JP2013201261A - 放熱シートおよび半導体装置、放熱シートの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放熱シート24は、第1の主面とこれに対向する第2の主面とを有する樹脂基材と、樹脂基材中に埋設され、各々第1の主面から第2の主面に向かって延在する複数のカーボンナノチューブと、を含み、複数のカーボンナノチューブは全体として湾曲し、第2の主面に対する垂線に対し斜めの方向に配向する。
【選択図】図1
Description
図1は第1の実施形態による半導体装置20の構成を示す断面図である。
[第2の実施形態]
図7A〜図7Hは、第2の実施形態による放熱シート64の製造工程を示す断面図である。
20 半導体装置
20A,22A ハンダバンプ
21 回路基板
22 半導体チップ
24,64 放熱シート
24A 樹脂基体
24B カーボンナノチューブ束
25 放熱部材
30,40,70 治具
30A,70A 基部
30B,70B 天井部
31 シリコン基板
31A シリコン酸化膜
32 触媒層
33 熱可塑性樹脂ブロック
44 比較対照例
Claims (14)
- 第1の主面とこれに対向する第2の主面とを有する樹脂基材と、
前記樹脂基材中に埋設され、各々前記第1の主面から前記第2の主面に向かって延在する複数のカーボンナノチューブと、
を含み、
前記複数のカーボンナノチューブは全体として湾曲し、前記第2の主面に対する垂線に対し斜めに配向することを特徴とする放熱シート。 - 前記複数のカーボンナノチューブは、前記第2の主面の面内で同一方向に配向することを特徴とする請求項1記載の放熱シート。
- 前記カーボンナノチューブは、前記第1の主面においては前記第1の主面に垂直な方向に延在し、前記第2の主面においては前記第2の主面に対して斜めの角度をなすことを特徴とする請求項1または2記載の放熱シート。
- 前記カーボンナノチューブの各々はその端面が、熱伝導性膜により覆われていることを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の放熱シート。
- 前記樹脂基材は熱可塑性樹脂であることを特徴とする請求項1〜4のうち、いずれか一項記載の放熱シート。
- 前記樹脂基材は熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項1〜4のうち、いずれか一項記載の放熱シート。
- 請求項1〜6のうちいずれか一項記載の放熱シートと、
前記放熱シートの前記第1および第2の主面の一方に接して設けられた半導体チップと、
前記放熱シートの前記第1および第2の主面の他方に接して設けられた放熱部材と、
を備えたことを特徴とする半導体装置。 - 基板上に複数のカーボンナノチューブを成長させる工程と、
前記複数のカーボンナノチューブの先端部に力を加え、前記複数のカーボンナノチューブを前記基板に垂直な方向に対して斜めの同一方向に湾曲させる工程と、
前記複数のカーボンナノチューブの間に樹脂基材を導入する工程と、
前記基板を除去する工程と、
を含むことを特徴とする放熱シートの製造方法。 - 前記複数のカーボンナノチューブの先端部に力を加える工程は、前記複数のカーボンナノチューブの先端部に治具により、前記基板に平行に力を加えることにより実行されることを特徴とする請求項8記載の放熱シートの製造方法。
- 前記複数のカーボンナノチューブの先端部に力を加える工程は、前記複数のカーボンナノチューブの先端部に治具により、前記基板に垂直に力を加えることにより実行されることを特徴とする請求項8記載の放熱シートの製造方法。
- 前記治具は前記カーボンナノチューブの先端部に接する部分がメッシュ状であることを特徴とする請求項9または10記載の放熱シートの製造方法。
- 前記複数のカーボンナノチューブを湾曲させる工程の後、前記樹脂基材を導入する工程の前に、前記複数のカーボンナノチューブの表面に、熱伝導性膜を形成する工程を含むことを特徴とする請求項8〜11のうち、いずれか一項記載の放熱シートの製造方法。
- 前記熱伝導性膜は、前記カーボンナノチューブの端面を覆うことを解く請求項12記載の放熱シートの製造方法。
- 前記熱伝導性膜を形成する工程は原子層堆積法で作製することを特徴とする請求項12または13記載の放熱シートの製造方法。
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