JP2017092095A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フラッシュ光を透過する石英窓である上側チャンバー窓63の下面に減光部68を形設するとともに、上面に光量調整部69を設ける。減光部68および光量調整部69は、フラッシュランプFLから放射されてチャンバー内の半導体ウェハーWの中央側領域に向かうフラッシュ光の光量を減光する。また、光量調整部69の側方から入射して多重反射を繰り返した後に半導体ウェハーWの中央側領域に向かうフラッシュ光も減光部68によって減光される。フラッシュ光照射前の予備加熱時には半導体ウェハーWの周縁部の温度が低下しやすいが、中央側領域に向かうフラッシュ光の光量を減光することによって半導体ウェハーWの面内温度分布の均一性を向上させることができる。
【選択図】図6
Description
3 制御部
4 ハロゲン加熱部
5 フラッシュ加熱部
6 チャンバー
10 受渡部
12 受け渡しピン
20 昇降駆動部
63 上側チャンバー窓
64 下側チャンバー窓
68 減光部
69 光量調整部
70 サセプター
71 ウェハーポケット
80 ガス供給部
85 排気部
FL フラッシュランプ
HL ハロゲンランプ
W 半導体ウェハー
Claims (8)
- 基板に光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置であって、
基板を収容するチャンバーと、
前記チャンバー内に設けられ、基板を載置して支持する支持部と、
前記チャンバーの開口部を閉塞する石英窓と、
前記チャンバーの外部に設けられ、前記石英窓を介して前記支持部に支持された基板に光を照射する光照射部と、
を備え、
前記石英窓の前記支持部に対向する対向面に、前記光照射部から前記チャンバー内に照射する光を減光させる減光部を設けることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
前記支持部を昇降させる昇降部をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1または請求項2記載の熱処理装置において、
前記減光部は、前記石英窓の前記対向面の中央部に設けられることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記減光部は、前記対向面に形成された凹凸を有する粗面であることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項4記載の熱処理装置において、
前記粗面は、前記減光部の設けられる領域の一部に形成されることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記石英窓の前記対向面とは反対側の面に、前記光照射部から前記石英窓に入射する光の光量を調整する光量調整部をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記光照射部は、フラッシュ光を照射するフラッシュランプを含むことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項7のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記光照射部はハロゲンランプを含むことを特徴とする熱処理装置。
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