JP2017116569A - 液晶装置の製造方法、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】多孔質層の面上に超薄膜の配向層を形成することによって、焼き付きの発生を抑制した液晶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】一対の基板間に液晶層が挟持された液晶装置の製造方法であって、一対の基板の少なくとも一方の液晶層と対向する側の面に、有機シラン化合物からなる配向層40と、配向層40の下層に設けられた多孔質層41と、を形成する際に、多孔質層41の面上に有機シラン化合物を含む気体を気相反応させることによって、多孔質層41の面上に多孔質層41内にある空孔42の孔径よりも小さい厚みの配向層40を形成する。
【選択図】図5
【解決手段】一対の基板間に液晶層が挟持された液晶装置の製造方法であって、一対の基板の少なくとも一方の液晶層と対向する側の面に、有機シラン化合物からなる配向層40と、配向層40の下層に設けられた多孔質層41と、を形成する際に、多孔質層41の面上に有機シラン化合物を含む気体を気相反応させることによって、多孔質層41の面上に多孔質層41内にある空孔42の孔径よりも小さい厚みの配向層40を形成する。
【選択図】図5
Description
本発明は、液晶装置の製造方法、及び電子機器に関する。
近年、ディスプレイ用途の液晶表示素子(液晶装置)において、デジタルサイネージ(電子看板)用途の拡大に伴い、耐光性寿命の向上が望まれている。
液晶表示素子には、液晶の配向を制御する配向層が必要である。配向層として、例えば、特許文献1及び特許文献2には、多孔質層(斜方蒸着法で形成された無機配向膜)の上に、有機シラン化合物からなる配向層を形成することが開示されている。有機シラン化合物からなる配向層の製造方法としては、例えば、気相反応を用いることができる。
具体的には、成膜室の中に無機配向膜が形成された基板を入れ、更に、成膜室に気化させた有機シラン化合物及び水分を供給して、無機配向膜の表面の水酸基と有機シラン化合物とを反応させて化学結合させる。このように、気相反応を用いて、無機配向膜の表面に配向層を形成することができる。
しかしながら、無機配向膜の表面に有機シラン化合物をたくさん形成しようとすると、未反応の有機シラン化合物が堆積することとなり、無機配向膜におけるnmオーダーのカラム間の空隙は、有機シラン化合物によって埋まってしまうことがある。これにより、液晶分子にプレチルト角が生じなくなる場合があり、液晶層の配向不良を引き起こす。この結果、表示不良として視認されることがあり、焼き付きが発生するという課題がある。
本発明の一つの態様は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、多孔質層の面上に超薄膜の配向層を形成することによって、焼き付きの発生を抑制した液晶装置の製造方法、液晶装置、及び電子機器を提供することを目的の一つとする。
本発明の一つの態様に係る液晶装置の製造方法は、一対の基板間に液晶層が挟持された液晶装置の製造方法であって、前記一対の基板の少なくとも一方の前記液晶層と対向する側の面に、有機シラン化合物からなる配向層と、前記配向層の下層に設けられた多孔質層と、を形成する際に、前記多孔質層の面上に前記有機シラン化合物を含む気体を気相反応させることによって、前記多孔質層の面上に前記多孔質層内にある空孔の孔径よりも小さい厚みの前記配向層を形成することを特徴とする。
この製造方法によれば、多孔質層内にある空孔の孔径よりも小さい厚みとなる配向層を形成するので、気相反応させた有機シラン化合物を多孔質層の表面(例えば、水酸基)と化学結合させることが可能となり、未反応の有機シラン化合物が多孔質層の表面に堆積することを抑えることができる。これにより、多孔質層の面上に超薄膜の配向層を形成でき、製造された液晶装置の焼き付きの発生を抑制することができる。
また、上記製造方法において、多孔質層を斜方蒸着法で形成することが好ましい。
この製造方法によれば、多孔質層を簡易な方法で形成することができる。
また、上記製造方法において、配向層の平均厚みを、1〜10nmとすることが好ましい。
この製造方法によれば、有機シラン化合物を含む配向層を超薄膜で形成することから、製造された液晶装置の焼き付き抑制の効果を得ることができる。
また、上記製造方法において、空孔の平均孔径を、2〜50nmとすることが好ましい。
この製造方法によれば、配向層による液晶層の配向制御に悪影響を与えることなく、気化された有機シラン化合物を多孔質層の表面(例えば、水酸基)と化学結合させることが可能となり、未反応の有機シラン化合物が多孔質層の表面に堆積することを抑えることができる。
また、上記製造方法において、多孔質層として、SiO2、SnO2、GeO2、ZrO2、TiO2、Al2O3、ITOの中から選ばれる無機酸化膜を形成することが好ましい。
この製造方法によれば、耐光性寿命の向上を図りつつ、配向層に含まれる有機シラン化合物を無機酸化膜に強固に固定することができる。
また、上記製造方法において、前記配向層を形成する前及び後のうち、少なくとも一方にIPA(イソプロピルアルコール)洗浄を行うことが好ましい。
この製造方法によれば、多孔質層の表面に付着した残渣(未反応の有機シラン化合物など)を基板の表面から除去することができる。
本発明の一つの態様に係る電子機器は、前記何れかの方法を用いて製造された液晶装置を備えることを特徴とする。
この構成によれば、焼き付きの発生を抑制した液晶装置を備える電子機器を提供することが可能である。
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせてある。
(第1実施形態)
[液晶装置]
先ず、本発明の一実施形態に係る液晶装置について、図1〜図4を参照して説明する。
本実施形態の液晶装置は、スイッチング素子としてTFT(Thin Film Transistor)素子を用いたアクティブマトリクス方式の透過型液晶装置である。
[液晶装置]
先ず、本発明の一実施形態に係る液晶装置について、図1〜図4を参照して説明する。
本実施形態の液晶装置は、スイッチング素子としてTFT(Thin Film Transistor)素子を用いたアクティブマトリクス方式の透過型液晶装置である。
なお、図1は、本実施形態の透過型液晶装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に配置された複数の画素におけるスイッチング素子、信号線等の等価回路図である。図2は、データ線、走査線、画素電極等が形成されたTFTアレイ基板の相隣接する複数の画素群の構造を示す平面図である。図3は、本実施形態の透過型液晶装置について素子領域の断面図であって、図2中に示すA−A’線断面図である。図4は、本実施形態の透過型液晶装置について複数の画素領域を模式的に示す断面図である。また、図3及び図4においては、紙面上側が光入射側、紙面下側が視認側(観察者側)である場合について図示している。また、図4では、スイッチング素子等の一部の構成要素を図面の視認性を考慮して省略してある。
本実施形態の透過型液晶装置は、図1に示すように、画像表示領域を構成するマトリクス状に配置された複数の画素を有している。各画素には、画素電極9と当該画素電極9への通電制御を行うためのスイッチング素子であるTFT素子30がそれぞれ形成されている。また、画像信号が供給されるデータ線6aがTFT素子30のソースに電気的に接続されている。データ線6aに書き込む画像信号S1、S2、…、Snは、この順に線順次に供給されるか、若しくは相隣接する複数のデータ線6aに対してグループ毎に供給される。
また、走査線3aがTFT素子30のゲートに電気的に接続されており、複数の走査線3aに対して走査信号G1、G2、…、Gmが所定のタイミングでパルス的に線順次で印加される。また、画素電極9は、TFT素子30のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるTFT素子30を一定期間だけオンすることにより、データ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snを所定のタイミングで書き込む。
画素電極9を介して液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、…、Snは、後述する共通電極との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能にする。ここで、保持された画像信号がリークすることを防止するために、画素電極9と共通電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量70が付加されている。
本実施形態の透過型液晶装置は、図2に示すように、TFTアレイ基板上に、インジウム錫酸化物(以下、ITOという。)等の透明導電性材料からなる矩形状の画素電極9(点線部9Aにより輪郭を示す)が、マトリクス状に複数並んで設けられている。また、各画素電極9の縦横の境界に各々沿って、データ線6a、走査線3a及び容量線3bが設けられている。本実施形態において、各画素電極9及び各画素電極9を囲むように配設されたデータ線6a、走査線3a及び容量線3b等が形成された領域が画素であり、マトリクス状に配置された各画素毎に表示を行うことが可能な構造になっている。
データ線6aは、TFT素子30を構成する、例えばポリシリコン膜からなる半導体層1aのうち、後述するソース領域にコンタクトホール5を介して電気的に接続されている。画素電極9は、半導体層1aのうち、後述するドレイン領域にコンタクトホール8を介して電気的に接続されている。また、半導体層1aのうち、後述するチャネル領域(図2中の左上がりの斜線の領域)に対向するように走査線3aが配置されている。走査線3aは、チャネル領域に対向する部分でゲート電極として機能する。
容量線3bは、走査線3aに沿って略直線状に伸びる本線部(すなわち、平面視で走査線3aに沿って形成された第1領域)と、データ線6aと交差する箇所からデータ線6aに沿って前段側(図2中の上向き)に突出した突出部(すなわち、平面視でデータ線6aに沿って延設された第2領域)とを有する。そして、図2中の右上がりの斜線で示した領域には、複数の第1遮光膜11aが設けられている。
本実施形態の透過型液晶装置は、図3及び図4に示すように、一対の基板であるTFTアレイ基板10とこれに対向配置される対向基板20と、の間に液晶層50が挟持されている。液晶層50は、初期配向状態が垂直配向を呈する誘電異方性が負の液晶からなる。なお、本実施形態の透過型液晶装置は、垂直配向モードの表示装置である。
TFTアレイ基板10は、例えば石英等の透光性材料からなる基板本体10Aと、その液晶層50側表面に形成された画素電極9及び配向層40とを主体として構成されている。対向基板20は、例えばガラスや石英等の透光性材料からなる基板本体20Aと、その液晶層50側表面に形成された共通電極21及び配向層60とを主体として構成されている。また、TFTアレイ基板10において、基板本体10Aの液晶層50側の表面(内面)には、画素電極9が設けられ、各画素電極9に隣接する位置に、各画素電極9をスイッチング制御するTFT素子30が設けられている。
TFT素子30は、LDD(Lightly Doped Drain)構造を有している。具体的には、走査線3aと、走査線3aからの電界によりチャネルが形成される半導体層1aのチャネル領域1a’と、走査線3a及び半導体層1aを絶縁するゲート絶縁膜2と、データ線6aと、半導体層1aの低濃度ソース領域1b及び低濃度ドレイン領域1c、半導体層1aの高濃度ソース領域1d及び高濃度ドレイン領域1eとを有している。
また、走査線3a及びゲート絶縁膜2を含む基板本体10Aの上には、高濃度ソース領域1dへと通じるコンタクトホール5、及び高濃度ドレイン領域1eへと通じるコンタクトホール8が開孔した第2層間絶縁膜4が形成されている。すなわち、データ線6aは、第2層間絶縁膜4を貫通するコンタクトホール5を介して高濃度ソース領域1dに電気的に接続されている。
さらに、データ線6a及び第2層間絶縁膜4を含む基板本体10Aの上には、高濃度ドレイン領域1eへと通じるコンタクトホール8が開孔した第3層間絶縁膜7が形成されている。すなわち、高濃度ドレイン領域1eは、第2層間絶縁膜4及び第3層間絶縁膜7を貫通するコンタクトホール8を介して画素電極9に電気的に接続されている。
また、本実施形態では、ゲート絶縁膜2を走査線3aに対向する位置から延設して誘電体膜として用い、半導体層1aを延設して第1蓄積容量電極1fとし、さらに、これらに対向する容量線3bの一部を第2蓄積容量電極とすることにより、蓄積容量70が構成されている。
TFTアレイ基板10の基板本体10Aの液晶層50側の表面(内面)のうち、各TFT素子30が形成された領域には、第1遮光膜11aが設けられている。第1遮光膜11aは、TFTアレイ基板10を透過し、TFTアレイ基板10の図示下面(TFTアレイ基板10と空気との界面)で反射されて、液晶層50側に戻る戻り光が、少なくとも半導体層1aのチャネル領域1a’及び低濃度ソース、ドレイン領域1b、1cに入射することを防止する。
また、第1遮光膜11aとTFT素子30との間には、TFT素子30を構成する半導体層1aを第1遮光膜11aから電気的に絶縁するための第1層間絶縁膜12が形成されている。
さらに、TFTアレイ基板10に第1遮光膜11aを設けるのに加えて、この第1遮光膜11aは、コンタクトホール13を介して前段又は後段の容量線3bに電気的に接続するように構成されている。
また、TFTアレイ基板10の液晶層50側、すなわち、画素電極9及び第3層間絶縁膜7上には、配向層40が形成されている。配向層40は、電圧無印加時における液晶層50内の液晶分子の配向を制御するものである。
一方、対向基板20において、基板本体20Aの液晶層50側の表面には、第2遮光膜23が設けられている。第2遮光膜23は、データ線6a、走査線3a、及びTFT素子30の形成領域に対向する領域、すなわち各画素部の開口領域以外の領域を覆うことによって、入射光がTFT素子30の半導体層1aのチャネル領域1a’や低濃度ソース領域1b、低濃度ドレイン領域1cに侵入することを防止する。
さらに、第2遮光膜23が形成された基板本体20Aの液晶層50側には、その略全面に亘って、例えばITO等からなる共通電極21が形成されている。また、共通電極21の液晶層50側には、配向層60が形成されている。配向層60は、電圧無印加時における液晶層50内の液晶分子の配向を制御するものである。
ここで、上記配向層40(60)の構造について、図5を参照して説明する。なお、図5は、上記配向層40(60)の構造を模式的に示す断面図である。なお、本実施形態では、TFTアレイ基板10側の配向層40と、対向基板20側の配向層60とが、互いに同一の構造を有する場合を例示している。したがって、図5では、配向層40を例に挙げて説明するものとする。
本実施形態の液晶装置は、図5に示すように、TFTアレイ基板10の液晶層50側の面に、有機シラン化合物からなる配向層40と、配向層40の下層に設けられた多孔質層41とを備えている。配向層40は、多孔質層41の表面に有機シラン化合物が堆積した状態で、多孔質層41の面上に多孔質層41間にある空孔42の空孔径よりも小さい厚みW1で形成されている。
多孔質層41は、無機酸化物からなる。無機酸化物としては、例えば、SiO2、SnO2、GeO2、ZrO2、TiO2、Al2O3、ITOなどを挙げることができる。
このうち、多孔質層41がSiO2、SnO2、GeO2、ZrO2、TiO2、Al2O3などの絶縁性の無機酸化物からなる場合には、この多孔質層41を第3層間絶縁膜7として用いることができる。
一方、多孔質層41がITOなどの導電性の無機酸化物からなる場合には、この多孔質層41を少なくとも電極の一部、すなわち画素電極9として用いることができる。この場合、画素電極9とは別に多孔質層41を形成する必要がなくなるため、コスト面で有利となる。
本実施形態では、多孔質層41は、無機酸化物からなる柱状の組織体(カラム)の間に空孔42(空孔径)が形成されたカラム構造である。カラム構造を有する多孔質層41の形成方法としては、例えば斜方蒸着法などを用いることができる。カラム構造を有する多孔質層41の場合、配向層40には、カラムの形状配向による配向方式を採用することができる。
なお、図5に示す多孔質層41は、TFTアレイ基板10側の画素電極9の面上に、無機酸化物からなる第3層間絶縁膜7として形成されている。一方、図5に示す配向層40は、多孔質層41の表面に有機シラン化合物が堆積した状態で、多孔質層41の面上に多孔質層41間の空孔42の空孔径よりも小さい厚みTで形成されている。
空孔42の空孔径は、気相反応させた有機シラン化合物が多孔質層41の表面と化学結合するのに十分な空孔径を得るため、平均で2〜50nmとすることが好ましい。また、この範囲の空孔径であれば、空孔42が配向層40による液晶層50の配向制御に悪影響を与えることがない。なお、空孔42の空孔径については、例えば、走査型電子顕微鏡(SEM)や、透過型電子顕微鏡(TEM)、X線小角散乱法(SAXS)などを用いて測定することができる。
一方、配向層40の厚みTは、有機シラン化合物を含む配向層40を超薄膜で形成するため、平均で1〜10nmとすることが好ましい。これにより、液晶装置の焼き付き抑制の効果を得ることができる。なお、配向層40の厚みTについては、例えばX線光電子分光分析法(XPS)を用いて測定することができる。
以上のように、本実施形態の液晶装置では、上述した多孔質層41の面上に超薄膜の配向層40を形成できるため、焼き付きの発生を抑制することが可能である。また、耐光性寿命の更なる向上を図ることが可能である。
[液晶装置の製造方法]
次に、本実施形態の液晶装置の製造方法について図6〜図13を参照して説明する。図6は、液晶装置の製造方法を示すフローチャートである。図7及び図8は、液晶装置の製造方法のうち一部の製造工程を示す概略断面図である。図9〜図13は、多孔質層の表面の状態を表した図である。
次に、本実施形態の液晶装置の製造方法について図6〜図13を参照して説明する。図6は、液晶装置の製造方法を示すフローチャートである。図7及び図8は、液晶装置の製造方法のうち一部の製造工程を示す概略断面図である。図9〜図13は、多孔質層の表面の状態を表した図である。
本実施形態の液晶装置を製造する際は、先ず、上記TFTアレイ基板10を作製する。具体的には、ガラス等からなる透光性の基板本体10Aを用意し、この基板本体10Aの面上に、上述した第1遮光膜11aと、第1層間絶縁膜12と、半導体層1a、各種配線3a,3b,6a、絶縁膜4,7、画素電極9等を公知の方法で形成する(図3参照)。ここでは、画素電極9まで形成された基板をTFTアレイ基板10と称して説明する。
まず、図6に示すように、ステップS11では、多孔質層41aを形成する。具体的には、図7に示すように、TFTアレイ基板10の画素電極9の面上に多孔質層41aを形成する。
まず、TFTアレイ基板10側の画素電極9の面上に、斜方蒸着法を用いて、酸化珪素(SiOX)などからなる柱状のカラム43aの間に空孔42(空孔径P1)を有するカラム構造の多孔質層41を形成する。
具体的には、斜方蒸着のプロセスを繰り返して6層の多孔質層41を形成する。真空度は5E-3(Pa)であり、蒸着レートは15(Å/秒)であり、仰角は48°である。カラム43とカラム43との平均孔径(空孔42の空孔径P1)は、例えば、7nmである。なお、空孔分布は、2〜50nmである。
ステップS12では、IPA洗浄を行う。具体的には、多孔質層41が形成されたTFTアレイ基板10を、IPA(イソプロピルアルコール)洗浄漕へ移し、TFTアレイ基板10に付着した不純物を除去する。
ステップS13では、乾燥を行う。具体的には、150℃に加熱した真空容器中に1時間程度入れてTFTアレイ基板10を乾燥させる。
ステップS14では、配向層40aを形成する。具体的には、図8に示すように、有機シラン化合物であるデシルトリメトキシシランを気化(気相反応)させ、150℃に加熱した真空容器中に噴霧し、TFTアレイ基板10の表面に付着及び堆積させる。更に、未反応のデシルトリメトキシシランを排出する。この成膜サイクルを5回繰り返す。
その後、150℃の真空下にTFTアレイ基板10を移し、3時間の真空乾燥処理を行う。これにより、未反応(未結合)のままTFTアレイ基板10に堆積していたデシルトリメトキシシランは再気化し、排出される。
以下、図9〜図13を参照しながら、配向層40の形成過程を化学式(化学反応)で説明する。まず、多孔質層41aの表面にシランカップリング処理を施す。具体的には、例えば、成膜室に気化させたシランカップリング剤(図9参照)を含むキャリアガスを導入する。また、成膜室に水分を供給することにより、図10に示すように、シランカップリング剤と水分が結合してアルコールが放出される(脱アルコール)。そして、メトキシ基の部分を加水分解する(図11参照)。
その後、加水分解されたシランカップリング剤が多孔質層41a(41)の表面の水酸基と反応する。そして、図12に示すように、水素結合を経て脱水縮合反応する。シランカップリング剤は、図13に示すように、多孔質層41a(41)の表面の水酸基と化学結合する(シロキサン結合)。
ステップS15では、IPA洗浄を行う。具体的には、TFTアレイ基板10をIPA洗浄漕へと移し、揺動を伴う浸漬洗浄を10分に亘って行う。これにより、まだ取り除けていなかった未反応状態のデシルトリメトキシシランを取り除く。
ステップS16では、乾燥を行う。具体的には、乾燥及び焼成を行うことにより、配向層40が形成される。
デシルトリメトキシシランは、分子長が縦方向で2nm〜3nm程度である。モノレイヤーからなる超薄膜を形成する際、分子が多孔質層41に対し垂直に立って形成された場合、その膜厚はその分子長に近いものとなる。傾斜構造などに沿って倒れた場合には最も倒れた場合で、その膜厚は分子長よりも短い1nm程度となる。本実施例においては、その平均膜厚は、多孔質層41の面上で2nm程度であった。よって、多孔質層41(カラム43)の空孔42の孔径(空孔径P1)よりも小さい厚みW1で配向層40が形成される。
以上のように形成することにより、TFTアレイ基板10に未反応のデシルトリメトキシシランが堆積することを抑えることが可能となり、製造された液晶装置の焼き付きの発生を抑えることができる。具体的には、多孔質層41の表面を覆う配向層40の厚みが、多孔質層41の空孔42(カラム43の空孔径P1)の孔径より小さければ、未反応のデシルトリメトキシシランが堆積することをより抑えることができる。
次に、上述したTFTアレイ基板10とは別に、上記対向基板20を作製する。具体的には、ガラス等からなる透光性の基板本体20Aを用意した後、上記TFTアレイ基板10の作製する場合と同様の方法を用いて、この基板本体20Aの面上に、第2遮光膜23や共通電極21を形成すると共に、上述した多孔質層41a、及び配向層40を形成する場合と同様の方法を用いて、配向層60を形成し、上記対向基板20を得る(図3参照)。
次に、TFTアレイ基板10と対向基板20とをシール剤を介して貼り合わせる。さらに、シール剤に形成した液晶注入口から誘電異方性が負の液晶を注入した後、所定の配線を接続する。これにより、本実施形態の液晶装置を製造することができる。
なお、配向層40の平均厚み及び空孔42の平均孔径については、先ず、基板を切断し、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、加速電圧5kV、測定倍率15万倍の条件で、観察位置を変えて10枚の画像を取得した。
配向層40の平均厚みについては、取得した画像1枚につき5点、多孔質層41の厚みと、多孔質層41及び配向層40の厚みとを測定し、それぞれの厚みの平均値を算出した後、その差分を配向層40の平均厚みとした。
空孔42の平均孔径については、取得した画像1枚につき10点、多孔質層41の表面における空孔42の幅を測定し、それぞれの幅の平均値を空孔42の平均孔径とした。また、それぞれの幅のばらつきの範囲を空孔分布とした。
[電子機器]
次に、上記実施形態の液晶装置を備えた電子機器の例について説明する。
図14は、携帯電話の一例を示す斜視図である。図14に示す携帯電話は、携帯電話本体500を備え、携帯電話本体500は、上記実施形態の液晶装置を用いた液晶表示部501を有している。
次に、上記実施形態の液晶装置を備えた電子機器の例について説明する。
図14は、携帯電話の一例を示す斜視図である。図14に示す携帯電話は、携帯電話本体500を備え、携帯電話本体500は、上記実施形態の液晶装置を用いた液晶表示部501を有している。
図15は、ワープロ、パソコンなどの情報処理装置600の一例を示す斜視図である。情報処理装置600は、図15に示すように、キーボードなどの入力部601と、上記実施形態の液晶装置を用いた液晶表示部602を有する情報処理装置本体603とを備えている。
図16は、腕時計の一例を示す斜視図である。図16に示す腕時計は、時計本体700を備え、時計本体700は、上記実施形態の液晶装置を用いた液晶表示部701を有している。
以上のように、図14〜図16に示す各電子機器では、表示部に上記実施形態の液晶装置を適用したものであるので、焼き付きの発生を抑制し、表示品質を長期に渡って維持することが可能である。
なお、上記実施形態の液晶装置は、図14〜図16に示す電子機器以外にも、例えばデジタルサイネージ(電子看板)やプロジェクター(投射型液晶表示装置)などの耐光性寿命の向上が望まれる電子機器に対して好適に用いることができる。また、液晶レンズやそれを用いた光ピックアップ素子などの液晶デバイスに対しても、本発明を好適に用いることができる。
[投射型液晶表示装置]
次に、上記実施形態の液晶装置を光変調手段として備えた投射型液晶表示装置(プロジェクター)の構成について、図17を参照して説明する。なお、図17は、上記実施形態の液晶装置を光変調装置として用いた投射型液晶表示装置の要部を示す概略構成図である。
次に、上記実施形態の液晶装置を光変調手段として備えた投射型液晶表示装置(プロジェクター)の構成について、図17を参照して説明する。なお、図17は、上記実施形態の液晶装置を光変調装置として用いた投射型液晶表示装置の要部を示す概略構成図である。
図17に示す投射型液晶表示装置は、光源810と、ダイクロイックミラー813,814と、反射ミラー815,816,817と、入射レンズ818と、リレーレンズ819と、出射レンズ820と、液晶光変調装置822,823,824と、クロスダイクロイックプリズム825と、投写レンズ826とを備えている。
光源810は、メタルハライド等のランプ811と、ランプの光を反射するリフレクタ812とからなる。青色光、緑色光反射のダイクロイックミラー813は、光源810からの光束のうちの赤色光を透過させると共に、青色光と緑色光とを反射する。透過した赤色光は反射ミラー817で反射されて、上記実施形態の液晶装置を備えた赤色光用液晶光変調装置822に入射される。
一方、ダイクロイックミラー813で反射された色光のうち緑色光は、緑色光反射のダイクロイックミラー814によって反射され、上述の本発明の一例たる液晶装置を備えた緑色光用液晶光変調装置823に入射される。なお、青色光は、第2のダイクロイックミラー814も透過する。青色光に対しては、光路長が緑色光及び赤色光とは異なるのを補償するために、入射レンズ818、リレーレンズ819、出射レンズ820を含むリレーレンズ系からなる導光手段821が設けられ、これを介して青色光が上述の本発明の一例たる液晶装置を備えた青色光用液晶光変調装置824に入射される。
各光変調装置により変調された3つの色光は、クロスダイクロイックプリズム825に入射する。このプリズムは4つの直角プリズムが貼り合わされ、その内面に赤光を反射する誘電体多層膜と青光を反射する誘電体多層膜とが十字状に形成されている。これらの誘電体多層膜によって3つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が形成される。合成された光は、投写光学系である投写レンズ826によってスクリーン827上に投写され、画像が拡大されて表示される。
以上のような構造を有する投射型液晶表示装置は、上記実施形態の液晶装置を液晶光変調装置822,823,824に適用することによって、焼き付きの発生を抑制し、表示品質を長期に渡って維持することが可能である。
以上詳述したように、第1実施形態の液晶装置の製造方法、及び電子機器によれば、以下に示す効果が得られる。
(1)第1実施形態の液晶装置の製造方法によれば、多孔質層41a内にある空孔42の孔径(空孔径P1)よりも小さい厚みとなる配向層40aを形成するので、気相反応させたデシルトリメトキシシランを多孔質層41aの表面(例えば、水酸基)と化学結合させることが可能となり、未反応のデシルトリメトキシシランが多孔質層41aの表面に堆積することを抑えることができる。これにより、多孔質層41aの面上に超薄膜の配向層40aを形成でき、製造された液晶装置の焼き付きの発生を抑制することができる。
(2)第1実施形態の液晶装置の製造方法によれば、配向層40aを形成する前後にIPA(イソプロピルアルコール)洗浄を行うので、多孔質層41aの表面に付着した残渣や未反応のデシルトリメトキシシランを基板の表面から除去することができる。
(3)第1実施形態の電子機器によれば、上記の方法を用いて製造された液晶装置を備えるので、焼き付きの発生を抑制した液晶装置を備える電子機器を提供することができる。
(第2実施形態)
[液晶装置の製造方法]
図18及び図19は、第2実施形態の液晶装置の製造方法のうち一部の製造工程を示す模式断面図である。以下、第2実施形態の液晶装置の製造方法を、図18及び図19を参照しながら説明する。
[液晶装置の製造方法]
図18及び図19は、第2実施形態の液晶装置の製造方法のうち一部の製造工程を示す模式断面図である。以下、第2実施形態の液晶装置の製造方法を、図18及び図19を参照しながら説明する。
第2実施形態の液晶装置の製造方法は、上述の第1実施形態の液晶装置の製造方法と比べて、多孔質層及び配向層の形成方法が異なり、その他の部分については概ね同様である。このため第2実施形態では、第1実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。
図18に示す工程では、画素電極9まで形成されたTFTアレイ基板10上に多孔質層41bを形成する。具体的には、TFTアレイ基板10側の画素電極9の面上に、斜方蒸着法を用いて、6層の酸化珪素(SiOX)などからなる柱状のカラム43bの間に空孔42(空孔径P2)を有するカラム構造の多孔質層41bを形成する。
具体的には、真空度は7E-3(Pa)であり、蒸着レートは13(Å/秒)であり、仰角は48°である。言い換えれば、第1実施形態と比較して、真空度を落として、更に蒸着レートをゆっくりさせる。これにより、カラム43bとカラム43bとの平均孔径(空孔42の空孔径P2)は、例えば、15nmである。なお、空孔分布は、2〜50nmである。
このように、第1実施形態の蒸着条件と異ならせることにより、空孔径(空孔径P2)が変化し、プレチルトの発現性が高まる。つまり、空孔径(空孔径P2)が大きくなる(租の状態になる)が、1本の孔質層の陰になる部分が広く、更に膜密度も低下するため、有機シラン分子が回り込み侵入し、被覆するという点ではより困難になる。
図19に示す工程では、配向層40bを形成する。具体的には、有機シラン化合物としてのヘキサデシルトリメトキシシランを気化させ、150℃に加熱した真空容器中に噴霧し、TFTアレイ基板10の表面に堆積させる。更に、未反応のヘキサデシルトリメトキシシランを排出する。この成膜サイクルを10回繰り返す。
その後、150℃の真空下にTFTアレイ基板10を移し、3時間の真空乾燥処理を行う。これにより、未反応(未結合)のままTFTアレイ基板10に堆積していたヘキサデシルトリメトキシシランは再気化し、排出される。この後、第1実施形態と同様、IPA洗浄、乾燥、及び焼成を行う。
ヘキサデシルトリメトキシシランは、分子長が縦方向で4nm〜5nm程度である。モノレイヤーからなる超薄膜を形成する際、分子が多孔質層41に対し垂直に立って形成された場合、その膜厚はその分子長に近いものとなる。その平均膜厚は、多孔質層41の面上で5nm程度となる。よって、多孔質層41(カラム43)の空孔42の孔径(空孔径P2)よりも小さい厚みW2で配向層40bが形成される。
具体的には、より被覆され難い空孔42を含む多孔質層41bに対し、長い分子を繰り返し成膜してネットワークを構成した後、堆積状態である非結合分子を気化して洗い流し除去している。この結果、TFTアレイ基板10に未反応のヘキサデシルトリメトキシシランが凝集することを抑えることが可能となり、配向が乱れることを抑えることができる。
なお、配向層40bの膜厚として、材料同士が繋がるような多重結合もあるため、上記したような2nmや5nmに限定されず、1nm〜10nm程度まで形成することができる。
以上詳述したように、第2実施形態の液晶装置の製造装置によれば、以下に示す効果が得られる。
(4)第2実施形態の液晶装置の製造方法によれば、多孔質層41b内にある空孔42の孔径(空孔径P2)よりも小さい厚みとなる配向層40bを形成するので、気相反応させたヘキサデシルトリメトキシシランを多孔質層41bの表面(例えば、水酸基)と化学結合させることが可能となり、未反応のヘキサデシルトリメトキシシランが多孔質層41bの表面に堆積することを抑えることができる。これにより、多孔質層41bの面上に超薄膜の配向層40bを形成でき、製造された液晶装置の焼き付きの発生を抑制することができる。
なお、本発明の態様は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、本発明の態様の技術範囲に含まれるものである。また、以下のような形態で実施することもできる。
(変形例1)
上記したように、多孔質層41は、斜方蒸着法によって形成される構造に限定されず、空孔42が規則的に配置されるような構造であればよく、例えば、図20に示すような構造でもよい。図20は、変形例の多孔質層及び配向層の構造を示す模式断面図である。
上記したように、多孔質層41は、斜方蒸着法によって形成される構造に限定されず、空孔42が規則的に配置されるような構造であればよく、例えば、図20に示すような構造でもよい。図20は、変形例の多孔質層及び配向層の構造を示す模式断面図である。
図20に示すように、多孔質層41cは、規則的に配置された空孔42を有する。多孔質層41cの表面は、空孔42の形状に倣って波形状になっている。多孔質層41cの表面には、気相反応を用いて配向層40cが形成されている。このような構造であっても、多孔質層41c内にある空孔42の孔径よりも小さい厚みの配向層40cを形成するので、気化された有機シラン化合物を多孔質層41cの表面(例えば、水酸基)と化学結合させることが可能となり、未反応の有機シラン化合物が多孔質層41cの表面に堆積することを抑えることができる。これにより、多孔質層41cの面上に超薄膜の配向層40cを形成でき、製造された液晶装置の焼き付きの発生を抑制することができる。
(変形例2)
上記したように、TFT素子を用いたアクティブマトリクス型液晶装置について説明したが、例えば、TFD(Thin Film Diode)素子を用いたアクティブマトリクス型液晶装置や、パッシブマトリクス型液晶装置等にも適用可能である。また、本実施形態では、透過型液晶装置について説明したが、シリコン基板などを用いた反射型の液晶装置(LCOS)や、半透過反射型の液晶装置にも適用可能である。
上記したように、TFT素子を用いたアクティブマトリクス型液晶装置について説明したが、例えば、TFD(Thin Film Diode)素子を用いたアクティブマトリクス型液晶装置や、パッシブマトリクス型液晶装置等にも適用可能である。また、本実施形態では、透過型液晶装置について説明したが、シリコン基板などを用いた反射型の液晶装置(LCOS)や、半透過反射型の液晶装置にも適用可能である。
1a…半導体層、1a’…チャネル領域、1b…低濃度ソース領域、1c…低濃度ドレイン領域、1d…高濃度ソース領域、1e…高濃度ドレイン領域、1f…第1蓄積容量電極、3a…走査線、3b…容量線、4…第2層間絶縁膜、5…コンタクトホール、6a…データ線、7…第3層間絶縁膜、8…コンタクトホール、9…画素電極、10…TFTアレイ基板、10A…基板本体、11a…第1遮光膜、12…第1層間絶縁膜、13…コンタクトホール、20…対向基板、20A…基板本体、21…共通電極、23…第2遮光膜、30…TFT素子、40,40a,40b,40c…配向層、41,41a,41b,41c…多孔質層、42…空孔、43…カラム、50…液晶層、60…配向層、70…蓄積容量、500…携帯電話本体、501,602,701…液晶表示部、600…情報処理装置、601…入力部、603…情報処理装置本体、700…時計本体、810…光源、811…ランプ、812…リフレクタ、813,814…ダイクロイックミラー、815,816,817…反射ミラー、818…入射レンズ、819…リレーレンズ、820…出射レンズ、821…導光手段、822…赤色光用液晶光変調装置、823…緑色光用液晶光変調装置、824…青色光用液晶光変調装置、825…クロスダイクロイックプリズム、826…投写レンズ、827…スクリーン。
Claims (7)
- 一対の基板間に液晶層が挟持された液晶装置の製造方法であって、
前記一対の基板の少なくとも一方の前記液晶層と対向する側の面に、有機シラン化合物からなる配向層と、前記配向層の下層に設けられた多孔質層と、を形成する際に、
前記多孔質層の面上に前記有機シラン化合物を含む気体を気相反応させることによって、前記多孔質層の面上に前記多孔質層内にある空孔の孔径よりも小さい厚みの前記配向層を形成することを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 前記多孔質層を斜方蒸着法で形成することを特徴とする請求項1に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記配向層の平均厚みを、1〜10nmとすることを特徴とする請求項1又は2に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記空孔の平均孔径を、2〜50nmとすることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記多孔質層として、SiO2、SnO2、GeO2、ZrO2、TiO2、Al2O3、ITOの中から選ばれる無機酸化膜を形成することを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記配向層を形成する前及び後のうち、少なくとも一方にIPA(イソプロピルアルコール)洗浄を行うことを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の液晶装置の製造方法。
- 請求項1〜6の何れか一項に記載の方法を用いて製造された液晶装置を備えることを特徴とする電子機器。
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JP2015248275A JP2017116569A (ja) | 2015-12-21 | 2015-12-21 | 液晶装置の製造方法、及び電子機器 |
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JP2019207287A (ja) * | 2018-05-28 | 2019-12-05 | セイコーエプソン株式会社 | 表面処理剤、表面処理方法、液晶装置および電子機器 |
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2015
- 2015-12-21 JP JP2015248275A patent/JP2017116569A/ja active Pending
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JP7238272B2 (ja) | 2018-05-28 | 2023-03-14 | セイコーエプソン株式会社 | 表面処理剤、表面処理方法、液晶装置および電子機器 |
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