JP2017111016A - リーク検査方法リーク検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記連通状態で前記第1空間と前記第2空間を目標圧に加圧した後、前記遮断状態を所定期間形成しては一時的に前記連通状態に切り替える単位動作を複数回行い、該複数回の単位動作において前記差圧計で計測された遮断中の差圧から、前記差圧の極限値を求め、該極限値に基づいて前記容器の漏れの有無を判定する
ことを特徴とするリーク検査方法。
前記第1空間を前記第3空間と前記第4空間に分離した状態で前記第3空間を加圧した後、前記連通状態で前記第3空間と前記第4空間を連通させることで、前記第1空間と前記第2空間を前記目標圧にする
ことを特徴とする[1]に記載のリーク検査方法。
ことを特徴とする[2]に記載のリーク検査方法。
前記第1管の途中に設けられた第1開閉弁と、
差圧計と、
前記第1開閉弁の下流で前記第1管の途中から分岐し、その後、二手に分かれ、その一方が差圧計の一方の圧力検出口に、他方が前記差圧計の他方の圧力検出口に接続された第2管と、
前記二手に分かれた後の一方の第2管の途中に設けられた第2開閉弁と、
検査動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記第2開閉弁を開いた状態で前記第1開閉弁を開いて前記容器を目標圧力に加圧した後、前記第1開閉弁を閉じる検査準備工程と、
前記検査準備工程の完了後、前記第2開閉弁を所定期間閉じた後に一時的に前記第2開閉弁を開く単位動作を複数回行い、該複数回の単位動作において前記差圧計で計測される前記第2開閉弁を閉じているときの差圧から、前記差圧の極限値を求め、該極限値に基づいて前記容器の漏れの有無を判定する検査工程と、を行う
ことを特徴とするリーク検査装置。
前記第3開閉弁を閉じた状態で前記第1開閉弁を開いて前記容器を目標圧力に加圧した後、前記第1開閉弁を閉じ、その後、前記第2開閉弁を開いた状態で前記第3開閉弁を開くことを前記検査準備工程として行う
ことを特徴とする[4]に記載のリーク検査装置。
ことを特徴とする[5]に記載のリーク検査装置。
ΔPn=P((n+1)T−TOP)−P(nT)
ただし、P(x)は時刻xにおける第1空間A1側の圧力、Tは単位動作の周期、TOPは第2開閉弁22を開いている時間、nは任意の整数である。
P(t)=P0−KT+A1exp(−a1t)+A2exp(−a2t)
ただし、P0、A1、A2、K、a1、a2、は試験装置、試験体、試験方法などによって定まる定数である。
ΔPn=−K(T−TOP)−A1[1−r1exp(a1TOP)]r1 n−A2[1−r2exp(a2T)]r2 n
となる。
4…接続ポート
5…排気ポート
10…リーク検査装置
11…第1管
12…第2管
13…排気管
21…第1開閉弁
22…第2開閉弁
23…第3開閉弁
24…排気弁
25…電空レギュレータ
26…第1圧力センサ
27…第2圧力センサ
28…手動弁
30…差圧計
31…第1圧力検出口
32…第2圧力検出口
35…計測制御部
A1…第1空間
A2…第2空間
A3…第3空間
A4…第4空間
W…ワーク
Claims (6)
- 検査対象の容器を含む閉じた第1空間が差圧計の一方に形成され、前記差圧計の他方に閉じた第2空間が形成される遮断状態と、前記第1空間と前記第2空間を連通させた連通状態とに切り替え可能なリーク検査装置において、
前記連通状態で前記第1空間と前記第2空間を目標圧に加圧した後、前記遮断状態を所定期間形成しては一時的に前記連通状態に切り替える単位動作を複数回行い、該複数回の単位動作において前記差圧計で計測された遮断中の差圧から、前記差圧の極限値を求め、該極限値に基づいて前記容器の漏れの有無を判定する
ことを特徴とするリーク検査方法。 - リーク検査装置は、前記第1空間を、前記容器を含む第3空間と、前記差圧計の前記一方に接続され、かつ、前記連通状態で前記第2空間と繋がる第4空間とに分離するか否かを切り替える切り替え弁をさらに有し、
前記第1空間を前記第3空間と前記第4空間に分離した状態で前記第3空間を加圧した後、前記連通状態で前記第3空間と前記第4空間を連通させることで、前記第1空間と前記第2空間を前記目標圧にする
ことを特徴とする請求項1に記載のリーク検査方法。 - 次の容器の検査を行うときは、前記分離した状態で検査対象の容器を交換し、交換後の第3空間を加圧した後、前記連通状態で前記第3空間と前記第4空間を連通させることで、前記第1空間と前記第2空間を目標圧にし、その後、前記単位動作を行う
ことを特徴とする請求項2に記載のリーク検査方法。 - 一端が気体供給源に接続され、他端に検査対象の容器が接続される第1管と、
前記第1管の途中に設けられた第1開閉弁と、
差圧計と、
前記第1開閉弁の下流で前記第1管の途中から分岐し、その後、二手に分かれ、その一方が差圧計の一方の圧力検出口に、他方が前記差圧計の他方の圧力検出口に接続された第2管と、
前記二手に分かれた後の一方の第2管の途中に設けられた第2開閉弁と、
検査動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記第2開閉弁を開いた状態で前記第1開閉弁を開いて前記容器を目標圧力に加圧した後、前記第1開閉弁を閉じる検査準備工程と、
前記検査準備工程の完了後、前記第2開閉弁を所定期間閉じた後に一時的に前記第2開閉弁を開く単位動作を複数回行い、該複数回の単位動作において前記差圧計で計測される前記第2開閉弁を閉じているときの差圧から、前記差圧の極限値を求め、該極限値に基づいて前記容器の漏れの有無を判定する検査工程と、を行う
ことを特徴とするリーク検査装置。 - 前記二手に分かれる前の前記第2管の途中に設けられた第3開閉弁をさらに備え、
前記第3開閉弁を閉じた状態で前記第1開閉弁を開いて前記容器を目標圧力に加圧した後、前記第1開閉弁を閉じ、その後、前記第2開閉弁を開いた状態で前記第3開閉弁を開くことを前記検査準備工程として行う
ことを特徴とする請求項4に記載のリーク検査装置。 - 次の容器を検査するときは、前記第3開閉弁を閉じた状態で検査対象の容器を交換し、前記第1開閉弁を開いて交換後の容器を目標圧力に加圧した後、前記第1開閉弁を閉じ、その後、前記第2開閉弁を開いた状態で前記第3開閉弁を開くことを、前記次の容器に対する検査準備工程として行う
ことを特徴とする請求項5に記載のリーク検査装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015245886A JP6599751B2 (ja) | 2015-12-17 | 2015-12-17 | リーク検査方法リーク検査装置 |
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JP2017111016A true JP2017111016A (ja) | 2017-06-22 |
JP2017111016A5 JP2017111016A5 (ja) | 2018-09-06 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018009955A (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-18 | 暎三 浦田 | リーク検査方法 リーク検査装置 |
JP2020038095A (ja) * | 2018-09-03 | 2020-03-12 | 株式会社小島製作所 | 漏洩試験装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01269028A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-26 | Fukuda:Kk | リークテスト方法 |
JPH09145525A (ja) * | 1995-11-17 | 1997-06-06 | Japan Small Corp | 漏れ検出方法及び漏れ検出装置 |
JPH11118657A (ja) * | 1997-10-21 | 1999-04-30 | Cosmo Keiki:Kk | ドリフト補正値算出装置及びこの算出装置を具備した洩れ検査装置 |
JP2000162084A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-16 | Cosmo Keiki:Kk | 洩れ検査方法及び洩れ検査装置 |
JP2001033344A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-09 | Fukuda:Kk | エアリークテスト装置 |
JP2004061201A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Fukuda:Kk | リークテスト方法及び装置 |
US20090132185A1 (en) * | 2006-05-24 | 2009-05-21 | Cosmo Instruments Co., Ltd. | Leak Inspection Method and Leak Inspector |
JP2013024635A (ja) * | 2011-07-19 | 2013-02-04 | Aim Tech:Kk | リーク試験方法及びリーク試験装置 |
-
2015
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01269028A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-26 | Fukuda:Kk | リークテスト方法 |
JPH09145525A (ja) * | 1995-11-17 | 1997-06-06 | Japan Small Corp | 漏れ検出方法及び漏れ検出装置 |
JPH11118657A (ja) * | 1997-10-21 | 1999-04-30 | Cosmo Keiki:Kk | ドリフト補正値算出装置及びこの算出装置を具備した洩れ検査装置 |
JP2000162084A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-16 | Cosmo Keiki:Kk | 洩れ検査方法及び洩れ検査装置 |
JP2001033344A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-09 | Fukuda:Kk | エアリークテスト装置 |
JP2004061201A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Fukuda:Kk | リークテスト方法及び装置 |
US20090132185A1 (en) * | 2006-05-24 | 2009-05-21 | Cosmo Instruments Co., Ltd. | Leak Inspection Method and Leak Inspector |
JP2013024635A (ja) * | 2011-07-19 | 2013-02-04 | Aim Tech:Kk | リーク試験方法及びリーク試験装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018009955A (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-18 | 暎三 浦田 | リーク検査方法 リーク検査装置 |
JP2020038095A (ja) * | 2018-09-03 | 2020-03-12 | 株式会社小島製作所 | 漏洩試験装置 |
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