JP2017164859A - 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)下部層が、いずれも化学蒸着形成された、Tiの炭化物(以下、TiCで示す)層、窒化物(以下、同じくTiNで示す)層、炭窒化物(以下、TiCNで示す)層、炭酸化物(以下、TiCOで示す)層および炭窒酸化物(以下、TiCNOで示す)層のうちの1層または2層以上からなるTi化合物層、
(b)上部層が、化学蒸着形成された酸化アルミニウム(以下、Al2O3で示す)層、
以上(a)および(b)で構成された硬質被覆層を形成してなる被覆工具が知られており、この被覆工具は、各種の鋼や鋳鉄などの切削加工に用いられている。
そこで、難削材の切削加工においても、耐チッピング性、耐剥離性がより優れる被覆工具が求められている。
そして、工具基体と硬質被覆層の界面に存在する窒素濃度に着目して研究を進めたところ、工具基体表面に、少なくとも窒素と炭素を含むTi化合物層を形成するとともに、硬質被覆層の界面から、硬質被覆層の表面に向かって、窒素濃度が漸次増加する領域を形成した場合には、工具基体と硬質被覆層との密着性の向上が認められ、その結果、二相ステンレス鋼のような難削材の断続切削加工において、溶着が発生したとしても、これを原因とするチッピング、剥離の発生を抑制し得ることを見出したのである。
「(1)WC基超硬合金またはTiCN基サーメットからなる工具基体の表面に硬質被覆層が形成されている表面被覆切削工具であって、工具基体表面直上には、少なくとも窒素と炭素を含むTi化合物層が形成されており、切れ刃近傍において工具基体表面から垂直方向に窒素濃度を測定した場合、工具基体表面からTi化合物層側へ0.2μm以内の範囲において、工具基体からの距離が離れるにしたがい、前記Ti化合物層中の窒素濃度が漸次増加しており、窒素濃度の平均濃度勾配が、20原子%/μm以上300原子%/μm以下であることを特徴とする表面被覆切削工具。
(2)前記(1)に記載の表面被覆切削工具において、前記少なくとも窒素と炭素を含むTi化合物層の表面に、これとは異なる膜種の一層又は多層のTi化合物層が形成されていることを特徴とする前記(1)に記載の表面被覆切削工具。
(3)前記(2)に記載の表面被覆切削工具において、最表面の前記Ti化合物層の表面に、さらに、α型またはκ型の結晶構造を有するAl2O3層が形成されていることを特徴とする前記(2)に記載の表面被覆切削工具。」
に特徴を有するものである。
図1に示される本発明被覆工具の一つの態様によれば、本発明被覆工具は、WC基超硬合金またはTiCN基サーメットからなる工具基体の表面に、第一層として、少なくとも窒素と炭素を含むTi化合物層(図1では、窒素濃度が工具基体側から硬質被覆層表面側に向かって漸次増加するTiCN層)が形成され、その上に、第二層として、第一層とは異なる膜種のTi化合物層が形成され、その上にさらに、Al2O3層が形成され、硬質被覆層は三層構造として形成されている。
前記第一層としてのTi化合物層(以下、「第一Ti化合物層」ともいう)は、窒素濃度が層厚方向に向かって変化するTiCN層、言い換えれば、層厚方向に沿って、工具基体表面側から硬質被覆層表面側に向かうにしたがって、層中に含有される窒素濃度が漸次増加するものである。
一方、第二層として形成されているTi化合物層(以下、「第二Ti化合物層」ともいう。図1では、TiCN層)は、該層内において成分濃度がほぼ均一なTi化合物層であって、層厚方向に沿った窒素濃度の変化はない。
したがって、前記第一Ti化合物層と第二Ti化合物層とは、例えば、TiCN系というように成分系が同じであったとしても、少なくとも層厚方向に沿った窒素濃度の変化の有無という点で、異なるTi化合物層であるといえる。
工具基体表面に形成される第一Ti化合物層は、少なくとも窒素と炭素を含むTi化合物層であり、例えば、Tiの炭窒化物(TiCN)層あるいはTiの炭窒酸化物(TiCNO)層である。
なお、第一Ti化合物層としては、TiCN層が好ましい。
前記第一Ti化合物層について、工具基体表面から垂直方向に、第一Ti化合物層の内部へ0.2μmまでの範囲にわたって窒素濃度を測定した場合、工具基体表面からの距離が離れるに従い、窒素濃度が漸次増加する領域が存在する。
そして、前記窒素濃度が漸次増加する領域が存在することによって、工具基体と第一Ti化合物層との界面密着性が向上する。
界面密着性が向上する理由を以下に記す。
まず、界面密着性を向上させるために第一Ti化合物層に求められる特徴は下記の2点である。
(1)切削時には、切削熱および切削によって刃先にかかる圧力により、超硬合金基体が変形することが知られており、第一Ti化合物層の靭性が高いほど、基体が変形した際に変形に追従することができ、剥離を生じにくくなる。
TiCとTiNを比較すると、TiNの方が靭性に優れていることから、「超硬合金基体の変形に耐えるためには、第一Ti化合物層は、窒素量が多い方が好ましい」といえる。
(2)一方、「超硬合金基体とその直上のTi化合物の熱膨張係率の差」は小さい方が、断続切削時に刃先温度が変化した際、界面にかかる熱応力が小さくなるため、剥離を生じ難くなると考えられる。
室温25℃から1000℃の間で測定した熱膨張係数は、超硬合金はおよそ6.0×10−6/℃(組成により異なる)、TiCは7.7×10−6/℃、TiNは9.2×10−6/℃であり、「刃先温度の変化に耐えるためには、超硬合金基体に接するTi化合物は、窒素量が少ない方が好ましい」といえる。
そうすると、「工具基体表面から距離が離れるに従い窒素濃度が漸次増加している第一Ti化合物層」は、両者を両立しているため、界面密着性に優れていると考えられる。
すなわち、
(1) “第一Ti化合物層全体としては”窒素量が高く、第一Ti化合物層全体として靭性を確保することができるため、超硬合金基体の変形に十分耐えることができる。
(2)超硬合金基体に接するTi化合物は、窒素量が少ないので超硬合金基体との熱膨張差が小さくなり、かつ第一Ti化合物層の内部での熱膨張率の変化が緩やかであるため、刃先温度変化への耐久性が向上する。
ためであると推測される。
なお、前記第一Ti化合物層の平均層厚は、0.2〜2.0μmであることが望ましい。これは、平均層厚が、0.2μm未満であると、層厚方向に沿って窒素濃度を漸次増加させたことによる工具基体との密着性向上効果が少なく、一方、平均層厚が2.0μmを超えると、耐摩耗性に優れる他の層の厚さを確保し難くなるためである。
つまり、第一Ti化合物層は密着性の確保を目的に形成しており、高温硬さ、高温強度は第二Ti化合物層に劣る。しかし、硬質被覆層の総厚が厚いほど剥離を生じやすくなってしまうため、第一Ti化合物層は「界面密着性が確保できる必要最小限の層厚」が望ましい。
前記第一Ti化合物層の内部へ0.2μmまでの範囲にわたる窒素濃度の平均濃度勾配が20原子%/μm未満では、窒素濃度を漸次増加させたことによる効果が少ないため、「第一Ti化合物層全体としての靭性」と「超硬合金基体とその直上のTi化合物の熱膨張係率の差を小さくすること」を十分に両立できないためであり、また、窒素濃度の平均濃度勾配が300原子%/μmを超えると、第一Ti化合物層中での熱膨張率の変化が急峻になりすぎ、刃先温度変化への耐久性が低下する(熱膨張系率の変化が大きすぎるため、温度が変化したときの熱応力が大きくなり、界面からの剥離を生じやすくなる)という理由による。
まず、化学蒸着法による通常の条件、例えば、
反応ガス組成(容量%):TiCl4 1.5〜5.0%,CH3CN 0.5〜1.5%,N2 8〜25%,H2 残り、
反応雰囲気温度:880〜920℃、
反応雰囲気圧力:5〜9kPa、
で、TiCNを最初蒸着し、その後、CH3CN量を漸次減少させ、併せて他のガスの濃度および反応雰囲気圧力を漸次変化させ、
最終的に、TiNの通常の蒸着条件、例えば、
反応ガス組成(容量%):TiCl4 3.5〜5.0%,N2 15〜35%,H2 残り、
反応雰囲気温度:880〜920℃、
反応雰囲気圧力:9〜35kPa、
とする。
上記のような蒸着によって、工具基体表面直上には、成膜初期には、少なくとも窒素と炭素を含むTi化合物層(上記例では、TiCN層)が形成され、TiN層の成膜に、成膜条件が漸次変化することによって、第一Ti化合物層としては、工具基体表面から垂直方向に、第一Ti化合物層の内部へ0.2μmまでの範囲にわたり、窒素濃度が漸次増加する(窒素濃度の平均濃度勾配が20原子%/μm以上300原子%/μm以下)領域が存在する第一Ti化合物層を形成することができる。
なお、後述するが、第一Ti化合物中の窒素濃度が基体表面から0.2μmまでの範囲にわたり徐々に窒素濃度が変化するよう、複数回に分けて成膜を行うことでも、界面密着性に優れた第一Ti化合物層を得ることが可能である。
第二Ti化合物層としては、TiC層、TiN層、TiCN層、TiCO層、TiCNO層から選ばれる何れか1層、または、少なくとも窒素と炭素を含有し、工具基体からの距離が離れるに従い窒素量が漸次変化する傾斜組成を有するTi化合物層で形成することができる。
好ましい第二Ti化合物層は、高温硬さ、高温強度に優れているという観点から、TiCN層であるが、いずれのTi化合物層であっても、硬質被覆層全体としての高温硬さ、高温強度を高める。また同時に、第一Ti化合物層との密着性にすぐれ、Al2O3層を形成した場合には、該α−Al2O3層あるいはκ−Al2O3層との密着性にもすぐれる。
第二Ti化合物層上にさらに第三、第四、あるいはそれ以上の多層のTi化合物層を形成してもよい。
なお、Ti化合物層の平均総層厚は、2〜25μmであることが望ましい。これは、2μm未満であると高温硬さ、高温強度が十分に確保できず、耐摩耗性向上による寿命延長効果が少ないためであり、一方、平均層厚が25μmを超えると断続切削加工時に溶着チッピング、剥離等が発生するようになるという理由による。
Ti化合物層上に、α型またはκ型の結晶構造を有するAl2O3層を形成した場合には、既によく知られているように、高温硬さと耐熱性の向上が図られる。ただ、α型またはκ型の結晶構造を有するAl2O3層の平均層厚が0.5μm未満では、耐摩耗性向上による寿命延長効果が少なく、一方、その平均層厚が20μmを越えるとAl2O3結晶粒が粗大化し易くなり、その結果、高温硬さ、高温強度の低下に加え、断続切削加工時に溶着チッピング、剥離等が発生するようになることから、α型またはκ型の結晶構造を有するAl2O3層をTi化合物層上に形成する場合には、その平均層厚を0.5〜20μmとすることが望ましい。
また、刃先識別性の向上のためにAl2O3層上にTiN等を形成してもよく、さらに硬質被覆層の形成後にショットピーニング等の処理を施してもよい。
したがって、本発明の被覆工具によれば、二相ステンレス鋼のような難削材の断続切削加工において、断続的・衝撃的高負荷が切れ刃に作用した場合であっても、溶着チッピングの発生、剥離の発生を抑制することができる。
さらに、本発明の被覆工具において、前記第一Ti化合物層の表面に、第二Ti化合物層を設けること、あるいは、必要に応じ、第三、第四、あるいはそれ以上の多層のTi化合物層を設けること、また、さらに、α型またはκ型の結晶構造を有するAl2O3層を設けることによって、耐摩耗性をより一層向上させることができるとともに、切削工具の長寿命化を図ることができる。
まず、少なくとも窒素と炭素を含むTi化合物層(第一Ti化合物層)を形成するために、表3に示される条件で、TiCNを蒸着し、ついで、成膜条件を漸次変化させ、同じく表3に示す条件で、TiNあるいは窒素量の多いTiCNを蒸着成膜した。
このような蒸着により、工具基体表面から垂直方向に、第一Ti化合物層の内部へ0.2μmまでの範囲にわたって窒素濃度が漸次増加する領域を有する第一Ti化合物層を形成した。
より具体的にいえば、まず切れ刃近傍(ホーニングを有する工具の場合はホーニング部、ホーニングの無い工具の場合は切れ刃から距離0.02mm以内の領域を切れ刃近傍とする)にて、厚さ方向から15°傾いた面で斜面ラップを行い、CP研磨を施した。次に工具基体表面と第一Ti化合物層との界面を挟んだ界面近傍領域において線分析を行い、工具基体表面と第一Ti化合物層との界面から第一Ti化合物層の内部へ0.04μmに相当する位置(この位置を「位置A」という。位置Aは、“厚さ方向と平行な面で研磨した場合に、工具基体表面と第一Ti化合物層との界面から第一Ti化合物層の内部へ0.04μmの位置”である。したがって厚さ方向から15°傾いた面でラップして分析する場合は、0.04/sin(15°)=0.15より、工具基体表面と第一Ti化合物層との界面から第一Ti化合物層の内部へ0.15μmの位置が位置Aである。)における窒素濃度、界面から第一Ti化合物層の内部へ0.12μmに相当する位置(「位置B」という)における窒素濃度、界面から第一Ti化合物層の内部へ0.20μmに相当する位置(「位置C」という)における窒素濃度をそれぞれ測定した。
そして、前記の線分析を、異なった界面近傍領域で5本行い、それぞれの位置において測定された窒素濃度を平均し、この値を、各位置における「窒素濃度(原子%)」として求めた。
さらに、前記で求めた「窒素濃度(原子%)」から、位置A−位置B間における窒素濃度の平均濃度勾配を、平均濃度勾配BA(原子%/μm)=(位置Bでの窒素濃度−位置Aでの窒素濃度)/(0.12−0.04)として算出し、また、位置B−位置C間における窒素濃度の平均濃度勾配を、平均濃度勾配CB(原子%/μm)=(位置Cでの窒素濃度−位置Bでの窒素濃度)/(0.20−0.12)として算出した。
表5に、前記で求めた「窒素濃度(原子%)」、平均濃度勾配BA(原子%/μm)および平均濃度勾配CB(原子%/μm)を示す。
ここで「平均濃度勾配BA(原子%/μm)と平均濃度勾配CB(原子%/μm)が、いずれも、20原子%/μm以上300原子%/μm以下であること」を以て、「切れ刃近傍において工具基体表面から垂直方向に窒素濃度を測定した場合、工具基体表面からTi化合物層側へ0.2μm以内の範囲において、工具基体からの距離が離れるにしたがい、前記Ti化合物層中の窒素濃度が漸次増加しており、窒素濃度の平均濃度勾配が、20原子%/μm以上300原子%/μm以下である」とする。
なお、第一Ti化合物層の形成法について、ガス濃度および成膜雰囲気圧力を漸次変化させる方法以外に、ガス条件を段階的に変化させる方法も考えられる。この場合でも「平均濃度勾配BA(原子%/μm)と平均濃度勾配CB(原子%/μm)が、いずれも、20原子%/μm以上300原子%/μm以下であること」の条件を満たせば、界面密着性に優れた第一Ti化合物層を得ることが出来る。
表6に、これらの値を示す。
なお、比較例被覆工具3、5、6、8の位置Aにおける窒素量が50原子%でないのは、基体からわずかに炭素が拡散したためと推定される。同様に、比較例被覆工具7の位置Aにおける窒素量が0原子%でないのは、基体からわずかに窒素が拡散したためと推定される。
表5、表6に、これらの値を示す。
被削材:JIS・SUS329の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、、
切削速度:130m/min.、
切り込み:2.0mm、
送り:0.18mm/rev.、
切削時間:1.0分、
の条件での二相ステンレス鋼の湿式断続切削加工試験、
を行い、逃げ面摩耗幅(mm)を測定するとともに、切れ刃の目視観察を行い、すくい面の溶着チッピングの有無を確認した。
表7に、その結果を示す。
Claims (3)
- WC基超硬合金またはTiCN基サーメットからなる工具基体の表面に硬質被覆層が形成されている表面被覆切削工具であって、工具基体表面直上には、少なくとも窒素と炭素を含むTi化合物層が形成されており、切れ刃近傍において工具基体表面から垂直方向に窒素濃度を測定した場合、工具基体表面からTi化合物層側へ0.2μm以内の範囲において、工具基体からの距離が離れるにしたがい、前記Ti化合物層中の窒素濃度が漸次増加しており、窒素濃度の平均濃度勾配が、20原子%/μm以上300原子%/μm以下であることを特徴とする表面被覆切削工具。
- 請求項1に記載の表面被覆切削工具において、前記少なくとも窒素と炭素を含むTi化合物層の表面に、これとは異なる膜種の一層又は多層のTi化合物層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。
- 請求項2に記載の表面被覆切削工具において、最表面の前記Ti化合物層の表面に、さらに、α型またはκ型の結晶構造を有するAl2O3層が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の表面被覆切削工具。
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