JP2018069421A - Cutting device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、一般的に切削装置に関し、特に、切削ブレードを挟持するマウントフランジ及び着脱フランジの端面を容易に識別可能な切削装置に関する。 The present invention generally relates to a cutting device, and more particularly to a cutting device that can easily identify end faces of a mount flange and a detachable flange that sandwich a cutting blade.
表面にＩＣ、ＬＳＩ等の電子回路が複数形成された半導体ウェーハや、電子部品、光学部品に使用される樹脂基板、ガラス基板、各種セラミックス基板等の被加工物は、切削装置によって個々のチップに分割され、分割されたチップは各種電子機器に広く利用されている。 Workpieces such as semiconductor wafers with multiple electronic circuits such as IC and LSI on the surface, resin substrates, glass substrates, and various ceramic substrates used for electronic components and optical components are placed on individual chips using a cutting machine. The divided chips are widely used in various electronic devices.
切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とを具備しており、切削手段は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Ｃｕｂｉｃ Ｂｏｒｏｎ Ｎｉｔｒｉｄｅ）等の超砥粒を金属や樹脂等で固めた砥石部（切り刃）を有する切削ブレードと、切削ブレードを高速回転させるスピンドルとを備えている。 The cutting apparatus includes a chuck table for holding a workpiece and a cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table. The cutting means is made of diamond, CBN (Cubic Boron Nitride), or the like. A cutting blade having a grindstone portion (cutting blade) in which abrasive grains are hardened with metal, resin, or the like, and a spindle that rotates the cutting blade at a high speed are provided.
切削ブレードはマウントフランジ（装着フランジ）を介してスピンドルの先端に装着され、例えば３００００ｒｐｍ等の高速で切削ブレードが回転しつつ被加工物へ切り込むことで切削が遂行される。 The cutting blade is mounted on the tip of the spindle via a mount flange (mounting flange), and cutting is performed by cutting into the workpiece while the cutting blade rotates at a high speed of, for example, 30000 rpm.
切削ブレードには二つのタイプがあり、ハブブレードと呼ばれる円盤状基台の外周に円環状の砥石（切り刃）が配設された切削ブレードは、スピンドルの先端に着脱可能に装着されたマウントフランジに装着されてナットで固定される。 There are two types of cutting blades. A cutting blade with an annular grindstone (cutting blade) on the outer periphery of a disk-shaped base called a hub blade is a mount flange that is detachably mounted on the tip of the spindle. And fixed with nuts.
また、ワッシャーブレードと呼ばれる円環状に成形された全体が砥石部からなる切削ブレードは、マウントフランジと着脱フランジとで挟持された状態でスピンドルの先端にナットで固定される。 In addition, a cutting blade formed entirely in a circular shape called a washer blade, which is composed of a grindstone, is fixed to the tip of the spindle with a nut while being sandwiched between a mount flange and a detachable flange.
より詳細には、マウントフランジ及び着脱フランジの外周には切削ブレードを挟持するための環状凸部が形成され、切削ブレードはマウントフランジ及び着脱フランジの環状凸部によって挟持されて固定される。 More specifically, annular protrusions for sandwiching the cutting blade are formed on the outer periphery of the mount flange and the detachable flange, and the cutting blade is sandwiched and fixed by the annular protrusions of the mount flange and the detachable flange.
環状凸部の切削ブレードに接する端面は、使用を継続すると磨耗していくため、加工品質に悪影響を及ぼす。そのため、通常ある程度使用した後、マウントフランジ及び着脱フランジの環状凸部の端面を修正治具で修正している（例えば、特許文献１〜３参照）。 Since the end surface of the annular convex portion in contact with the cutting blade is worn with continued use, the processing quality is adversely affected. For this reason, after use to some extent, the end faces of the annular convex portions of the mount flange and the detachable flange are corrected with a correction jig (see, for example, Patent Documents 1 to 3).
マウントフランジ及び着脱フランジは通常ステンレス鋼（ＳＵＳ）により形成されているため、環状凸部の端面と環状凸部により囲繞された凹部との境界が認識しづらく、必要以上に環状凸部の端面修正をしてしまうという問題がある。 Since the mounting flange and the detachable flange are usually made of stainless steel (SUS), it is difficult to recognize the boundary between the end surface of the annular convex portion and the concave portion surrounded by the annular convex portion, and the end surface of the annular convex portion is corrected more than necessary. There is a problem of doing.
必要以上に環状凸部の端面修正をしてしまうと、切削ブレードをマウントフランジと着脱フランジとで挟持することができなくなり、その状態で切削ブレードを回転すると、切削ブレードは空転し、最終的には切削ブレードが破損してしまう恐れがある。 If the end face of the annular convex part is corrected more than necessary, the cutting blade cannot be sandwiched between the mount flange and the detachable flange, and if the cutting blade is rotated in that state, the cutting blade will idle and eventually May damage the cutting blade.
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、マウントフランジ及び着脱フランジの環状凸部の端面と、環状凸部に囲繞された凹部との境界を容易に認識することができ、必要以上に環状凸部の端面修正をしてしまうことを防止可能な切削装置を提供することである。 The present invention has been made in view of the above points, and the object of the present invention is to facilitate the boundary between the end surface of the annular convex portion of the mount flange and the detachable flange and the concave portion surrounded by the annular convex portion. It is possible to provide a cutting device that can be recognized and can prevent the end face of the annular protrusion from being corrected more than necessary.
本発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削ブレードを装着した切削手段と、を備えた切削装置であって、該切削手段は、スピンドルと、該スピンドルの先端に装着され該切削ブレードが装着されるマウントフランジと、該マウントフランジに装着された該切削ブレードを該マウントフランジと挟持する着脱フランジと、該着脱フランジを該マウントフランジに固定する固定ナットと、を含み、該マウントフランジ及び該着脱フランジの外周には、該切削ブレードを挟持するための環状凸部がそれぞれ形成されており、該マウントフランジ及び該着脱フランジの該環状凸部で囲繞された面には凹部が形成されており、該凹部には該環状凸部を識別するための識別処理が施されていることを特徴とする切削装置が提供される。 According to the present invention, there is provided a cutting apparatus comprising: a chuck table that holds a workpiece; and a cutting means that is equipped with a cutting blade that cuts the workpiece held on the chuck table. Includes a spindle, a mount flange attached to the tip of the spindle and to which the cutting blade is attached, an attachment / detachment flange for sandwiching the cutting blade attached to the mount flange with the mount flange, and the attachment / detachment flange to the mount An annular projection for holding the cutting blade is formed on the outer periphery of the mount flange and the detachable flange, respectively. A concave portion is formed on the surface surrounded by the annular convex portion, and an identification process for identifying the annular convex portion is formed in the concave portion. Cutting device is provided, wherein a is applied.
好ましくは、前記識別処理は、サンドブラスト処理又は着色処理である。好ましくは、識別処理は、マウントフランジ及び着脱フランジの環状凸部に囲繞される凹部の全体に施される。 Preferably, the identification process is a sandblasting process or a coloring process. Preferably, the identification process is performed on the entire concave portion surrounded by the annular convex portions of the mount flange and the detachable flange.
本発明の切削装置では、マウントフランジ及び着脱フランジの環状凸部に囲繞された凹部に環状凸部の端面を識別するための識別処理を施すようにしたので、マウントフランジ及び着脱フランジの端面の境界を容易に認識することができ、必要以上に環状凸部の端面を修正してしまうことを防止することができる。 In the cutting apparatus according to the present invention, since the concave portion surrounded by the annular convex portions of the mount flange and the detachable flange is subjected to identification processing for identifying the end surfaces of the annular convex portions, the boundary between the end surfaces of the mount flange and the detachable flange is provided. Can be easily recognized, and it is possible to prevent the end face of the annular protrusion from being modified more than necessary.
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係る切削装置２の外観斜視図が示されている。切削装置２の機構部は、複数のパネルを組み合わせて形成されたハウジング４内に収容されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Referring to FIG. 1, an external perspective view of a cutting device 2 according to an embodiment of the present invention is shown. The mechanical part of the cutting device 2 is accommodated in a housing 4 formed by combining a plurality of panels.
６はチャックテーブルであり、回転可能且つＸ軸方向に移動可能に構成されている。チャックテーブル６には、良く知られているようにダイシングテープを介してウェーハを支持する環状フレームをクランプする複数のクランプ８が配設されている。 A chuck table 6 is configured to be rotatable and movable in the X-axis direction. As is well known, the chuck table 6 is provided with a plurality of clamps 8 for clamping an annular frame that supports the wafer via a dicing tape.
切削装置２は、Ｙ軸方向に整列して配設された第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２を有している。第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２ともＹ軸方向に伸長するガイドレール１４に案内されてＹ軸方向に移動可能であると共に、Ｚ軸方向（高さ方向）にも移動可能に配設されている。 The cutting device 2 includes a first cutting unit 10 and a second cutting unit 12 that are arranged in alignment in the Y-axis direction. Both the first cutting unit 10 and the second cutting unit 12 are guided by a guide rail 14 extending in the Y-axis direction and can be moved in the Y-axis direction, and can also be moved in the Z-axis direction (height direction). Has been.
１６は内部に複数枚のウェーハを収容したカセットを載置するカセット載置台であり、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に構成されている。１８は切削装置２の稼働状況を表示する表示ランプであり、切削装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。 Reference numeral 16 denotes a cassette mounting table for mounting a cassette containing a plurality of wafers therein, and is configured to be movable in the vertical direction (Z-axis direction). Reference numeral 18 denotes a display lamp for displaying the operating status of the cutting device 2, which lights up in green when the cutting device 2 is operating normally, and flashes red when some failure occurs.
２０はタッチパネル式の表示モニタであり、オペレータが装置の操作指令を入力できると共に、装置の稼働状況が表示モニタ２０上に表示される。２２，２４は非常停止ボタンであり、作業者がこの非常停止ボタン２２，２４を押すと切削装置２の作動を直ちに停止することができる。 Reference numeral 20 denotes a touch panel display monitor, which allows an operator to input an operation command for the apparatus and displays the operating status of the apparatus on the display monitor 20. 22 and 24 are emergency stop buttons. When the operator presses the emergency stop buttons 22 and 24, the operation of the cutting apparatus 2 can be stopped immediately.
図２を参照すると、第１切削ユニット１０の分解斜視図が示されている。第１切削ユニット１０は、スピンドルハウジング２６中に回転可能に収容され、図示しないモータにより回転駆動される第１スピンドル２８を含んでいる。第１スピンドル２８にはマウントフランジ３０が装着されている。 Referring to FIG. 2, an exploded perspective view of the first cutting unit 10 is shown. The first cutting unit 10 includes a first spindle 28 that is rotatably accommodated in a spindle housing 26 and is rotationally driven by a motor (not shown). A mount flange 30 is attached to the first spindle 28.
マウントフランジ３０は、ボス部３２と、ボス部３２と一体的に形成されたフランジ部３４とから構成される。フランジ部３４の外周には環状凸部３６が形成されており、切削ブレード（ワッシャーブレード）４２に当接して切削ブレード４２を支持する環状凸部３６の端面３６ａはボス部３２側に向いており、環状凸部３６に囲繞されるフランジ部３４には凹部３７が形成されている。 The mount flange 30 includes a boss portion 32 and a flange portion 34 formed integrally with the boss portion 32. An annular convex portion 36 is formed on the outer periphery of the flange portion 34, and an end surface 36 a of the annular convex portion 36 that contacts the cutting blade (washer blade) 42 and supports the cutting blade 42 faces the boss portion 32 side. A concave portion 37 is formed in the flange portion 34 surrounded by the annular convex portion 36.
凹部３７には、環状凸部３６の端面３６ａを凹部３７から識別するために、識別処理３９が施されている。フランジ部３４の環状凸部３６は、通常ステンレス鋼（ＳＵＳ）から形成されており、金属光沢を有している。 The concave portion 37 is subjected to an identification process 39 in order to identify the end surface 36 a of the annular convex portion 36 from the concave portion 37. The annular convex portion 36 of the flange portion 34 is usually made of stainless steel (SUS) and has a metallic luster.
従って、本実施形態のマウントフランジ３０では、環状凸部３６の端面３６ａと凹部３７との境界を識別するために、凹部３７に識別処理３９が施されている。識別処理３９は、凹部３７と環状凸部３６の端面３６ａとの境界を識別し易くするために、例えばサンドブラスト処理、又は端面３６ａの金属光沢と相違する着色処理から構成される。 Therefore, in the mount flange 30 of the present embodiment, the identification process 39 is performed on the concave portion 37 in order to identify the boundary between the end surface 36 a of the annular convex portion 36 and the concave portion 37. The identification process 39 includes, for example, a sandblasting process or a coloring process different from the metallic luster of the end surface 36a in order to easily identify the boundary between the concave portion 37 and the end surface 36a of the annular convex portion 36.
マウントフランジ３０のボス部３２には雄ねじ３８が形成されている。マウントフランジ３０を第１スピンドル２８の先端部に嵌合した後、ナット４０を第１スピンドル２８の先端に形成されたねじ穴に螺合して締め付けることにより、マウントフランジ３０は第１スピンドル２８に着脱可能に固定される。 A male screw 38 is formed on the boss portion 32 of the mount flange 30. After fitting the mount flange 30 to the tip of the first spindle 28, the nut 40 is screwed into a screw hole formed at the tip of the first spindle 28 and tightened, whereby the mount flange 30 is attached to the first spindle 28. Removably fixed.
４２はその全体がダイヤモンド砥粒をニッケルメッキで電着して固定したワッシャータイプの切削ブレード（ワッシャーブレード）であり、全体が砥石部（切り刃）で形成されている。 42 is a washer-type cutting blade (washer blade) which is formed by electrodepositing diamond abrasive grains by nickel plating, and is entirely formed by a grindstone portion (cutting blade).
切削ブレード４２をマウントフランジ３０に装着するには、切削ブレード４２をマウントフランジ３０のボス部３２に挿入し、その外側から着脱フランジ４４をマウントフランジ３０のボス部３２に挿入して、マウントフランジ３０と着脱フランジ４４とで切削ブレード４２を挟持し、ナット５０をマウントフランジ３０のボス部３２に形成された雄ねじに螺合して締め付けることにより、切削ブレード４２がマウントフランジ３０と着脱フランジ４４とで挟持されてマウントフランジ３０に装着される。 In order to attach the cutting blade 42 to the mount flange 30, the cutting blade 42 is inserted into the boss portion 32 of the mount flange 30, and the detachable flange 44 is inserted into the boss portion 32 of the mount flange 30 from the outside, thereby mounting the mount flange 30. The cutting blade 42 is sandwiched between the mounting flange 30 and the mounting flange 30 by tightening the nut 50 with the male screw formed on the boss portion 32 of the mounting flange 30. It is clamped and attached to the mount flange 30.
図３に示すように、着脱フランジ４４はその外周に環状凸部４６を有しており、環状凸部４６は、マウントフランジ３０のボス部３２に挿入された切削ブレード４２に接触してマウントフランジ３０の端面３６ａと共働して切削ブレード４２を挟持する端面４６ａを有している。 As shown in FIG. 3, the detachable flange 44 has an annular convex portion 46 on the outer periphery thereof, and the annular convex portion 46 comes into contact with the cutting blade 42 inserted into the boss portion 32 of the mount flange 30 to mount the mount flange. 30 has an end face 46a that cooperates with the end face 36a of 30 and sandwiches the cutting blade 42.
着脱フランジ４４も一般的にステンレス鋼（ＳＵＳ）から形成されているため、環状凸部４６の端面４６ａは金属光沢を有している。着脱フランジ４４は、環状凸部４６に囲繞された凹部４７を有しており、凹部４７には環状凸部４６の端面４６ａとの境界を識別しやすくするために、識別処理４９が施されている。 Since the detachable flange 44 is also generally made of stainless steel (SUS), the end face 46a of the annular convex portion 46 has a metallic luster. The detachable flange 44 has a concave portion 47 surrounded by the annular convex portion 46, and the concave portion 47 is subjected to an identification process 49 for easy identification of the boundary with the end surface 46 a of the annular convex portion 46. Yes.
識別処理４９は、マウントフランジ３０の端面３７に形成された識別処理３９と同様に、サンドブラスト処理、又は着色処理から構成される。着脱フランジ４４は、着脱フランジ４４をマウントフランジ３０のボス部３２に挿入するための装着穴４８を有している。 Similar to the identification process 39 formed on the end surface 37 of the mount flange 30, the identification process 49 includes a sandblast process or a coloring process. The detachable flange 44 has a mounting hole 48 for inserting the detachable flange 44 into the boss portion 32 of the mount flange 30.
図４を参照すると、切削ブレード４２をマウントフランジ３０の端面３６ａと着脱フランジ４４の端面４６ａとで挟持してマウントフランジ３０に固定した状態の拡大断面図が示されている。 Referring to FIG. 4, there is shown an enlarged cross-sectional view of a state in which the cutting blade 42 is sandwiched between the end surface 36 a of the mount flange 30 and the end surface 46 a of the detachable flange 44 and fixed to the mount flange 30.
マウントフランジ３０の端面３６ａ及び着脱フランジ４４の端面４６ａは切削ブレード４２に接触して被加工物の切削が実施されるため、使用を継続すると磨耗するので、被加工物の加工品質に悪影響を及ぼす。そのため、通常ある程度使用した後、マウントフランジ３０及び着脱フランジ４４の端面修正を行う必要がある。 Since the end surface 36a of the mount flange 30 and the end surface 46a of the detachable flange 44 come into contact with the cutting blade 42 and the workpiece is cut, the workpiece wears with continued use, which adversely affects the processing quality of the workpiece. . Therefore, it is necessary to correct the end faces of the mount flange 30 and the detachable flange 44 after being used to some extent normally.
この端面修正は、切削装置のチャックテーブルで研削チップを有するフランジ端面修正治具を保持し、マウントフランジ３０については、マウントフランジ３０をスピンドル２８の先端部に装着した状態で研削チップにより環状凸部３６の端面３６ａを研削することにより実施する。 In this end face correction, a flange end face correction jig having a grinding tip is held by a chuck table of a cutting apparatus. For the mount flange 30, an annular convex portion is formed by a grinding tip in a state where the mount flange 30 is mounted on the tip end portion of the spindle 28. This is done by grinding the end face 36a of 36.
着脱フランジ４４の端面修正では、切削ブレード４２をマウントフランジ４０から取り外した後、着脱フランジ４４の環状凸部４６の端面４６ａが外側（手前側）に向くように着脱フランジ４４を反転してマウントフランジ３０のボス部３２に装着し、固定ねじ５０で着脱フランジ４４を固定する。この状態で、チャックテーブル６に保持されたフランジ端面修正治具の研削チップで着脱フランジ４４の端面４６ａを研削して端面修正を実施する。 In the end face modification of the attachment / detachment flange 44, after the cutting blade 42 is removed from the mount flange 40, the attachment flange 44 is inverted so that the end face 46a of the annular convex portion 46 of the attachment / detachment flange 44 faces outward (front side). It attaches to the boss | hub part 32 of 30, and the attachment / detachment flange 44 is fixed with the fixing screw 50. FIG. In this state, the end face 46a of the detachable flange 44 is ground by the grinding tip of the flange end face correcting jig held on the chuck table 6 to perform end face correction.
上述した実施形態の切削装置２では、マウントフランジ３０及び着脱フランジ４４の環状凸部３６，４６で囲繞された凹部３７，４７に環状凸部３６，４６の端面３６ａ及び４６ａを識別するための識別処理が施されているので、マウントフランジ３０及び着脱フランジ４４の端面３６ａ，４６ａを容易に識別することができ、必要以上に環状凸部３６，４６の端面３６ａ及び４６ａを修正してしまうことを防止することができる。 In the cutting device 2 of the above-described embodiment, the identification for identifying the end surfaces 36a and 46a of the annular convex portions 36 and 46 in the concave portions 37 and 47 surrounded by the annular convex portions 36 and 46 of the mount flange 30 and the detachable flange 44 is provided. Since the processing is performed, the end surfaces 36a and 46a of the mount flange 30 and the detachable flange 44 can be easily identified, and the end surfaces 36a and 46a of the annular protrusions 36 and 46 are corrected more than necessary. Can be prevented.
８ チャックテーブル
１０ 第１切削ユニット
１２ 第２切削ユニット
２８ 第１スピンドル
３０ マウントフランジ
３２ ボス部
３４ フランジ部
３６ 環状凸部
３６ａ 端面
３７ 凹部
３９ 識別処理
４２ 切削ブレード（ワッシャーブレード）
４４ 着脱フランジ
４６ 環状凸部
４６ａ 端面
４７ 凹部
４９ 識別処理
8 chuck table 10 first cutting unit 12 second cutting unit 28 first spindle 30 mount flange 32 boss portion 34 flange portion 36 annular convex portion 36a end surface 37 concave portion 39 identification process 42 cutting blade (washer blade)
44 Detachable flange 46 Annular convex part 46a End face 47 Concave part 49 Identification process
Claims (4)
該切削手段は、スピンドルと、
該スピンドルの先端に装着され該切削ブレードが装着されるマウントフランジと、
該マウントフランジに装着された該切削ブレードを該マウントフランジと挟持する着脱フランジと、
該着脱フランジを該マウントフランジに固定する固定ナットと、を含み、
該マウントフランジ及び該着脱フランジの外周には、該切削ブレードを挟持するための環状凸部がそれぞれ形成されており、
該マウントフランジ及び該着脱フランジの該環状凸部で囲繞された面には凹部が形成されており、該凹部には該環状凸部を識別するための識別処理が施されていることを特徴とする切削装置。 A cutting apparatus comprising: a chuck table for holding a workpiece; and a cutting means equipped with a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table.
The cutting means includes a spindle,
A mount flange mounted on the tip of the spindle and mounted with the cutting blade;
A detachable flange for holding the cutting blade mounted on the mount flange with the mount flange;
A fixing nut for fixing the detachable flange to the mount flange,
On the outer circumferences of the mount flange and the detachable flange, annular protrusions for sandwiching the cutting blade are formed, respectively.
A concave portion is formed on a surface surrounded by the annular convex portion of the mount flange and the detachable flange, and the concave portion is subjected to an identification process for identifying the annular convex portion. Cutting device to do.
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