理室30と、真空紫外光源としてのエキシマランプ40が内部に配置されたランプ室35とを備えている。
窓部材38を構成する材料としては、エキシマランプ40からの真空紫外光を透過するものであればよく、上述のマスク10a,10bにおける光透過性基板11を構成する材料として例示したものを用いることができる。
また、筐体31における互いに対向する一対の側壁には、処理室30内を酸素が存在する雰囲気に置換するための吸気口32および排気口33が形成されている。32a,33aは、吸気口32および排気口33に接続された配管における流路を開閉する流路開閉バルブである。
ワークステージ50は、ステージ移動機構55によって、XYZθ方向(被処理物載置面50aに沿った面方向、高さ方向および被処理物載置面50aに垂直な軸を中心とした回転方向)に移動可能に構成されている。
ケーシング36には、例えば窒素ガスの不活性ガスをランプ室35内にパージする不活性ガスパージ手段(図示せず)が設けられている。
まず、マスク10aをマスク保持機構45によって保持させると共に被処理基板Wをワークステージ50の被処理物載置面50a上に載置して被処理物保持機構によって保持させる。その後、処理室30内の空気を排気し清浄な空気を処理室30内に供給することにより処理室30内の雰囲気を酸素が存在する雰囲気に置換する。次いで、ワークステージ50をXYθ方向に移動させることにより被処理基板Wをマスク10aに対して位置決めした後、ステージ移動機構55によってワークステージ50を上昇させて被処理基板Wの表面をマスク10aに例えば密着状態で接触させる。このとき、窓部材38とマスク10aとの間の空間の圧力が、処理室30内の圧力より高い状態となるよう、圧力調整が必要に応じて行われることが好ましい。このような圧力調整が行われることより、窓部材38とマスク10aとの間の空間内の圧力と処理室30内の圧力との圧力差による押圧力によって、マスク10aと被処理基板Wとの密着性を向上させることができる。なお、圧力調整は、窓部材38とマスク10aとの間の空間内への不活性ガスの供給量および処理室30内への清浄な空気の供給量を調整することにより行うことができる。
被処理基板Wに照射される真空紫外光の照度は、例えば1〜100mW/cm2 である。また、真空紫外光の照射時間は、目的に応じて適宜設定されるが、例えば5〜2000秒間である。
しかも、マスク10a(10b)を被処理基板Wに密着させて使用することができることから、マスクのパターンに忠実な露光(紫外光照射)を行うことができて高い解像度を得ることができる。
例えば、上記実施例においては、処理室30における筐体31の開口部を塞ぐ窓部材38が設けられた構成とされているが、図6に示すように、マスク10a(10b)が筐体31の開口部を気密に塞ぐよう配置された構成とされていてもよい。このような構成の表面処理装置においては、真空紫外光源としてのエキシマランプ40から被処理基板Wまでの距離が小さくなって真空紫外光の照射強度が低下することを回避することができる。
また、例えば、マスクと処理基板Wとは離間していてもよい。10μm程度離間する場合、真空紫外光の照射時においては、処理室30内の空気の排気および処理室30内への空気の供給を行わないことが好ましい。この理由は、処理室30内の空気の排気および処理室30内への空気の供給を継続して行った場合には、処理ムラが発生するためである。
すなわち、吸気口32付近では、酸素がオゾンや活性酸素に変わり、被処理基板Wの表面改質処理が有効に行われる。然るに、排気口33の方に流下するに従い、被処理基板Wの表面改質処理によって生成される、例えば二酸化炭素ガスや水蒸気などの反応生成ガスの濃度が高くなる。その結果、排気口33付近では、オゾンや活性酸素の量が不足するため、処理効率が低下し、処理ムラが発生する。
本発明の表面処理装置においては、真空紫外光源としてのエキシマランプの背面側に、エキシマランプから放射される真空紫外光を略平行光として照射するための反射ミラーが設けられた構成とされていてもよい。このような構成とされることにより、真空紫外光の照度を向上させることができる。
また、本発明の表面処理装置においては、真空紫外光の被処理基板に対する照射を制御するシャッタ機構が設けられた構成とされていてもよい。エキシマランプは瞬時に点灯し、安定な光量に達成するものであるが、このような構成のものにおいては、被処理基板の処理に際して、エキシマランプをあらかじめ点灯させておくことによって、被処理基板に照射される真空紫外光の光量をより安定させることができる。
厚さ1.5mmの合成石英ガラスよりなる光透過性基板の表面の全面に、厚さ0.08μmのクロム膜と厚さ0.92μmの酸化クロム膜との積層膜よりなる遮光膜形成層(厚さ0.1μm)が形成されたマスク材料(ブランクス)を用意し、マスク材料の遮光膜形成層上にポジ型のフォトレジスト(AZP1350)を0.5μmの厚さで塗布し、レジスト層を形成した。次いで、レーザ描画装置(株式会社日本レーザー製「DWL66FS」)によりレジスト層の中央部における30mm×30mmの大きさの領域を選択的に露光して直径φ20mmの丸抜きパターンを形成し、現像液(東京応化工業株式会社製「NMD3」)を用いて残存するレジスト層を現像してレジストパターンを形成した。次いで、得られたレジストパターンをエッチング用マスクとし、遮光膜形成層を選択的にエッチングすることによりパターン化された遮光膜を形成(パターニング)した。ここに、遮光膜形成層のエッチングには、硝酸セリウムアンモニウム水溶液と過塩素酸との混合液を用いた。
次いで、光透過性基板における透光部を形成する領域を、レジストパターンおよび遮光膜のパターンをエッチング用マスクとし、選択的にエッチングすることにより深さが1μmの凹部を形成した。ここに、光透過性基板のエッチングには、濃度30wt%のフッ酸を用いた。
その後、残ったレジストパターンを硫酸と過酸化水素水との混酸を用いて剥膜することにより、図1(a)に示す構成のマスク(以下、「マスクA1」という。)を作製した。このマスクA1における透光部の表面レベルと遮光部の表面レベルとの差は、1.1μmである。
上記マスクの作製例A1において、光透過性基板のエッチングにおいて処理時間(エッチング液に対する浸漬時間)を適宜変更することにより、それぞれ凹部の深さ(エッチング量)が5μm、10μm、50μm、100μm、500μmおよび1000μmであるマスク(以下、「マスクA2」〜「マスクA7」という。)を作製した。マスクA2〜マスクA7における透光部の表面レベルと遮光部の表面レベルとの差は、それぞれ、5.1μm、10.1μm、50.1μm、100.1μm、500.1μmおよび1000.1μmである。
光透過性基板のエッチング処理を行わなかったこと(凹部を形成しなかったこと)の他は上記マスクの作製例A1と同様の方法により、比較用のマスク(以下、「マスクA8」という。)を作製した。マスクA8における透光部の表面レベルと遮光部の表面レベルとの差は、0.1μm(遮光膜の厚さ)である。
厚さ1.5mmの石英ガラスよりなる光透過性基板の表面の全面に、スパッタ装置を用いて、厚さ0.1μmのニッケル膜よりなる下層遮光膜形成層を形成することによりマスク基材を得た。このマスク基材の下層遮光膜形成層上にフォトレジストを塗布し、レジスト層を形成した。次いで、レーザ描画装置(株式会社日本レーザー製「DWL66FS」)により選択的に露光描画を行った後、現像液(東京応化工業株式会社製「NMD3」)を用いて現像してレジストパターンを形成した。次いで、得られたレジストパターンをエッチング用マスクとし、下層遮光膜形成層を選択的にエッチングすることによりパターン化された下層遮光膜を形成(パターニング)した。ここに、下層遮光膜形成層のエッチングには、硝酸セリウムアンモニウム水溶液と過塩素酸との混合液を用いた。
次いで、残ったレジストパターンを硫酸と過酸化水素水との混酸を用いて剥膜した後、メッキ液として「レクトロレス FX−5」(田中貴金属工業株式会社製)を用いて、下層遮光膜のパターン上に、厚さ50μmの金メッキ膜よりなる上層遮光膜を形成することにより、図1(b)に示す構成のマスク(以下、「マスクB1」という。)を作製した。このマスクB1における透光部の表面レベルと遮光部の表面レベルとの差は、50.1μmである。
試験用被処理基板としては、無アルカリガラスよりなる基材の表面全面に、オクタデシルホスホン酸もしくはパーフルオロオクチルホスホン酸よりなる有機単分子膜(SAM)が厚さ1〜3μmで成膜されたものを用いた。試験用被処理基板のサイズ(縦×横)は、75mm×75mmである。
図4に示す構成を参照して、キセノンエキシマランプを備えた表面処理装置を作製した。
キセノンエキシマランプは、いわゆる二重管構造のものであって、発光管を構成する外管の外径がφ25mm、厚さが1mm、内管の外径がφ14mm、厚さが1mm、キセノンガスの封入圧が20kPa、発光長が100mm、入力電力が20Wであるものを用いた。
また、キセノンエキシマランプの背面側に、キセノンエキシマランプから放射される真空紫外光を平行光として被処理基板に照射する反射ミラーを設けた。
処理室を構成する筐体の開口部の大きさは、約100mm×100mmである。
ランプ室の内部空間および窓部材とマスクとの間の空間には、窒素ガスをパージし、不活性ガス雰囲気とした。
そして、マスクにおける凹部の深さ(透光部の表面レベルと遮光部の表面レベルとの差)を変更した場合における処理時間の評価を行った。結果を図7に示す。図7において縦軸の「処理時間」は、マスクA8を用いた場合の処理時間を1.0としたときの相対値である。
透光部の表面レベルと遮光部の表面レベルとの差が1000μm程度でも効果が得られる。この理由は、酸素の吸収によって到達する光量は減るが、透光部の表面とSAMの表面との間の空間における酸素の分子がSAMを構成する有機分子の分子数に比べて十分多くなるので、分解反応が起きても、酸素分子密度はあまり変わらず、一定の反応速度で有機分子を分解するためと考えられる。ただし、透光部のエッチングの精度や、遮光部の積層精度が悪くなり、ラインアンドスペース(L/S)の精度の高いパターニングには向かない。
また、透光部の表面レベルと遮光部の表面レベルとの差が1μmより小さくなると、十分な速さで効果を得ることが困難となることが確認された。この理由は、時間経過に伴って透光部の表面とSAMの表面との間の空間における酸素分子密度が下がり、分解反応速度が低下するためであると考えられる。
10b マスク
11 光透過性基板
11a 凹部
12 透光部
15 遮光部
16 遮光膜
16a 遮光膜形成層
17 下層遮光膜
17a 下層遮光膜形成層
18 上層遮光膜
20 レジストパターン
20a レジスト層
30 処理室
31 筐体
32 吸気口
32a 流路開閉バルブ
33 排気口
33a 流路開閉バルブ
35 ランプ室
36 ケーシング
38 窓部材
40 エキシマランプ
45 マスク保持機構
46 マスクステージ
50 ワークステージ
50a 被処理物載置面
55 ステージ移動機構
W 基板材料(被処理基板)
Claims (5)
- 酸素の存在下において、光透過性基板の表面にパターン化された遮光部が形成されたマスクを介して、真空紫外光を被処理物に照射することにより、当該被処理物の表面に特定の表面変性領域を形成する表面処理方法であって、
前記マスクとして、前記光透過性基板における透光部を形成する領域の厚さが、前記遮光部が形成された領域の厚さより小さいものが用いられることを特徴とする表面処理方法。 - 酸素の存在下において、光透過性基板の表面にパターン化された遮光部が形成されたマスクを介して、真空紫外光を被処理物に照射することにより、当該被処理物の表面に特定の表面変性領域を形成する方法であって、
前記マスクとして、遮光部の表面レベルと、遮光部に隣接する透光部の表面レベルとの差が1μm以上であるものが用いられることを特徴とする表面処理方法。 - 光透過性基板の表面にパターン化された遮光部が形成されたマスクであって、
前記光透過性基板における透光部を形成する領域の厚さが、前記遮光部が形成された領域の厚さより小さいことを特徴とするマスク。 - 光透過性基板の表面にパターン化された遮光部が形成されたマスクであって、
前記遮光部の表面レベルと、遮光部に隣接する透光部の表面レベルとの差が1μm以上であることを特徴とするマスク。 - 酸素の存在する雰囲気とされる処理室内に配置された、平坦な被処理物載置面を有するワークステージと、
処理室の内部空間と区画された空間内に配置された、真空紫外光をマスクを介してワークステージ上の被処理物に照射する真空紫外光源と、
マスクを保持するマスク保持機構と
を備えており、
前記真空紫外光源がエキシマランプであり、
前記マスクが、請求項3または請求項4に記載のマスクであって、遮光部が形成された面がワークステージの被処理物載置面と対向する状態で、前記マスク保持機構によって保持されることを特徴とする表面処理装置。
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Cited By (2)
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