JP2017150068A5 - - Google Patents

Description

[0002]反応律速の熱化学気相成長（ＣＶＤ）は、多様な材料に付与することが可能な優れた特性を備えたコーティングを生成するために用いることができる。しかし、反応律速の熱ＣＶＤは、望ましくない表面上の効果および／または不整合を生み出す場合がある。例えば、加工用ビードの使用は、反応律速の熱ＣＶＤコーティングを生成するための技術である。そのようなビードによって、ばらつきのある厚さ、例えば、加工用ビードのスポットおよび／または相違する着色が生じる場合がある。同様に、１０００トルよりも大きな圧力における分解のための高濃度の気体によっても同様の望ましくない効果が生じる場合がある。

Claims (16)

1. 支持体、およびこの支持体上の熱化学気相成長コーティングを含む物品であって、熱化学気相成長コーティングは、拡散律速の熱化学気相成長によって生み出される特性を備え、上記特性には、１つよりも多い層の分子堆積による成長が含まれる、前記物品。
2. 特性には１０００オングストローム以下の厚さの範囲が含まれる、請求項１に記載の物品。
3. 熱化学気相成長コーティングは８０００オングストロームよりも大きな厚さを有し、そして剥離しない、請求項１に記載の物品。
4. 熱化学気相成長コーティングは１２０００オングストロームよりも大きな厚さを有し、そして剥離しない、請求項１に記載の物品。
5. 熱化学気相成長コーティングは１６０００オングストロームよりも大きな厚さを有し、そして剥離しない、請求項１に記載の物品。
6. 熱化学気相成長コーティングは１９０００オングストロームよりも大きな厚さを有し、そして剥離しない、請求項１に記載の物品。
7. 特性には主として非晶質の構造が含まれる、請求項１に記載の物品。
8. 特性には実質的に完全に非晶質の構造が含まれる、請求項１に記載の物品。
9. 特性には相違する着色が存在しないことが含まれる、請求項１に記載の物品。
10. 支持体は金属を含む、請求項１に記載の物品。
11. 支持体は合金を含む、請求項１に記載の物品。
12. 支持体は少なくとも３８０℃の温度によって処理されている、請求項１に記載の物品。
13. 支持体は少なくとも４３０℃の温度によって処理されている、請求項１に記載の物品。
14. 支持体は少なくとも４４０℃の温度によって処理されている、請求項１に記載の物品。
15. 容器へガス種を導入すること、および、容器の中の物品上にガス種の拡散律速の反応による熱化学気相成長コーティングを生成させることを含む、熱化学気相成長プロセス。
16. ガス種は、容量で１０％と２０％の間の濃度でのシランおよび不活性ガスを含むシラン含有種である、請求項１５に記載のプロセス。