CN205507314U - 光取向用偏振光照射装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种光取向用偏振光照射装置。本实用新型的光取向用偏振光照射装置包括：照射单元，设置有对被照射物照射偏振光的照射面；载台，搭载被照射物；搬送机构，搬送载台，以使载台上的被照射物以平行于照射面的方式通过从照射面照射偏振光的照射区域；位置检测部件，在由搬送机构所搬送的载台的移动中，对至所述载台或所述被照射物的距离进行测定，而对载台或被照射物的位置进行检测；以及控制部件，基于位置检测部件所检测出的检测结果，来进行规定的控制。藉此，可适当管理偏振光相对于被照射物的照射状态，从而抑制了被照射物的制造品质下降。

Description

光取向用偏振光照射装置

技术领域

本实用新型涉及一种光取向用偏振光照射装置。

背景技术

在液晶面板(panel)等的制造工序中，要对液晶面板的取向膜或视角补偿薄膜(film)的取向层等被照射物进行取向处理。在取向处理中，已知有一种为了进行所谓的光取向而使用的光取向用偏振光照射装置，所述光取向是指通过对取向膜照射规定波长的偏振光来进行取向。

作为此种光取向用偏振光照射装置，例如存在如下构成，其具备：照射单元(unit)，设置有照射偏振光的照射面；载台(stage)，搭载形成有取向膜的基板；以及搬送机构，搬送载台。照射单元具有从照射面照射偏振光的照射区域。搬送机构搬送载台，以使载台上的基板以平行于照射面的方式通过照射单元的照射区域。

而且，作为与所述光取向用偏振光照射装置类似的装置，已知有一种曝光装置，其以搭载有基板的第1载台及第2载台通过用以对基板照射曝光用光的曝光部的方式来搬送第1载台及第2载台。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2008-191302号公报

实用新型内容

[实用新型所要解决的问题]

然而，在液晶面板的制造工序中，有时要求下述精度，即，将对作为被照射物的取向膜照射的偏振光的光轴的位置偏离控制在±0.1°左右的容许值内。另一方面，所述光取向用偏振光照射装置中，在由搬送机构所搬送的载台的移动中，有可能会伴随搬送机构的搬送状态的经时变化或搬送机构的劣化等而导致载台产生振动。在移动中的载台产生振动的情况下，基板通过照射区域时偏振光对取向膜的照射状态将发生变动，因此存在导致取向膜的品质下降的问题。尤其，存在下述倾向，即，载台相对于与照射单元的照射面正交的轴周向的位置偏离或振动会对取向膜的品质造成大的影响。

因此，本实用新型的目的在于提供一种光取向用偏振光照射装置，能够适当管理偏振光对被照射物的照射状态，从而能够抑制被照射物的制造品质下降。

[解决问题的技术手段]

实施方式的光取向用偏振光照射装置包括：照射单元，设置有对被照射物照射偏振光的照射面；载台，搭载所述被照射物；搬送机构，搬送所述载台，以使所述载台上的所述被照射物以平行于所述照射面的方式通过从所述照射面照射的偏振光的照射区域；位置检测部件，在由所述搬送机构所搬送的所述载台的移动中，对至所述载台或所述被照射物的距离进行测定，而对所述载台或所述被照射物的位置进行检测；以及控制部件，基于所述位置检测部件所检测出的检测结果，来进行规定的控制。

根据实施方式的光取向用偏振光照射装置，所述位置检测部件是在与所述照射面正交的轴周向，对所述载台或所述被照射物相对于所述载台的搬送方向的旋转角进行检测。

根据实施方式的光取向用偏振光照射装置，所述位置检测部件在所述照射区域内，相对于所述照射区域而配置在所述载台的搬送方向上的其中一侧及另一侧的至少一处。

根据实施方式的光取向用偏振光照射装置，所述位置检测部件是配置成：对与所述照射面正交的方向及与所述照射面平行的方向中的至少一方向上的、所述载台或所述被照射物的位置进行检测。

根据实施方式的光取向用偏振光照射装置，还包括：照射部，具有所述照射单元，所述位置检测部件被设置于所述照射部。

根据实施方式的光取向用偏振光照射装置，还包括：照射部，具有所述照射单元，所述搬送机构具有第1搬送路径及第2搬送路径，所述第1搬送路径设置在所述载台朝向所述照射区域开始移动的开始位置与所述照射部之间，所述第2搬送路径设置在通过所述照射区域后的所述载台所停止的停止位置与所述照射部之间，所述位置检测部件是设置在沿着所述第1搬送路径及所述第2搬送路径中的至少一个的位置。

根据实施方式的光取向用偏振光照射装置，所述位置检测部件被设置于所述载台。

根据实施方式的光取向用偏振光照射装置，所述位置检测部件是配置成：对所述载台相对于与所述照射面正交的方向及与所述照射面平行的方向中的至少一方向的位置进行检测。

根据实施方式的光取向用偏振光照射装置，还包括：照射部，具有所述照射单元，所述照射部具有基准面，所述基准面用于通过所述位置检测部件，来对所述载台相对于与所述照射面正交的方向及与所述照射面平行的方向的位置进行检测。

根据实施方式的光取向用偏振光照射装置，所述照射单元具有出射偏振光的偏振元件、及保持所述偏振元件的保持构件，在所述保持构件上设置有基准面，所述基准面用于通过所述位置检测部件，来对所述载台相对于与所述照射面正交的方向的位置进行检测。

根据实施方式的光取向用偏振光照射装置，还包括：照射部，具有所述照射单元，所述搬送机构具有第1搬送路径及第2搬送路径，所述第1搬送路径设置在所述载台朝向所述照射区域开始移动的开始位置与所述照射部之间，所述第2搬送路径设置在通过所述照射区域后的所述载台所停止的停止位置与所述照射部之间，在沿着所述第1搬送路径及所述第2搬送路径中的至少一个的位置，设置有基准面，所述基准面用于通过所述位置检测部件，来对所述载台相对于与所述照射面正交的方向及与所述照射面平行的方向的位置进行检测。

(实用新型的效果)

根据本实用新型，能够适当管理偏振光对被照射物的照射状态，从而能够抑制被照射物的制造品质下降。

附图说明

图1是表示第1实施方式的光取向用偏振光照射装置的立体图。

图2是表示第1实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。

图3是表示第1实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图。

图4是用于说明在第1实施方式的光取向用偏振光照射装置中基于光传感器的检测结果的处理的流程图。

图5是表示第1实施方式的变形例1的光取向用偏振光照射装置的侧面图。

图6是表示第1实施方式的变形例2的光取向用偏振光照射装置的平面图。

图7是表示第1实施方式的变形例2的光取向用偏振光照射装置的侧面图。

图8是示意性地表示第1实施方式的变形例3的光取向用偏振光照射装置的侧面图。

图9是表示第2实施方式的光取向用偏振光照射装置的立体图。

图10是表示第2实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。

图11是表示第2实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图。

图12是表示第2实施方式的变形例1的光取向用偏振光照射装置的平面图。

图13是表示第2实施方式的变形例1的光取向用偏振光照射装置的侧面图。

[符号的说明]

1：光取向用偏振光照射装置

2、3、4、5、6：偏振光照射装置

11：基板

12：照射部

13：照射单元

13a：光源

13b、29：反射板

13c：偏光板

13d：保持构件

14、23a、33a：框架

15：载台

16：搬送机构

16a：导轨

16b：驱动单元

17：搬送路径

17a：第1搬送路径

17b：第2搬送路径

17c：第3搬送路径

18：光传感器

19：控制部

20：操作部

20a：显示面板

21：支撑体

23：传感器支撑部

25：位置修正机构

29a：基准面

33：反射板支撑部

A：照射区域

B：照射面

P1：开始位置

P2：停止位置

X、Y、Z：轴

S1、S2、S3：步骤

具体实施方式

以下要说明的实施方式的光取向用偏振光照射装置(以下称作偏振光照射装置)1具备照射单元13、载台15、搬送机构16、作为位置检测部件的光传感器18以及作为控制部件的控制部19。在照射单元13中设置有照射面B。照射面B具有对作为被照射物的基板11照射偏振光的照射区域A。在载台15上搭载基板11。搬送机构16搬送载台15，以使载台15上的基板11以平行于照射面B的方式通过照射区域A。光传感器18在由搬送机构16所搬送的载台15的移动中，检测载台15或基板11的位置。控制部19基于光传感器18所检测出的检测结果来进行规定的控制。

而且，以下要说明的实施方式的偏振光照射装置1所具有的光传感器18是在与照射面B正交的轴周向，对载台15或基板11相对于载台15的搬送方向的旋转角进行检测。

而且，以下说明的实施方式的偏振光照射装置1所具有的光传感器18是在照射区域A内，相对于照射区域A而配置在载台15的搬送方向上的其中一侧及另一侧中的至少一处。

而且，以下说明的实施方式的偏振光照射装置1所具有的光传感器18配置成：对与照射面B正交的方向及与照射面B平行的方向中的至少一方向上的、载台15或基板11的位置进行检测。

而且，以下说明的实施方式的偏振光照射装置1包括具有照射单元13的照射部12。光传感器18被设置于照射部12。

而且，以下说明的实施方式的偏振光照射装置3包括具有照射单元13的照射部12。搬送机构16具有第1搬送路径17a与第2搬送路径17b。第1搬送路径17a设置在载台15朝向照射区域A开始移动的开始位置P1与照射部12之间。第2搬送路径17b设置在通过照射区域A后的载台15所停止的停止位置P2与照射部12之间。光传感器18被设置在沿着第1搬送路径17a及第2搬送路径17b中的至少一个的位置。

而且，以下说明的实施方式的偏振光照射装置5所具有的光传感器18被设置于载台15。

而且，以下说明的实施方式的偏振光照射装置5所具有的光传感器18配置成：对载台15相对于与照射面B正交的方向及与照射面B平行的方向中的至少一方向的位置进行检测。

而且，以下说明的实施方式的偏振光照射装置5包括具有照射单元13的照射部12。照射部12具有基准面29a，该基准面29a用于通过光传感器18，来对载台15相对于与照射面B正交的方向及与照射面B平行的方向的位置进行检测。

而且，以下说明的实施方式的偏振光照射装置5所具有的照射单元13包括作为偏振元件的偏光板13c以及保持构件13d。偏光板13c出射偏振光。保持构件13d保持偏光板13c。在保持构件13d上设置有基准面29a，该基准面29a用于通过光传感器18，来对载台15相对于与照射面B正交的方向的位置进行检测。

而且，以下说明的实施方式的偏振光照射装置6包括具有照射单元13的照射部12。搬送机构16具有第1搬送路径17a与第2搬送路径17b。第1搬送路径17a设置在载台15朝向照射区域A开始移动的开始位置P1与照射部12之间。第2搬送路径17b设置在通过照射区域A后的载台15所停止的停止位置P2与照射部12之间。在沿着第1搬送路径17a及第2搬送路径17b中的至少一个的位置，设置有基准面29a，该基准面29a用于通过光传感器18，来对载台15相对于与照射面B正交的方向及与照射面B平行的方向的位置进行检测。

(第1实施方式)

以下，参照附图来说明实施方式的偏振光照射装置。本实施方式的偏振光照射装置是被用于：对形成有作为被照射物的取向膜的基板照射直线偏振光等偏振光，由此来进行光取向。本实施方式的偏振光照射装置例如被用于液晶面板的取向膜或视角补偿薄膜等光学薄膜的取向层的制造。

(偏振光照射装置的构成)

图1是表示第1实施方式的偏振光照射装置的立体图。图2是表示第1实施方式的偏振光照射装置的平面图。图3是表示第1实施方式的偏振光照射装置的侧面图。

第1实施方式的偏振光照射装置1如图1～图3所示，具备：具有照射单元13的照射部12、载台15、搬送机构16、以及作为位置检测部件的多个光传感器18。而且，偏振光照射装置1具备作为控制部件的控制部19。

如图2及图3所示，照射部12具有照射单元13以及支撑照射单元13的框架14。照射单元13如图3所示，使具有照射偏振光的照射区域A的照射面B朝向形成有作为被照射物的取向膜的矩形基板11(以下简称作基板11)。照射面B是与图2中所示的X-Y平面平行地配置，照射面B的面积相当于照射区域A。

而且，照射单元13如图3所示，具有：发出包含紫外线的光的管状光源13a、及对光源13a发出的光进行反射的反射板13b。而且，照射单元13具有：作为偏振元件的偏光板13c，使光源13a发出的光与被反射板13b反射的光入射而出射偏振光；以及框状的保持构件13d，保持偏光板13c。

另外，此处所述的“照射区域A”是指如下所述的范围，即：从照射单元13最下表面的开口，即，从照射单元13中配置在最靠近被照射物的位置的开口偏振光所照射到的范围。而且，“照射面B”是指在配置于照射单元13最下表面的光学元件中，出射偏振光的出射面。例如，当在照射单元13的最下表面配置有偏光板13c时，从配置有偏光板13c的开口偏振光所照射到的范围相当于照射区域A，偏光板13c的出射面相当于照射面B。而且，当在较偏光板13c更靠被照射物侧配置有遮光板(未图示)时，从配置有遮光板的开口偏振光所照射到的范围相当于照射区域A，遮光板的出射面相当于照射面B。进而，当在遮光板上配置有保护玻璃(未图示)时，从配置有保护玻璃的开口偏振光所照射到的范围相当于照射区域A，保护玻璃的出射面相当于照射面B。

光源13a例如使用在紫外线透射性的玻璃管内封入有汞、氩、氙等稀有气体的高压汞灯或者在高压汞灯中进而封入有铁或碘等金属卤化物(metalhalide)的金属卤化物灯等管型放电灯，具有直线状的发光部。光源13a中，发光部的长边方向与载台15相对于照射单元13的搬送方向正交，发光部的长度长于基板11的一边的长度。光源13a能够从直线状的发光部发出例如包含波长为200nm左右至400nm左右为止的紫外线的光。光源13a发出的光是具有各种偏振轴成分的所谓的非偏振光。

反射板13b在与光源13a相向的面上，具有将光源13a发出的光予以反射的反射面，反射面是形成为呈楕圆的一部分的形状。由此，反射板13b构成为对光源13a发出的光进行聚光的所谓聚光型的反射板。偏光板13c能够从光源13a发出的并包含一样地朝所有方向振动的各种偏振轴成分的光中，导出仅朝基准方向振动的偏振轴的光。另外，一般将仅朝基准方向振动的偏振轴的光称作直线偏振光。而且，偏振轴是指光的电场及磁场的振动方向。

照射部12的框架14如图2及图3所示，跨及搬送机构16的后述的导轨(guide rail)16a而配置。在框架14的内部的上方，支撑有照射单元13。

载台15形成为矩形的板状，搭载形成有取向膜的基板11。如图2及图3所示，载台15可沿Y轴方向移动地由搬送机构16予以支撑。而且，载台15的外形尺寸优选设定为后述的多个光传感器18的各检测光可同时照射到的大小，可根据1个光传感器18的构成来适当设定。

搬送机构16如图2及图3所示，具有直线状的导轨16a、及沿着导轨16a上移动的驱动单元16b。导轨16a是以载台15在开始位置P1与停止位置P2之间往复移动的方式设置，所述开始位置P1是载台15朝向照射部12的照射区域A开始移动的位置，所述停止位置P2是通过照射部12后的载台15所停止的位置。由导轨16a构成沿着Y轴方向来搬送载台15的直线状的搬送路径17。而且，在驱动单元16b上，固定有载台15。并且，搬送机构16通过使驱动单元16b沿着导轨16a移动，从而以载台15上的基板11通过照射区域A的方式而与照射面B平行地搬送载台15。

搬送路径17包括：开始位置P1与照射部12之间的第1搬送路径17a、照射部12与停止位置P2之间的第2搬送路径17b、以及在第1搬送路径17a与第2搬送路径17b之间配置于照射部12内的第3搬送路径17c。

多个光传感器18是以在由搬送机构16所搬送的载台15的移动中，对载台15的位置进行检测的方式而配置。虽未图示，但光传感器18具有发出检测光的发光部、及接受由载台15所反射的检测光的受光部。

第1实施方式中，在照射部12的内部，在与照射单元13的照射面B为同一面上(X-Y平面上)，隔开规定的间隔而配置有3个光传感器18。3个光传感器18是在与通过照射部12内的载台15的搭载面相向的位置，朝着使检测光朝向下方出射的方向配置。通过配置在X-Y平面上的3个光传感器18中的沿Y轴方向隔开间隔而配置的各光传感器18，来对载台15相对于X轴周向的振动进行检测。而且，通过配置在X-Y平面上的3个光传感器18中的沿X轴方向隔开间隔而配置的各光传感器18，来对载台15相对于Y轴周向的振动进行检测。

而且，3个光传感器18被固定于照射单元13的保持偏光板13c的保持构件13d。根据该构成，无须经由支撑光传感器18的支撑体来将光传感器18安装于照射部12，可实现安装结构的简化。而且，光传感器18能够将照射单元13的照射面B作为基准面来检测载台15的位置，因此能够容易地确保适当的检测精度。

而且，在照射部12的内部，在侧面(Y-Z平面)，沿载台15的搬送方向(Y轴方向)隔开规定的间隔而配置有2个光传感器18。2个光传感器18经由支撑体21而固定于框架14，且配置在相对于载台15的搬送方向的、照射区域A的两侧。而且，2个光传感器18是与载台15的侧面所通过的位置相向地朝着使检测光朝向载台15的侧面出射的方向而配置。通过在Y-Z平面上相对于Y轴方向隔开间隔而配置的各光传感器18，来对载台15相对于Z轴周向的振动进行检测。

而且，配置于X-Y平面上的3个光传感器18并不限定于配置在载台15上方的构成，也可如图3所示，配置在载台15的下方。在此构成的情况下，3个光传感器18例如是在与导轨16a邻接的位置，隔开规定的间隔而朝着使检测光朝向上方出射的方向而配置。

通过使用多个光传感器18，在载台15的移动中，分别对与图1所示的X轴、Y轴及Z轴这三轴周向相关的载台15的位置进行检测，从而对载台15相对于三轴周向的振动进行检测。换言之，通过使用多个光传感器18，从而针对相对于Y轴方向而处于移动中的载台15，对相对于X轴周向即偏摆轴(yaw axis)周向的振动、相对于Y轴周向即滚动轴(roll axis)周向的振动、相对于Z轴周向即俯仰轴(pitch axis)周向的振动分别进行检测。本实施方式中，X轴及Y轴的方向相当于与照射单元13的照射面B平行的方向，为水平方向。而且，本实施方式中，Z轴相当于与照射面B正交的轴，为铅垂方向。

而且，存在下述倾向，即：相对于三轴周向的各振动中，尤其是相对于与照射单元13的照射面B正交的Z轴周向而产生的载台15的位置偏离或振动会对取向膜的品质造成大的影响。因此，使用在Y-Z平面上沿着Y轴方向而配置的2个光传感器18，至少在载台15相对于Z轴周向的振动中对载台15相对于Y轴方向的旋转角进行检测，由此能够抑制取向膜的制造品质下降。

另外，第1实施方式中，使用5个光传感器18，但并不限定光传感器18的个数。在使用光传感器18的位置检测中，通过增加对移动中的载台15的位置进行同时检测的光传感器18的个数，并加大对载台15的位置进行同时检测的各光传感器18间的间隔，从而能够提高检测精度。因此，光传感器18的个数或配置可根据在三轴方向上对载台15的振动进行检测的方向或检测精度的要求来适当设定。

如图1所示，控制部19是与多个光传感器18及操作部20电连接，基于多个光传感器18所检测出的检测结果来控制操作部20。操作部20具有显示面板20a，该显示面板20a显示包含警告的各种信息。

控制部19判定由多个光传感器18检测出的载台15的振动是否处于规定范围内。当载台15的振动大于规定范围内时，控制部19控制操作部20来使显示面板20a显示警告。此时，在显示面板20a上，例如显示包括与载台15的位移量相关的检测值、或使用检测值而算出的算出值等信息在内的警告。而且，控制部19也可根据需要来进行使警告灯点亮或使警报器响起警告声等的控制，从而发出其他警告。

而且，通过将用于对载台15的振动进行判定的规定范围设定为例如可适当获得基板11的取向膜的品质的振幅的上限值及下限值，从而能够在制造出品质不良的取向膜之前，在适当的时机(timing)进行维护作业。

另外，本实施方式中，采用了使用多个光传感器18来检测载台15的振动的构成，但也可采用对载台15上的基板11的振动进行检测的构成。在直接检测基板11的振动的情况下，能够将定位于载台15上的基板11的搭载位置的偏差的影响予以排除，从而能够进一步提高取向膜的位置检测精度。

(偏振光照射时的动作)

如图2及图3所示，在偏振光照射装置1中，在开始位置P1处，在载台15上搭载基板11，并通过搬送机构16来使载台15在开始位置P1与停止位置P2之间往复移动。当载台15在开始位置P1与停止位置P2之间往复移动时，载台15上的基板11以平行于照射面B的方式受到搬送而通过照射区域A，由此来对基板11上的取向膜进行所需的光取向。

在如此那样由搬送机构16予以搬送的载台15的移动中，载台15通过多个光传感器18进行检测的检测位置，由此，对载台15相对于三轴周向的振动分别进行检测。图4是用于说明在第1实施方式的偏振光照射装置1中基于多个光传感器18的检测结果的处理的流程图。

如图4所示，多个光传感器18在载台15上的基板11进入照射部12内且基板11通过照射区域A时，对载台15相对于X、Y、Z轴周向的各振动进行检测(步骤S1)。控制部19判定多个光传感器18所检测出的载台15相对于X、Y、Z轴周向的各振动是否分别处于规定范围内，例如判定载台15的位移量即振幅是否处于规定的上限值与下限值的范围内(步骤S2)。而且，在使用光传感器18来对载台15相对于Z轴周向的旋转角进行检测的情况下，控制部19判定X-Y平面上的载台15相对于Y轴方向的旋转角是否处于规定范围内。

并且，在步骤S2中，在载台15相对于X、Y、Z轴周向的振幅、或所述载台15的旋转角偏离规定范围的情况下(步骤S2，否)，控制部19进行控制，以使用操作部20的显示面板20a来发出警告(步骤S3)。而且，在步骤S2中，在载台15的振动处于规定范围内的情况下(步骤S2，是)，例如，在载台15的振幅处于规定范围内的情况下，返回步骤S1，使用多个光传感器8来继续检测载台15的振动。

在步骤S3中控制部19发出了警告的情况下，在对移动中的载台15上的基板11结束了偏振光的照射后，使用者对操作部20进行操作，以停止搬送机构16。而且，控制部19也可进行控制，以发出警告，并且在对移动中的载台15上的基板11结束了偏振光的照射后，停止搬送机构16。而且，此时，进行与搬送机构16的搬送状态或载台15的固定位置等相关的维护作业，以将移动中的载台15的振幅或所述旋转角调整至规定范围内。

第1实施方式的偏振光照射装置1具有：光传感器18，在载台15的移动中检测载台15的位置；以及控制部19及显示面板20a，基于光传感器18所检测出的检测结果来发出警告。由此，能够通过光传感器18来对载台15的移动中产生的振动进行检测，从而能够适当管理偏振光对基板11的取向膜的照射状态，抑制取向膜的制造品质下降。其结果，能够提高取向膜的制造工序中的成品率。

而且，偏振光照射装置1通过光传感器18对载台15相对于与照射面B正交的Z轴周向的旋转角进行检测，从而能够基于对取向膜品质的影响大的位置偏离成分来有效地管理取向膜的品质。

以下，参照附图来说明第1实施方式的变形例、第2实施方式及第2实施方式的变形例的偏振光照射装置。另外，在第1实施方式的变形例、第2实施方式及其变形例中，对于与第1实施方式相同的构成构件，标注与第1实施方式相同的符号并省略说明。

(第1实施方式的变形例1)

图5是表示第1实施方式的变形例1的偏振光照射装置的侧面图。该变形例1中，光传感器18的配置不同于第1实施方式。

如图5所示，变形例1的偏振光照射装置2所具有的多个光传感器18被配置在照射部12的外侧。对载台15相对于X轴及Y轴周向的振动进行检测的各光传感器18是配置在载台15的上方，且以与照射单元13的照射面B位于同一平面上(X-Y平面上)的方式而设置在照射部12的框架14的侧面。而且，对载台15相对于Z轴的振动进行检测的各光传感器18是与载台15的侧面所通过的位置相向地配置，且在与照射面B正交的Y-Z平面上沿Y轴方向隔开间隔，并经由支撑体21而设置于框架14的侧面。

而且，载台15的外形尺寸等被设定成：在照射光被照射至载台15上的基板11的期间，相对于载台15的搬送方向隔开间隔而配置的各光传感器18的检测光可同时照射至载台15上。另外，也可在各图中所示的光传感器18的位置配置多个光传感器18，从而无论载台15的大小如何，均能够对载台15的振动进行检测。或者，也可构成为：通过使用具有多个发光部及受光部的光传感器18，从而能够由1个光传感器18来单独检测载台15的振动。

另外，在变形例1中，配置于X-Y平面上的多个光传感器18也可配置在载台15的下方。此时，光传感器18朝着使检测光朝向上方出射的方向而配置。

在以上述方式构成的变形例1中，也与第1实施方式同样地，能够通过多个光传感器18来检测载台15相对于三轴周向的振动，因此能够适当管理取向膜的品质，抑制取向膜的制造品质下降。

除此以外，根据变形例1，与在照射部12的内侧配置有各光传感器18的第1实施方式相比，能够加宽各光传感器18相对于载台15的搬送方向(Y轴方向)的间隔。因此，变形例1尤其能够提高载台15相对于Z轴周向的振动的检测精度。

(第1实施方式的变形例2)

图6是表示第1实施方式的变形例2的偏振光照射装置的平面图。图7是表示第1实施方式的变形例2的偏振光照射装置的侧面图。该变形例2中，光传感器18的配置不同于第1实施方式及变形例1。

如图6及图7所示，变形例2的偏振光照射装置3具有设置有光传感器18的一组传感器支撑部23。一组传感器支撑部23是在载台15的搬送方向(Y轴方向)上，配置在沿着搬送机构16中的第1搬送路径17a及第2搬送路径17b的位置。换言之，变形例2中的各光传感器18分别配置于沿着开始位置P1与照射部12之间的第1搬送路径17a的位置、与沿着照射部12与停止位置P2之间的第2搬送路径17b的位置。

一组传感器支撑部23具有支撑各光传感器18的框架23a。框架23a是跨及搬送路径17的导轨16a而配置。在框架23a的上部，在沿着第1搬送路径17a及第2搬送路径17b而移动的载台15的上方，配置有对载台15相对于X及Y轴周向的振动进行检测的光传感器18。而且，在框架23a的侧部，与沿着第1搬送路径17a及第2搬送路径17b而移动的载台15的侧面相向地，配置有对载台15相对于Z轴周向的振动进行检测的光传感器18。该光传感器18经由支撑体21而设置于框架23a的侧部。

另外，各图中简略地表示了光传感器18，但例如也可构成为：1个光传感器18具有多个发光部及受光部，从而能够单独检测载台15相对于X、Y及Z轴周向的振动。

在以上述方式构成的变形例2中，也与第1实施方式同样地，能够通过多个光传感器18来检测载台15相对于三轴周向的振动，因此能够适当管理取向膜的品质，抑制取向膜的制造品质下降。

(第1实施方式的变形例3)

图8是示意性地表示第1实施方式的变形例3的偏振光照射装置的侧面图。该变形例3与第1实施方式的不同之处在于，基于光传感器18的检测结果来修正载台15的位置。

如图8所示，变形例3的偏振光照射装置4具备：位置修正机构25，相对于X、Y及Z轴周向可移动地支撑载台15；以及作为控制部件的控制部19，基于各光传感器18所检测出的检测结果来控制位置修正机构25。

变形例3中的各光传感器18例如是与所述第1实施方式及其变形例1、变形例2同样地配置。位置修正机构25与控制部19电连接。控制部19基于各光传感器18的检测结果来控制位置修正机构25，从而通过位置修正机构25来将移动中的载台15的位置修正至适当的位置。控制部19例如基于在载台15的移动中由光传感器18检测出的载台15的振动，来控制位置修正机构25，以使载台15的振幅处于规定范围内。

而且，位置修正机构25对载台15的位置进行修正的时机并不限定于由搬送机构16所搬送的载台15的移动中，也可在其他时机进行控制。例如，也可在对载台15上的基板11结束了偏振光的照射，且载台15返回了开始位置P1后，控制部19基于在载台15此前的移动中由光传感器18检测出的检测结果来进行对位置修正机构25的控制，以修正待机中的载台15的位置。

根据以上述方式构成的变形例3，通过基于光传感器18的检测结果，利用位置修正机构25来修正载台15的位置，从而能够进一步抑制取向膜的品质下降。因此，在变形例3中，也与第1实施方式同样地，能够适当管理取向膜的品质，抑制取向膜的制造品质下降。

第1实施方式及其变形例1～变形例3中，使用了光传感器18来作为位置检测部件，但例如也可使用超声波位置传感器等其他非接触式位置传感器。而且，位置检测部件并不限定于非接触式的位置传感器，例如也可使用具有与载台15接触的接触件的接触式位移传感器。而且，作为光传感器18，并不限定于所述的反射型传感器，也可使用透射型传感器。此时，例如也可通过接受透射过载台15上所设的透光部的检测光，从而检测载台15的位置。

在使用接触式位移传感器的情况下，例如在沿着载台15的搬送路径的位置处，以与移动中的载台15相接触的方式来配置多个位移传感器。而且，在使用此种位移传感器的情况下，也可在规定的时机将位移传感器按压至载台15，由此来检测载台15的位置。

(第2实施方式)

图9是表示第2实施方式的偏振光照射装置的立体图。图10是表示第2实施方式的偏振光照射装置的平面图。图11是表示第2实施方式的偏振光照射装置的侧面图。第2实施方式与第1实施方式及其变形例的不同之处在于，光传感器18被配置于载台15侧。

如图9～图11所示，第2实施方式的偏振光照射装置5所具有的多个光传感器18被设置于载台15上。偏振光照射装置5具有：作为位置检测部件的光传感器18；以及反射板29，具有用于供光传感器18检测位置的基准面29a。光传感器18在载台11的移动中接受被基准面29a反射的检测光，从而检测载台11的振动。

在图9以后，仅简略地图示了3个光传感器18，且构成为，能够由1个光传感器18来单独检测载台15的振动。而且，为了对相对于三轴的各轴周向的振动(振幅)进行检测，例如也可在载台15上设置5个光传感器18。载台15上所设的光传感器18的位置或个数并不限定于本实施方式，可根据与检测振动的方向或检测精度等相关的需要来适当设定。

如图10及图11所示，在载台15上，在从开始位置P1朝向照射部12行进时的前方的侧面的两侧，设置有对载台15相对于X及Y轴周向的振动进行检测的各光传感器18。这些光传感器18是朝着使检测光朝载台15的下方出射的方向而设置。而且，对应于这些光传感器18而在照射部12的内部，以基准面29a与照射单元13的照射面B位于同一面上(X-Y平面上)的方式设置有多个反射板29。

而且，在载台15上，在与搬送方向平行的侧面，设置有对载台15相对于Z轴周向的振动进行检测的光传感器18。该光传感器18是朝着下述方向而设置，即：在载台15上的基板11在照射区域A内移动的期间，向照射部12内的侧面照射检测光的方向。而且，对应于该光传感器18而在照射部12的内部，以基准面29a位于侧面上(Y-Z平面上)的方式设置有反射板29。该反射板29是以下述方式配置，即：在载台15上的基板11在照射区域A内移动的期间，基准面29a与光传感器18所通过的位置相向。

而且，对载台15相对于X及Y轴周向的振动进行检测的各光传感器18是朝着使检测光朝载台15的下方出射的方向而设置，但也可如图11所示，朝着使检测光朝载台15的上方出射的方向而设置。在以使检测光朝载台15的下方出射的方式来设置光传感器18的情况下，在载台15的下方，以与光传感器18相向的方式来配置反射板29。该反射板29是在照射部12的内部的下方沿着导轨16a而设置，且以与光传感器18相向的基准面29a位于与照射面B平行的X-Y平面上的方式配置。

而且，理想的是光传感器18的个数或配置、基准面29a的个数、基准面29a相对于载台15的搬送方向的尺寸是以下述方式来设定，即，在载台15上的基板11在照射区域A内移动的整个期间，能够通过光传感器18及基准面29a来检测载台15的振动。

以上述方式构成的第2实施方式中，也与第1实施方式及其变形例1～变形例3同样地，能够通过多个光传感器18及反射板29来对载台15相对于三轴周向的振动进行检测，因此能够适当管理取向膜的品质，抑制取向膜的制造品质下降。

(第2实施方式的变形例1)

图12是表示第2实施方式的变形例1的偏振光照射装置的平面图。图13是表示第2实施方式的变形例1的偏振光照射装置的侧面图。第2实施方式的变形例1中，光传感器18所利用的基准面29a的配置不同于第1实施方式。

如图12及图13所示，第2实施方式的变形例1的偏振光照射装置6具有设置有反射板29的一组反射板支撑部33。一组反射板支撑部33是在载台15的搬送方向(Y轴方向)上，配置在沿着搬送机构16中的第1搬送路径17a及第2搬送路径17b的位置。换言之，该变形例1中的各反射板29的基准面29a分别配置于沿着开始位置P1与照射部12之间的第1搬送路径17a的位置、与沿着照射部12与停止位置P2之间的第2搬送路径17b的位置。

一组反射板支撑部33具有支撑各反射板29的框架33a。框架33a是跨及搬送路径17的导轨16a而配置。在框架33a的上部，在沿着第1搬送路径17a及第2搬送路径17b而移动的载台15的上方，以利用基准面29a来对光传感器18的检测光进行反射方式配置有反射板29，该光传感器18对载台15相对于X及Y轴周向的振动进行检测。而且，在框架33a的侧部，与沿着第1搬送路径17a及第2搬送路径17b而移动的载台15的侧面相向地，以利用基准面29a来对光传感器18的检测光进行反射的方式配置有反射板29，该光传感器18对载台15相对于Z轴周向的振动进行检测。

在以上述方式构成的第2实施方式的变形例1中，也与第1实施方式等同样地，能够通过光传感器18及反射板29来对载台15相对于三轴周向的振动进行检测，因此能够适当管理取向膜的品质，抑制取向膜的制造品质下降。

(第2实施方式的变形例2)

作为位置检测部件，也可取代对所述光传感器18及具有基准面29a的反射板29的使用，而在载台15上设置陀螺仪传感器(gyro sensor)。虽未图示，但能够通过1个陀螺仪传感器来对载台15相对于三轴周向的各振动进行检测，从而能够简化位置检测部件的构成。

而且，通过将陀螺仪传感器例如装入载台15的内部，从而可避免陀螺仪传感器暴露在照射单元13的照射区域A中，因此能够提高陀螺仪传感器的耐久性或检测动作的可靠性。而且，也可采用陀螺仪传感器通过无线通信来向控制部19发送检测信号的构成，从而可提高用于检测载台15的位置的构成的自由度。

在以上述方式构成的第2实施方式的变形例2中，也与第1实施方式等同样地，能够通过陀螺仪传感器来对载台15相对于三轴周向的振动进行检测，因此能够适当管理取向膜的品质，抑制取向膜的制造品质下降。

而且，在第2实施方式及其变形例1、变形例2中，也可取代光传感器18及反射板29，而使用例如超声波位置传感器等其他非接触式位置传感器或接触式位移传感器。

而且，在第2实施方式及其变形例1、变形例2中，也可与第1实施方式的变形例3同样地采用下述构成，即，基于作为位置检测部件的光传感器18及反射板29或陀螺仪传感器所检测出的检测结果，通过位置修正机构25来修正载台15的位置。

而且，所述实施方式及变形例中，采用了搬送机构16搬送1个载台15的构成，但也可采用相对于照射单元13的照射区域A而交替地搬送多个载台15的构成。在此构成的情况下，通过利用位置检测部件来检测移动中的各载台15的位置，也能够获得与所述实施方式及变形例同样的效果。

而且，实施方式中，照射单元13是以朝铅垂下方照射偏振光的方式配置，但并不限定偏振光的照射方向。例如，载台15的搬送方向也可相对于水平方向而倾斜，且对载台15上的基板11所照射的偏振光的光轴也可相对于铅垂方向而倾斜。

所述的各实施方式中，是具备1个照射单元13而构成，但并不限定于该构成。例如也可隔开规定间隔而设置多个照射单元13。此时，照射区域A不仅设为多个照射单元13的正下方，也设为从设置于一端的照射单元13的最下表面的开口的一端，直至另一端的照射单元13的最下表面的开口的另一端之间的区域。

对本实用新型的实施方式进行了说明，但实施方式仅为例示，并不意图限定本实用新型的范围。实施方式能够以其他的各种形态来实施，在不脱离实用新型的主旨的范围内，能够进行各种省略、置换、变更。实施方式及其变形包含在本实用新型的范围或主旨内，同样包含在权利要求书所记载的实用新型及其均等的范围内。

Claims (11)

1.一种光取向用偏振光照射装置，其特征在于，包括：

照射单元，设置有对被照射物照射偏振光的照射面；

载台，搭载所述被照射物；

搬送机构，搬送所述载台，以使所述载台上的所述被照射物以平行于所述照射面的方式通过从所述照射面照射的偏振光的照射区域；

位置检测部件，在由所述搬送机构所搬送的所述载台的移动中，对至所述载台或所述被照射物的距离进行测定，而对所述载台或所述被照射物的位置进行检测；以及

控制部件，基于所述位置检测部件所检测出的检测结果，来进行规定的控制。

2.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述位置检测部件是在与所述照射面正交的轴周向，对所述载台或所述被照射物相对于所述载台的搬送方向的旋转角进行检测。

3.根据权利要求1或2所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述位置检测部件在所述照射区域内，相对于所述照射区域而配置在所述载台的搬送方向上的其中一侧及另一侧的至少一处。

4.根据权利要求3所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述位置检测部件是配置成：对与所述照射面正交的方向及与所述照射面平行的方向中的至少一方向上的、所述载台或所述被照射物的位置进行检测。

5.根据权利要求3所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，包括：

照射部，具有所述照射单元，

所述位置检测部件被设置于所述照射部。

6.根据权利要求3所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，包括：

照射部，具有所述照射单元，

所述搬送机构具有第1搬送路径及第2搬送路径，所述第1搬送路径设置在所述载台朝向所述照射区域开始移动的开始位置与所述照射部之间，所述第2搬送路径设置在通过所述照射区域后的所述载台所停止的停止位置与所述照射部之间，

所述位置检测部件是设置在沿着所述第1搬送路径及所述第2搬送路径中的至少一个的位置。

7.根据权利要求1或2所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述位置检测部件被设置于所述载台。

8.根据权利要求7所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述位置检测部件是配置成：对所述载台相对于与所述照射面正交的方向及与所述照射面平行的方向中的至少一方向的位置进行检测。

9.根据权利要求7所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，包括：

照射部，具有所述照射单元，

所述照射部具有基准面，所述基准面用于通过所述位置检测部件，来对所述载台相对于与所述照射面正交的方向及与所述照射面平行的方向的位置进行检测。

10.根据权利要求7所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述照射单元具有出射偏振光的偏振元件及保持所述偏振元件的保持构件，

在所述保持构件上设置有基准面，所述基准面用于通过所述位置检测部件，来对所述载台相对于与所述照射面正交的方向的位置进行检测。

11.根据权利要求8所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，包括：

照射部，具有所述照射单元，

所述搬送机构具有第1搬送路径及第2搬送路径，所述第1搬送路径设置在所述载台朝向所述照射区域开始移动的开始位置与所述照射部之间，所述第2搬送路径设置在通过所述照射区域后的所述载台所停止的停止位置与所述照射部之间，

在沿着所述第1搬送路径及所述第2搬送路径中的至少一个的位置，设置有基准面，所述基准面用于通过所述位置检测部件，来对所述载台相对于与所述照射面正交的方向及与所述照射面平行的方向的位置进行检测。