JP2017135573A - 圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態における圧電デバイスは、図1及び図2に示されているように、パッケージ110と、パッケージ110の上面に接合された水晶素子120とを含んでいる。パッケージ110は、基板110aの上面と枠体110bの内側面によって囲まれた第一凹部K1が形成されている。また、基板110aの下面と実装基体160の内側面によって囲まれた第二凹部K2が形成されている。このような圧電デバイスは、電子機器等で使用する基準信号を出力するのに用いられる。
本実施形態の圧電デバイスの製造方法について、図6〜図8を用いて説明する。本実施形態の圧電デバイスの製造方法は、実装領域Mと捨代領域Cが平面視して互い違いになるように配置されたシート基板Sを準備するシート基板準備工程と(図6)、金型治具Jにより、実装基体個片化工程は、金型治具Jにより、捨代領域Cを打ち抜くことで実装基体160を個片化する実装基体形成工程と(図8(a))、基板110aの上面に実装された圧電素子120を有する圧電部品を実装基体160に実装する圧電部品実装工程(図8(b)及び図8(c))とを含んでいる。
シート基板準備工程は、図6に示すように、実装領域Mと捨代領域Cが平面視して互い違いになるように配置されたシート基板Sを準備する工程である。シート基板Sは、貫通孔Hを有する複数の実装基体160となる実装領域Mと、隣り合う実装基体160となる実装領域Mの間に設けられた捨代領域Cを有している。
実装基体個片化工程は、図8(a)に示すように、金型治具Jにより、捨代領域Cを切断し、実装領域Mを切り離すことで実装基体160を個片化する工程である。実装基体個片化工程は、シート基板Sに金型治具Jを押圧し、実装基体160が金型治具の貫通穴T内に入り込むようして捨代領域Cを切断することで、実装基体160を個片化する。
圧電部品実装工程は、図8(b)及び図8(c)に示すように、基板110aの上面に実装された圧電素子120を有する圧電部品100を実装基体160に実装する工程である。圧電部品100は、基板110a及び枠体110bにより構成されたパッケージ110と、基板110aの上面に実装された水晶素子120と、水晶素子120を気密封止するために枠体110bに接合された蓋体130と、を有している。
絶縁性樹脂形成工程は、図8(d)に示すように、貫通孔H内に絶縁性樹脂180を形成する工程である。絶縁性樹脂180の形成方法は、未硬化状態の絶縁性樹脂180を貫通孔H内に塗布し、貫通孔H内に充填される。つまり、導電性接着剤180は、第二凹部K2内に塗布され、第二凹部K2内に充填される。充填は、例えば、ディスペンサによって行われる。その後、常温の雰囲気によって、又は、リフロー炉等による加熱によって、絶縁性樹脂180は硬化される。
以下、本実施形態の第一変形例における圧電デバイスの製造方法について説明する。なお、本実施形態の第二変形例における圧電デバイスのうち、上述した圧電デバイスと同様な部分については、同一の符号を付して適宜説明を省略する。本実施形態の第一変形例における圧電デバイスの製造方法は、図6及び図9に示されているように、金型治具により、捨代領域Cを打ち抜き、圧電部品100を実装した状態で実装領域Mを切断することで実装基体160を分割する点において、実施形態と異なる。
シート基板準備工程は、図6に示すように、実装領域Mと捨代領域Cが平面視して互い違いになるように配置されたシート基板Sを準備する工程である。シート基板Sは、貫通孔Hを有する複数の実装基体160となる実装領域Mと、隣り合う実装基体160となる実装領域Mの間に設けられた捨代領域Cを有している。
圧電部品実装工程は、図9(a)及び図9(b)に示すように,基板110aの上面に実装された圧電素子120を有する圧電部品100を実装領域Mに実装する工程である。圧電部品100は、基板110a及び枠体110bにより構成されたパッケージ110と、基板110aの上面に実装された水晶素子120と、水晶素子120を気密封止するために枠体110bに接合された蓋体130とを有している。
実装基体個片化工程は、図9(c)に示すように、金型治具Jにより、捨代領域Cを切断し、圧電部品100を実装した状態の実装領域Mを切り離すことで実装基体160を個片化する工程である。実装基体個片化工程は、シート基板Sに金型治具Jを押圧し、実装基体160が金型治具の貫通穴T内に入り込むようして捨代領域Cを切断することで、実装基体160を個片化する。
絶縁性樹脂形成工程は、図9(d)に示すように、貫通孔H内に絶縁性樹脂180を形成する工程である。絶縁性樹脂180の形成方法は、未硬化状態の絶縁性樹脂180を貫通孔H内に塗布し、貫通孔H内に充填される。つまり、導電性接着剤180は、第二凹部K2内に塗布され、第二凹部K2内に充填される。充填は、例えば、ディスペンサによって行われる。その後、常温の雰囲気によって、又は、リフロー炉等による加熱によって、絶縁性樹脂180は硬化される。
110a・・・基板
110b・・・枠体
111・・・電極パッド
112・・・接合端子
113・・・配線パターン
114・・・ビア導体
117・・・封止用導体パターン
120・・・水晶素子
121・・・水晶素板
122・・・励振用電極
123・・・引き出し電極
130・・・蓋体
131・・・接合部材
140・・・導電性接着剤
160・・・実装基体
161・・・接合パッド
162・・・外部端子
163・・・導体部
170・・・導電性接合材
180・・・絶縁性樹脂
K1・・・第一凹部
K2・・・第二凹部
S・・・シート基板
M・・・実装領域
C・・・捨代領域
J・・・金型治具
H・・・貫通孔
T・・・貫通穴
Claims (8)
- 実装領域と捨代領域が平面視して互い違いになるように配置されたシート基板を準備するシート基板準備工程と、
金型治具により、前記捨代領域を切断し、前記実装領域を切り離すことで実装基体を個片化する実装基体個片化工程と、
基板の上面に実装された圧電素子を有する圧電部品を前記実装基体に実装する圧電部品実装工程と、を含む圧電デバイスの製造方法。 - 請求項1記載の圧電デバイスの製造方法であって、
前記シート基板準備工程で、前記実装領域に貫通孔が設けられていることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 請求項1記載の圧電デバイスの製造方法であって、
前記貫通孔内に絶縁性樹脂を形成する絶縁性樹脂形成工程を備えていることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 請求項3記載の圧電デバイスの製造方法であって、
前記絶縁性樹脂形成工程の際に、前記基板の下面と前記実装基体の上面との間に絶縁性樹脂が形成されていることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 実装領域と捨代領域が平面視して互い違いになるように配置されたシート基板を準備するシート基板準備工程と、
基板の上面に実装された圧電素子を有する圧電部品を前記実装領域に実装する圧電部品実装工程と、
金型治具により、前記捨代領域を切断し、前記圧電部品を実装した状態の前記実装領域を切り離すことで実装基体を個片化する実装基体分割工程と、
を含む圧電デバイスの製造方法。 - 請求項5記載の圧電デバイスの製造方法であって、
前記シート基板準備工程で、前記実装領域に貫通孔が設けられていることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 請求項6記載の圧電デバイスの製造方法であって、
前記貫通孔内に絶縁性樹脂を形成する絶縁性樹脂形成工程を備えていることを特徴とデバイスの製造方法。 - 請求項7記載の圧電デバイスの製造方法であって、
前記絶縁性樹脂形成工程の際に、前記基板の下面と前記実装基体の上面との間に絶縁性樹脂が形成されていることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
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WO2021220542A1 (ja) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子 |
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