JP2017144510A - Nozzle adjusting tool - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、切削装置に備えられる切削水ノズルや冷却水ノズルの位置を調整することができるノズル調整治具に関する。 The present invention relates to a nozzle adjusting jig capable of adjusting the positions of a cutting water nozzle and a cooling water nozzle provided in a cutting apparatus.
例えば、IC、LSI等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハ等の被加工物は、スピンドルに装着され回転可能な切削ブレードを備えた切削装置によって切削され個々のデバイスに分割され、各種電子機器等に利用されている。切削加工において、回転する切削ブレードが被加工物と接触する加工点及びその周囲は、摩擦熱により温度が上昇する。加工点が高温になりすぎると、切削ブレードの異常磨耗、及び被加工物の焼けやチッピングが発生し加工品質が著しく悪化する。これらを防止するために、切削装置には加工点及びその周囲を冷却するための冷却水を供給する冷却水ノズルが設けられている。また、加工点には切削加工により切削屑や切り粉も生じてくるため、この切削屑等を水流により被加工物の上面から除去するための切削水を供給する切削水ノズルも切削装置には備えられている(例えば、特許文献1参照)。 For example, a workpiece such as a wafer on which a plurality of devices such as IC, LSI, etc. are partitioned by a division line and formed on the surface is cut by a cutting device equipped with a spindle and having a rotatable cutting blade. And is used for various electronic devices. In the cutting process, the temperature at the processing point where the rotating cutting blade comes into contact with the workpiece and its surroundings rises due to frictional heat. When the processing point becomes too high, abnormal wear of the cutting blade and burning or chipping of the workpiece occur, and the processing quality deteriorates remarkably. In order to prevent these problems, the cutting apparatus is provided with a cooling water nozzle for supplying cooling water for cooling the processing point and its surroundings. In addition, since cutting scraps and chips are generated at the processing point by cutting, a cutting water nozzle that supplies cutting water for removing the cutting scraps and the like from the upper surface of the workpiece by a water flow is also included in the cutting apparatus. It is provided (for example, refer to Patent Document 1).
切削装置における冷却水ノズルの配設位置が適切な位置となっていない場合には、加工点が十分に冷却されず、切削ブレードの破損や被加工物の品質劣化を生じさせることになる。また、切削装置における切削水ノズルの配設位置が適切でない場合には、切削屑等が被加工物上面から排出されずに被加工物上面に切削屑等が付着する。 When the arrangement position of the cooling water nozzle in the cutting apparatus is not an appropriate position, the machining point is not sufficiently cooled, and the cutting blade is damaged or the quality of the workpiece is deteriorated. Moreover, when the arrangement position of the cutting water nozzle in the cutting apparatus is not appropriate, the cutting waste or the like adheres to the upper surface of the workpiece without being discharged from the upper surface of the workpiece.
冷却水ノズルと切削水ノズルとは、いずれもスピンドルを支持するスピンドルハウジングに装着されるホイールカバーに配設されている。例えば、冷却水ノズルは、切削ブレードの切り刃の厚み方向に冷却水を噴射できるように、切削ブレードを挟むようにしてホイールカバーに配設されている。すなわち、冷却水ノズルは、その長手方向が切削ブレードの表面及び裏面に沿うようにホイールカバーに配設され、切削ブレードの面方向に冷却水ノズルの噴射口が複数に整列する状態となる。また、切削水ノズルは、切削ブレードの外周に噴射口が対向するようにホイールカバーに配設されることで、切削ブレードの外周方向から切削ブレードに向かって切削水を噴射できるようになっている。 Both the cooling water nozzle and the cutting water nozzle are disposed on a wheel cover mounted on a spindle housing that supports the spindle. For example, the cooling water nozzle is disposed on the wheel cover so as to sandwich the cutting blade so that the cooling water can be sprayed in the thickness direction of the cutting blade. That is, the cooling water nozzle is disposed on the wheel cover so that the longitudinal direction thereof is along the front and back surfaces of the cutting blade, and a plurality of nozzles of the cooling water nozzle are aligned in the surface direction of the cutting blade. Further, the cutting water nozzle is arranged on the wheel cover so that the injection port faces the outer periphery of the cutting blade, so that the cutting water can be injected from the outer peripheral direction of the cutting blade toward the cutting blade. .
しかし、切削装置の加工室内は狭く見えづらく、各ノズルの位置を精密に調整することは非常に難しく時間がかかっていた。 However, it is difficult to see the inside of the processing chamber of the cutting apparatus narrowly, and it has been very difficult and time-consuming to precisely adjust the position of each nozzle.
また、冷却水ノズルや切削水ノズルの位置によって加工結果、すなわち、被加工物におけるチッピングのサイズ等、切削ブレードにおけるブレードの磨耗量等に多少の差異がでてくるが、複数台の切削装置を用いて各被加工物に同様の切削加工を施したい場合に、各切削ブレードの位置を確認しながら、冷却水ノズルや切削水ノズルを各切削装置のいずれにおいても装置中の同位置に設定することは困難であった。 Also, depending on the position of the cooling water nozzle and the cutting water nozzle, there are some differences in the processing results, i.e. the chipping size in the workpiece, the blade wear amount in the cutting blade, etc. If you want to perform the same cutting on each workpiece, set the cooling water nozzle and the cutting water nozzle at the same position in each cutting device while checking the position of each cutting blade. It was difficult.
したがって、切削装置においては、冷却水ノズルや切削水ノズルの位置を、容易かつ正確に所望の位置にあるように調整し、また、複数台の切削装置のいずれにおいても装置中の同位置に冷却水ノズルや切削水ノズルを設定するという課題がある。 Therefore, in the cutting device, the position of the cooling water nozzle or the cutting water nozzle is adjusted so that it is at a desired position easily and accurately, and any of a plurality of cutting devices is cooled to the same position in the device. There is a problem of setting a water nozzle and a cutting water nozzle.
上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、該切削手段は、該切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着され該スピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、該スピンドルハウジングに装着され切削ブレードを取り付けるための開口部を備えるホイールカバーと、該ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ該切削ブレードを挟むように該切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され該切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、該ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ該切削ブレードの外周方向から該切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用され、該ホイールカバーを該スピンドルハウジングから取り外した状態で該冷却水ノズルの位置を調整するノズル調整治具であって、該ノズル調整治具は、該ホイールカバーの該開口部に嵌合する部位を有する固定部と、該冷却水ノズルの高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部と、を少なくとも有し、該固定部を該ホイールカバーの開口部に嵌合させた状態で、該冷却水ノズルを該冷却水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、該冷却水ノズルの位置を調整することを特徴とするノズル調整治具である。 The present invention for solving the above problems comprises at least a chuck table for holding a workpiece and a cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table with a cutting blade. A wheel comprising: a spindle unit that is mounted on a spindle through a mount flange having a boss portion and the spindle is rotatably supported by the spindle housing; and a wheel that is mounted on the spindle housing and is attached to the cutting blade. A pair of cooling water nozzles that are attached to the wheel cover so as to be adjustable in position and are disposed on the front side and the back side of the cutting blade so as to sandwich the cutting blade, and supply cooling water to the cutting blade; The wheel cover is attached to the wheel cover so as to be adjustable in position and angle, and the cutting blur is attached. A cutting water nozzle that supplies cutting water from the outer peripheral direction of the blade toward the cutting blade, and adjusts the position of the cooling water nozzle with the wheel cover removed from the spindle housing. Nozzle adjustment jig, wherein the nozzle adjustment jig includes a fixing part having a portion that fits into the opening of the wheel cover, and a cooling water nozzle positioning part for adjusting the height of the cooling water nozzle The cooling water nozzle is brought into contact with the upper surface of the cooling water nozzle positioning portion in a state in which the fixing portion is fitted to the opening of the wheel cover. It is a nozzle adjustment jig characterized by adjusting a position.
また、上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、該切削手段は、該切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着され該スピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、該スピンドルを収容するスピンドルハウジングに装着され切削ブレードを取り付けるための開口部を備えるホイールカバーと、該ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ該切削ブレードを挟むように該切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され該切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、該ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ該切削ブレードの外周方向から該切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用され、該ホイールカバーを該スピンドルハウジングから取り外した状態で、該切削水ノズルの位置を調整するノズル調整治具であって、該ノズル調整治具は、該ホイールカバーの該開口部に嵌合する部位を有する固定部と、該切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部と、を少なくとも有し、該固定部を該ホイールカバーの開口部に嵌合させた状態で、該切削水ノズルを該切削水ノズル位置決め部の上面に当接させることで該切削水ノズルの位置を調整することを特徴とするノズル調整治具である。 Further, the present invention for solving the above-described problems includes at least a chuck table for holding a workpiece and a cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table with a cutting blade. The cutting blade is mounted on the spindle through a mount flange having a boss portion, the spindle is rotatably supported by the spindle housing, and the cutting blade is mounted on the spindle housing that accommodates the spindle for attaching the cutting blade. A pair of wheel covers, and a pair of the blade covers that are attached to the wheel covers so that the positions of the wheel covers can be adjusted, and that are disposed on the front and back sides of the cutting blade so as to sandwich the cutting blade. Adjustable position and angle of cooling water nozzle and wheel cover And a cutting water nozzle that supplies cutting water from the outer peripheral direction of the cutting blade toward the cutting blade, and the cutting water is removed with the wheel cover removed from the spindle housing. A nozzle adjustment jig for adjusting the position of a nozzle, wherein the nozzle adjustment jig adjusts the height and angle of a fixed portion having a portion that fits into the opening of the wheel cover, and the cutting water nozzle. A cutting water nozzle positioning portion for making the cutting water nozzle abutted against the upper surface of the cutting water nozzle positioning portion in a state where the fixing portion is fitted to the opening of the wheel cover. This is a nozzle adjustment jig characterized by adjusting the position of the cutting water nozzle.
前記冷却水ノズルの位置を調整することを特徴とするノズル調整治具は、前記切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部を有し、前記固定部を前記ホイールカバーの開口部に嵌合させた状態で、前記切削水ノズルを該切削水ノズル位置決め部の上面に当接させることで該切削水ノズルの位置を調整できるものとすると好ましい。 The nozzle adjustment jig for adjusting the position of the cooling water nozzle has a cutting water nozzle positioning portion for adjusting the height and angle of the cutting water nozzle, and the fixing portion is attached to the wheel cover. It is preferable that the position of the cutting water nozzle can be adjusted by bringing the cutting water nozzle into contact with the upper surface of the cutting water nozzle positioning portion in a state where the cutting water nozzle is fitted to the opening.
前記冷却水ノズル位置決め部は前記固定部に対する位置を調整できるものとすると好ましい。 It is preferable that the cooling water nozzle positioning portion can adjust the position with respect to the fixed portion.
前記切削水ノズル位置決め部は前記固定部に対する位置を調整できるものとすると好ましい。 It is preferable that the cutting water nozzle positioning part can adjust the position with respect to the fixed part.
本発明に係るノズル調整治具は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、切削手段は、切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着されスピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、スピンドルハウジングに装着され切削ブレードを取り付けるための開口部を備えるホイールカバーと、ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ切削ブレードを挟むように切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ切削ブレードの外周方向から切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用され、ホイールカバーをスピンドルハウジングから取り外した状態で冷却水ノズルの位置を調整するものであり、ホイールカバーの開口部に嵌合する部位を有する固定部と、冷却水ノズルの高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部と、を少なくとも有することにより、固定部をホイールカバーの開口部に嵌合させた状態で、冷却水ノズルを冷却水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、冷却水ノズルの位置を容易に調整することが可能となる。 A nozzle adjusting jig according to the present invention includes at least a chuck table for holding a workpiece and a cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table with a cutting blade. A spindle unit that is mounted on the spindle via a mount flange having a boss portion and the spindle is rotatably supported by the spindle housing; a wheel cover that is mounted on the spindle housing and has an opening for attaching a cutting blade; and the wheel cover The position and angle of the wheel cover can be adjusted with a pair of cooling water nozzles that are mounted on the front and back sides of the cutting blade so that the position is adjustable and the cutting blade is sandwiched to supply cooling water to the cutting blade. Cutting blur from the outer periphery of the installed cutting blade And a cutting water nozzle that supplies cutting water toward the door, and adjusts the position of the cooling water nozzle with the wheel cover removed from the spindle housing. By having at least a fixing portion having a portion to be fitted and a cooling water nozzle positioning portion for adjusting the height of the cooling water nozzle, the fixing portion is fitted to the opening of the wheel cover, By bringing the cooling water nozzle into contact with the upper surface of the cooling water nozzle positioning portion, the position of the cooling water nozzle can be easily adjusted.
また、本発明に係るノズル調整治具は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、切削手段は、切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着されスピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、スピンドルを収容するスピンドルハウジングに装着され切削ブレードを取り付けるための開口部を備えるホイールカバーと、ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ切削ブレードを挟むように切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ切削ブレードの外周方向から切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用され、ホイールカバーをスピンドルハウジングから取り外した状態で、切削水ノズルの位置を調整するものであり、ホイールカバーの開口部に嵌合する部位を有する固定部と、切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部と、を少なくとも有することにより、固定部をホイールカバーの開口部に嵌合させた状態で、切削水ノズルを切削水ノズル位置決め部の上面に当接させることで切削水ノズルの位置を容易に調整することが可能となる。 The nozzle adjusting jig according to the present invention includes at least a chuck table for holding a workpiece and a cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table with a cutting blade. A wheel having a spindle unit mounted on a spindle via a mount flange having a boss portion and the spindle rotatably supported by the spindle housing, and a wheel mounted on the spindle housing for accommodating the spindle and having an opening for mounting the cutting blade Positioned on the wheel cover, a pair of cooling water nozzles that are attached to the wheel cover so that the position of the cutting blade can be adjusted, and are arranged on the front and back sides of the cutting blade so as to sandwich the cutting blade. And adjustable angle and cutting blur A cutting water nozzle that supplies cutting water from the outer peripheral direction of the blade toward the cutting blade, and adjusts the position of the cutting water nozzle with the wheel cover removed from the spindle housing. A fixing portion having a portion that fits into the opening of the wheel cover, and a cutting water nozzle positioning portion for adjusting the height and angle of the cutting water nozzle. The position of the cutting water nozzle can be easily adjusted by bringing the cutting water nozzle into contact with the upper surface of the cutting water nozzle positioning portion in a state of being fitted to the portion.
冷却水ノズルの位置を調整することを特徴とするノズル調整治具は、切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部を有することで、固定部をホイールカバーの開口部に嵌合させた状態で、冷却水ノズルを冷却水ノズル位置決め部の上面に当接させ、また、切削水ノズルを切削水ノズル位置決め部の上面に当接させて、冷却水ノズルの位置と切削水ノズルの位置とを容易に調整することが可能となる。 The nozzle adjustment jig characterized by adjusting the position of the cooling water nozzle has a cutting water nozzle positioning part for adjusting the height and angle of the cutting water nozzle, and the fixing part is an opening part of the wheel cover. The cooling water nozzle is brought into contact with the upper surface of the cooling water nozzle positioning part and the cutting water nozzle is brought into contact with the upper surface of the cutting water nozzle positioning part in a state where the cooling water nozzle is fitted to the position of the cooling water nozzle. It becomes possible to easily adjust the position of the water nozzle.
冷却水ノズル位置決め部は固定部に対する位置を調整できるものとすることで、例えば、加工結果が良い場合の切削装置のホイールカバーにおける冷却水ノズルの位置(高さ)に合わせてノズル調整治具の冷却水ノズル位置決め部の高さ位置を調整し、この高さ位置の調整がなされたノズル調整治具を用いて、その他の同型の切削装置の冷却水ノズル位置決め部の高さ位置を調整することで、同型の複数台の切削装置のいずれにおいても、装置中の同じ高さ位置に冷却水ノズルを容易に設定することが可能となる。 The cooling water nozzle positioning part can adjust the position with respect to the fixed part. For example, when the machining result is good, the position of the nozzle adjustment jig is adjusted according to the position (height) of the cooling water nozzle in the wheel cover of the cutting apparatus. Adjust the height position of the cooling water nozzle positioning part, and adjust the height position of the cooling water nozzle positioning part of other same type of cutting equipment using the nozzle adjustment jig that has been adjusted this height position Thus, in any of a plurality of cutting devices of the same type, the cooling water nozzle can be easily set at the same height position in the device.
切削水ノズル位置決め部は固定部に対する位置を調整できるものとすることで、例えば、加工結果が良い場合の切削装置のホイールカバーにおける切削水ノズルの位置(高さ位置及び角度)に合わせてノズル調整治具の切削水ノズル位置決め部の高さ位置及び角度を調整し、この高さ位置及び角度の調整がなされたノズル調整治具を用いて、その他の同型の切削装置の切削水ノズル位置決め部の高さ位置及び角度を調整することで、同型の複数台の切削装置のいずれにおいても、装置中の同じ高さ位置及び角度に切削水ノズルを容易に設定することが可能となる。 The cutting water nozzle positioning part can adjust the position relative to the fixed part, for example, adjusting the nozzle according to the position (height position and angle) of the cutting water nozzle in the wheel cover of the cutting apparatus when the machining result is good Adjust the height position and angle of the cutting water nozzle positioning part of the jig, and use the nozzle adjustment jig for which the height position and angle have been adjusted to adjust the cutting water nozzle positioning part of the other type of cutting device. By adjusting the height position and angle, the cutting water nozzle can be easily set at the same height position and angle in the apparatus in any of a plurality of cutting apparatuses of the same type.
図1に示す切削装置1は、被加工物を保持するチャックテーブル30と、チャックテーブル30に保持された被加工物を切削ブレード60により切削する切削手段6とを少なくとも具備し、切削手段6は、切削ブレード60がボス部612bを有するマウントフランジ612を介してスピンドル610に装着されスピンドル610がスピンドルハウジング611によって回転可能に支持されたスピンドルユニット61と、スピンドルハウジング611に装着され切削ブレード60を取り付けるための開口部62aを備えるホイールカバー62と、ホイールカバー62に位置を調整可能に取り付けられ切削ブレード60を挟むように切削ブレード60の表面60a側及び裏面60b側に配設され切削ブレード60へ冷却水を供給する一対の冷却水ノズル69と、ホイールカバー62に位置及び角度を調整可能に取り付けられ切削ブレード60の外周方向から切削ブレード60に向かって切削水を供給する切削水ノズル68とを備えている。
A cutting apparatus 1 shown in FIG. 1 includes at least a chuck table 30 that holds a workpiece and a cutting means 6 that cuts the workpiece held on the chuck table 30 with a
チャックテーブル30は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材などからなり被加工物を吸着する吸着部300と、吸着部300を支持する枠体301とを備える。吸着部300は図示しない吸引源に連通し、吸着部300の露出面であり枠体301の上面と面一に形成されている保持面300a上でウエーハWを吸引保持する。チャックテーブル30は、回転手段31により回転可能に支持されており、かつ、図示しない切削送り手段によってX軸方向での移動が可能となっている。また、チャックテーブル30の周囲には、チャックテーブル30の径方向に移動でき被加工物を支持するリングフレーム等を固定する固定クランプ32が配設されている。なお、チャックテーブル30は、図示のような円形のポーラスチャックに限定されるものではなく、四角形状のジグ式のチャックテーブル等であってもよい。
The chuck table 30 has, for example, a circular outer shape, and includes a
図1、2に示すスピンドルユニット61は、例えば、チャックテーブル30の保持面300aに対して水平に配置された円柱状のスピンドルハウジング611と、スピンドルハウジング611中に回転可能に支持され軸方向がX軸方向に対し水平方向に直交する方向(Y軸方向)であるスピンドル610と、スピンドルハウジング611から−Y方向に突出したスピンドル610の先端部分に着脱可能に装着されたマウントフランジ612とを備える。マウントフランジ612は、フランジ部612aと、フランジ部612aから厚み方向(Y軸方向)に突出しその側面にネジが設けられたボス部612bとを備える。
The
切削ブレード60は、例えば、電鋳ハブブレードであり、円盤状に形成されたアルミニウム製の基台600と、基台600の外周部に固定した切り刃601とを備える。なお、切削ブレード60は、電鋳ハブブレードに限定されるものではなく、ダイヤモンド砥粒等を例えばレジン等の適宜のバインダーで固定し、環状に成型したワッシャー型のブレードであってもよい。
The
切削ブレード60が、ボス部612bに挿入され、ボス部612bのネジと螺合するナット613によって、ナット613とフランジ部612aとによりY軸方向両側から挟まれることで、切削ブレード60は、マウントフランジ612を介してスピンドル610に装着される。そして、スピンドルハウジング611内に収容される図示しないモータがスピンドル610を回転駆動することに伴って、切削ブレード60も高速回転する。
The
図1,3に示すホイールカバー62は、その略中央部に切削ブレード60を取り付けるための開口部62aを備えており、スピンドルハウジング611に装着することで、開口部62aに切削ブレード60を位置付け、切削ブレード60を上方から覆うことができる。開口部62aは、ホイールカバー62をスピンドルハウジング611に装着することで、開口部62aの中心がスピンドル610のY軸方向に延びる軸芯線上に位置するように、すなわち、スピンドル610の回転中心と開口部62aの中心とが一致するように、ホイールカバー62において形成されている。
The wheel cover 62 shown in FIGS. 1 and 3 includes an
図1,3に示すホイールカバー62の基部62bには、ブレード破損検出器620が接続されている。ブレード破損検出器620は、切削ブレード60の上部を挟み込むように対向配置された発光部620a及び図示しない受光部を有している。すなわち、図1,3に示す光ファイバー620cに接続された発光部620aの先端と、同じく光ファイバー620dに接続された図示しない受光部の先端とが、切削ブレード60の上部の外周を挟んで対向し光軸がY軸方向に向くように位置付けられており、発光部620aから射出された検査光は、切削ブレード60の切り刃601によって部分的に遮光されて受光部に受光される。よって、ブレード破損検出器620は、受光部における受光量(透過率)の増加に応じて、切削ブレード60の全損や欠け等の破損状態を検出する。ブレード破損検出器620は、調整ネジ620eによって切削ブレード60に対する上下位置が調整され、固定ネジ620fによって調整された位置で固定される。
A
基部62bの後方側(−X方向側)には、冷却水ブロック621が調整ネジ621cによりZ軸方向に移動可能に締結されている。冷却水ブロック621には、−Y方向側から見て略L字形状の一対の冷却水ノズル69が固定されている。一対の冷却水ノズル69には、冷却水ブロック621を通じて供給ホース621aから冷却水が供給される。一対の冷却水ノズル69は、冷却水ブロック621から下方に延びた後、切削ブレード60の下部を切削ブレード60の表面60a側及び裏面60b側から挟むようにして+X方向側に互いに平行に延びている。図3に示すように、一対の冷却水ノズル69の先端側の切削ブレード60に相対する位置には、冷却水を噴射するスリット69aが複数X軸方向に整列して設けられており、複数のスリット69aによって側方から冷却水が噴射されて、切削ブレード60と被加工物との加工点の冷却が行われる。
A cooling
また、冷却水ブロック621の下端には、噴射された冷却水を−X方向側に導く一対の飛沫カバー621bが、一対の冷却水ノズル69のY軸方向外側に位置するように配設されている。
In addition, a pair of splash covers 621b that guide the injected cooling water to the −X direction side are disposed at the lower end of the cooling
基部62bの+X方向側には、切削水ブロック622が、調整ネジ622aによりY軸方向にスライド移動可能に締結されている。切削水ブロック622には、切削ブレード60の外周方向から切削ブレード60に向かって切削水を供給する切削水ノズル68が配設されている。例えば、切削水ブロック622には、連結ブロック622bが調整ネジ622cによってZ軸方向にスライド移動可能に締結されている。調整ネジ622cは連結ブロック622bに形成された長孔に挿通されており、調整ネジ622cを緩めて連結ブロック622bを長孔に沿って動かすことで、連結ブロック622bはZ軸方向にスライド移動できる。連結ブロック622bの下部には、切削水ノズル68を支持し調整ネジ622eを介して矢印A方向に角度調整が可能である切削水ノズル支持具622dが締結されている。
On the + X direction side of the
切削水ノズル68には、切削水ブロック622及び切削水ノズル支持具622dを通じて供給ホース622fが連通しており、切削水ノズル68の先端(切削水噴射口)は切削ブレード60の切り刃601に向かって開口している。切削水ノズル68は、調整ネジ622eを緩めて、切削水ノズル支持具622dを所定の角度に至るように調整した後、調整ネジ622eを締めることで、切削ブレード60に対する切削水の外周方向からの噴射角度を定めることができる。切削水ノズル68によって外周方向から切削ブレード60に切削水が噴射されることで、回転する切削ブレード60に切削水が巻き込まれて、加工点に生じる切削屑等と共に−X方向側に押し出されることで、加工点の洗浄及び冷却が行われる。
A
図4(A)、(B)に示すノズル調整治具7は、図1に示す切削装置1のホイールカバー62をスピンドルハウジング611から取り外した状態で、一対の冷却水ノズル69及び切削水ノズル68の位置を調整するために用いられる治具である。例えば、ノズル調整治具7は、ホイールカバー62の開口部62aに嵌合する部位を有する固定部70と、冷却水ノズル69の高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部71と、切削水ノズル68の高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部72とを備えている。例えば、固定部70、冷却水ノズル位置決め部71、及び切削水ノズル位置決め部72は、半透明のエンプラ樹脂等を所定の形状に成型して各々製造される。
The nozzle adjusting jig 7 shown in FIGS. 4A and 4B has a pair of cooling
例えば、ノズル調整治具7は、図4(A)、(B)に示す略直方体形状の基台7aを備えており、基台7a上に固定部70が配設されている。すなわち、基台7a上の後方側(+Y方向側)には、固定部70を構成するコラム700が立設されており、コラム700の−Y方向側の側面には、ホイールカバー62の開口部62aに嵌合する部位である嵌合部701が形成されている。嵌合部701は略円柱状の形状を備えており、コラム700の−Y方向側の側面から−Y方向側に突出しており、その半径は、開口部62aに嵌合する大きさとなっている。そして、嵌合部701は、ノズル調整治具7をホイールカバー62に装着することで、嵌合部701の円の中心がホイールカバー62の開口部62aの中心を通るY軸方向に延びる直線上に位置するように、コラム700の側面に突設されている。
For example, the nozzle adjustment jig 7 includes a substantially
冷却水ノズル69の高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部71は、例えば、略直方体状の形状を備えており、その上面71aには、X軸方向に互いに平行に延びる一対の嵌合溝710が形成されている。一対の嵌合溝710は、一対の冷却水ノズル69が冷却水ノズル位置決め部71の上面71aに当接された際に、各冷却水ノズル69がそれぞれの嵌合溝710に嵌る状態となるように、Y軸方向における互いの間隔が定められている。なお、冷却水ノズル位置決め部71の上面71aに、一対の嵌合溝710が形成されていなくてもよい。
The cooling water
冷却水ノズル位置決め部71は、例えば、基台7aの前面(−Y方向側)に配設された取り付けプレート73に、調整ネジ712によりZ軸方向に移動可能に締結されている。調整ネジ712は、冷却水ノズル位置決め部71の側面からY軸方向に貫通して形成された長孔に挿通されており、調整ネジ712を緩めて冷却水ノズル位置決め部71を長孔に沿ってZ軸方向にスライド移動させることで、固定部70に対する冷却水ノズル位置決め部71の高さ位置を変えることができる。すなわち、冷却水ノズル位置決め部71の上面71aの、固定部70の嵌合部701の円の中心に対するZ軸方向高さ位置を変えることができる。なお、調整ネジ712の配設箇所は図示の例には限定されず、例えば、冷却水ノズル位置決め部71にもう一箇所長孔をY軸方向に向かって貫通形成し調整ネジ712を挿通させ、より正確に冷却水ノズル位置決め部71を長孔に沿ってZ軸方向に移動できるようにしてもよい。
The cooling water
切削水ノズル68の高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部72は、例えば、全体が略L字状の形状を備えており、その上面72aには、例えば、段差が形成されている。本実施形態においては段差が1段であるが、2段以上あってもよい。このように、上面72aの高さ位置に違いを設け、切削水ノズル68を支持する切削水ノズル支持具622dの底面を上面72aに当接させることにより、切削水ノズル68の高さ位置を選択できるようになっている。切削水ノズル位置決め部72の上面72aからは、切削水ノズル支持具622dの角度を上面72aと共に規制する規制部720が立設されている。
The cutting water
切削水ノズル位置決め部72は、基台7aの前面(−Y方向側)に配設された取り付けプレート74に、調整ネジ721により矢印B方向に角度調整可能に締結されている。調整ネジ721は切削水ノズル位置決め部72の側面に形成された曲長孔に挿通されており、調整ネジ721を緩めて切削水ノズル位置決め部72を曲長孔に沿って移動させることで、切削水ノズル位置決め部72の固定部70に対する位置及び角度を変えることができる。すなわち、切削水ノズル位置決め部72の、固定部70の嵌合部701の円の中心に対する角度を変えることができる。また、切削水ノズル位置決め部72が締結されている取り付けプレート74が、調整ネジ741により基台7aに対してZ軸方向に移動可能に締結されていることにより、取り付けプレート74をZ軸方向に移動させることで、固定部70の嵌合部701の円の中心に対する冷却水ノズル位置決め部71のZ軸方向における高さ位置を調整できるようになっている。
The cutting water
以下に、図1、及び図3〜図5を用いて、ノズル調整治具7により冷却水ノズル69の高さ位置や切削水ノズル68の高さ位置及び角度を調整する場合の、調整方法及びノズル調整治具7の各構成の動作について説明する。
Hereinafter, with reference to FIGS. 1 and 3 to 5, an adjustment method for adjusting the height position of the cooling
まず、一対の冷却水ノズル69の高さ位置を調整する場合について、以下に説明していく。冷却水ノズル69の高さ位置を調整するにあたっては、図1に示すホイールカバー62において、冷却水ノズル69がどの高さ位置にある場合に良好な加工結果が得られるかを調べる実験をあらかじめ行う。例えば、被加工物のチッピングのサイズが小さくなったり、切削ブレード60のブレードの磨耗量が極端に多くならなかったりするときの条件を得るための実験を予め行う。そして、ホイールカバー62における冷却水ノズル69の適切な高さ位置を決定しておく。なお、実験は、例えば、切削装置1を用いて、ダミーウエーハに対し切削加工を行うことにより行う。
First, the case where the height positions of the pair of cooling
次いで、ホイールカバー62における冷却水ノズル69の適切な高さ位置が決定された切削装置1を用いて、ノズル調整治具7の調整を行う。最初に、ホイールカバー62をスピンドルユニット61のスピンドルハウジング611から取り外し、図3に示すように開口部62aが空いている状態にする。次いで、取り外したホイールカバー62の開口部62aに、図4(A)、(B)に示すノズル調整治具7の固定部70の嵌合部701を嵌合させ、ノズル調整治具7をホイールカバー62に装着する。
Next, the nozzle adjustment jig 7 is adjusted using the cutting device 1 in which the appropriate height position of the cooling
さらに、例えば、調整ネジ712を緩めて冷却水ノズル位置決め部71を長孔に沿ってZ軸方向にスライド移動させることで、固定部70に対する高さ位置を変え、冷却水ノズル69を冷却水ノズル位置決め部71の上面71aに当接させる。本実施形態においては、各冷却水ノズル69が、上面71a上の一対の嵌合溝710にそれぞれが嵌合する状態となる。ホイールカバー62において、冷却水ノズル69は適切な高さ位置となっていることから、ノズル調整治具7における冷却水ノズル位置決め部71の上面71aの固定部70に対する高さ位置も適切な高さ位置とすることができる。
Further, for example, the
次いで、上述の実験に用いた切削装置1と同型の別の切削装置1の冷却水ノズル69の高さ位置を調整していく。最初に、図3に示すように、ホイールカバー62をスピンドルユニット61のスピンドルハウジング611から取り外し、開口部62aが空いた状態にする。次いで、図5に示すように、取り外したホイールカバー62の開口部62aに、ノズル調整治具7の固定部70の嵌合部701を嵌合させ、ノズル調整治具7をホイールカバー62に装着する。この状態において、ホイールカバー62の開口部62aの中心が、嵌合部701の円の中心と一致するため、冷却水ノズル位置決め部71の上面71aの固定部70に対する高さ位置は、一対の冷却水ノズル69の高さを合わせるための適切な高さ位置となっている。
Next, the height position of the cooling
ここで、切削装置1の一対の冷却水ノズル69の高さ位置が、例えば、冷却水ノズル位置決め部71の上面71aよりも高い位置にあるとする。この場合においては、図5に示す調整ネジ621cを緩めて、冷却水ブロック621を長孔に沿って下方に動かしていき、冷却水ブロック621に固定されている一対の冷却水ノズル69を、冷却水ノズル位置決め部71の上面71aに当接させる。本実施形態においては、各冷却水ノズル69が、上面71a上の一対の嵌合溝710にそれぞれが嵌合する状態となる。
Here, it is assumed that the height position of the pair of cooling
上記のように、ノズル調整治具7は、ホイールカバー62の開口部62aに嵌合する部位を有する固定部70と、冷却水ノズル69の高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部71と、を少なくとも有することで、固定部70をホイールカバー62の開口部62aに嵌合させた状態で、冷却水ノズル69を冷却水ノズル位置決め部71の上面71aに当接させることで、冷却水ノズル69の位置を容易に調整することが可能となる。
As described above, the nozzle adjusting jig 7 includes the fixing
また、固定部70に対する冷却水ノズル位置決め部71の位置を調整可能とすることで、加工結果が良い場合の切削装置1のホイールカバー62における冷却水ノズル69の高さ位置に合わせて、ノズル調整治具7の冷却水ノズル位置決め部71の高さ位置を調整し、この高さ位置の調整がなされたノズル調整治具7を用いて、その他の同型の別の切削装置1の冷却水ノズル69の高さ位置を調整することで、同型の複数台の切削装置1のいずれにおいても、装置中の同じ高さ位置に冷却水ノズル69を容易に設定することができる。
Further, by making it possible to adjust the position of the cooling water
次に、切削水ノズル68の高さ位置及び角度を調整する場合について、以下に説明していく。切削水ノズル68の高さ位置及び角度を調整するにあたっては、図1に示すホイールカバー62において切削水ノズル68がどの高さ位置及び角度にある場合に、例えば切削屑等が被加工物上面から十分に除去されている状態となる等の良好な加工結果が得られるかについてのデータを得るための実験を予め行うことで、ホイールカバー62における切削水ノズル68の適切な高さ位置及び角度を決定しておく。なお、実験は、例えば、切削装置1を用いて、ダミーウエーハに対し切削加工を行うことにより行う。
Next, the case where the height position and angle of the cutting
次いで、ホイールカバー62における切削水ノズル68の適切な高さ位置及び角度が決定された切削装置1を用いて、ノズル調整治具7の調整を行う。最初に、ホイールカバー62をスピンドルユニット61のスピンドルハウジング611から取り外し、図3に示すように開口部62aが空いている状態にする。次いで、取り外したホイールカバー62の開口部62aに、図4(A)、(B)に示すノズル調整治具7の固定部70の嵌合部701を嵌合させ、ノズル調整治具7をホイールカバー62に装着する。
Next, the nozzle adjustment jig 7 is adjusted using the cutting device 1 in which the appropriate height position and angle of the cutting
さらに、例えば、調整ネジ741を緩めて取り付けプレート74を長孔に沿ってZ軸方向にスライド移動させることで、切削水ノズル位置決め部72の固定部70に対する高さ位置を変え、切削水ノズル68を切削水ノズル位置決め部72の上面72aに当接させる。本実施形態においては、切削水ノズル68は、切削水ノズル支持具622dを介して切削水ノズル位置決め部72の上面72aに当接する。すなわち、例えば、切削水ノズル支持具622dの底面が、切削水ノズル位置決め部72の高いほうの上面72aに当接した状態となる。また、図4(A)、(B)に示す調整ネジ721を緩めて切削水ノズル位置決め部72を曲長孔に沿って移動させることで、切削水ノズル位置決め部72の固定部70に対する角度を変え、切削水ノズル支持具622dの底面を切削水ノズル位置決め部72の上面72aに当接させつつ、切削水ノズル支持具622dの背面622gに、切削水ノズル位置決め部72の規制部720の前面720aを当接させる。ホイールカバー62において、切削水ノズル68は適切な高さ位置及び角度となっていることから、ノズル調整治具7における切削水ノズル位置決め部72の固定部70に対する高さ位置及び角度も適切な状態になる。
Further, for example, by loosening the
次いで、上述の実験に用いた切削装置1と同型の別の切削装置1の切削水ノズル68の高さ位置及び角度を調整していく。最初に、図3に示すようにホイールカバー62をスピンドルユニット61のスピンドルハウジング611から取り外し、開口部62aが空いた状態にする。次いで、図5に示すように、取り外したホイールカバー62の開口部62aに、ノズル調整治具7の固定部70の嵌合部701を嵌合させ、ノズル調整治具7をホイールカバー62に装着する。この状態において、ホイールカバー62の開口部62aの中心が、嵌合部701の円の中心と一致するため、切削水ノズル位置決め部72の固定部70に対する高さ位置及び角度は、切削水ノズル68の高さ及び角度をあわせるために適切な状態になっている。
Next, the height position and angle of the cutting
ここで、切削装置1の切削水ノズル68の高さ位置が、例えば、切削水ノズル位置決め部72の上面72aよりも高い位置にあるとする。この場合においては、図5に示す調整ネジ622cを緩めて、連結ブロック622bを長孔に沿って下方に動かしていき、切削水ノズル支持具622dの底面を、切削水ノズル位置決め部72の高いほうの上面72aに当接させる。この状態において、切削水ノズル支持具622dの背面622g(図5においては、+X方向側に向いている面)が、切削水ノズル位置決め部72の規制部720の前面720a(図5においては、−X方向側に向いている面)に当接していない場合には、調整ネジ721を緩めて、切削水ノズル支持具622dを曲長孔に沿って動かしていき、切削水ノズル支持具622dの背面622gを、切削水ノズル位置決め部72の規制部720の前面720aを当接させる。
Here, it is assumed that the height position of the cutting
上記のように、ノズル調整治具7は、ホイールカバー62の開口部62aに嵌合する部位を有する固定部70と、切削水ノズル68の高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部72と、を少なくとも有することで、固定部70をホイールカバー62の開口部62aに嵌合させた状態で、切削水ノズル68を切削水ノズル位置決め部72の上面72aに当接させることで、切削水ノズル68の高さ位置及び角度を容易に調整することが可能となる。
As described above, the nozzle adjustment jig 7 includes the fixed
また、固定部70に対する切削水ノズル位置決め部72の位置を調整可能とすることで、加工結果が良い場合の切削装置1のホイールカバー62における切削水ノズル68の高さ位置及び角度に合わせて、ノズル調整治具7の切削水ノズル位置決め部72の高さ位置及び角度を調整し、この調整がなされたノズル調整治具7を用いて、その他の同型の別の切削装置1の切削水ノズル68の高さ位置及び角度を調整することで、同型の複数台の切削装置1のいずれにおいても、装置中の同じ高さ位置及び角度に切削水ノズル68を容易に設定することができる。
Further, by making it possible to adjust the position of the cutting water
なお、本発明に係るノズル調整治具7は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されているノズル調整治具7の各構成の配設位置や大きさ等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。 The nozzle adjustment jig 7 according to the present invention is not limited to the above embodiment, and the arrangement position and size of each component of the nozzle adjustment jig 7 shown in the attached drawings are also described. However, the present invention is not limited to this, and can be appropriately changed within a range in which the effect of the present invention can be exhibited.
1:切削装置
30:チャックテーブル 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体
31:回転手段 32:固定クランプ
6:切削手段
60:切削ブレード 60a:切削ブレードの表面 60b:切削ブレードの裏面
600:基台 601:切り刃
61:スピンドルユニット 610:スピンドル 611:スピンドルハウジング
612:マウントフランジ 612a:フランジ部 612b:ボス部 613:ナット
62:ホイールカバー 62a:開口部 62b:基部
620:ブレード破損検出器 620a:発光部 620c、620d:光ファイバー
620e:調整ネジ 620f:固定ネジ
621:冷却水ブロック 621a:供給ホース 621b:一対の飛沫カバー
621c:調整ネジ
69:一対の冷却水ノズル 69a:スリット
622:切削水ブロック 622a、622c、622e:調整ネジ
622b:連結ブロック 622d:切削水ノズル支持具
622g:切削水ノズル支持具の背面 622f:供給ホース
68:切削水ノズル
7:ノズル調整治具 7a:基台 70:固定部 700:コラム 701:嵌合部
71:冷却水ノズル位置決め部 71a:冷却水ノズル位置決め部の上面
710:一対の嵌合溝 712:調整ネジ 73:取り付けプレート
72:切削水ノズル位置決め部 72a:切削水ノズル位置決め部の上面
720:規制部 720a:規制部の前面 721:調整ネジ
74:取り付けプレート 741:調整ネジ
1: Cutting device 30: Chuck table 300:
600: Base 601: Cutting blade
61: Spindle unit 610: Spindle 611: Spindle housing
612:
621c: Adjustment screw 69: A pair of cooling
622b:
622g: Rear surface of cutting
7:
710: A pair of fitting grooves 712: Adjustment screw 73: Mounting plate 72: Cutting water
720:
74: Mounting plate 741: Adjustment screw
Claims (5)
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、
該切削手段は、該切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着され該スピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、該スピンドルハウジングに装着され切削ブレードを取り付けるための開口部を備えるホイールカバーと、該ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ該切削ブレードを挟むように該切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され該切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、該ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ該切削ブレードの外周方向から該切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用され、
該ホイールカバーを該スピンドルハウジングから取り外した状態で該冷却水ノズルの位置を調整するノズル調整治具であって、
該ノズル調整治具は、
該ホイールカバーの該開口部に嵌合する部位を有する固定部と、
該冷却水ノズルの高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部と、を少なくとも有し、
該固定部を該ホイールカバーの開口部に嵌合させた状態で、該冷却水ノズルを該冷却水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、該冷却水ノズルの位置を調整することを特徴とするノズル調整治具。 A chuck table for holding the workpiece;
Cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table with a cutting blade,
The cutting means includes a spindle unit in which the cutting blade is mounted on a spindle via a mount flange having a boss portion, and the spindle is rotatably supported by the spindle housing; and a cutting unit mounted on the spindle housing for attaching the cutting blade. A pair of a wheel cover having an opening and a pair of the blade cover that is attached to the wheel cover so that the position of the wheel cover can be adjusted, and is disposed on the front side and the back side of the cutting blade so as to sandwich the cutting blade. Used in a cutting apparatus comprising: a cooling water nozzle; and a cutting water nozzle that is attached to the wheel cover so that the position and angle thereof can be adjusted, and that supplies cutting water from the outer peripheral direction of the cutting blade toward the cutting blade.
A nozzle adjusting jig for adjusting the position of the cooling water nozzle in a state where the wheel cover is removed from the spindle housing;
The nozzle adjustment jig is
A fixing portion having a portion that fits into the opening of the wheel cover;
A cooling water nozzle positioning part for adjusting the height of the cooling water nozzle,
The position of the cooling water nozzle is adjusted by bringing the cooling water nozzle into contact with the upper surface of the cooling water nozzle positioning portion in a state where the fixing portion is fitted to the opening of the wheel cover. Nozzle adjustment jig.
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、
該切削手段は、該切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着され該スピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、該スピンドルハウジングに装着され切削ブレードを取り付けるための開口部を備えるホイールカバーと、該ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ該切削ブレードを挟むように該切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され該切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、該ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ該切削ブレードの外周方向から該切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用され、
該ホイールカバーを該スピンドルハウジングから取り外した状態で、該切削水ノズルの位置を調整するノズル調整治具であって、
該ノズル調整治具は、
該ホイールカバーの該開口部に嵌合する部位を有する固定部と、
該切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部と、を少なくとも有し、
該固定部を該ホイールカバーの開口部に嵌合させた状態で、該切削水ノズルを該切削水ノズル位置決め部の上面に当接させることで該切削水ノズルの位置を調整することを特徴とするノズル調整治具。 A chuck table for holding the workpiece;
Cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table with a cutting blade,
The cutting means includes a spindle unit in which the cutting blade is mounted on a spindle via a mount flange having a boss portion, and the spindle is rotatably supported by the spindle housing; and a cutting unit mounted on the spindle housing for attaching the cutting blade. A pair of a wheel cover having an opening and a pair of the blade cover that is attached to the wheel cover so that the position of the wheel cover can be adjusted, and is disposed on the front side and the back side of the cutting blade so as to sandwich the cutting blade. Used in a cutting apparatus comprising: a cooling water nozzle; and a cutting water nozzle that is attached to the wheel cover so that the position and angle thereof can be adjusted, and that supplies cutting water from the outer peripheral direction of the cutting blade toward the cutting blade.
A nozzle adjustment jig for adjusting the position of the cutting water nozzle in a state where the wheel cover is removed from the spindle housing,
The nozzle adjustment jig is
A fixing portion having a portion that fits into the opening of the wheel cover;
A cutting water nozzle positioning portion for adjusting the height and angle of the cutting water nozzle,
The position of the cutting water nozzle is adjusted by bringing the cutting water nozzle into contact with the upper surface of the cutting water nozzle positioning portion in a state where the fixing portion is fitted to the opening of the wheel cover. Nozzle adjustment jig.
前記切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部を有し、
前記固定部を前記ホイールカバーの開口部に嵌合させた状態で、前記切削水ノズルを該切削水ノズル位置決め部の上面に当接させることで該切削水ノズルの位置を調整する、
請求項1に記載のノズル調整治具。 The nozzle adjustment jig is
A cutting water nozzle positioning part for adjusting the height and angle of the cutting water nozzle;
In a state where the fixed portion is fitted to the opening of the wheel cover, the cutting water nozzle is adjusted to contact the upper surface of the cutting water nozzle positioning portion to adjust the position of the cutting water nozzle.
The nozzle adjustment jig according to claim 1.
請求項1又は3に記載のノズル調整治具。 The cooling water nozzle positioning part can adjust a position with respect to the fixed part,
The nozzle adjustment jig according to claim 1 or 3.
請求項2、3、又は4に記載のノズル調整治具。 The cutting water nozzle positioning part can adjust the position with respect to the fixed part,
The nozzle adjustment jig according to claim 2, 3, or 4.
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