JP2017162926A - パターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、基板の構成を示す上面図である。図1では、ウエハなどの基板100に設定されるショットの上面図を示している。基板100上にマス目で示される矩形状の領域がショット101である。ショット101は、フォトリソグラフィの露光単位またはインプリントリソグラフィーの押当て単位である。換言すると、ショット101は、1回の露光で露光可能な領域または1回の押当でインプリント可能な領域である。
基板100上には、種々の膜が形成されている。ここでは、基板100の最上面に被加工膜20が形成されている場合を示している。基板100には、凹凸構造である段差10が発生している。この段差10上に被加工膜20が形成されることにより、被加工膜20も段差11を有している。
被加工膜20が形成された後、第1の樹脂膜塗布工程が行われる。第1の樹脂膜塗布工程では、基板100の上面全体に、レジスト103Xが塗布される。レジスト103Xの表面には、基板100の段差11を反映した凹凸構造が形成される。
この後、第1の露光工程が行われる。第1の露光工程では、レジスト103Xの凸部に対して露光光51が照射される。この露光光51は、フォトマスク(図示せず)などのマスク(レチクル)を介してレジスト103X上に照射される。
図3−1の(d)では、素子形成領域61における基板100の断面図を示している。図3−1の(e)では、ベベル領域62における基板100の断面図を示している。露光光51がフォトマスクを介してレジスト103Xに照射されることにより、レジスト103Xの凸部が露光される。ここでは、レジスト103Xのうち露光された領域をレジスト103Bとして図示している。また、レジスト103Xのうち露光されていない領域をレジスト103Aとして図示している。
図3−1の(f)では、ベベル領域62における基板100の断面図を示している。図3−1の(f)に示す基板100のうち、図面の右方向が基板100の外周部であり、図面の左方向が基板100の内周部である。第1の露光工程が完了した後、第2の露光工程が行われる。第2の露光工程では、ベベル領域62に対して露光光52が照射される。この露光光52は、例えば、基板100を回転させながら、ベベル領域62に照射される。この場合において、例えば、基板100のベベル領域62以外が、所定の遮光パターンで遮光され、ベベル領域62のみに露光光52が照射される。
第2の露光工程が完了した後、現像工程が行われる。なお、図3−2の(g)および後述する図3−2の(h)〜(j)では、左側に基板100の中央部(素子形成領域61)を図示し、右側に基板100の外周部(ベベル領域62)を図示している。また、図3−2の(g)〜(j)の右側に示す基板100のうち、図面の右方向が基板100の外周部であり、図面の左方向が基板100の内周部である。
現像工程が完了した後、加熱工程が行われる。基板100が加熱されることにより、レジストパターン104A,104Bの形状が変化する。図3−2の(h)では、加熱工程後の素子形成領域61におけるレジストパターン104Aの形状をレジストパターン105Aとして図示している。また、加熱工程後のベベル領域62におけるレジストパターン104Bの形状をレジストパターン105Bとして図示している。レジストパターン104A,104Bは、加熱されることにより、現像時にあった一部のレジスト部分(突起部分)がリフローされて滑らかな形状になる。
加熱工程が完了した後、第2の樹脂膜塗布工程が行われる。第2の樹脂膜塗布工程では、例えば、第1の塗布工程で使用したレジスト103Xと同じ成分を有したレジスト110が用いられる。レジスト110は、例えば、第1の塗布工程で使用されたレジスト103Xと同じノボラック樹脂系のi線レジストである。
第2の樹脂膜塗布工程が完了した後、NIL(Nano-Imprint Lithography)工程などのインプリント工程が行われる。レジスト110が塗布された後、基板100へは、パターン転写(加工)に用いられるSi(シリコン)含有材料120が形成される。Si含有材料120は、基板100の上面全体に回転塗布で形成される。これにより、基板100の上面全体がSi含有材料120で覆われる。基板100にSi含有材料120を形成することによって、小さな凹凸を有するレジスト上に滑らかな表面を有する膜を形成することができる。その後、インプリント装置(図示せず)にて、基板100の上面全体にレジストパターン12Yが形成される。
Claims (7)
- 基板上に第1のレジストを塗布する第1の塗布ステップと、
前記第1のレジストの凸部に第1の露光光を照射する第1の露光ステップと、
前記第1のレジストのうち前記基板の外周部に第2の露光光を照射する第2の露光ステップと、
前記基板を現像する現像ステップと、
前記基板に第2のレジストを塗布する第2の塗布ステップと、
前記第2のレジストのうち、前記基板の外周部のレジスト部分を除去する除去ステップと、
前記第2のレジストの上層側にインプリント処理によってパターンを形成するパターン形成ステップと、
を含むことを特徴とするパターン形成方法。 - 前記第2の露光ステップでは、前記基板の外周部の凹凸に対して位置合わせをしたうえで、前記第2の露光光を照射する、
ことを特徴とする請求項1に記載のパターン形成方法。 - 前記第1の露光ステップでは、前記第1のレジストの段差の高さおよび位置に基づいて、前記第1の露光光の露光量を調整する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパターン形成方法。 - 前記第2の露光ステップでは、前記基板の外周部の段差の高さおよび位置に基づいて、前記第2の露光光の露光量を調整する、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のパターン形成方法。 - 現像後の前記基板を加熱し、前記第1のレジストを熱架橋させる加熱ステップをさらに含み、
熱架橋した前記第1のレジストは、前記第2のレジストに溶けないものである、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のパターン形成方法。 - 前記第2の露光ステップでは、前記基板を回転させながら前記基板の外周部に前記第2の露光光を照射する、
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のパターン形成方法。 - 前記第2の露光ステップでは、前記基板の外周部のうちの凹部に前記第2の露光光を照射し、前記基板の外周部のうちの凸部には前記第2の露光光を照射しない、
ことを特徴とする請求項2に記載のパターン形成方法。
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