JP2017090388A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
上記した実施形態では、波長変換部材11が1枚のシート状の波長変換部材11について色度座標の面内分布を測定する場合について説明したが、小片に切り分けられ格子状に近接配置された多数の波長変化部材について、対物レンズ14の実視野を1の波長変換部材の大きさに設定することで、個々の波長変換部材の色度座標を測定することもできる。
上記した本実施形態では、移動機構15が、波長変換部材11を対物レンズ14に対して移動させる場合について説明したが、波長変換部材11を停止させつつ、対物レンズ14を移動させてもよい。その場合、波長変換部材11に対して同一条件で励起光を照射するため、光源部13を移動させる光源移動機構を設け、光源部13と対物レンズ14が波長変換部材11を挟んで上下に対向するように対物レンズ14と同期させて光源部13も移動させることが好ましい。
上記した実施形態では、移動機構15が波長変換部材11を水平面(XY平面)内で移動させる場合について説明したが、例えば、移動機構15がYテーブル30を水平な軸回りに回転させたり、あるいは、波長変換部材11の上面を中心として対物レンズ14を旋回させたりして、対物レンズ14の光軸に対する波長変換部材11の角度を変化させても良い。このような場合であると、波長変換部材11の厚さ方向に対して傾斜した方向に励起光が透過した場合のxy色度座標を測定することができる。
上記した実施形態では、温度調節部44により検査装置10の動作中継続して光源部13を一定温度に保持したが、例えば、温度調節部44が光源部13を第1温度T1に保持した状態で波長変換部材11について色度座標の面内分布を測定し、その後、温度調節部44が光源部13の温度を第1温度T1から異なる第2温度T2に変更し光源部13から放出される励起光の波長を変更してから、再び、波長変換部材11の色度座標の面内分布を測定してもよい。
上記した実施形態では、波長変換部材11に照射する励起光を発生する光源部13の励起光源34としてLEDを用いたが、例えば、LD(Laser Diode)を励起光源34に用いても良い。
以上、本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は例として提示したものであり、
発明の範囲を限定することを意図していない。この実施形態は、その他の様々な形態で実
施されることが可能であり、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変
更を行うことができる。この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様
に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
Claims (9)
- 蛍光体を含有する波長変換部材を検査する検査装置において、
前記波長変換部材を支持する支持部と、
前記波長変換部材に励起光を照射する光源部と、
前記励起光の照射により前記波長変換部材から発する蛍光と前記波長変換部材を透過した前記励起光とを取り込む対物レンズと、
前記対物レンズ及び前記波長変換部材の少なくとも一方を移動させる移動機構と、
前記対物レンズが取り込んだ光のスペクトルを測定する分光器とを備え、
前記波長変換部材の異なる複数の位置において、前記対物レンズが前記波長変換部材から発する前記蛍光と前記波長変換部材を透過した前記励起光を取り込み、前記対物レンズが取り込んだ光のスペクトルを前記分光器が測定する検査装置。 - 前記光源部が前記波長変換部材に照射する前記励起光が拡散光である請求項1に記載の検査装置。
- 前記移動機構は、前記光源部及び前記対物レンズを停止し、前記波長変換部材を移動させる請求項1又は2に記載の検査装置。
- 前記移動機構は、前記波長変換部材を停止し、前記対物レンズを移動させる請求項1又は2に記載の検査装置。
- 前記光源部を前記対物レンズに同期して移動させる光源移動機構を備える請求項4に記載の検査装置。
- 前記移動機構は、前記対物レンズの光軸に対する前記波長変換部材の角度を変化させる請求項1〜5のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記光源部の温度を制御する温度調節部を備える請求項1〜6のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記温度調節部が前記光源部の温度を変更させて前記光源部から放出される励起光の波長を変更する請求項7に記載の検査装置。
- 前記支持部は、前記波長変換部材を接着により固定する無色透明な保持シートを備える請求項1〜8のいずれか1項に記載の検査装置。
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