JP2017158659A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2017158659A5
JP2017158659A5 JP2016043933A JP2016043933A JP2017158659A5 JP 2017158659 A5 JP2017158659 A5 JP 2017158659A5 JP 2016043933 A JP2016043933 A JP 2016043933A JP 2016043933 A JP2016043933 A JP 2016043933A JP 2017158659 A5 JP2017158659 A5 JP 2017158659A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plasma
processing apparatus
irradiation
irradiation processing
current value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016043933A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6664046B2 (ja
JP2017158659A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2016043933A priority Critical patent/JP6664046B2/ja
Priority claimed from JP2016043933A external-priority patent/JP6664046B2/ja
Publication of JP2017158659A publication Critical patent/JP2017158659A/ja
Publication of JP2017158659A5 publication Critical patent/JP2017158659A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6664046B2 publication Critical patent/JP6664046B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2016043933A 2016-03-07 2016-03-07 プラズマ照射処理装置、その評価装置及び評価方法、その制御装置及び制御方法、並びに、膜の製造方法 Active JP6664046B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016043933A JP6664046B2 (ja) 2016-03-07 2016-03-07 プラズマ照射処理装置、その評価装置及び評価方法、その制御装置及び制御方法、並びに、膜の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016043933A JP6664046B2 (ja) 2016-03-07 2016-03-07 プラズマ照射処理装置、その評価装置及び評価方法、その制御装置及び制御方法、並びに、膜の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2017158659A JP2017158659A (ja) 2017-09-14
JP2017158659A5 true JP2017158659A5 (OSRAM) 2019-03-22
JP6664046B2 JP6664046B2 (ja) 2020-03-13

Family

ID=59853572

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016043933A Active JP6664046B2 (ja) 2016-03-07 2016-03-07 プラズマ照射処理装置、その評価装置及び評価方法、その制御装置及び制御方法、並びに、膜の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6664046B2 (OSRAM)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7325354B2 (ja) * 2020-02-12 2023-08-14 東京エレクトロン株式会社 測定システム及び測定方法
JP2024139855A (ja) * 2023-03-28 2024-10-10 日本特殊陶業株式会社 プラズマ照射装置
GB2639873A (en) * 2024-03-26 2025-10-08 Eaton Intelligent Power Ltd Method and system for Rogowski coil current measurements

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3380394B2 (ja) * 1996-05-10 2003-02-24 アシストジャパン株式会社 プラズマ外科処置用放電噴射ノズル
CN203001102U (zh) * 2009-11-09 2013-06-19 艾恩医疗有限公司 组织焊接的装置
EP2591742A4 (en) * 2010-07-07 2018-01-03 National Institute of Advanced Industrial Science And Technology Plasma irradiation treatment device
WO2013077126A1 (ja) * 2011-11-22 2013-05-30 独立行政法人産業技術総合研究所 プラズマ評価装置
JP6519039B2 (ja) * 2014-05-16 2019-05-29 国立大学法人名古屋大学 タンパク質膜の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012518384A5 (OSRAM)
RU2021129871A (ru) Способ управления питанием и система для устройства, генерирующего аэрозоль, с питанием от батареи
RU2018114595A (ru) Хирургический сшивающий инструмент с управлением двигателем на основе магнитного поля
KR102184021B1 (ko) 측정 장치 및 측정 방법
CN101995430B (zh) 一种离子跨膜迁移数跟踪检测装置及检测方法
RU2012142020A (ru) Устройство детектирования электрического тока электродвигателя, контроллер электродвигателя и электрический приводной инструмент
JP2014531901A5 (OSRAM)
CN105005293B (zh) 用于实时测试控制器的计算机执行的方法和模拟器
RU2011141088A (ru) Устройство управления для вращающейся машины переменного тока
RU2018104580A (ru) Устройства и способы обнаружения ухудшения состояния полупроводниковых устройств вследствие воздействия на них радиации
JP2008220155A5 (OSRAM)
RU2017123385A (ru) Устройство и способ контроля для определения технического состояния устройства с гидро- или пневмоприводом
JP2014518379A5 (OSRAM)
CN104181395A (zh) 一种锂离子电池组单体交流阻抗的测量装置
US20150276836A1 (en) Methods and devices for measuring conductivity of fluids
JP2023537253A5 (OSRAM)
CN106526286B (zh) 电流检测电路、方法及电池系统
CN103706897A (zh) 一种电解加工中电解液的电导率在线测量装置及方法
JP6664046B2 (ja) プラズマ照射処理装置、その評価装置及び評価方法、その制御装置及び制御方法、並びに、膜の製造方法
CN105319434A (zh) 一种电能表测量电流的方法及装置
Xiao et al. Surface temperature estimation of li-ion battery via thermal impulse response technique
JPWO2024009894A5 (OSRAM)
JP2018006093A5 (OSRAM)
JP2020003264A (ja) 亜酸化窒素濃度検出装置
KR101667002B1 (ko) 3상 능동 정류 회로 제어 장치 및 방법