JP2017110283A - フィルム搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フィルムの処理領域を保護しつつ、走行中のフィルムの皺の発生を抑制することができるフィルム搬送装置を提供する。【解決手段】フィルム搬送装置５０は、フィルムＦを繰り出す巻出しローラ２と、巻出しローラから繰り出されたフィルムを巻き取る巻取りローラ３と、処理部（メインローラ４）と、第１のガイドローラ５１と、第２のガイドローラ５２とを具備する。第１のガイドローラは、巻出しローラと処理部との間に配置され、フィルム成膜面の両側縁部を支持する。第２のガイドローラは、巻出しローラと第１のガイドローラとの間、及び、第１のガイドローラと処理部との間の少なくとも１つに配置され、フィルムの上記成膜面とは反対側の非成膜面を支持する。第１のガイドローラ及び第２のガイドローラの少なくとも１つは、フィルムに作用する張力をフィルムの幅方向に沿った引張応力に変換する拡幅構造を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、フィルムを連続的又は間欠的に送り出し、走行する上記フィルムに対して成膜処理、加熱処理、プラズマ処理等の表面処理を行いながら、当該フィルムを連続的又は間欠的に巻き取るフィルム搬送装置に関する。

従来、巻出しローラから連続的又は間欠的に送り出された長尺のベースフィルムを冷却用ローラに巻き付けながら、当該冷却用ローラに対向して配置された蒸発源からの蒸発物質をベースフィルム上に蒸着させ、蒸着後のベースフィルムを巻取りローラで巻き取る巻取式真空蒸着装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

この種の巻取式真空蒸着装置において、ベースフィルムは搬送経路に設けられた複数のガイドローラによるガイド作用を受けながら搬送される。従来のガイドローラは、円柱状のロール面を有し、当該ロール面でベースフィルムの一方の面を支持することによりベースフィルムの搬送をガイドしている。

ところが、ベースフィルム及び／又は蒸着材料の種類、成膜形態、装置の使用条件等により、ベースフィルムの処理領域をガイドローラのロール面に接触させるのは好ましくない場合がある。例えば、ベースフィルムの処理領域にガイドローラのロール面が接触すると、成膜部に微小のキズがついてしまう。

このような問題を解決するために、押圧部を有する補助ローラをガイドローラに対向して設置する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の方法では、ベースフィルムの非使用領域である両端縁部をガイド部で支持することにより、ベースフィルムの処理領域がガイドローラのロール面に接触するのを防止している。

特許第３７９５５１８号公報 特許第５０２４９７２号公報

しかしながら、特許文献２に記載の方法では、走行中のベースフィルムに作用する張力に起因するベースフィルムの幅方向における収縮を充分に抑えることができない。これにより、ベースフィルムに皺が生じてしまう。このような皺の発生は、巻取異常を誘発し、ベースフィルムの安定した走行の妨げとなる。また、皺が生じた部分は熱による影響を受けやすく、ベースフィルムに熱によるダメージを与えることがある。このような熱によるダメージを抑制するためには、成膜レートや処理パワーを低減させなければならず、生産性に影響が出てしまう。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、フィルムの処理領域を保護しつつ、走行中のフィルムの皺の発生を抑制することができるフィルム搬送装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るフィルム搬送装置は、フィルムを繰り出す巻出しローラと、上記巻出しローラから繰り出された上記フィルムを巻き取る巻取りローラと、処理部と、第１のガイドローラと、第２のガイドローラとを具備する。
上記処理部は、上記フィルムの搬送経路に配置され、上記フィルムの処理面に所定の表面処理を施す。
上記第１のガイドローラは、上記巻出しローラと上記処理部との間に配置され、上記処理面の両側縁部を支持する。
上記第２のガイドローラは、上記巻出しローラと上記第１のガイドローラとの間、及び、上記第１のガイドローラと上記処理部との間の少なくとも１つに配置され、上記フィルムの上記処理面とは反対側の非処理面を支持する。
そして、上記第１のガイドローラ及び上記第２のガイドローラの少なくとも１つは、上記フィルムに作用する張力を上記フィルムの幅方向に沿った引張応力に変換する拡幅構造を有する。

上記フィルム搬送装置において、第１のガイドローラ及び第２のガイドローラの少なくとも１つのガイドローラは上記拡幅構造を有するため、フィルムへの皺の発生を抑制しつつ、フィルムを連続的に処理部へ搬送することができる。これにより、フィルムの処理面を保護しながら、処理部におけるフィルムの熱ダメージを低減することができる。さらに、フィルムの安定した走行性が確保されるため、例えば巻取りローラにおける巻取り異常を効果的に抑制することが可能となる。

上記第１のガイドローラは、一実施形態として、上記処理面に隙間をおいて対向する円柱状のロール面と、上記ロール面上にそれぞれ設けられ上記処理面の両側縁部を支持する一対のガイド部とを有してもよい。

この場合、上記一対のガイド部は、上記フィルムに作用する張力を受けて相互に離間する方向へ変形することが可能な弾性材料で構成されてもよい。
あるいは、上記一対のガイド部の周面は、上記フィルムの側縁部に向かって上り傾斜となるテーパ面で構成されてもよい。
あるいは、上記フィルム搬送装置は、上記第１のガイドローラに対向して配置され上記フィルムを挟んで上記第１のガイドローラと接触する補助ローラをさらに具備してもよい。
これにより、フィルムの成膜領域を保護しつつ、フィルムの拡幅作用により皺の発生を抑えることができる。

第２のガイドローラの拡幅構造としては、例えば、第２のローラは、拡張ローラで構成されてもよい。

一方、上記フィルム搬送装置は、第３のガイドローラと、第４のガイドローラとをさらに具備してもよい。
上記第３のガイドローラは、上記処理部と上記巻取りローラとの間に配置され、上記処理面の両側縁部を支持する。
上記第４のガイドローラは、上記処理部と上記第３のガイドローラとの間、及び、上記第３のガイドローラと上記巻取りローラとの間の少なくとも１つに配置され、上記非処理面を支持する。
そして、上記第３のガイドローラ及び上記第４のガイドローラの少なくとも１つは、上記フィルムに作用する張力を前記フィルムの幅方向に沿った引張応力に変換する拡幅構造を有する。
これにより、表面処理が施されたフィルムの処理面を保護しながら、フィルムの安定した走行性を確保することができるため、巻取りローラにおける巻取り異常を効果的に抑制することができる。

上記フィルム搬送装置は、センサユニットと、調整機構とをさらに具備してもよい。
上記センサユニットは、上記処理面及び上記非処理面の少なくとも１つに対向して配置されたヘッド部を有し、上記ヘッド部と上記フィルムとの間の距離を検出する。
上記調整機構は、上記センサユニットの出力に基づいて、上記第１のガイドローラ又は上記第２のガイドローラによる上記フィルムの拡幅量、又は上記フィルムの搬送張力を調整する。

上記ヘッド部は、上記フィルムの幅方向に配列された複数のセンサヘッドを含んでもよい。

上記処理部は、上記フィルムの上記非処理面を支持するメインローラと、上記メインローラに対向して配置され、上記フィルムの上記処理面を成膜する成膜ユニットとを含んでもよい。

以上述べたように、本発明によれば、フィルムの処理領域を保護しつつ、走行中のフィルムの皺の発生を抑制することができる。

本発明の一実施形態に係るフィルム搬送装置を備えた蒸着装置の構成を示す概略縦断面図である。 上記蒸着装置の要部の模式図である。 比較例に係る蒸着装置の概略断面図である。 比較例に係るガイドローラの構成及び作用を説明する概略図である。 上記蒸着装置における第１のガイドローラ及び第３のガイドローラに適用可能な拡幅構造を有するガイドローラの一構成例及びその作用を説明する要部断面図である。 上記第１のガイドローラ及び第３のガイドローラに適用可能な拡幅構造を有するガイドローラの他の構成例及びその作用を説明する要部断面図である。 上記蒸着装置における第２のガイドローラ及び第４のガイドローラに適用可能な拡幅構造を有するガイドローラの一構成例及びその作用を説明する要部断面図である。 上記第２のガイドローラ及び第４のガイドローラに適用可能な拡幅構造を有するガイドローラの他の構成例及びその作用を説明する要部断面図である。 本発明の第２の実施形態に係るフィルム搬送装置を示す概略構成図である。 上記フィルム搬送装置におけるガイドローラと補助ローラとの組み合わせ例を示す要部断面図である。 上記フィルム搬送装置におけるセンサユニットの構成例を示す概略図である。 上記第１及び第３のガイドローラの構成の変形例を示す図である。 上記フィルム搬送装置に適用される合紙機構の一構成例を示す模式図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。

＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の一実施形態に係るフィルム搬送装置を備えた巻取式真空蒸着装置（以下、蒸着装置という）の構成を示す概略縦断面図である。
なお、図において、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は相互に直交する３軸方向を示しており、本実施形態ではＸ軸及びＹ軸は水平方向を、Ｚ軸は高さ方向をそれぞれ示している。

［蒸着装置の全体構成］
蒸着装置１は、巻出しローラ２と、巻取ローラ３と、メインローラ４と、成膜ユニット６と、これらを収容する真空チャンバ７とを備える。蒸着装置１は、巻出しローラ２から連続的又は間欠的に送り出された長尺のベースフィルム（以下、フィルムＦという）をメインローラ４に巻き付けながら、当該メインローラ４に対向して配置された成膜ユニット６からの蒸発物質をフィルムＦ上に蒸着させ、蒸着後のフィルムＦを巻取りローラ３で巻き取るように構成される。

真空チャンバ７は、密閉構造を有し、排気ラインＬを介して真空ポンプＰに接続される。これにより、真空チャンバ７は、その内部が所定の減圧雰囲気に排気又は維持可能に構成される。

真空チャンバ７は内部に仕切板８を有する。当該仕切板８は、真空チャンバ７のＺ軸方向における略中央部に配置されており、所定の大きさの開口部を有する。当該開口部の周縁部は、所定の隙間を空けてメインローラ４の外周面に対向している。真空チャンバ７の内部は、仕切板８により、仕切板８よりＺ軸方向の上側にある搬送室９と、仕切板８よりＺ軸方向の下側にある成膜室１０とに区画される。

成膜室１０には排気ラインＬが接続されている。したがって、真空チャンバ７の内部を排気する際には、まず、成膜室１０の内部が排気される。一方、上述のように仕切板８とメインローラ４との間には所定の隙間があるため、この隙間を通して搬送室９の内部も排気される。これにより、成膜室１０と搬送室９との間に圧力差が生じる。この圧力差により、成膜ユニット６からの蒸発材料の蒸気流が搬送室９に侵入するのを防ぐことができる。

なお、本実施形態では、排気ラインＬを成膜室１０にのみ接続したが、搬送室９にも別の排気ラインを接続することにより、搬送室９と成膜室１０とを同時にあるいは独立して排気してもよい。

巻出しローラ２、巻取りローラ３、メインローラ４、ガイドローラ５Ａ〜５Ｈは、フィルム搬送機構５０（フィルム搬送装置）を構成する。巻出しローラ２、巻取りローラ３、及びメインローラ４は、それぞれ図示しない回転駆動部を備え、Ｘ軸に平行な軸まわりに回転可能に構成される。

巻出しローラ２及び巻取りローラ３は、搬送室９内に配置され、それぞれの回転駆動部により図１の矢印で示す方向（時計回り）に所定速度で回転可能に構成される。なお、巻出しローラ２の回転方向はこれに限られず、メインローラ４に向かってフィルムＦを繰り出せる限り、どの方向に回転させてもよい。同様に、巻取りローラ３の回転方向も時計回りに限られず、メインローラ４からフィルムＦを巻き取れる限り、どの方向に回転させてもよい。

メインローラ４は、フィルムＦの搬送経路において巻出しローラ２と巻取りローラ３との間に配置される。具体的には、メインローラ４のＺ軸方向における下部の少なくとも一部が、仕切板８に設けられた開口部を通して成膜室１０に臨むような位置に配置される。

また、メインローラ４は、巻出しローラ２及び巻取りローラ３と同様に、回転駆動部により時計回りに所定速度で回転可能に構成される。さらに、メインローラ４は、鉄あるいはステンレス鋼等の金属材料で筒状に構成され、その内部に図示しない冷却媒体又は加熱媒体の循環機構を備える。これにより、メインローラ４上のフィルムを所定温度に冷却又は加熱することが可能となる。メインローラ４の大きさは特に限定されないが、典型的には、軸方向の長さ（軸長）はフィルムＦの幅と同じかそれよりも長い。

ガイドローラ５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，及び５Ｄは、フィルムＦの搬送経路において巻出しローラ２とメインローラ４との間に配置され、フィルムＦの走行をガイドする。また、ガイドローラ５Ｅ，５Ｆ，５Ｇ，及び５Ｈは、フィルムＦの搬送経路において巻取りローラ３とメインローラ４との間に配置され、フィルムＦの走行をガイドする。各ガイドローラ５Ａ〜５Ｈの詳細については、後述する。

成膜ユニット６は、図１に示すように、成膜室１０に配置され、蒸発源６１と、防着板６２とを有する。

蒸発源６１は、メインローラ４のＺ軸方向における直下に配置される。蒸発源６１は、図示せずとも、蒸発材料を保持する容器としての丸型の坩堝と、当該坩堝の外周部を取り囲む誘導コイルとを含む。上記誘導コイルは、真空チャンバ７の外部に設置された図示しない交流電源に電気的に接続されている。蒸発源６１は、誘導加熱方式により、フィルムＦの成膜面（処理面）に堆積させる蒸発材料の蒸気を生成する。ただし、これに限定されず、抵抗加熱方式、電子ビーム加熱等により、蒸発材料を加熱してもよい。

蒸発材料は特に限定されず、例えば、Ａｌ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｔｉ等の金属元素単体のほか、Ａｌ−Ｚｎ、Ｆｅ−Ｃｏ等の二種以上の金属、多元系の合金、ＳｉＯｘ、ＡｌＯｘ等の酸化物あるいは有機物等が適用される。なお、蒸発源６１の数は１つに限られず、複数設けられてもよい。

防着板６２は、開口部６２１を有し、メインローラ４と蒸発源６１との間に配置される。また、防着板６２は、図示しない支持部を介して真空チャンバ７の内壁に接続され、真空チャンバ７の内壁面への蒸発材料の付着を防止する。防着板６２を構成する材料は特に限定されず、典型的にはステンレス鋼や銅等の金属材料が適用される。

図２は、メインローラ４と防着板６２との関係を示す、フィルムＦの搬送方向から見た模式図である。開口部６２１は、防着板６２の略中央部に設けられた矩形の貫通孔であり、メインローラ４の外周面に対向して配置される。開口部６２１の大きさや形状は特に限定されず、蒸発源６１との距離やフィルムＦとの距離等に応じて適宜設定可能である。本実施形態において開口部６２１は、フィルムＦの成膜領域を規定するマスクとして機能する。当該マスクを設けることにより、図２に示すように、フィルムＦの成膜領域のみに蒸着膜Ｆｍが成膜される。

フィルムＦは、所定幅に裁断された長尺のプラスチックフィルムからなり、例えば、ＯＰＰ（二軸延伸ポリプロピレン）フィルム、ＣＰＰ（無軸延伸ポリプロピレン）フィルム、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム、ＰＩ（ポリイミド）フィルム、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）フィルム等が用いられる。また、フィルムＦは、ステンレス鋼、銅箔、鉄板等の金属箔であってもよいし、織物やガラスフィルム等であってもよい。

フィルムＦの厚さは、特に限定されず、例えば、約５μｍ〜１００μｍである。また、フィルムＦの幅や長さについては特に制限はなく、用途に応じて適宜選択することができる。典型的には、フィルムＦには、１０００ｍ以上の長尺フィルムが用いられる。

本実施形態において、フィルムＦには、その成膜面の両側縁部、すなわちフィルム幅方向の両端縁部が非成膜領域とされるものや、成膜面の全域が成膜される場合であってもその両側縁部が不使用領域とされるものが用いられる。成膜面の両側縁部を非成膜領域とするためには、例えば、メインローラ４と蒸発源６１との間に成膜領域を制限するマスクを設置すればよい。上記マスクは、図２に示すように開口部６２１を有する防着板６２で構成されてもよいし、防着板６２とメインローラ４との間に別途配置されたマスク材が用いられてもよい。

図１に示すように、蒸着装置１は、真空チャンバ７の外部に設置されたコントローラ１１をさらに備える。コントローラ１１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）及びメモリを含むコンピュータ等により構成され、蒸着装置１の各部を統括的に制御する。コントローラ１１は、例えば、真空ポンプＰの動作の制御、各ローラの回転駆動及び位置制御、蒸発源６１における蒸発材料の蒸発量の制御等を行う。

［フィルム搬送機構］
続いて、フィルム搬送機構５０の詳細について説明する。

（背景）
フィルム搬送機構５０は、複数のガイドローラ５Ａ〜５Ｈを有する。巻出しローラ２から巻き出されたフィルムＦは、複数のガイドローラ５Ａ〜５Ｄによって走行をガイドされながら、メインローラ４と仕切板８との間に形成された所定の隙間を通って、所定の抱き角でメインローラ４の周面に巻回される。メインローラ４の外周面に接触するフィルムＦの内側の面（非成膜面または非処理面）は、メインローラ４によって所定温度以下に冷却あるいは所定温度以上に加熱される。メインローラ４に巻回されたフィルムＦは、メインローラ４の回転により時計回りに搬送され、その搬送過程で、成膜ユニット６により蒸発材料の膜がフィルムＦの成膜面の成膜領域に形成される（図２参照）。成膜されたフィルムＦは、ガイドローラ５Ｅ〜５Ｈを介して巻取りローラ３に巻き取られる。

フィルム搬送機構５０において、フィルム搬送経路に各々設置されたメインローラ４及び蒸発源６１（成膜ユニット６）は、フィルムＦの処理面に所定の表面処理を施す処理部に相当する。上記処理部としては、成膜処理部に限られず、これに代えて又はこれに加えて、フィルムＦの加熱脱ガス・水分除去、表面クリーニング、表面改質のためのイオンビームや電子ビーム等の荷電ビーム照射処理、オイルマスキング処理、プラズマを用いた除電処理等の種々の表面処理ユニットが適用可能である。例えば、荷電ビーム照射処理ユニットは、ガイドローラ５Ａとガイドローラ５Ｂとの間に設置することができ、除電処理のためのイオンボンバード機構は、メインローラ４とガイドローラ５Ｅとの間に設置することができる。

その一方で、フィルムＦまたは成膜材料の種類、成膜形態、装置の使用条件などにより、フィルムＦの成膜領域をガイドローラのロール面に接触させることができない場合がある。フィルムＦの成膜領域にガイドローラのロール面が接触すると、成膜部に微小なキズがつくなどの問題を招くからである。

この場合、例えば図３に示す蒸着装置２のように、フィルムＦの非成膜面のみを支持するガイドローラ５Ａ，５Ｂ，５Ｄ，５Ｅ，５Ｇ，及び５ＨによってフィルムＦの走行をガイドする方法が考えられる。しかし、この方法では、フィルムＦとガイドローラ５Ｂ，５Ｄ，５Ｅ，５Ｇとの間に十分な接触角（抱き角）を確保することができないためフィルムＦの安定した走行性を確保することができないこと、ガイドローラの配置位置が制限されるため装置構成上の制約が大きくなること、等の不具合が生じる。

そこで、フィルムＦの成膜面に接触するガイドローラを図４Ａに示すような構成にする方法がある。図４Ａに示すガイドローラ２９は、円柱状のロール面２９ａに、フィルムＦの両側縁部を支持するように互いに離間して突出形成された一対の環状のガイド部２９ｂを備えている。各ガイド部２９ｂは、非成膜領域あるいは不使用範囲であるフィルムＦの両側縁部を支持し、フィルムＦの成膜領域Ｆｃとロール面２９ａとの接触を回避する。

しかしながら、フィルムＦは長尺であり、かつ張力が加えられた状態で搬送されるため、フィルムＦの中央部が撓み、図４Ｂに示すようにフィルムＦの成膜面Ｆａがガイドローラ２９のロール面２９ａに接触する場合がある。さらに、フィルムＦの安定したガイド機能が果たせず、フィルムＦの走行経路が乱れ、巻取りローラ３によるフィルムＦの巻取りに支障をきたすおそれがある。

一方、一対のガイド部２９ｂにフィルムＦを挟んで対向する一対の補助ローラを設置し、この補助ローラでフィルムＦの両側縁部をガイド部２９ｂに向けて押圧することで、フィルム中央部の撓みを抑える方法がある。しかし、この方法においても、フィルムの張力の影響でフィルム中央部の撓みを十分に抑えることはできない。

さらに、加熱処理、冷却処理、放電処理、成膜処理等のプロセスによって熱の収支があるため、フィルムの温度は走行位置に応じて変化する。このため、フィルムの走行方向と直交する幅方向に張力あるいは上記幅方向に分力を加えなければフィルムに皺などが発生し、これが原因でフィルムまたは成膜層がダメージを受けるおそれがある。この場合、ガイドローラが図４Ａに示したような段付き構造を有する場合、ガイドローラに接する部分と接しない部分との間でフィルムに応力が発生するため、フィルムに与えるダメージはより甚大となる。特に、厚さが５０μｍ以下のフィルムでは、皺の発生およびそれによるダメージがより一層顕著である。

そこで本実施形態では、上述のような問題を解消するため、フィルム搬送機構５０が以下のように構成されている。

（基本構成）
本実施形態のフィルム搬送機構５０は、図１に示すように、第１のガイドローラ５１と、第２のガイドローラ５２とを有する。第１のガイドローラ５１は、巻出しローラ２とメインローラ４（処理部）との間に配置され、フィルムＦの成膜面（処理面）の両側縁部を支持する。一方、第２のガイドローラ５２は、巻出しローラ２と第１のガイドローラ５１との間、及び、第１のガイドローラ５１とメインローラ４との間の少なくとも１つに配置され、フィルムＦの成膜面とは反対側の非成膜面（非処理面）を支持する。

本実施形態において、第１のガイドローラ５１は、ガイドローラ５Ｃに適用され、第２のガイドローラ５２は、ガイドローラ５Ｃの直上流側のガイドローラ５Ｂと、ガイドローラ５Ｃの直下流側のガイドローラ５Ｄとにそれぞれ適用される（図１参照）。

そして本実施形態において、第１のガイドローラ５１及び第２のガイドローラ５２の少なくとも１つは、フィルムＦに作用する張力をフィルムＦの幅方向に沿った引張応力に変換する拡幅構造を有する。

本実施形態において、巻出しローラ２とメインローラ４との間には、フィルムＦの成膜面の両側縁部を支持する第１のガイドローラ５１が設けられているため、フィルムＦの安定した走行性を確保しつつ、フィルムＦの成膜面（成膜領域）を保護することができる。また、第１及び第２のガイドローラ５１，５２のうち少なくとも１つがフィルムＦを拡幅させる構造を有するため、巻出しローラ２から繰り出されたフィルムＦを、皺の発生を抑えながら、メインローラ４へ搬送することができる。これにより、メインローラ４上におけるフィルムＦの皺の発生を極力抑えて、フィルムＦの非成膜面とメインローラ４との間の密着性を確保し、成膜処理中のフィルムの熱ダメージを低減することができる。

さらに、本実施形態のフィルム搬送機構５０は、図１に示すように、第３のガイドローラ５３と、第４のガイドローラ５４とをさらに有する。第３のガイドローラ５３は、メインローラ４と巻取りローラ３との間に配置され、フィルムＦの成膜面の両側縁部を支持する。一方、第４のガイドローラ５４は、メインローラ４と第３のガイドローラ５３との間、及び、第３のガイドローラ５３と巻取りローラ３との間の少なくとも１つに配置され、フィルムＦの非成膜面を支持する。

本実施形態において、第３のガイドローラ５３は、ガイドローラ５Ｆに適用され、第４のガイドローラ５４は、ガイドローラ５Ｆの直上流側のガイドローラ５Ｅと、ガイドローラ５Ｆの直下流側のガイドローラ５Ｇとにそれぞれ適用される（図１参照）。

そして、第３のガイドローラ５３及び第４のガイドローラ５４の少なくとも１つは、フィルムに作用する張力を前記フィルムの幅方向に沿った引張応力に変換する拡幅構造を有する。

本実施形態のフィルム搬送機構５０において、メインローラ４と巻取りローラ３との間には、フィルムＦの成膜面の両側縁部を支持する第３のガイドローラ５３が含まれているため、フィルムＦの安定した走行性を確保しつつ、成膜済のフィルムＦの成膜面（成膜領域）を保護することができる。また、第３及び第４のガイドローラ５３，５４のうち少なくとも１つがフィルムＦを拡幅させる構造を有するため、メインローラ４上で成膜されたフィルムＦを、皺の発生を抑えながら、巻取りローラ３へ搬送することができる。これにより、巻取りローラ３でのフィルムＦの巻取り異常を防止することができる。

（拡幅構造）
フィルムにその幅方向に沿った引張力を付与するガイドローラの拡幅構造としては、種々の構成が採用可能である。以下、第１〜第４のガイドローラに適用可能な拡幅構造の幾つかの構成例について説明する。

（適用例１）
図５Ａ，Ｂは、第１のガイドローラ５１及び第３のガイドローラ５３に適用可能な拡幅構造を有するガイドローラの一例を示す要部断面図である。

図５Ａ、Ｂに示すガイドローラ１５１は、円柱状のロール面５１０と、ロール面５１０の両端部に設けられた一対のガイド部５２０とを有する。一対のガイド部５２０は、ゴム、エラストマー等の弾性材料からなる環状のローラ部品で構成され、各々の内周面５２３がロール面５１０に固定される。一対のガイド部５２０は、相互に対向する第１の端部５２１と、第１の端部５２１の反対側の第２の端部５２２とを有する。また、一対のガイド部５２０は、フィルムＦの両側縁部を支持する外周面５２４を有し、当該外周面５２４のフィルム幅方向に沿った幅寸法がフィルムＦの非成膜領域の幅と同等かそれよりも小さくなるように構成される。外周面５２４には、当該外周面５２４の変形を容易とするため、その全周にわたって単数又は複数の環状溝５２６が設けられている。

各ガイド部５２０の第１の端部５２１は、ロール面５１０に対して所定の角度傾斜するテーパ面で構成される。本実施形態では、第１の端部５２１は、ロール面５１０の中心軸Ｃと同心的な円錐台形の周面で構成され、各ガイド部５２０の第１の端部５２１は、相互に接近する方向に外径が小さくなるように形成されている。

一方、各ガイド部５２０の第２の端部５２２は、ロール面５１０の軸方向における端部を底面とするすり鉢状の凹部５２５（図５Ａ，Ｂにおいて右側の凹部にのみ符示。）を有する。凹部５２５は、ロール面５１０の中心軸Ｃと同心的であり、その断面形状は等脚台形に形成される。凹部５２５は、その底部側に最小径Ｄ１を有し、その開口側に最大径Ｄ２を有する。凹部５２５の最小径Ｄ１はガイド部５２０の内周面５２３の径と等しく、最大径Ｄ２はガイド部５２０の外周面５２４の径と等しい。

フィルムＦの搬送中においては、ガイドローラ１５１に対して図５Ａ中矢印で示す方向にフィルムＦの張力Ｔ１が作用する。フィルムＦの成膜面の両側縁部を支持する一対のガイド部５２０は、ロール面５１０に向かって押圧されて、局所的に弾性変形する。この時、各第２の端部５２２が凹部５２５を有するため、一対のガイド部５２０は相互に離間する方向に変形し、これらガイド部５２０の変形により、図５Ｂにおいて矢印で示す方向にフィルムＦを拡張させる引張応力Ｔ２が生じる。このように一対のガイド部５２０は、フィルムＦを支持しつつ、フィルムＦに作用する張力をフィルムＦの幅方向に沿った引張応力に変換するガイド面として機能する。これにより、ガイドローラ１５１上においてフィルムＦへの皺の発生を防止し、フィルムＦの成膜領域とロール面５１０との間の非接触状態を維持して上記成膜領域を保護することができることになる。

（適用例２）
図６Ａ，Ｂは、第１のガイドローラ５１及び第３のガイドローラ５３に適用可能な拡幅構造を有するガイドローラの他の構成例を示す要部断面図である。

図６Ａ，Ｂに示すガイドローラ１５２は、円柱状のロール面５１０と、ロール面５１０の両端部に設けられた一対のガイド部５３０とを有する。一対のガイド部５３０は、金属材料等からなる高剛性の環状のローラ部品で構成され、ロール面５１０の両端に固定される。一対のガイド部５３０は、フィルムＦの両側縁部を支持する外周面５３１を有し、これら外周面５３１は、それぞれフィルムＦの側縁部に向かって上り傾斜となるテーパ面で構成される。

フィルムＦの搬送中においては、ガイドローラ１５２に対して図６Ａ中矢印で示す方向にフィルムＦの張力Ｔ１が作用する。一対のガイド部５３０の外周面５３１は、上述したテーパ面で構成されているため、張力Ｔ１は、フィルムＦをその幅方向に拡幅させる引張応力Ｔ２に変換される。このように一対のガイド部５３０は、フィルムＦを支持しつつ、フィルムＦに作用する張力をフィルムＦの幅方向に沿った引張応力に変換するガイド面として機能する。これにより適用例１と同様の作用効果を得ることができる。

（適用例３）
一方、図７は、第２のガイドローラ５２及び第４のガイドローラ５４に適用可能な拡幅構造を有するガイドローラの構成の一例を示す図である。

図７に示すガイドローラ１５３は、ロール径が中央部から両端部に向かって連続的に大きくなるように構成されたコンケーブローラで構成される。この種のガイドローラ１５３は、軸心のまわりに回転しながら、フィルムＦの非成膜面の全域を支持しつつ、走行途上でフィルムＦへ拡幅方向に引張応力Ｔ２を付与する。これにより、フィルムＦへの皺の発生が防止される。

（適用例４）
また、図８は、第２のガイドローラ５２及び第４のガイドローラ５４に適用可能な拡幅構造を有するガイドローラの他の構成例を示す図である。

図８に示すガイドローラ１５４は、フィルムＦの走行方向下流側に凸なる形状に湾曲したバナナローラあるいはエキスパンダローラで構成される。このような構成のガイドローラにおいても、適用例３と同様に、フィルムＦの拡幅機能を得ることができる。

（フィルム搬送機構の動作）
以上のように構成される本実施形態のフィルム搬送機構５０においては、図１に示すように、ガイドローラ５Ｃが第１のガイドローラ５１で構成され、その直上流側及び直下流側のガイドローラ５Ｂ，５Ｄが第２のガイドローラ５２で構成されているため、ガイドローラ５Ａを介して巻出しローラ２から繰り出されたフィルムＦは、その成膜面（成膜領域）を保護されつつ、拡幅作用を受けながらメインローラ４へ搬送される。したがって、フィルムＦに皺を生じさせることなくフィルムＦをメインローラ４の周面に密着させることができるため、フィルムＦの熱ダメージを抑えながらフィルムＦを成膜することが可能となる。

また、本実施形態のフィルム搬送機構５０においては、図１に示すように、ガイドローラ５Ｆが第３のガイドローラ５３で構成され、その直上流側及び直下流側のガイドローラ５Ｅ，５Ｇが第４のガイドローラ５４で構成されているため、メインローラ４上で成膜されたフィルムＦは、その成膜面（成膜領域）を保護されつつ、拡幅作用を受けながら、ガイドローラ５Ｈを介して巻取りローラ３に巻き取られる。したがって、フィルムＦに皺を生じさせることなくフィルムＦを巻取りローラ３へ搬送することができるため、フィルムＦの巻取り異常を防止することが可能となる。

また、本実施形態によれば、フィルム搬送途上において、フィルムＦの皺の発生を抑制することができるため、フィルムＦへの荷電ビームの照射処理や除電処理等をも適切に行うことができる。

また、本実施形態によれば、ガイドローラ５Ｃ，５ＦとフィルムＦとの接触部がフィルムＦの一部（両側縁部）に限定されているため、フィルムＦがガイドローラ５Ｃ，５Ｆから離れるときに発生し得る剥離帯電を抑制することができ、これにより更に安定したフィルム走行性を実現することができる。そして、ガイドローラ５Ｃ，５Ｆへのフィルム接触部を最小化できると同時に剥離帯電を防止できることから、フィルムＦへのパーティクルの付着が抑えられ、プロセスの歩留まりの飛躍的な向上が図れることになる。

ここで、本実施形態では、ガイドローラ５Ｂ及び５Ｄの両方が拡幅機能を有する第２のガイドローラ５２で構成されたが、ガイドローラ５Ａ，５Ｂ及び５Ｄのうち少なくとも１つが拡幅機能を有する第２のガイドローラ５２で構成されてもよいし、これらのガイドローラ５Ａ，５Ｂ及び５Ｄが拡幅機能を有しない通常のガイドローラで構成されてもよい。あるいは、ガイドローラ５Ａ，５Ｂ及び５Ｄのいずれかが拡幅機能を有する第２のガイドローラで構成される場合、フィルムＦの成膜面を支持するガイドローラ５Ｃは、拡幅機能を有しなくてもよい。

すなわち、ガイドローラ間の距離が所定以下の場合やフィルムＦの厚さ（剛性）が所定以上の場合、あるいはフィルムＦの搬送速度が所定以上の場合等においては、１つのガイドローラによるフィルムＦへの拡幅作用が他のガイドローラ上のフィルムにも有効に付与される。したがって、ガイドロールの設置間隔やフィルムＦの厚さ（剛性）、搬送速度等によっては、フィルムＦに拡幅作用を付与するガイドローラを任意に選択することができる。このことは、メインローラ４と巻取りローラ３との間に位置するガイドローラ５Ｅ〜５Ｈについても同様に適用可能である。

＜第２の実施形態＞
続いて、本発明の第２の実施形態について説明する。

図９は、本発明の第２の実施形態に係るフィルム搬送装置を示す概略構成図である。以下、第１の実施形態と異なる構成について主に説明し、第１の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。

本実施形態のフィルム搬送装置１５０は、例えば、第１の実施形態で説明したような巻取式真空蒸着装置におけるフィルム搬送機構として用いられる。フィルム搬送装置１５０は、第１の実施形態と同様に、巻出しローラ２と、巻取りローラ３と、メインローラ４と、複数のガイドローラ１５Ａ〜１５Ｈとを有する。ガイドローラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｄ，１５Ｅ，１５Ｇ及び１５Ｈ並びにメインローラ４はそれぞれフィルムＦの非成膜面を支持し、ガイドローラ１５Ｃ及び１５ＦはそれぞれフィルムＦの成膜面を支持する。

本実施形態のフィルム搬送装置１５０において、ガイドローラ１５Ｃ及び１５Ｆは、フィルムＦの成膜面の両側縁部を支持する第１及び第３のガイドローラで構成される。一方、ガイドローラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｄ，１５Ｅ，１５Ｇ，１５Ｈの少なくとも１つは、例えば図７及び図８に示したようなフィルムＦの拡幅機能を有する第２及び第４のガイドローラで構成される。

そして、本実施形態のフィルム搬送装置１５０は、図９に示すように、補助ローラ２５Ｃ，２５Ｆをさらに備える。補助ローラ２５Ｃ，２５Ｆはそれぞれ、ガイドローラ１５Ｃ，１５Ｆ（第１のガイドローラ、第３のガイドローラ）に対向して配置され、フィルムＦを挟んでガイドローラ１５Ｃ，１５Ｆと接触するように構成される。

図１０Ａ，Ｂは、ガイドローラ１５Ｃと補助ローラ２５Ｃとの組み合わせ例を示す要部断面図である。
なお、これらの構成例は、ガイドローラ１５Ｆと補助ローラ２５Ｆとの組み合わせにも同様に適用可能であるため、以下、ガイドローラ１５Ｃと補助ローラ２５Ｃとの組み合わせ例を中心に説明する。

図１０Ａ，Ｂに示す構成例では、ガイドローラ１５Ｃとして、図５に示したガイドローラ１５１が採用される。
図１０Ａに示す補助ローラ２５Ｃは、円筒状のロール面２５１と、そのロール面２５１の軸方向の両端に設けられた一対の環状のガイド部２５２とを有するガイドローラ２５０で構成される。各ガイド部２５２の外周面は円筒形状に形成され、フィルムＦの非成膜面（図において上面）の両側縁部を支持する。
一方、図１０Ｂに示す補助ローラ２５Ｃは、補助ローラ１５Ｃを構成するガイドローラ１５１と同一構成のガイドローラで構成され、フィルムＦの非成膜面（図において上面）の両側縁部を支持する。

補助ローラ２５Ｃは、図示しない付勢機構を介してガイドローラ１５Ｃに押圧される。これによりフィルムＦの両側縁部は、ガイドローラ１５Ｃと補助ローラ２５Ｃとに挟持された状態で搬送される。これにより、ガイドローラ１５Ｃの一対のガイド部５２０が相互に離間する方向へ弾性変形するため、フィルムＦの拡幅作用が得られ、これによりフィルムＦへ皺を発生させることなく、また、フィルムＦの成膜面（図中下面）をガイドローラ１５Ｃのロール面５１０に接触させることなく、フィルムＦを搬送することが可能となる。

図１０Ａに示す構成例では、ガイドローラ１５Ｃ及び補助ローラ２５Ｃのうちガイドローラ１５ＣにフィルムＦの拡幅機能を付与したが、これに限られず、補助ローラ２５ＣにフィルムＦの拡幅機能を付与してもよい。その構成例を図１０Ｃに示す。

フィルムＦの拡幅量は、ガイドローラ１５Ｃに対する補助ローラ２５Ｃの押圧力によって調整することが可能である。ガイドローラ１５Ｃに対する補助ローラ２５Ｃの押圧力は、外部からの制御指令（例えばコントローラ１１（図１参照）からの制御指令）によって調整可能に構成されてもよい。この場合、フィルムＦの搬送経路の適宜の位置に配置されたセンサユニットによってフィルムＦの平面度（撓み）を検出し、その検出出力に基づいてコントローラ１１が補助ローラ２５Ｃの上記押圧力を調整するように構成されてもよい。上記センサユニットの位置は、図９において例えばＳ１〜Ｓ６で符示する任意の１つ以上の位置とすることができる。

図１１Ａ，Ｂは、上記センサユニットの構成例を示す概略図である。

センサユニット１６は、図１１Ａに示すように、フィルムＦの成膜面及び非成膜面のうち一方の面に対向して配置されたヘッド部１６１を有し、ヘッド部１６１とフィルムＦとの間の距離を検出する。本実施形態において、ヘッド部１６１は、フィルムＦの幅方向に沿って配列された複数のセンサヘッド１６２を有する。複数のセンサヘッド１６２は、それぞれ、フィルムＦとの間の距離を検出可能に構成される。

距離の検出方法は特に限定されず、例えば、光学式の距離測定技術を用いることができる。また、フィルムＦにあらかじめ金属膜が設けられている場合や、成膜ユニット６（図１参照）において金属膜が成膜される場合は、光学式に加えて又はこれに代えて、渦電流式や静電容量式の距離測定技術を用いることができる。

センサユニット１６は、複数のセンサヘッド１６２の出力に基づいてフィルムＦへの皺の発生を検出する。すなわち、ヘッド部１６１とフィルムＦとの間の相対距離に分布が生じた場合、センサユニット１６はそれをフィルムＦにおける皺の発生として検出する。

なお、センサユニット１６は、図１１Ｂに示すように、フィルムＦの両方の面に対向して配置されてもよい。これにより、フィルムＦにおける皺の発生を、より高感度に検出することができる。

複数のセンサヘッド１６２は、配線１６３を介してコントローラ１１に接続される。コントローラ１１は、センサユニット１６の各センサヘッド１６２からの出力に基づいて、フィルムＦの皺の有無を検出し、必要に応じて、フィルムＦの拡幅量又はフィルムＦの搬送張力を調整する。

フィルムＦの拡幅量又は搬送張力を調整する方法又は調整機構としては、例えば、巻出しローラ２、巻取りローラ３又はメインローラ４の回転速度を制御してもよいし、ガイドローラ１５Ｃ，１５Ｆに対する補助ローラ２５Ｃ，２５Ｆの押圧力を調整してもよい。あるいは、ガイドローラ１５Ａ〜１５Ｈの少なくとも１つを、回転駆動源を有する駆動ローラで構成し、そのガイドローラの回転速度を制御することでフィルムＦの張力を調整することも可能である。さらに、ガイドローラ１５Ａ〜１５Ｈの一部を張力調整用のダンサーローラで構成し、そのダンサーローラの位置を可変に調整してもよい。

なお、上述したセンサユニット１６及び調整機構は、第１の実施形態で説明したフィルム搬送機構５０に対しても同様に適用可能である。

本実施形態によれば、上述の第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。特に本実施形態によれば、センサユニット１６により、フィルム搬送経路の適宜の位置でフィルムＦの皺の有無あるいは皺の程度を検出することができるため、フィルムの搬送張力、あるいは、拡幅機能を有するガイドローラ（例えばガイドローラ１５Ｃ，１５Ｆ等）上でのフィルム拡幅量の最適化を図ることができる。これにより、フィルムＦへの皺の発生を未然に防止することができるため、フィルムＦの安定した走行性が確保され、フィルムに対する適切な表面処理を実現し、更にフィルムＦの巻取り異常を防止することができる。

さらに、フィルムＦの表面位置を検出しフィルムＦの搬送張力を調整することにより、フィルムＦに作用する応力を制御することができるため、後工程でのフィルム応力の偏在、応力履歴による不良を低減することができる。

したがって、これらの作用効果により、今後のフレキシブルデバイス等の高機能性フィルムに要求される、ベースフィルムに微細加工を施したフィルム、ベースフィルムにアンダーコートを施したフィルム、ベースフィルムに真空中でトップコートを施したフィルム、フィルム両面プロセス等の処理において、歩留り及び生産性の向上を図ることが可能となる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。

例えば以上の実施形態では、フィルムＦの成膜面を支持するガイドローラ５Ｃ，５Ｆ，１５Ｃ，１５Ｆとして、フィルムＦの両側縁部を支持する一対のガイド部を有するガイドローラが用いられたが、両側縁部以外に不使用領域を有するフィルムの搬送に際しては、図１２Ａ，Ｂに概略的に示したガイドローラ３５が用いられてもよい。

図１２Ａ，Ｂに示すガイドローラ３５は、円筒状のロール面３５１と、そのロール面３５１の軸方向両端部に設けられた一対の環状のガイド部３５２と、これら一対のガイド部３５２間に配置された単数又は複数の補助ガイド部３５３とを有する。補助ガイド部３５３は、ガイド部３５２と同径の環状体で構成され、ロール面３５１の適宜の位置に設けられる。具体的には、フィルムＦの成膜面の両側縁部以外の不使用領域に対向する位置に、補助ガイド部３５３が配置される。

このようにフィルムＦの不使用領域の数や位置に合わせて補助ガイド部３５３が追加的に設けられたガイドローラ３５を用いることにより、フィルムＦの走行安定性をさらに高めることが可能となる。

また、第２のガイドローラに付与される拡幅構造は、図７及び図８に示したコンケーブローラやエキスパンダローラに限られず、拡幅機能を有する公知のガイドローラ全般に適用可能である。その他、ガイドローラの数や構成、配置等も上述の例に限定されず、適宜設定可能である。成膜ユニット６についても同様に、成膜方式の種類に応じて適宜選択可能であり、例えばスパッタリングカソードやＣＶＤ用シャワープレート等の他の成膜源が用いられてもよい。また、成膜以外にも、エッチングやイオンビーム加工、熱処理などの上述したような他の表面処理が適用可能である。

さらに、成膜後のフィルムへのごみなどの転写、フィルムの貼り付き防止のため、図１３に示す合紙機構を上述の各実施形態に組み合わせることによって、高機能性フィルムの処理に対してさらに有効である。

図１３に示す合紙機構１７は、巻取りローラ３の近傍に配置され、独自の回転駆動部を備えていないフリーローラで構成される。合紙機構１７には、合紙Ｓが巻回される。合紙Ｓは成膜後のフィルムＦの非成膜面と重なり合って巻取りローラ３にフィルムＦと共に巻き取られる。合紙Ｓには、フィルムＦの表面を保護する保護シートが用いられる。フィルムＦの間に合紙Ｓを介在させることにより、フィルム非成膜に付着したパーティクルがフィルム成膜面に転写されることを防止して、フィルム成膜面を保護することができる。

本発明に係るフィルム搬送装置は、フレキシブル有機ＥＬデバイスの生産装置、ＦＣＣＬ、メタルメッシュ、タッチパネル用ＩＴＯ膜の生産装置、電子部品用バリア膜の生産装置等、ロールツーロール方式の処理装置全般に広く適用可能である。特に、成膜前においてはフィルム表面の損傷、フィルム表面へのパーティクルの付着、ローラ表面に付着した異物のフィルムへの転写等の防止のため、また成膜後においては成膜面の保護と搬送によるフィルムの帯電防止のため、本発明に係るフィルム搬送技術はさらに重要になる。

１…蒸着装置
２…巻出しローラ
３…巻取りローラ
４…メインローラ
５０，１５０…フィルム搬送機構（フィルム搬送装置）
５Ａ〜５Ｈ、１５Ａ〜１５Ｈ…ガイドローラ
６…成膜ユニット
１１…コントローラ
１６…センサユニット
１７…合紙機構
２５Ｃ，２５Ｆ…補助ローラ
５１，１５１，１５２…第１のガイドローラ
５２，１５３，１５４…第２のガイドローラ
５３，１５１，１５２…第３のガイドローラ
５４，１５３，１５４…第４のガイドローラ
３５２，５２０，５３０…ガイド部
Ｆ…フィルム

Claims (10)

1. フィルムを繰り出す巻出しローラと、
   前記巻出しローラから繰り出された前記フィルムを巻き取る巻取りローラと、
   前記フィルムの搬送経路に配置され前記フィルムの処理面に所定の表面処理を施す処理部と、
   前記巻出しローラと前記処理部との間に配置され、前記処理面の両側縁部を支持する第１のガイドローラと、
   前記巻出しローラと前記第１のガイドローラとの間、及び、前記第１のガイドローラと前記処理部との間の少なくとも１つに配置され、前記フィルムの前記処理面とは反対側の非処理面を支持する第２のガイドローラと
   を具備し、
   前記第１のガイドローラ及び前記第２のガイドローラの少なくとも１つは、前記フィルムに作用する張力を前記フィルムの幅方向に沿った引張応力に変換する拡幅構造を有する
   フィルム搬送装置。
2. 請求項１に記載のフィルム搬送装置であって、
   前記第１のガイドローラは、
   前記処理面に隙間をおいて対向する円柱状のロール面と、
   前記ロール面上にそれぞれ設けられ、前記処理面の両側縁部を支持する一対のガイド部と、を有する
   フィルム搬送装置。
3. 請求項２に記載のフィルム搬送装置であって、
   前記一対のガイド部は、前記フィルムに作用する張力を受けて相互に離間する方向へ変形することが可能な弾性材料で構成される
   フィルム搬送装置。
4. 請求項２に記載のフィルム搬送装置であって、
   前記一対のガイド部の周面は、前記フィルムの側縁部に向かって上り傾斜となるテーパ面で構成される
   フィルム搬送装置。
5. 請求項２〜４のいずれか１つに記載のフィルム搬送装置であって、
   前記第１のガイドローラに対向して配置され、前記フィルムを挟んで前記第１のガイドローラと接触する補助ローラをさらに具備する
   フィルム搬送装置。
6. 請求項１〜５のいずれか１つに記載のフィルム搬送装置であって、
   前記第２のガイドローラは、拡張ローラで構成される
   フィルム搬送装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１つに記載のフィルム搬送装置であって、
   前記処理部と前記巻取りローラとの間に配置され、前記処理面の両側縁部を支持する第３のガイドローラと、
   前記処理部と前記第３のガイドローラとの間、及び、前記第３のガイドローラと前記巻取りローラとの間の少なくとも１つに配置され、前記非処理面を支持する第４のガイドローラと
   をさらに具備し、
   前記第３のガイドローラ及び前記第４のガイドローラの少なくとも１つは、前記フィルムに作用する張力を前記フィルムの幅方向に沿った引張応力に変換する拡幅構造を有する
   フィルム搬送装置。
8. 請求項１〜７のいずれか１つに記載のフィルム搬送装置であって、
   前記処理面及び前記非処理面の少なくとも１つに対向して配置されたヘッド部を有し、前記ヘッド部と前記フィルムとの間の距離を検出するセンサユニットと、
   前記センサユニットの出力に基づいて、前記第１のガイドローラ又は前記第２のガイドローラによる前記フィルムの拡幅量、又は前記フィルムの搬送張力を調整する調整機構と
   をさらに具備するフィルム搬送装置。
9. 請求項８に記載のフィルム搬送装置であって、
   前記ヘッド部は、前記フィルムの幅方向に配列された複数のセンサヘッドを含む
   フィルム搬送装置。
10. 請求項１〜９のいずれか１つに記載のフィルム搬送装置であって、
    前記処理部は、
    前記フィルムの前記非処理面を支持するメインローラと、
    前記メインローラに対向して配置され、前記フィルムの前記処理面を成膜する成膜ユニットとを含む
    フィルム搬送装置。

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