JP2017151168A - 偏光子ユニット、偏光光照射装置及び偏光子ユニットのガス充填方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1の実施の形態に係る偏光光照射装置1の概略を示す正面図である。偏光光照射装置1は、例えば、光源からの光を偏光膜を通過させて偏光を得、この偏光をガラス基板等の被露光面に照射して、液晶パネル用の配向膜等を生成するものである。
本発明の第1の実施の形態は、注入管17aを排出孔15gの内部に挿入することで、排出孔15gと注入管17aとを隣接させたが、排出孔15gと注入管17aとの位置関係はこれに限られない。
2 :偏光光照射装置
10 :偏光照射部
11 :光源
12、12A:偏光子ユニット
13 :特定波長透過フィルタ
14 :偏光子
14a :透明基板
14b :導電体グリッド
15、15A:偏光子保持枠
15a :貫通孔
15b :面
15c :面
15d :面
15e :凹部
15f :凹部
15g :排出孔
15h :凹部
16 :押さえ板
17 :ガス供給部
17a :注入管
20 :駆動部
21 :ステージ
22 :ステージガイドレール
30 :撮像部
Claims (7)
- 光を偏光する導電体グリッドが表面に形成された板状のワイヤーグリッド型の偏光子と、
板状のガラスと、
厚さ方向に貫通する貫通孔を有する厚板状の偏光子保持枠であって、前記貫通孔を覆うように前記偏光子及び前記ガラスが設けられた偏光子保持枠と、
前記偏光子及び前記ガラスが前記貫通孔を覆うことにより前記偏光子保持枠の内部に形成された内部空間に不活性ガスを供給するガス供給部であって、前記内部空間と連通する注入管を有するガス供給部と、
を備え、
前記偏光子は、前記導電体グリッドが前記内部空間に露出するように、前記偏光子保持枠の最も大きな面である第1の面に設けられ、
前記ガラスは、前記第1の面と平行な前記第2の面に設けられ、
前記偏光子保持枠の前記第1の面及び前記第2の面と直交する第3の面には、前記第3の面を貫通し、前記内部空間と連通する排出孔が形成され、
前記排出孔に隣接して前記注入管が設けられることを特徴とする偏光子ユニット。 - 前記注入管は、前記第3の面の長手方向の中央部に設けられることを特徴とする請求項1に記載の偏光子ユニット。
- 前記注入管の外径は、前記排出孔の内径より小さく、
前記注入管が前記排出孔の内部に挿入されることで、前記注入管と前記排出孔が隣接することを特徴とする請求項1又は2に記載の偏光子ユニット。 - 前記注入管は、直径が略0.5mmであり、
前記ガス供給部は、前記注入管から流出するときの流速が毎秒略25m以上となるように前記不活性ガスを供給することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の偏光子ユニット。 - 光源と、
前記光源からの光を偏光する偏光子ユニットであって、請求項1から3のいずれか一項に記載の偏光子ユニットと、
を備えたことを特徴とする偏光光照射装置。 - 光を偏光する導電体グリッドが表面に形成された板状の偏光子と、板状のガラスとが偏光子保持枠に形成された貫通孔を覆うことにより、前記偏光子保持枠の内部に形成された内部空間であって、前記導電体グリッドが露出する内部空間に、前記内部空間内で不活性ガスが攪拌するように、前記偏光子保持枠の側面から前記不活性ガスを連続して注入し、
前記不活性ガスを前記側面から前記内部空間の外へ排出することを特徴とする偏光子ユニットのガス充填方法。 - 前記不活性ガスの流速は、毎秒略25m以上であり、
前記不活性ガスの1分あたりの流量は、前記内部空間の体積の略5倍以上であることを特徴とする請求項6に記載の偏光子ユニットのガス充填方法。
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