JP2017092108A - 放熱シート、放熱シートの製造方法、電子装置、及び放熱シート製造装置 - Google Patents
放熱シート、放熱シートの製造方法、電子装置、及び放熱シート製造装置 Download PDFInfo
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Abstract
Description
図1〜図2は、本実施形態に係る放熱シートの製造途中の断面図である。
本実施形態では前述のように押さえ板34がカーボンナノチューブ6を過度に押圧するのを防止するためにスペーサ32を使用した。本願発明者は、そのスペーサ32の厚さTを変えることにより、放熱シート7の外観がどのように変わるのかを調査した。
・カーボンナノチューブ6の長さL:200μm
・圧縮板33の厚さ:250μm
この場合、スペーサ32の厚さTは、カーボンナノチューブ6の長さLよりも厚いことになる。
・カーボンナノチューブ6の長さL:200μm
・圧縮板33の厚さ:150μm
この場合、スペーサ32の厚さTは、カーボンナノチューブ6の長さLよりも薄いことになる。
・カーボンナノチューブ6の長さL:240μm
・圧縮板33の厚さ:150μm
図9におけるのと同様に、この場合もスペーサ32の厚さTはカーボンナノチューブ6の長さLよりも薄い。
図10に示したように、圧縮によって放熱シート7には縞模様7cが形成される。
放熱シート7に含まれるカーボンナノチューブ6は、柔軟性が高いため電子部品やヒートスプレッダの各々の表面の凹凸に合わせて変形できる。但し、放熱シート7の厚さが薄すぎると放熱シート7の柔軟性が低下するため、電子部品等の表面の凹凸を放熱シート7で埋めることができず、電子部品やヒートスプレッダとの間に熱抵抗の高い空気が介在してしまう。
第1実施形態では、図6(a)に示したように、互いに対向する力F1、F2によりCNTシート6sを圧縮した。
本実施形態では、第1実施形態や第2実施形態で作製した放熱シート7を熱処理することにより、放熱シート7の熱伝導性を更に高める。
本実施形態では、第1〜第3実施形態で製造した放熱シート7を用いた電子装置の製造方法について説明する。
そして、第2の樹脂シート44の上に第2の耐熱性樹脂シート45を載せ、不図示のヒータで第1及び第2の樹脂シート43、44をそれらが溶融する140℃程度の温度に加熱して軟化させながら、第2の耐熱性樹脂シート45を上からプレス板46で押す。
を有することを特徴とする放熱シートの製造方法。
第1の方向に沿った第1の力を前記側部に印加することにより前記第1の方向沿って前記シートを圧縮し、前記第1の方向に直交する第2の方向に沿った第2の力を前記側部に印加することにより前記第2の方向に沿って前記シートを圧縮することにより行われることを特徴とする付記1乃至付記4のいずれかに記載の放熱シートの製造方法。
前記第1の主面から前記第2の主面に延びる複数のカーボンナノチューブとを有し、
前記第1の主面に表出した部分の前記カーボンナノチューブの向きに起因して、前記第1の主面に縞模様が形成されたことを特徴とする放熱シート。
前記複数のカーボンナノチューブの各々の間に前記樹脂が含浸したことを特徴とする付記7に記載の放熱シート。
前記第1の主面から前記第2の主面に延びる複数のカーボンナノチューブとを有し、
前記第1の主面と前記第2の主面の各々に、複数の畝が網目状に形成されたことを特徴とする放熱シート。
前記第1の主面と前記第2の主面の一方に固着された電子部品と、
前記第1の主面と前記第2の主面の他方に固着された放熱部材とを有し、
前記第1の主面に表出した部分の前記カーボンナノチューブの向きに起因して、前記第1の主面に縞模様が形成されたことを特徴とする電子装置。
前記ベースの上方に設けられ、前記シートを上から押さえる押さえ部材と、
前記シートの側部を押すことにより、前記側部から前記シートを圧縮する圧縮部材と、
を有することを特徴とする放熱シート製造装置。
Claims (8)
- 基板上に成長した複数のカーボンナノチューブを備えたシートを上から押さえ部材で押さえつつ、圧縮部材で前記シートの側部を押すことにより、前記側部から前記シートを圧縮する工程
を有することを特徴とする放熱シートの製造方法。 - 前記シートを圧縮する工程は、前記基板と前記押さえ部材との間に前記複数のカーボンナノチューブの各々の長さよりも薄いスペーサを挿入し、前記スペーサに前記押さえ部材が上から当接した状態で行われることを特徴とする請求項1に記載の放熱シートの製造方法。
- 前記シートを圧縮する工程の前に、前記複数のカーボンナノチューブの長さが飽和する成長時間をかけて前記基板の上に前記複数のカーボンナノチューブを成長させる工程を更に有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の放熱シートの製造方法。
- 前記シートを圧縮する工程の後に、前記複数のカーボンナノチューブの各々の間に、粘着性のある樹脂を含浸させる工程を更に有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の放熱シートの製造方法。
- 相対する第1の主面及び第2の主面と、
前記第1の主面から前記第2の主面に延びる複数のカーボンナノチューブとを有し、
前記第1の主面に表出した部分の前記カーボンナノチューブの向きに起因して、前記第1の主面に縞模様が形成されたことを特徴とする放熱シート。 - 前記第1の主面と前記第2の主面の各々に設けられた粘着性のある樹脂を更に有し、
前記複数のカーボンナノチューブの各々の間に前記樹脂が含浸したことを特徴とする請求項5に記載の放熱シート。 - 相対する第1の主面及び第2の主面と、前記第1の主面から前記第2の主面に延びる複数のカーボンナノチューブとを備えた放熱シートと、
前記第1の主面と前記第2の主面の一方に固着された電子部品と、
前記第1の主面と前記第2の主面の他方に固着された放熱部材とを有し、
前記第1の主面に表出した部分の前記カーボンナノチューブの向きに起因して、前記第1の主面に縞模様が形成されたことを特徴とする電子装置。 - 複数のカーボンナノチューブを備えたシートが表面に設けられた基板を載せるベースと、
前記ベースの上方に設けられ、前記シートを上から押さえる押さえ部材と、
前記シートの側部を押すことにより、前記側部から前記シートを圧縮する圧縮部材と、
を有することを特徴とする放熱シート製造装置。
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