JP2017156453A - 可変焦点ミラーおよび光走査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態の可変焦点ミラーは、図1、図2に示すように、板状の基部1と、圧電素子2と、圧電素子3と、反射部4と、絶縁膜5と、配線6とを備えている。なお、図1は断面図ではないが、図を見やすくするために、圧電素子2、圧電素子3、反射部4にハッチングを施してある。また、図1では絶縁膜5の図示を省略している。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して圧電素子3の形状を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第2実施形態に対して圧電素子2の形状を変更したものであり、その他については第2実施形態と同様であるため、第2実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第3実施形態に対してセンサを追加したものであり、その他については第3実施形態と同様であるため、第3実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して配線を追加したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
14 凹部
2 圧電素子
3 圧電素子
41 反射面
Claims (11)
- 可変焦点ミラーであって、
裏面に開口する凹部(14)が形成され、前記凹部が形成された部分の厚みが前記凹部の外側の厚みよりも小さくされた板状の基部(1)と、
前記基部のうち前記凹部が形成された部分の表面側に形成された第1圧電素子(2)と、
前記第1圧電素子に対して前記基部とは反対側に形成された反射面(41)と、
前記基部のうち前記凹部が形成された部分の表面側から前記凹部の外側の部分の表面側に至るように、前記第1圧電素子と離された状態で形成された第2圧電素子(3)と、を備え、
前記第1圧電素子の膜応力および前記第2圧電素子の膜応力は、共に引張方向の膜応力とされているか、または、共に圧縮方向の膜応力とされている可変焦点ミラー。 - 前記反射面は、円形状とされており、
前記第1圧電素子および前記凹部は、上面形状が円形状とされており、
前記反射面の面内方向において、前記第1圧電素子の上面、および、前記凹部の上面の中心は、前記反射面の中心と同じ位置にある請求項1に記載の可変焦点ミラー。 - 前記第2圧電素子は、上面形状が前記反射面の中心に対して点対称となるように形成されている請求項2に記載の可変焦点ミラー。
- 前記第2圧電素子は、上面形状が円周状とされており、
前記反射面の面内方向において、前記第2圧電素子の上面の中心は、前記反射面の中心と同じ位置にあり、
前記第2圧電素子のうち前記凹部に対応する部分の半径方向の幅は、前記凹部の半径の15%以上である請求項2または3に記載の可変焦点ミラー。 - 前記第2圧電素子には、前記基部の表面を露出させて、前記基部の表面のうち前記凹部の内側に対応する部分と前記凹部の外側に対応する部分とを連結する切欠部(35)が形成されている請求項1ないし4のいずれか1つに記載の可変焦点ミラー。
- 前記切欠部に、前記第1圧電素子と外部の回路とを接続する配線(6)が置かれている請求項5に記載の可変焦点ミラー。
- 前記第1圧電素子は、前記切欠部を通って前記凹部の外側に延設されている請求項5に記載の可変焦点ミラー。
- 前記基部の表面に形成され、前記反射面の曲率を検出する歪みゲージ(7)を備え、
前記切欠部に、前記歪みゲージと外部の回路とを接続する配線(8)が置かれている請求項5ないし7のいずれか1つに記載の可変焦点ミラー。 - 前記第2圧電素子と外部の回路とを接続する配線(9)を備える請求項1ないし8のいずれか1つに記載の可変焦点ミラー。
- 前記第1圧電素子および前記第2圧電素子の表面に形成された絶縁膜(5)を備え、
前記絶縁膜には、前記基部のうち前記第1圧電素子と前記第2圧電素子との間に位置する部分を露出させる開口部(52)が形成されている請求項1ないし9のいずれか1つに記載の可変焦点ミラー。 - 請求項1ないし10のいずれか1つに記載の可変焦点ミラーを備え、
前記基部は、前記基部の表面に平行な軸周りに揺動可能とされている光走査装置。
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