JP2017105976A - 研磨パッド固定用粘着シート - Google Patents
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Abstract
Description
ここに開示される粘着シートは、基材の両面(第一面および第二面)にそれぞれ第一粘着剤層および第二粘着剤層が設けられた両面粘着シートの形態を有しており、上記第一粘着剤層の粘着面が研磨パッドに貼り付けられることで研磨部材(粘着シート付き研磨パッド)を構成し、または研磨パッドを他の部材(典型的には研磨装置定盤)に固定するために用いられる粘着シートである。ここで研磨パッドとは、研磨対象物の研磨において用いられる部材であって、研磨対象物に押しつけられつつ相対移動することで該研磨対象物に研磨力を適用する研磨パッド(研磨布と称されることもある。)と、研磨対象物を支持する研磨パッド(バックパッドと称されることもある。)との双方を包含する概念である。ここに開示される粘着シートは、研磨布固定用としてもバックパッド固定用としても使用され得る。
ここに開示される粘着シートの貼り付け対象である研磨パッドの材質は、特に限定されず、例えば、ウレタンフォーム(発泡ポリウレタン)系、ポリオレフィンフォーム(発泡ポリオレフィン)系その他の発泡樹脂系研磨パッドや、無発泡樹脂系研磨パッド、不織布系研磨パッド等であり得る。上述した研磨パッドの少なくとも一層を含む積層構造を有する研磨パッドであってもよい。
ここに開示される粘着シートは、ウレタンフォーム系研磨パッドの固定に好ましく用いられる。特に限定するものではないが、例えば密度0.3〜1.2g/cm3(典型的には0.4〜1.0g/cm3)のウレタンフォーム系研磨パッドに対して、ここに開示される粘着シートを好ましく適用することができる。
上記研磨パッドの硬さ(JIS K6400−2(2004)A法)について特に制限はない。ここに開示される粘着シートは、例えば、上記硬さが60〜120N(典型的には70〜100N)程度である研磨パッド(ウレタンフォーム系研磨パッドの場合、硬質ウレタン系研磨パッドともいう。)の固定に好ましく使用され得る。なお、研磨パッドは、砥粒をパッド内に固定したものであってもよい。
ここに開示される粘着シート(テープ状等の長尺状の形態であり得る。)は、例えば、図2に示す断面構造を有する両面粘着シートの形態であり得る。この両面粘着シート1は、基材15と、基材15の両面にそれぞれ支持された第一粘着剤層11および第二粘着剤層12とを備える。より詳しくは、基材15の第一面15Aおよび第二面15B(いずれも非剥離性)に、第一粘着剤層11および第二粘着剤層12がそれぞれ設けられている。使用前(被着体への貼り付け前)の両面粘着シート1は、図2に示すように、前面21Aおよび背面21Bがいずれも剥離面である剥離ライナー21と重ね合わされて渦巻き状に巻回された形態であり得る。かかる形態の両面粘着シート1は、第二粘着剤層12の表面(第二粘着面12A)が剥離ライナー21の前面21Aにより、第一粘着剤層11の表面(第一粘着面11A)が剥離ライナー21の背面21Bにより、それぞれ保護されている。あるいは、第一粘着面11Aおよび第二粘着面12Aが2枚の独立した剥離ライナーによりそれぞれ保護された形態であってもよい。
ここに開示される粘着シートを構成する基材は特に限定されず、例えば、ポリエチレン(PE)フィルム、ポリプロピレン(PP)フィルム、エチレン−プロピレン共重合体フィルム等のポリオレフィン系フィルム、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム等のポリエステルフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム等のプラスチックフィルム;ポリウレタンフォーム、ポリエチレンフォーム、ポリクロロプレンフォーム等の発泡体からなる発泡体シート;各種の繊維状物質(麻、綿等の天然繊維、ポリエステル、ビニロン等の合成繊維、アセテート等の半合成繊維、等であり得る。)の単独または混紡等による織布および不織布(和紙、上質紙等の紙類を包含する意味である。);アルミニウム箔、銅箔等の金属箔;等を適宜選択して用いることができる。上記プラスチックフィルム(典型的には非多孔質のプラスチック膜を指し、織布や不織布とは区別される概念である。)としては、無延伸フィルムおよび延伸(一軸延伸または二軸延伸)フィルムのいずれも使用可能である。基材には、下塗剤の塗布、コロナ放電処理等の表面処理(典型的には、粘着剤の基材への投錨性を高めるための処理)が施されていてもよい。
ここに開示される粘着シートにおいて、第一粘着剤層を構成する粘着剤(パッド側粘着剤)および第二粘着剤層を構成する粘着剤(定盤側粘着剤)は、いずれもアクリル系粘着剤である。ここで「アクリル系粘着剤」とは、アクリル系ポリマーをベースポリマーとして含む粘着剤をいう。パッド側粘着剤の組成と定盤側粘着剤の組成とは、同一であってもよく異なってもよい。ここに開示される粘着シートの典型的な態様では、該一粘着剤層および第二粘着剤層のうち少なくとも第二粘着剤層(定盤側粘着剤層)が、所定の要件を満たすアクリル系粘着剤Sにより構成されている。第一粘着剤層(パッド側粘着剤層)を構成する粘着剤および定盤側粘着剤層を構成する粘着剤が、いずれも粘着剤Sであってもよい。この場合において、定盤側粘着剤とパッド側粘着剤とは、同一の粘着剤Sであってもよく、粘着剤Sの要件を満たす粘着剤から選択された異なる粘着剤であってもよい。
アクリル系ポリマーとしては、例えば、アルキル(メタ)アクリレートを主モノマーとして含み、該主モノマーと共重合性を有する副モノマーをさらに含み得るモノマー原料(モノマー成分)の重合物が好ましい。ここで主モノマーとは、上記モノマー原料におけるモノマー組成の50重量%超を占める成分をいう。
CH2=C(R1)COOR2 (1)
ここで、上記式(1)中のR1は水素原子またはメチル基である。また、R2は炭素原子数1〜20のアルキル基である。以下、このような炭素原子数の範囲を「C1−20」と表すことがある。粘着剤の貯蔵弾性率等の観点から、R2がC1−14(例えばC2−10、典型的にはC4−9)のアルキル基であるアルキル(メタ)アクリレートが好ましく、R1が水素原子であってR2がC4−9のアルキル基であるアルキルアクリレート(以下、単にC4−9アルキルアクリレートともいう。)がより好ましい。
BAおよびC6−9アルキル(メタ)アクリレートを含む態様において、それらの合計量が全モノマー成分に占める割合は、例えば70重量%以上とすることができ、典型的には80重量%以上、好ましくは85重量%以上であり、90重量%以上であってもよい。また、上記合計量が全モノマー成分に占める割合は、100重量%であってもよく、典型的には99.5重量%以下、好ましくは99重量%以下、例えば98重量%以下である。
1/Tg=Σ(Wi/Tgi)
なお、上記Foxの式において、Tgは共重合体のガラス転移温度(単位:K)、Wiは該共重合体におけるモノマーiの重量分率(重量基準の共重合割合)、Tgiはモノマーiのホモポリマーのガラス転移温度(単位:K)を表す。
2−エチルヘキシルアクリレート −70℃
ブチルアクリレート −55℃
2−ヒドロキシエチルアクリレート −15℃
4−ヒドロキシブチルアクリレート −40℃
酢酸ビニル 32℃
アクリル酸 106℃
メタクリル酸 228℃
ここに開示される技術におけるアクリル系粘着剤は、上記アクリル系ポリマー(ベースポリマー)に加えて、必要に応じて粘着付与樹脂を含み得る。少なくとも定盤側粘着剤(粘着剤S)が粘着付与樹脂を含むことが好ましい。定盤側粘着剤およびパッド側粘着剤のいずれもが粘着付与樹脂を含んでもよい。この場合において、定盤側粘着剤に含まれる粘着付与樹脂の種類および量と、パッド側粘着剤に含まれる粘着付与樹脂の種類および量とは、同一でもよく異なってもよい。粘着付与樹脂の含有量(複数種類の粘着付与樹脂を含む場合はそれらの合計含有量)は特に限定されない。例えば、アクリル系ポリマー100重量部に対して凡そ3重量部以上(好ましくは凡そ5重量部以上、より好ましくは凡そ9.5重量部以上、典型的には凡そ10重量部以上、例えば凡そ15重量部以上)とすることができる。また、粘着付与樹脂の含有量は、通常、アクリル系ポリマー100重量部に対して凡そ50重量部未満(典型的には凡そ45重量部以下、例えば凡そ43重量部以下)とすることが適当であり、凡そ40重量部以下(例えば凡そ40重量部未満)とすることが好ましく、凡そ35重量部以下としてもよい。
ロジン誘導体樹脂としては、例えば、未変性ロジンとアルコール類とのエステルである未変性ロジンエステル、変性ロジン(水素添加ロジン、不均化ロジン、重合ロジン等)とアルコール類とのエステルである変性ロジンエステル等のロジンエステル類;例えば、ロジン類を不飽和脂肪酸で変性した不飽和脂肪酸変性ロジン類;例えば、ロジンエステル類を不飽和脂肪酸で変性した不飽和脂肪酸変性ロジンエステル類;例えば、ロジン類または上記の各種ロジン誘導体(ロジンエステル類、不飽和脂肪酸変性ロジン類および不飽和脂肪酸変性ロジンエステル類を包含する。)のカルボキシ基を還元処理したロジンアルコール類;例えば、ロジン類または上記の各種ロジン誘導体の金属塩;ロジン類(未変性ロジン、変性ロジン、各種ロジン誘導体等)にフェノールを酸触媒で付加させ熱重合することにより得られるロジンフェノール樹脂;等が挙げられる。
変性テルペン樹脂の例としては、上記テルペン樹脂を変性したものが挙げられる。具体的には、スチレン変性テルペン樹脂、水素添加テルペン樹脂等が例示される。
重合ロジン系粘着付与樹脂の含有量を上記範囲とすることは、研磨パッドに対する接着性の観点からも有利となり得る。したがって、ここに開示される技術は、定盤側粘着剤およびパッド側粘着剤がいずれもアクリル系ポリマー100重量部に対して上記の量の重合ロジン系粘着付与樹脂を含む粘着剤Sである態様で好ましく実施され得る。
ここに開示される技術において、粘着剤層の形成に用いられる粘着剤組成物は、必要に応じて架橋剤を含んでもよい。すなわち、粘着剤層を構成する粘着剤は、上記架橋剤により架橋した構造を有していてもよい。架橋剤の種類は特に制限されず、従来公知の架橋剤から適宜選択して用いることができる。そのような架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、アミン系架橋剤等が挙げられる。架橋剤は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。架橋剤の使用量は特に制限されない。例えば、アクリル系ポリマー100重量部に対して凡そ10重量部以下とすることができ、好ましくは凡そ0.001重量部以上(例えば凡そ0.01重量部以上)、凡そ10重量部以下(例えば凡そ5重量部以下)の範囲から選択することができる。
ここに開示される粘着剤は、必要に応じて、レベリング剤、架橋剤、架橋助剤、可塑剤、軟化剤、充填剤、着色剤(顔料、染料等)、帯電防止剤、老化防止剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、光安定剤等の、粘着剤の分野において一般的な各種の添加剤を含有するものであり得る。このような各種添加剤については、従来公知のものを常法により使用することができる。
ここに開示される技術において、粘着剤層の形成に用いられる粘着剤組成物の形態は特に限定されず、例えば、上述のような組成の粘着剤(粘着成分)を有機溶媒中に含む形態(溶剤型)の粘着剤組成物、粘着剤が水性溶媒に分散した形態(水分散型、典型的には水性エマルション型)の粘着剤組成物、ホットメルト型の粘着剤組成物等であり得る。塗工性および基材の選択自由度等の観点から、溶剤型または水分散型の粘着剤組成物を好ましく採用し得る。より高い粘着性能を実現する観点から、溶剤型の粘着剤組成物が特に好ましい。かかる溶剤型粘着剤組成物は、典型的には、上述した各成分を有機溶媒中に含む溶液の形態に調製される。上記有機溶媒は、公知ないし慣用の有機溶媒(例えば、溶液重合に用いる溶媒として上記で例示した有機溶媒)から適宜選択することができる。特に限定するものではないが、通常は、上記溶剤型粘着剤組成物を固形分(NV)凡そ30重量%以上(例えば凡そ40重量%以上)、凡そ65重量%以下(例えば凡そ55重量%以下)に調製することが適当である。NVが低すぎると製造コストが高くなりがちであり、NVが高すぎると塗工性等の取扱い性が低下することがある。
ここに開示される技術における粘着シートの総厚(剥離ライナーを含まない粘着シートの厚さ)は特に限定されない。粘着シートの厚さは、例えば凡そ50μm以上(典型的には凡そ75μm以上、好ましくは凡そ100μm以上、より好ましくは凡そ120μm以上)とすることができ、また、例えば凡そ500μm以下(典型的には凡そ450μm以下、好ましくは凡そ400μm以下、例えば凡そ350μm以下)とすることができる。上記の総厚を有する粘着シートは、例えば、より大型の研磨パッドに貼り付けやすいものとなり得る。また、より大型の研磨パッドに貼り付けて使用される態様において、研磨パッドを定盤に貼り付ける際や、使用後の研磨パッドを粘着シートとともに定盤から剥がす際の作業性のよいものとなり得る。
ここに開示される剥離ライナーとしては、慣用の剥離紙等を使用することができ、特に限定されない。例えば、剥離ライナーを構成する支持体用基材(剥離処理対象)としては、各種の樹脂フィルム類、紙類、布類、ゴムシート類、発泡体シート類、金属箔、これらの複合体(例えば、紙の両面にオレフィン樹脂がラミネートされた積層構造のシート)等を適宜選択して用いることができる。剥離処理は、公知または慣用の剥離処理剤(例えば、シリコーン系、フッ素系、長鎖アルキル系等の剥離処理剤)を用いて常法により行うことができる。例えば、両面にPE樹脂がラミネートされた上質紙をシリコーン系剥離剤で処理してなる剥離ライナーを好ましく採用し得る。また、オレフィン系樹脂(例えば、PE、PP、エチレン−プロピレン共重合体、PE/PP混合物)、フッ素系ポリマー(例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン)等の低接着性の基材を、該基材の表面に剥離処理を施すことなく剥離ライナーとして用いてもよい。あるいは、かかる低接着性の基材に剥離処理を施したものを用いてもよい。剥離ライナーの厚さは、作業性等の観点から凡そ10μm以上(例えば凡そ50μm以上、典型的には凡そ60μm以上)、凡そ300μm以下(例えば凡そ200μm以下、典型的には凡そ160μm以下)とすることが適当である。
ここに開示される粘着シートは、第二粘着剤層の粘着面(定盤側粘着面)の粘着力F2が10N/20mmを超える値であることが好ましい。研磨パッドの定盤への固定をより強固に行う観点から、上記粘着力F2は、好ましくは11N/20mm以上、より好ましくは12N/20mm以上(例えば13N/20mm以上)である。また、使用後の研磨パッドを粘着シートとともに定盤から剥がす際の作業性の観点から、上記粘着力F2は、通常、30N/20mm以下が適当であり、25N/20mm以下が好ましい。粘着力F2は、23℃、50%RHの環境下にて、上記粘着面を被着体としてのステンレス鋼(SUS)板の表面に2kgのローラを1往復させて圧着し、30分間放置した後、JIS Z0237に準じて、剥離角度180度、引張速度300mm/分の条件で測定される。より詳しくは、後述する実施例に記載の方法にしたがって測定される。
ここに開示される研磨部材(粘着シート付き研磨パッド)は、典型的には、ここに開示されるいずれかの粘着シートの第一粘着面を研磨パッドの裏面に圧着することにより得ることができる。ここに開示される粘着シートは、上記圧着を常温で(例えば、40℃程度またはそれ以上の温度に加熱することなく)行うことによっても、上記研磨パッドに適切に貼り付けられ、ここに開示される研磨部材を構成することができる。このことは、広幅の(例えば、幅が600mm以上、さらには1050mm以上の)粘着シートまたは対応するサイズの研磨パッドを用いた研磨部材において特に有意義である。
(例1)
攪拌機、温度計、窒素ガス導入管、還流冷却器および滴下ロートを備えた反応容器に、モノマー成分としてのn−ブチルアクリレート(BA)70部、2−エチルヘキシルアクリレート(2EHA)30部、アクリル酸(AA)3部および4−ヒドロキシブチルアクリレート(4HBA)0.05部と、重合開始剤としての2,2’−アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)0.08部と、重合溶媒としてのトルエン150部とを仕込み、65℃で8時間溶液重合してアクリル系ポリマーP1のトルエン溶液を得た。上記アクリル系ポリマーP1のMwは44×104であった。
上記アクリル系ポリマーP1のトルエン溶液に、その固形分100部に対して2部のイソシアネート系架橋剤(東ソー社製品、商品名「コロネートL」)を加えて、アクリル系粘着剤組成物A1を調製した。
基材として、厚さ50μmのPETフィルムを用意した。この基材の第一面に粘着剤組成物A1を塗布し、乾燥処理を行い、厚さ50μmの第一粘着剤層を形成した。その第一粘着剤層に、シリコーン系剥離剤により剥離処理された剥離ライナー(第一剥離ライナー)を貼り合わせた。次いで、上記第一剥離ライナーと同じ構成の剥離ライナー(第二剥離ライナー)を別に用意し、この第二剥離ライナーの表面に粘着剤組成物A1を塗布し、乾燥処理を行って厚さ50μmの第二粘着剤層を形成し、この第二粘着剤層側表面を上記PETフィルム基材の第二面(第一面とは反対側の面)に積層(転写)した。このようにして例1に係る両面粘着シート(基材としてのPETフィルムの両面に厚さ50μmの第一粘着剤層および厚さ50μmの第二粘着剤層を有する粘着シート)を作製した。この粘着剤層のゲル分率(上述した方法による測定値。以下同じ。)は52.5%であった。
上記アクリル系ポリマーP1のトルエン溶液に、その固形分100部に対して表1に示す量の粘着付与樹脂R1(荒川化学社製の重合ロジンペンタエリスリトールエステル、商品名「ペンセルD125」、軟化点125℃)と2部のイソシアネート系架橋剤(東ソー社製品、商品名「コロネートL」)とを加えて、アクリル系粘着剤組成物A2〜A7をそれぞれ調製した。粘着剤組成物A1に代えて粘着剤組成物A2〜A7を用いた他は例1と同様にして、例2〜例7に係る両面粘着シートをそれぞれ作製した。粘着剤層のゲル分率は、例2では46.9%、例3では39.6%、例4では25.0%、例7では0.9%であった。
攪拌機、温度計、窒素ガス導入管、還流冷却器および滴下ロートを備えた反応容器に、モノマー成分としてのBA100部およびAA5部と、重合開始剤としてのベンゾイルパーオキサイド0.2部と、重合溶媒としてのトルエン120部とを仕込み、60℃で7時間溶液重合してアクリル系ポリマーP2のトルエン溶液を得た。上記アクリル系ポリマーP2のMwは55×104であった。
上記アクリル系ポリマーP2のトルエン溶液に、その固形分100部に対して30部の粘着付与樹脂R1と2部のイソシアネート系架橋剤(東ソー社製品、商品名「コロネートL」)とを加えて、アクリル系粘着剤組成物A8を調製した。粘着剤組成物A1に代えて粘着剤組成物A8を用いた他は例1と同様にして、例8に係る両面粘着シートを作製した。粘着剤層のゲル分率は1.6%であった。
上記アクリル系ポリマーP1のトルエン溶液に、その固形分100部に対して30部の粘着付与樹脂R2(ヤスハラケミカル社製のテルペンフェノール樹脂、商品名「YSポリスターT145」)と2部のイソシアネート系架橋剤(東ソー社製品、商品名「コロネートL」)とを加えて、アクリル系粘着剤組成物A9を調製した。粘着剤組成物A1に代えて粘着剤組成物A9を用いた他は例1と同様にして、例9に係る両面粘着シートを作製した。粘着剤層のゲル分率は40.0%であった。
ベースポリマーとしての天然ゴム(ムーニー粘度75)100部およびスチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体(日本ゼオン社製、商品名「クインタック3460C」)30部と、粘着付与樹脂R3(日本ゼオン社製、無水マレイン酸変性C5,C9レジン、商品名「クイントンD−200」)40部と、粘着付与樹脂R4(住友ベークライト社製、フェノール変性ロジン、商品名「スミライトPR12603N」)40部と、フェノール系老化防止剤(大内新興化学工業社製、商品名「ノクラックNS−6」)1部とをトルエンに溶解させた後、イソシアネート系架橋剤(東ソー社製品、商品名「コロネートL」)3部を加えてゴム系粘着剤組成物A10を調製した。粘着剤組成物A1に代えて粘着剤組成物A10を用いた他は例1と同様にして、例10に係る両面粘着シートを作製した。
[粘着力]
各例に係る両面粘着シートの第一粘着面(第一粘着剤層の粘着面)に厚さ25μmのPETフィルムを貼り合わせ、幅20mm、長さ100mmのサイズにカットして測定サンプルを作製した。23℃、50%RHの標準環境下にて、上記測定サンプルの第二粘着面(第二粘着剤層の粘着面)を露出させ、該第二粘着面を被着体の表面に、2kgのローラを1往復させて圧着した。これを同環境下に30分間放置した後、万能引張圧縮試験機(装置名「引張圧縮試験機、TCM−1kNB」ミネベア社製)を使用して、JIS Z0237に準じて、剥離角度180度、引張速度300mm/分の条件で剥離強度を測定した。被着体としてはステンレス鋼板(SUS304板)を使用した。測定は3回行い、その平均値を記録した。結果を表1に示す。
上記粘着力測定において、被着体に粘着シートを圧着する環境、圧着後に保持する環境および剥離強度測定を行う環境を、いずれも上記標準環境から−10℃の環境に変更した。その他の点は上記粘着力測定と同様にして低温粘着力を測定した。結果を表1に示す。
各例に係る両面粘着シートを20mm×20mmのサイズにカットして測定サンプルを作製した。23℃、50%RHの環境下にて、上記測定サンプルの第一粘着面(第一粘着剤層の粘着面)および第二粘着面(第二粘着剤層の粘着面)の各々にステンレス鋼板(SUS304BA板、30mm×100mm×0.4mm厚)を重ね、5kgのローラを1往復させて圧着した。これを23℃、50%RHの標準環境下に1時間放置した後、万能引張圧縮試験機(装置名「引張圧縮試験機、TCM−1kNB」ミネベア社製)を用いて、引張速度50mm/分、剥離角度0度の条件で引き剥がし、そのときの最大強度をせん断接着力(N)として記録した。具体的には図3に示すように、測定サンプル100の第一粘着面100Aおよび第二粘着面100Bをステンレス鋼板201,202に貼り合わせて上記の条件で圧着した。これを、上記温度雰囲気下に1時間放置した後、ステンレス鋼板201,202を上述の速度で図3中の矢印方向(すなわち、せん断方向)に引っ張り、20mm×20mm(400mm2)の貼付け面積における剥離強度(N)を測定した。測定は3回行い、その平均値を記録した。結果を表1に示す。
各例に係る両面粘着シートの第一粘着面(第一粘着剤層の粘着面)に厚さ25μmのPETフィルムを貼り合わせた後、幅10mmにカットして、各例に係る粘着シートからそれぞれ3つの試験片を作製した。これらの試料片の第二粘着面を被着体としてのフェノール樹脂板に、幅10mm、長さ20mmの接着面積にて2kgのローラを1往復させて圧着し、このフェノール樹脂板を40℃の環境下に垂下して30分間放置した後、試料片の自由端に500gの荷重を付与した。JIS Z 0237に準じて、該荷重が付与された状態で40℃の環境下に1時間放置した。1時間経過後、3つの試験片のうち一つでも試料片が落下していた場合には、保持時間1時間未満と判定した(表1では「落下」と表示)。それ以外の場合には、3つの試験片につき、それぞれ最初の貼り付け位置からの試験片のズレ距離(mm)を測定し、それらの算術平均値を求めた。結果を表1に示す。
(例11)
基材として、厚さ50μmのPETフィルムを用意した。この基材の第一面に粘着剤組成物A4を塗布し、乾燥処理を行い、厚さ60μmの第一粘着剤層(パッド側粘着剤層)を形成した。その第一粘着剤層に、シリコーン系剥離剤により剥離処理された剥離ライナー(第一剥離ライナー)を貼り合わせた。次いで、上記第一剥離ライナーと同じ構成の剥離ライナー(第二剥離ライナー)を別に用意し、この第二剥離ライナーの表面に粘着剤組成物A4を塗布し、乾燥処理を行って厚さ40μmの第二粘着剤層(定盤側粘着剤層)を形成し、この第二粘着剤層側表面を上記PETフィルム基材の第二面(第一面とは反対側の面)に積層(転写)した。このようにして例11に係る両面粘着シートを作製した。
パッド側粘着剤層および定盤側粘着剤層の形成に用いる粘着剤組成物として、それぞれ表2に示す粘着剤組成物を使用した。その他の点については例11と同様にして、例12〜例18に係る両面粘着シートをそれぞれ作製した。
[低温粘着力(F1)]
各例に係る両面粘着シートの第二粘着面に厚さ25μmのPETフィルムを貼り合わせ、幅20mm、長さ100mmのサイズにカットして測定サンプルを作製した。−10℃の環境下にて、上記測定サンプルの第一粘着面(パッド側粘着剤層の表面)を露出させ、該第一粘着面を被着体の表面に2kgのローラを1往復させて圧着した。これを同環境下に30分間放置した後、万能引張圧縮試験機(装置名「引張圧縮試験機、TCM−1kNB」ミネベア社製)を使用して、JIS Z0237に準じて、剥離角度180度、引張速度300mm/分の条件で剥離強度を測定した。被着体としてはステンレス鋼板(SUS304板)を使用した。測定は3回行い、その平均値を記録した。結果を表2に示す。
各例に係る両面粘着シートの第一粘着面に厚さ25μmのPETフィルムを貼り合わせ、幅20mm、長さ100mmのサイズにカットして測定サンプルを作製した。23℃、50%RHの標準環境下にて、上記測定サンプルの第二粘着面(定盤側粘着剤層の表面)を露出させ、該第二粘着面を被着体の表面に2kgのローラを1往復させて圧着した。これを同環境下に30分間放置した後、万能引張圧縮試験機(装置名「引張圧縮試験機、TCM−1kNB」ミネベア社製)を使用して、JIS Z0237に準じて、剥離角度180度、引張速度300mm/分の条件で剥離強度を測定した。被着体としてはステンレス鋼板(SUS304板)を使用した。測定は3回行い、その平均値を記録した。結果を表2に示す。
11 第一粘着剤層
11A 第一粘着面
12 第二粘着剤層
12A 第二粘着面
15 基材
21,22 剥離ライナー
30 研磨パッド
40 研磨装置
50 研磨装置定盤
90 研磨部材(粘着シート付き研磨パッド)
Claims (10)
- 研磨パッド固定用粘着シートであって、
基材と、前記基材の第一面に設けられた第一粘着剤層と、前記基材の第二面に設けられた第二粘着剤層とを備え、
前記第一粘着剤層の粘着面は研磨パッドに貼り付けられる面であり、前記第二粘着剤層の粘着面は研磨装置定盤に貼り付けられる面であり、
前記第一粘着剤層および前記第二粘着剤層を構成する粘着剤は、いずれもアクリル系粘着剤であり、
少なくとも前記第二粘着剤層を構成するアクリル系粘着剤は、粘着剤Sであり、
前記粘着剤Sは、アクリル系ポリマー100重量部に対して3重量部以上40重量部以下の重合ロジン系粘着付与樹脂を含む、粘着シート。 - 前記粘着剤Sは、前記アクリル系ポリマーを構成するモノマー成分が、n−ブチル(メタ)アクリレートと、エステル末端に炭素原子数6〜9のアルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレートとを含む、請求項1に記載の粘着シート。
- 前記粘着剤Sは、前記アクリル系ポリマーを構成するモノマー成分が、n−ブチル(メタ)アクリレートを40重量%以上95重量%以下含む、請求項1または2に記載の粘着シート。
- 前記粘着剤Sは、前記アクリル系ポリマーを構成するモノマー成分が、カルボキシ基含有モノマーを1重量%以上5重量%以下含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 前記粘着剤Sは、前記アクリル系ポリマーを構成するモノマー成分が水酸基含有モノマーを含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 前記粘着剤Sは、イソシアネート系架橋剤により架橋している、請求項1から5のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 前記第一粘着剤層の粘着面の低温粘着力F1が、前記第二粘着剤層の粘着面の粘着力F2よりも高い、請求項1から6のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 前記第二粘着剤層を構成するアクリル系粘着剤および前記第一粘着剤層を構成するアクリル系粘着剤がいずれも前記粘着剤Sである、請求項1から7のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 前記第一粘着剤層を構成するアクリル系粘着剤と前記第二粘着剤層を構成するアクリル系粘着剤とが同組成である、請求項1から8のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 研磨パッドと、
前記第一粘着剤層の粘着面が前記研磨パッドに貼り付けられている請求項1から9のいずれか一項に記載の粘着シートと
を含む、研磨部材。
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