JP2017183686A - 金属配線接合構造及びその製法 - Google Patents
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Abstract
Description
樹脂製の第1支持層と樹脂製の第1被覆層との間に複数の第1金属配線を有し、各第1金属配線の端部をなす第1接点は前記第1被覆層から露出している第1部材と、
樹脂製の第2支持層の表面に複数の第2接点を有し、前記第2接点は前記複数の第1接点のそれぞれに対向して配置されている第2部材と、
前記第1接点と前記第2接点とをろう接する接合部材と、
を備えた金属配線接合構造であって、
前記第1部材は、前記第1支持層のうち前記第1金属配線が設けられた面とは反対側の面に前記複数の第1接点のそれぞれに対向する位置に金属製の第1接点対向ランドを有し、
前記第2接点は、前記第1接点に対向する基本面に加えて前記第1接点を仮想的に先方へ延長した仮想延長部に対向する延長面を有し、
前記接合部材は、前記第1接点対向ランドの表面、前記第1部材の先端面及び前記第2接点の延長面を被覆すると共に前記第1接点と前記第2接点との間の接合用スペースに充填されている、
ものである。
(a)樹脂製の第1支持層と樹脂製の第1被覆層との間に複数の第1金属配線を有し、各第1金属配線の端部をなす第1接点は前記第1被覆層から露出し、前記第1支持層のうち前記第1金属配線が設けられた面とは反対側の面に前記複数の第1接点のそれぞれに対向する位置に金属製の第1接点対向ランドを有する第1部材と、
樹脂製の第2支持層の表面に複数の第2接点を有し、前記第1接点と対向させたとき、前記第1接点に対向する基本面に加えて前記第1接点を仮想的に先方へ延長した仮想延長部に対向する延長面を有する第2部材とを、
用意する工程と、
(b)前記第1部材を前記第2部材の上に配置し、前記第1接点対向ランドと前記第2接点の前記延長面とを利用して前記第1接点が前記第2接点の前記基本面と対向するように位置合わせする工程と、
(c)前記第1接点対向ランドにろう接材料を当てて加熱して溶融させ、該溶融したろう接材料を前記第1接点対向ランドから前記第1部材の先端面、前記第2接点の延長面を経て前記第1接点と前記第2接点との間の接合用スペースに供給し、前記第1接点と前記第2接点とを予め予備のろう接材料で仮止めした場合には該予備のろう接材料を伝熱により溶融させる工程と、
(d)前記ろう接材料の全体を固化させる工程と、
を含むものである。
Claims (5)
- 樹脂製の第1支持層と樹脂製の第1被覆層との間に複数の第1金属配線を有し、各第1金属配線の端部をなす第1接点は前記第1被覆層から露出している第1部材と、
樹脂製の第2支持層の表面に複数の第2接点を有し、前記第2接点は前記複数の第1接点のそれぞれに対向して配置されている第2部材と、
前記第1接点と前記第2接点とをろう接する接合部材と、
を備えた金属配線接合構造であって、
前記第1部材は、前記第1支持層のうち前記第1金属配線が設けられた面とは反対側の面に前記複数の第1接点のそれぞれに対向する位置に金属製の第1接点対向ランドを有し、
前記第2接点は、前記第1接点に対向する基本面に加えて前記第1接点を仮想的に先方へ延長した仮想延長部に対向する延長面を有し、
前記接合部材は、前記第1接点対向ランドの表面、前記第1部材の先端面及び前記第2接点の延長面を被覆すると共に前記第1接点と前記第2接点との間の接合用スペースに充填されている、
金属配線接合構造。 - 前記第1接点対向ランドは、前記第1部材の先端面まで延びている、
請求項1に記載の金属配線接合構造。 - 前記第1部材は、フレキシブルプリント基板である、
請求項1又は2に記載の金属配線接合構造。 - 前記第2部材は、ヒータの役割を果たすシートヒータであって、静電チャックと金属製の支持台との間に配置されるものであり、
前記第1部材は、前記支持台の貫通孔に挿入されて前記第2部材と接合されている、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の金属配線接合構造。 - (a)樹脂製の第1支持層と樹脂製の第1被覆層との間に複数の第1金属配線を有し、各第1金属配線の端部をなす第1接点は前記第1被覆層から露出し、前記第1支持層のうち前記第1金属配線が設けられた面とは反対側の面に前記複数の第1接点のそれぞれに対向する位置に金属製の第1接点対向ランドを有する第1部材と、
樹脂製の第2支持層の表面に複数の第2接点を有し、前記第1接点と対向させたとき、前記第1接点に対向する基本面に加えて前記第1接点を仮想的に先方へ延長した仮想延長部に対向する延長面を有する第2部材とを、
用意する工程と、
(b)前記第1部材を前記第2部材の上に配置し、前記第1接点対向ランドと前記第2接点の前記延長面とを利用して前記第1接点が前記第2接点の前記基本面と対向するように位置合わせする工程と、
(c)前記第1接点対向ランドにろう接材料を当てて加熱して溶融させ、該溶融したろう接材料を前記第1接点対向ランドから前記第1部材の先端面、前記第2接点の延長面を経て前記第1接点と前記第2接点との間の接合用スペースに供給し、前記第1接点と前記第2接点とを予め予備のろう接材料で仮止めした場合には該予備のろう接材料を伝熱により溶融させる工程と、
(d)前記ろう接材料の全体を固化させる工程と、
を含む金属配線接合構造の製法。
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