JP2017098225A - 有機半導体素子の製造方法、有機半導体溶液の製造方法および塗布装置 - Google Patents
有機半導体素子の製造方法、有機半導体溶液の製造方法および塗布装置 Download PDFInfo
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先に、有機半導体素子の一例である、有機EL(Electro−Luminescence)現象を応用した発光素子について説明する。図1に示されるように、発光素子1には、1画素を構成する3種類の発光素子、すなわち赤色発光素子1a、緑色発光素子1bおよび青色発光素子1cがある。複数の発光素子1は、マトリックス状に配列されている。これらの発光素子1の発光面上にカラーフィルタ基板を貼り合わせることで、有機EL表示装置が形成される(図示省略)。
有機半導体素子1の製造方法は、図2に示されるように、ガラス基板11上にTFT12を形成してTFT基板10を作製するTFT基板作製工程(ステップ10)と、TFT基板10上にELデバイス部20を作製するELデバイス部作製工程(ステップ20)とを含む。
ここで、前述した塗布工程(ステップ23)の前における有機半導体溶液Sの取り扱い、すなわち、有機半導体溶液Sの製造方法について説明する。
図8は、密閉容器50内の不活性ガスGの圧力を変化させる場合の変形例を示す図である。なお、図5Bに示す密閉容器50と共通する構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
以上、有機半導体素子1の製造方法では、有機半導体溶液Sを基材15に塗布する塗布工程を含み、塗布工程の前において、有機半導体溶液Sと不活性ガスGとが密閉容器50内に入れられており、密閉容器50内の不活性ガスGの圧力を、塗布工程における有機半導体溶液Sの周囲の環境圧力Peを基準として、陰圧と陽圧とに変化させながら環境圧力Peに近づける。
10 TFT基板
11 ガラス基板
12 TFT
13 信号線
15 基材
20 ELデバイス部
21 陽極
22 正孔注入層
23 発光層
24 電子注入層
25 陰極
30 塗布装置
31 貯留部
32 吐出部
33 水平移動テーブル
50 密閉容器
51、61 容器本体
52、62 蓋
52a 蓋の係合部
55 駆動手段
55a 駆動手段の把持部
65 配管
66 開閉弁
67 供給排出手段
G 不活性ガス
S 有機半導体溶液(インク)
P0 有機半導体溶液を保管する際の密閉容器内の不活性ガスの圧力
P1、P2、P3、P4、P5 密閉容器内の不活性ガスの圧力
Pe 塗布工程における有機半導体溶液の周囲の環境圧力
Claims (9)
- 有機半導体溶液を基材に塗布する塗布工程を含む有機半導体素子の製造方法であって、
前記塗布工程の前において、
前記有機半導体溶液と不活性ガスとが密閉容器内に入れられており、
前記密閉容器内の前記不活性ガスの圧力を、前記塗布工程における前記有機半導体溶液の周囲の環境圧力を基準として、陰圧と陽圧とに変化させながら前記環境圧力に近づける
有機半導体素子の製造方法。 - 前記陽圧及び前記環境圧力の圧力差と、前記陰圧及び前記環境圧力の圧力差とが段階的に小さくなるように、前記不活性ガスの圧力を変化させる
請求項1に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 前記密閉容器内の体積を変えることで前記不活性ガスの圧力を変化させる
請求項1または2に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 前記密閉容器内から前記不活性ガスを排出、または、前記密閉容器内に前記不活性ガスを供給することで前記不活性ガスの圧力を変化させる
請求項1または2に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 圧力を変化させる前の前記不活性ガスは陽圧であり、
前記不活性ガスの圧力を変化させる場合には、前記不活性ガスを陽圧から陰圧に変化させた後、再び陽圧に変化させる
請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 前記環境圧力は、大気圧と同じである
請求項1〜5のいずれか一項に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 前記環境圧力は、大気圧よりも高い
請求項1〜5のいずれか一項に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 有機半導体溶液と不活性ガスとを密閉容器内に入れ、前記密閉容器内の前記不活性ガスの圧力を、前記有機半導体溶液を使用する際の周囲の環境圧力とは異なる圧力に維持する工程と、
前記工程の後に、前記密閉容器内の前記不活性ガスの圧力を、前記環境圧力を基準として、陰圧と陽圧とに変化させながら前記環境圧力に近づける工程と
を含む有機半導体溶液の製造方法。 - 有機半導体溶液を塗布する塗布装置であって、
前記有機半導体溶液を貯留する貯留部と、
前記貯留部に貯留された前記有機半導体溶液を吐出する吐出部と
を備え、
前記貯留部は、不活性ガスとともに密閉容器内に入れられた前記有機半導体溶液であって、前記密閉容器内の前記不活性ガスの圧力を、前記有機半導体溶液を塗布する際の周囲の環境圧力を基準として、陰圧と陽圧とに変化させながら前記環境圧力に近づけることで得られた前記有機半導体溶液を貯留する
塗布装置。
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