JP2017092344A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1a デバイス領域
1b リング状補強部
1c 残存領域
10 第1研削手段
13 粗研削ホイール
13a ホイール基台
13b 研削砥石
20 第2研削手段
23 仕上げ研削ホイール
23a ホイール基台
23b 研削砥石
100 吸着テーブル
d1 仕上げ幅
d2 余裕幅
t1 仕上げ厚み
t2 粗研削厚み
Claims (2)
- 表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域と、該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域に対応する裏面にリング状のリング状補強部を形成するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの表面側を吸着テーブルに保持し、前記デバイス領域に対応するウエーハの裏面を、粗研削ホイールを用いて該リング状補強部を残してウエーハを凹状に加工する粗研削ステップと、
該粗研削ステップを実施した後に、該粗研削ステップにおける砥石位置よりも内周側の、余裕幅分内側に仕上げ研削ホイールを位置付け、仕上げ厚みまでウエーハをさらに凹状に研削する仕上げ研削ステップと、
該仕上げ研削ステップを実施した後に、該仕上げ研削ホイールを該仕上げ研削位置から該余裕幅分外周側に水平移動し、該リング状補強部に沿って上昇させ、該余裕幅分の残存領域を除去する残存領域除去ステップと、
を備えることを特徴とするウエーハの加工方法。 - 該粗研削ホイール及び該仕上げ研削ホイールは、リング状のホイール基台と、該ホイール基台の自由端部に環状に固定された複数の研削砥石とから構成され、
各研削砥石は、矩形形状のセグメント砥石であり、外周端面が半径方向内側から外側に、及び、該自由端部側から下方に向かって広がるように傾斜した形状に形成されている、
請求項1に記載のウエーハの加工方法。
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