JP2017150007A - 処理方法及び処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記接続部において、前記各設備からそれぞれ複数の前記ワーク部に前記要素を分配するとともに、前記各ワーク部に前記要素を供給するタイミングをずらすことで複数の前記ワーク部において行われる工程の実施タイミングを互いにずらすことを特徴とする。
本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
第2の実施形態の処理装置は、筒状の被加工材の内面にDLC膜を形成するプラズマ成膜装置である。プラズマ成膜装置は、図9に示すように、チャンバー2内部に被加工材29だけでなく、ターゲット20も配設している。
基体21には、接続部5を通じてガス供給源31、ポンプ室35、マイクロ波発振部36及び電源(第1の電源37,第2の電源38)に接続する接続ポートが設けられており、蓋体22の側壁22bとチャンバー2内のターゲット20との間の間隔は、ターゲット20の一端から他端までの間で一定であることが好ましい。
10:プラズマ成膜装置、
11:第1のワーク部、
12:第2のワーク部、
13:第3のワーク部、
2:チャンバー、
20:ターゲット、
21:基体、
22:蓋体、
23:ガス導入部、
24:ガス排出部、
25:電源取り出し部、
26、46:計測部、
27:マイクロ波導入部、
28:治具、
29:被加工材、
3:設備群、
31:ガス供給源、
35:ポンプ室、
36:マイクロ波発振部、
37:第1の電源、
38:第2の電源、
39:制御部、
5:接続部、
55:排気接続部、
56:マイクロ波接続部、
57:第1の電気接続部、
58:第2の電気接続部、
6:切替部、
60:分岐部、
61:弁、
62:分配器、
63a、63b:分岐管、
64:スイッチ、
70:プラズマ生成ガス系統、
71:第1の昇温窒化ガス系統、
72:第2の昇温窒化ガス系統、
73:ボンバードDLCガス系統
74a、74c:流量計、
75:蒸着用ガス容器
81:第1の昇温窒化ガス接続部、
82:第2の昇温窒化ガス接続部、
83:ボンバードDLCガス接続部、
Claims (10)
- 被加工材に複数の工程が順に行われることで処理品が得られる処理ユニット部と、複数の工程を行うに必要なエネルギー、物質及び雰囲気の群から選ばれる2種以上の要素を準備する2以上の設備からなる設備群と、前記各設備から前記処理ユニット部に前記要素を供給する接続部と、を用い、
前記処理ユニット部は、複数のワーク部に分割され、前記各ワーク部では、それぞれ前記要素を用いて前記被加工材に対して複数の工程を順に行うとともに、
前記接続部において、前記各設備からそれぞれ複数の前記ワーク部に前記要素を分配するとともに、
前記各ワーク部に前記要素を供給するタイミングをずらすことで複数の前記ワーク部において行われる工程の実施タイミングを互いにずらすことを特徴とする処理方法。 - 複数の前記工程と、複数の前記工程が行われた前記被加工材を未処理の被加工材に交換する交換工程とを、前記ワーク部毎に互いに実施タイミングをずらして繰り返し行う請求項1に記載の処理方法。
- 1つの前記設備で準備される前記要素の前記各ワーク部において必要とされる実施タイミングが、他の前記ワーク部において当該要素の必要とされる実施タイミングと重ならないようにする請求項1又は2に記載の処理方法。
- 被加工材に複数の工程が順に行われることで処理品を得る処理ユニット部と、複数の工程を行うに必要なエネルギー、物質及び雰囲気の群から選ばれる2種以上の要素を準備する2以上の設備からなる設備群と、前記各設備から前記処理ユニット部に前記要素を供給する接続部と、を備える処理装置において、
前記処理ユニット部は、複数のワーク部に分割され、前記各ワーク部において、それぞれ前記要素を用いて前記被加工材に複数の工程が順に行われ、
前記接続部は、前記各設備から複数の前記ワーク部に前記要素を分配し得る切替部を有し、
前記各ワーク部に前記要素を供給するタイミングをずらすことにより複数の前記ワーク部において行われる工程の実施タイミングを互いにずらすように前記切替部及び前記処理ユニット部を制御する制御部を更に備えることを特徴とする処理装置。 - 前記制御部は、1つの前記設備で準備される前記要素の前記各ワーク部において必要とされる実施タイミングが、他の前記ワーク部において当該要素の必要とされる実施タイミングと重ならないようにする請求項4に記載の処理装置。
- 前記被加工材表面に皮膜を形成する、プラズマCVD装置またはスパッタリング装置である請求項4又は5に記載の処理装置。
- 前記ワーク部は、前記被加工材を収容したチャンバーを有し、
複数の前記設備は、原料ガスを保持するガス供給源、低圧雰囲気を発生させるポンプ室、マイクロ波を発振するマイクロ波発振部、及び負バイアス電圧を発生させる電源であり、
前記ガス供給源、前記ポンプ室、前記マイクロ波発振部及び前記電源から、それぞれ前記原料ガス、前記低圧雰囲気、前記マイクロ波、及び前記負バイアス電圧を、前記接続部を通じて前記ワーク部の前記チャンバーに供給することにより、前記被加工材表面に前記前記原料ガス由来の皮膜を形成させる請求項6に記載の処理装置。 - 前記ワーク部は、ターゲット及び前記被加工材を収容したチャンバーを有し、
複数の前記設備は、プラズマ生成ガスを収容するガス供給源、低圧雰囲気を発生させるポンプ室、マイクロ波を発振するマイクロ波発振部、及び負バイアス電圧を発生させる電源であり、前記ガス供給源、前記ポンプ室、前記マイクロ波発振部及び前記電源から、それぞれ前記プラズマ生成ガス、前記低圧雰囲気、前記マイクロ波及び前記負バイアス電圧を、前記接続部を通じて、前記ワーク部の前記チャンバーに供給することにより、前記被加工材表面に前記ターゲット由来の皮膜を形成させる請求項6に記載の処理装置。 - 前記チャンバーは、基体と、前記基体とともに内部に前記被加工材を収容し得る空間部を形成するとともに前記基体に着脱可能に気密に固定された蓋体とを備え、
前記基体には、前記接続部を通じて、前記ガス供給源、前記ポンプ室、前記マイクロ波発振部及び前記電源に接続する接続ポートが設けられている請求項7に記載の処理装置。 - 前記チャンバーは、基体と、前記基体とともに内部に前記被加工材を収容し得る空間部を形成するとともに前記基体に着脱可能に気密に固定された蓋体とを備え、
前記基体には、前記接続部を通じて前記ガス供給源、前記ポンプ室、前記マイクロ波発振部及び前記電源に接続する接続ポートが設けられている請求項8に記載の処理装置。
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