JP4371050B2 - パターンの形成方法 - Google Patents
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Description
まず、本実施形態のパターンの形成方法に用いるエッチングマスクについて、図1を用いて製造工程順に説明する。まず、図1(a)に示すように、エッチングマスクの基材としては、例えば石英(SiO2)からなる基板11を用いることとする。ここで、エッチングマスクは、絶縁性基板で構成されることが好ましく、体積固有抵抗が1011Ω・cm以上であれば、さらに好ましい。エッチングマスクが絶縁性基板で構成されることで、後工程でエッチングマスクを用いたプラズマエッチングを行う際、エッチング装置内のマスク保持手段に設けられた金属板と基板保持手段に設けられた金属板とを電極としてプラズマ放電を行い、交流動作によりプラズマ放電を維持することが可能となる。
次に、プラズマエッチングに用いる被処理基板20について、図2を用いて説明する。被処理基板20は、下地基板21と下地基板21上に設けられた有機膜22(被処理膜)とで構成されることとする。このような被処理基板20の形成方法としては、例えばガラス基板からなる下地基板21に洗浄液を用いて超音波洗浄を行う。その後、下地基板21にUV−オゾンクリーニングを行うことで、さらに清浄化する。
次に、本実施形態のドライエッチングに用いるエッチング装置について説明する。図3に示すように、このエッチング装置30は、被処理基板に処理を行うための処理チャンバー31と、処理チャンバー31の底部に配置されるとともに被処理基板20を保持する基板保持手段32と、基板保持手段32に対向配置されるとともに、エッチングマスク10を保持するマスク保持手段33とを備えている。
次に、本実施形態のドライエッチングについて説明する。本実施形態では、プラズマエッチングを行う例について説明する。まず、上述したようなエッチング装置30の処理チャンバー31内に、上記エッチングマスク10および被処理基板20を導入する。そして、被処理基板20の有機膜22側をマスク保持手段33側に向けた状態で、被処理基板20を基板保持面32aに装着する。また、エッチングマスクの凹状パターン13の形成面側を基板保持手段32側に向けた状態で、上記エッチングマスク10をマスク保持面33aに装着する。
実施形態と同様の方法により、エッチングマスクを作製した。まず、図1(a)に示すように、エッチングマスクの基板11としては、信越化学社製の合成石英基板VIOSILを用い、この基板11に、横浜油脂工業社製セミクリーンLC−2からなる洗浄液を用いて超音波洗浄を行った。次に、アルバック社製EBX040916Aからなる真空蒸着装置にこの基板11を導入し、真空蒸着法によりCr膜12を200nmの膜厚で形成した。
次に、実施形態で図2を用いて説明した方法と同様の方法により、被処理基板20を作製した。ここでは、有機膜22としてSAM(Self Assembly monolayar)膜を形成した。具体的には、下地基板21としては、コーニング社製の無アルカリガラス1737基板を用い、この下地基板21に、例えば横浜油脂工業社製セミクリーンLC−2からなる洗浄液を用いて超音波洗浄を行った。続いて、例えばサムコインターナショナル社製のUV−1を用いて、下地基板21のUV−オゾンクリーニングを行った。
次に、実施形態で図3を用いて説明したエッチング装置30の処理チャンバー31内に、上記エッチングマスク10および上記被処理基板20を導入した。そして、被処理基板20を基板保持手段32の基板保持面32aに装着するとともに、上記エッチングマスク10を、凹状パターン形成面側を基板保持手段32側に向けた状態で、マスク保持手段33のマスク保持面33aに装着した。
Claims (1)
- 一主面側に凹状パターンが設けられたエッチングマスクを、前記凹状パターンを被処理基板に対向させて、接触状態または所定幅の間隙を有した状態で、前記被処理基板上に配置するとともに、前記エッチングマスクと前記被処理基板との間にエッチングガスを導入する第1工程と、
前記エッチングガスにより、前記被処理基板の前記凹状パターンとの対向領域をエッチングすることで、前記エッチングマスクの頂面と対向する前記被処理基板の表面側にパターンを形成する第2工程とを有し、
前記第1工程では、前記エッチングマスクの頂面と前記被処理基板の表面との間でプラズマ放電が開始される第1の電圧値が、前記凹状パターンの底面と前記被処理基板の表面との間でプラズマ放電が開始される第2の電圧値よりも高くなるように、前記凹状パターンの深さおよび前記エッチングマスクと前記被処理基板との距離を調整して、前記エッチングマスクを前記被処理基板上に配置し、
前記第2工程では、前記第2の電圧値以上で、かつ第1の電圧値よりも低い電圧を、前記エッチングマスクと前記被処理基板との間に印加して、前記エッチングガスをプラズマ化してエッチングする
パターンの形成方法。
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